30第5章 微机电系统(MEMS)
微机电系统
微机电系统制造工艺史微机电系统（Micro Electro-Me-chanical Systems，MEMS）是指可批量制作的，集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。
MEMS是随着半导体集成电路微细加工技术和超精密机械加工技术的发展而发展起来的。
微机电系统是微米大小的机械系统，其中也包括不同形状的三维平板印刷产生的系统。
这些系统的大小一般在微米到毫米之间。
在这个大小范围中日常的物理经验往往不适用。
比如由于微机电系统的面积对体积比比一般日常生活中的机械系统要大得多，其表面现象如静电、润湿等比体积现象如惯性或热容量等要重要。
它们一般是由类似于生产半导体的技术如表面微加工、体型微加工等技术制造的。
其中包括更改的硅加工方法如压延、电镀、湿蚀刻、干蚀刻、电火花加工等等。
①微机电系统制造发展历程：19世纪照相制版;1951年显像管遮蔽屏(美国RCA公司)(光学应用);1952年表面微加工专利2749598(美);1954年压阻效应;1962年晶体的异向腐蚀;1963年半导体压力计(日本丰田中央研究所);1967年振动门晶体管(美国Westinghouse公司)(牺牲层腐蚀);1968年阳极键合(美国Mallory公司);1969年基于掺杂浓度的腐蚀;1970年硅微电极(斯坦福大学);1973年内窥镜用硅压力传感器(斯坦福大学);1974年集成气相质谱仪(斯坦福大学);1979年集成压力传感器(密西根大学);1982年LIGA工艺(德国原子力研究所);1986年硅反馈式加速度计(瑞士CSEM);1986年集成流量控制器(日本东北大学);1987年微齿轮等(美国加州大学伯克利分校，贝尔研究所);1987年微静电微马达(加州大学伯克利分校，Yu-Chong Tai，Long-Sheng Fan)。
发展阶段：硅微传感器阶段：1963年日本丰田研究中心制作出硅微压力传感器。
微机电系统结构
微机电系统结构
微机电系统（MEMS）是一种将微电子技术与机械工程结合的微型系统。
它的结构主要包括以下几个部分：
1.微传感器：这是MEMS的最基本组成部分，用于感知外部信号，如温度、
压力、声音等，并将其转换为可处理的电信号。
2.微执行器：这是MEMS的另一重要组成部分，负责将电能转换为机械能，
以实现驱动、控制等功能。
3.信号处理电路：为了对微传感器采集的信号进行处理，MEMS还包括相应
的信号处理电路，以便对信号进行放大、滤波、模数转换等处理。
4.通信接口：MEMS系统通常还需要一个通信接口，以便将MEMS传感器采
集的数据传输到外部设备或系统中。
5.电源：为使MEMS系统正常工作，通常需要为其提供电源。
这可以是内部
电池，也可以是外部电源。
6.封装：MEMS系统需要进行封装，以保护其内部的微机械结构和电路等免
受外界环境的影响。
封装可以采用各种材料和技术，以满足不同的应用需求。
MEMS系统的结构可以根据需要进行定制，以满足特定的应用需求。
其微型化的特点使得MEMS在许多领域都具有广泛的应用前景，如汽车、医疗、航空航天等。
《mems微机电系统》PPT课件
大〕，机械性能较好 • 2.存在对硅材料的浪费较大 • 3.与集成电路的兼容性不好
• 根据腐蚀剂的相态，即液相、气相和等离 子态，可以将体型微机械加工的腐蚀方法 划分为三种。采用液相腐蚀剂的腐蚀工艺 往往又称为湿法腐蚀，而采用气相和等离 子态腐蚀剂的腐蚀工艺那么称为干法腐蚀 。
• 多晶硅作为MEMS最常用的构造材料之一 ，它易于用IC技术进展构件制造， 且机械 性能满足要求。用微机械加工制造的典型 多晶硅薄膜的厚度至少大于3 μm。膜更厚 ，其强度和韧性更好。
• 外表微机械加工还采用其它构造材料，以获得可控 的剩余应力值、杨氏模量、薄膜形态、硬度、电导 率和光反射特性。 第一类材料是金属, 包括Al和化 学气相淀积〔CVD〕钨、电镀镍、铜等。特别是Al ，它具有良好的光反射特性，可用于构成微光学系 统的构造〔如Texas Instrument的DMD〕。此时 ，牺牲层材料可以采用气相淀积的有机物，如光刻 胶、聚酰亚胺、 聚对二甲苯等。第二类材料包括 CMOS工艺中制作互连所用的二氧化硅、多晶硅等 。 释放可在CMOS工艺后通过无掩模的干法刻蚀完 成。这些材料的应用可以简化机械构造与电路的集 成， 但机械特性有一定的限制。第三类材料是氮化 硅，这种薄膜的外表比多晶硅外表光滑，可以直接 淀积光发射材料，其张应力可以通过让薄膜富硅化 和在氧化气氛中退火的方法来减小。
一、电子束光刻胶
• 最新的电子束光刻胶开展： • 美国道康宁公司电子部〔Dow Corning
Electronics〕推出的Dow Corning® XR-1541电子束光刻胶。这一新型先进的 旋涂式光刻胶产品系列是以电子束〔 electron beam〕取代传统光源产生微影 图案，可提供图形定义小至6纳米的无掩模 光刻技术能力。
微机电系统(mems)工程技术 半导体制造工艺技术
微机电系统(mems)工程技术半导体制造工艺技术微机电系统（MEMS）是一种融合微电子技术、机械工艺和微纳米加工技术的新型技术，具有微小体积、高性能和低功耗等优点，被广泛应用于传感器、执行器、微机械系统等领域。
MEMS制造工艺技术作为其核心技术之一，在MEMS设备的设计、生产和测试过程中起着至关重要的作用。
一、MEMS制造工艺技术的基本原理MEMS制造工艺技术是利用微纳米加工技术对微电子元件进行加工，实现微小尺寸的器件。
其基本原理包括光刻、薄膜沉积、刻蚀、清洗和包装等步骤。
在制造过程中，需要考虑到器件的性能、成本和效率等因素，并采用不同的工艺流程进行处理。
二、MEMS制造工艺技术的工艺流程1.设计阶段：确定MEMS器件的功能和结构，并进行软件仿真和电路设计，制定完整的器件设计方案。
2.掩膜光刻：利用掩膜和紫外光曝光的技术，将器件的图形准确转移到光敏材料上，形成所需的图形。
3.薄膜沉积：采用物理气相沉积、化学气相沉积等技术，在衬底表面沉积一层或多层薄膜，用于制备MEMS器件的功能部件。
4.刻蚀工艺：采用干法或湿法刻蚀技术，将多余的材料去除，形成所需的器件结构。
5.清洗和检测：在制造过程中，需要对器件进行清洗和检测，确保器件的质量和性能。
6.包装封装：将制备好的器件封装在封装体中，保护器件免受外部环境的影响。
三、MEMS制造工艺技术的发展趋势1.纳米加工技术：随着纳米加工技术的发展，MEMS器件的尺寸将进一步减小，性能将得到显著提升。
2.多功能集成：未来的MEMS器件将具有多功能集成的特点，可以同时实现多种功能，提高器件的综合性能。
3.自组装技术：自组装技术的应用将使MEMS制造工艺更加灵活和高效，降低成本，提高生产效率。
4.高可靠性设计：随着MEMS器件在汽车、医疗等领域的广泛应用，高可靠性设计将成为MEMS制造工艺技术的重要发展方向。
四、结语MEMS制造工艺技术是一项复杂而重要的工艺技术，对MEMS器件的性能和质量起着决定性的作用。
MEMS 技术_信息技术导论_[共3页]
![MEMS 技术_信息技术导论_[共3页]](https://img.taocdn.com/s3/m/d25429b39b6648d7c0c7465e.png)
5.3 微机电系统（MEMS）传感技术5.3.1 MEMS技术微机电系统（Micro Electro Mechanical Systems，MEMS），从广义上讲是指集微型传感器、微型执行器、信号处理器和控制电路、接口电路、通信系统以及电源于一体的微型机电系统，是一种多学科交叉的前沿性技术，几乎涉及自然及工程科学的所有领域，如电子、机械、光学、物理学、化学、生物医学、材料科学、能源科学等，是将微电子技术与机械工程融合到一起的一种工业技术，即微米、纳米精度的机械、电子加工技术。
1．MEMS的主要特点（1）微型化。
MEMS的器件体积小、质量轻、功耗低、性能稳定、谐振频率高、响应时间短，具有微米、纳米精度的加工，毫米级的体积。
（2）集成化。
可以把不同功能、不同敏感方向或致动方向的多个传感器或执行器集成于一体，或形成微传感器阵列、微执行器阵列，甚至把多种功能的器件集成在一起，形成复杂的微系统。
即实现微机械、微电子技术集成。
（3）低成本。
用硅微加工工艺在一片硅片上可同时制造成百上千个微型电子机械装置或完整的MEMS器件，生产成本低，生产周期短，性能一致性好，对环境的损害小等。
即通过单硅片批量加工，降低成本。
2．MEMS的发展历程及国内外发展现状（1）MEMS的发展历程2001年6月在德国慕尼黑举行的国际固态传感器与执行器学术会议中，正式提出了微传感器的概念，并兴起了引入微机电系统技术研究微传感器的热潮。
受航空、航天、军事工业等高精尖技术需要驱动，在近20年的发展中，MEMS得到了极好的发展，并正以惊人的速度快速发展。
在技术发展中，由于受多个领域的工业基础限制，目前欧美军事强国发展成果最为突出。
我国随着航空军事工业的推动，也取得了相当好的成果。
MEMS经历了如下5个突破性发展阶段。
第一阶段：20世纪70年代，微机械压力传感器的成功研制；第二阶段：20世纪80年代，硅静电微电动机成功研制；第三阶段：20世纪90年代，喷墨打印头、硬盘读写头、硅加速度计和数字微镜器件等相继规模化生产；第四阶段：2001年，在航空、航天、军事、汽车、医学等领域得到应用；第五阶段：2010年，在手机、相机等民用领域得到广泛应用。
微机电系统(MEMS)技术介绍
微机电系统（MEMS）技术介绍微机电系统（MEMS），在欧洲也被称为微系统技术，或在日本被称为微机械，是一类器件，其特点是尺寸很小，制造方式特殊。
MEMS是指采用微机械加工技术批量制作的、集微型传感器、微型机构、微型执行器以及信号处理和控制电路、接口、通讯等于一体的微型器件或微型系统。
MEMS 器件的特征长度从1毫米到1微米--1微米可是要比人们头发的直径小很多。
MEMS往往会采用常见的机械零件和工具所对应微观模拟元件，例如它们可能包含通道、孔、悬臂、膜、腔以及其它结构。
然而，MEMS器件加工技术并非机械式。
相反，它们采用类似于集成电路批处理式的微制造技术。
今天很多产品都利用了MEMS技术，如微换热器、喷墨打印头、高清投影仪的微镜阵列、压力传感器以及红外探测器等。
MEMS技术可以用于制造压力传感器、惯性传感器、磁力传感器、温度传感器等微型传感器，这些传感器以及它们的部分信号处理电路都可以在只有几毫米或更小的芯片上实现。
与传统的传感器相比，MEMS传感器不仅体积更小、功耗更低，而且它们往往会比传统传感器更加准确、更加灵敏。
随着人们对海洋观测的需求不断增加和海洋观测技术的不断发展，MEMS技术也在逐渐进入海洋观测技术研究领域。
一、MEMS概念“他们告诉我一种小手指指甲大小的电动机。
他们告诉我，目前市场上有一种装置，通过它你可以在大头针头上写祷文。
但这也没什么；这是最原始的，只是我打算讨论方向上的暂停的一小步。
在其下是一个惊人的小世界。
公元2000年，当他们回顾当前阶段时，他们会想知道为何直到1960年，才有人开始认真地朝这个方向努力。
”——理查德·费曼，《底部仍然存在充足的空间》发表于1959年12月29日于加州理工大学（Caltech）举办的美国物理学会年会。
但我们可能会问：为什么要在这样一个微小尺上生成这些对象？MEMS器件可以完成许多宏观器件同样的任务，同时还有很多独特的优势。
这其中第一个以及最明显的一个优势就是小型化。
微机电系统MEMS简介
陀螺仪
总结词
用于测量或维持方向的传感器
详细描述
陀螺仪是一种基于角动量守恒原理的传感器，用于测量或维持方向。它通过测量物体旋转轴的方向变 化来工作，通常由高速旋转的陀螺仪转子组成。陀螺仪广泛应用于导航、姿态控制、游戏控制等领域 ，如智能手机、无人机和导弹制导系统等。
压力传感器
总结词
用于测量流体或气体压力的传感器
MEMS市场应用领域
消费电子
汽车电子
医疗健康
工业自动化
MEMS传感器在消费电子产品 中的应用广泛，如智能手机、 平板电脑、可穿戴设备等。这 些设备中的传感器用于运动检 测、加速度计、陀螺仪、气压 计等。
随着汽车智能化的发展， MEMS传感器在汽车领域的应 用也越来越广泛，如车辆稳定 性控制、安全气囊、发动机控 制等。
MEMS材料
单晶硅
单晶硅是MEMS制造中最常用的材料 之一，具有高强度、高刚度和良好的 化学稳定性。
多晶硅
多晶硅在MEMS制造中常用于制造柔 性结构，具有较好的塑性和韧性。
玻璃
玻璃在MEMS制造中常用于制造光学 器件，具有较高的透光性和稳定性。
聚合物
聚合物在MEMS制造中常用于制造生 物传感器和柔性器件，具有较好的生 物相容性和可塑性。
集成化
未来的MEMS系统将更加集 成化，能够将多个MEMS器 件集成在一个芯片上，实现 更高效、更低成本的应用。
03
CATALOGUE
MEMS传感器与器件
加速度传感器
总结词
用于测量 物体运动状态的传感器
详细描述
加速度传感器是一种常用的MEMS传感器，主要用于测量物体运动状态的加速度。它通常由质量块和弹性支撑结 构组成，通过测量质量块因加速度产生的惯性力来计算加速度值。加速度传感器广泛应用于汽车安全气囊系统、 手机和平板电脑的姿态控制、运动检测等领域。
微机电系统-MEMS简介_图文
分析和遗传诊断 ,利用微加工技术制造各种微泵、微阀、微摄子、微沟槽、
微器皿和微流量计的器件适合于操作生物细胞和生物大分子。所以,微机械
在现代医疗技术中的应用潜力巨大,为人类最后征服各种绝症延长寿命带来
了希望。
*
19
OMOM智能胶囊消化道内窥镜系统
• 金山科技集团研制的胶囊内镜
“胶囊内镜”是集图像处理、信息通讯、光电工程、生物医 学等多学科技术为一体的典型的微机电系统（MEMS） 高科技产品，由智能胶囊、图像记录仪、手持无线监视 仪、影像分析处理软件等组成。
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微射流MEMS技术应用于糖尿病治疗.
这个一次性胰岛素注射泵融合了Debiotech的胰岛素输注系统技术和ST的微射流 MEMS芯片的量产能力。纳米泵的尺寸只有现有胰岛素泵的四分之一. 微射流技术还能 更好地控制胰岛素液的注射量，更精确地模仿胰岛自然分泌胰岛素的过程，同时还能检 测泵可能发生的故障，更好地保护患者的安全。 成本非常低廉。
微机电系统-MEMS简介_图文.ppt
MEMS定义
早在二十世纪六十年代，在硅集成电路制造技术发 明不久，研究人员就想利用这些制造技术和利用硅很好 的机械特性，制造微型机械部件，如微传感器、微执行 器等。如果把微电子器件同微机械部件做在同一块硅片 上，就是微机电系统——MEMS: Microelectromechanical System。
胆固醇,可探测和清除人体内的癌细胞 ,进行视网膜开刀时 ,大夫可将遥控机
器人放入眼球内,在细胞操作、细胞融合、精细外科、血管、肠道内自动送
药等方面应用甚广。
MEMS的微小可进入很小的器官和组织和能自动地进行细微精确的操作的特
点 ,可大大提高介入治疗的精度 ,直接进入相应病变地进行工作 ,降低手术风
mems微机电系统名词解释
mems微机电系统名词解释MEMS（Micro-Electro-Mechanical Systems，微机电系统）是一种集成微型机械、电子与传感器功能于一身的微型设备。
它结合了传统的机械制造技术、半导体工艺和微纳米技术，将微型机械部件、传感器、电子电路以及微纳加工技术集成在一个晶圆上，以实现微型化、多功能化和集成化的目标。
以下是一些与MEMS相关的名词解释：1. 传感器（Sensor）：一种能够感知并转换外部物理量、化学量或生物量的设备，可以将感应到的物理量转化为电信号。
2. 执行器（Actuator）：一种能够接收电信号并将其转化为相应的机械运动的设备，用来实现对外界的控制或作用。
3. 微型机械（Micro-Mechanical）：指尺寸在微米或纳米级别的机械部件，由微细加工技术制造而成，具有微小、精确和高效的特点。
4. 纳米技术（Nanotechnology）：一种研究和应用物质在纳米尺度下的特性、制备和操作的技术，常用于MEMS器件的加工制造。
5. 惯性传感器（Inertial Sensor）：一种基于测量物体运动状态和变化的MEMS传感器，如加速度计和陀螺仪。
6. 压力传感器（Pressure Sensor）：一种可以测量气体或液体压力的MEMS传感器，常用于汽车、医疗、工业等领域。
7. 加速度计（Accelerometer）：一种测量物体在空间中加速度的MEMS传感器，常用于移动设备、运动检测等应用。
8. 微镜（Micro-Mirror）：一种利用MEMS技术制造的微型反射镜，通常用于显示、成像和光学通信等应用。
9. 微流体器件（Microfluidic Device）：一种用于实现微小流体控制的MEMS器件，常用于生化分析、药物传递和微生物学研究等领域。
10. 无线传感器网络（Wireless Sensor Network）：一种由多个分布式的MEMS传感器节点组成的网络系统，可以实现对环境信息的实时采集、处理和通信。
微机电系统(mems)工艺基础与应用
微机电系统(mems)工艺基础与应用
微机电系统（MEMS）是指将微型机械元件、微电子元件、微光学元件、微流体元件及其它微加工技术相集成而成的系统。
它既是微电子技术、光学技术、力学技术、材料科学技术的综合，又是精密制造技术、微加工技术与传感器技术的相结合。
本文将对MEMS的工艺基础及其应用进行探讨。
一、MEMS的工艺基础 1.硅微加工技术 MEMS的制造材料主要是硅微电子材料及其它材料，硅微加工技术是MEMS 的核心技术。
硅微加工技术的主要工艺流程包括光刻、蚀刻、金属沉积、制膜、扩散、离子注入等。
2.压力传感器的制造工艺 MEMS的压力传感器主要采用压阻效应制作。
它的基本原理是利用极细硅悬臂梁作为传感器，在外界压力下悬臂梁弯曲，悬臂梁两端的电阻发生变化，进而反映出压力。
二、MEMS的应用 1.生物医学及生物传感技术应用MEMS技术制造的微型传感器，可以在细胞水平上检测微小的信号变化，诊断疾病、研究生物学行为。
2.汽车及工业应用汽车领域是MEMS技术的主要应用领域之一。
MEMS技术应用于汽车系统中，可以制造出精密的安全气囊、一个小孔的喷油嘴、传感器等元件。
3.消费市场在消费市场上，MEMS技术的应用范围同样广泛。
借助MEMS技术，可以生产出更小、更趋近于无形的产品，如MEMS振动器、MEMS加速计、MEMS麦克风。
总之，MEMS技术的应用范围和前景十分广阔，它在不断地为各个领域带来更多革命性的变革和新的想象空间。
同时，要想在MEMS领域取得更为显著的进展，需要更多的前沿科技、人才、资金等方面的支持和加速发展。
《微机电系统》课件 (2)
6. MEMS在生命科学中的应用
MEMS在生命科学领域具有广泛的应用前景。本节将介绍MEMS在医疗领域、 生物检测和环境检测中的应用案例，以及相关的技术发展和挑战。
7. MEMS未来的发展趋势
MEMS技术正在不断发展，为各行各业带来了巨大的影响。本节将回顾MEMS技术的发展历程，并展望未来的 发展方向和市场前景分析。
2. MEMS制造工艺
MEMS制造工艺包括生产MEMS器件所需的工艺流程和技术。本节将介绍常用 的MEMS加工工艺，以及在MEMS制造过程中可能面临的问题和解决方案。
3. MEMS传感器
MEMS传感器是一种将感知物理量转换为电信号的器件。本节将介绍MEMS传感器的基本原理，并重点讨论 MEMS压力传感器、加速度传感器、陀螺仪和微波传感器。
4. MEMS执行器
MEMS执行器是一种能够执行特定任务的器件。本节将介绍MEMS执行器的基本原理，并重点讨论MEMS振动器、 阀门和显示器。
5. MEMS系统集成
MEMS系统集成是将多个MEMS器件和其他电子元器件组合成一个整体系统的 过程。本节将介绍MEMS系统的集成方法、设计要点和未来发展趋势。
微机电系统 PPT课件 (2)
本课件将介绍微机电系统（MEMS）的概述、应用领域、制造工艺、传感器与 执行器、系统集成、在生命科学中的应用、未来发展趋势等内容。
1. 简介
微机电系统（MEMS）是一种将微电子技术与机械工程相结合的多学科交叉领域。本节将概述MEMS的定义、 发展历程和重要性，为后续内容打下基础。
8. 总结
本课件综合介绍了MEMS的概述、制造工艺、传感器与执行器、系统集成、在生命科学中的应用以及未来的发 展趋势。同时探讨了MEMS对未来的影响，以及提高MEMS技术研究和应用水平的挑战与机遇。
微机电系统压电陀螺仪技术研究
微机电系统压电陀螺仪技术研究一、引言微机电系统（MEMS）技术是在微纳米尺度下制备器件和系统的技术，将传感器、微处理器、无线通信等集成于极小的芯片上，可以实现高度集成、高精度、低功耗等特点，成为近年来研究热点之一。
压电陀螺仪是MEMS领域的一种典型应用，广泛应用于航空、导航、精密仪器等领域。
二、压电陀螺仪基本原理压电陀螺仪是一种基于压电效应的MEMS陀螺仪。
其工作原理是利用压电材料在外力作用下发生变形，从而感应出材料上的电荷变化，进而测量出转动角速度。
压电材料常用的有晶体硅、PZT、AlN等，其中PZT（铅锆钛）是目前使用最广泛、性能最优的一种压电材料。
压电陀螺仪相对于其它类型的MEMS陀螺仪而言，具有响应速度快、抗振动强、寿命长等优点。
三、压电陀螺仪工作流程压电陀螺仪的工作流程通常包括几个关键过程：机械振动、电荷感应、信号放大等。
在机械振动方面，当压电材料受到旋转力矩作用时，会发生机械弯曲振动。
在电荷感应方面，当振动的压电材料偏离其原始位置时，其上的电荷发生变化，进而产生感应电荷。
最后，收集和放大感应电荷，可以得到陀螺仪的输出信号，并反映出陀螺仪的转动角速度。
四、压电陀螺仪性能优化尽管压电陀螺仪具有很多优点，但其性能仍有待发展和优化。
下面介绍几种常见的性能优化方法。
1. 焊接技术：采用奥氏体或电子束焊接技术，可有效减少焊接过程产生的胶合剂和材料裂纹等问题，提高压力陀螺仪的可靠性和性能。
2. 制造工艺：采用硅工艺和MEMS技术制造陀螺仪，可以实现高度集成、小尺寸、低功耗等特点，提高压电陀螺仪的性能。
3. 电子组装：陀螺仪输出信号需要通过电子组装进行处理和解码，采用优质的数字信号处理器和模数转换器等电子元件，能够提高压电陀螺仪的精度和稳定性。
五、应用前景与展望随着MEMS技术的不断发展和陀螺仪技术的逐步成熟，压电陀螺仪在航空、导航、精密仪器和机器人等领域的应用前景日益广阔。
此外，随着智能手机、智能家居等新兴领域的快速发展，压电陀螺仪也将成为这些领域中重要的传感器之一。
微机电系统-MEMS简介.
1983年 集成化压力传感器 (Honeywell)
1985年 LIGA工艺 (W. Ehrfeld et al.) 1986年 硅键合技术 (M. Shimbo)
8:21 AM
12
8:21 AM
13
在军事上的应用
MEMS已在空间超微型卫星上得到应用 ,该卫星外形尺寸为 2. 54 cm ×7. 62 cm ×10. 6 cm,重量仅为 250 g 。2000年 1月 ,发射的两颗试验小卫 星是证明空基防御能力增强的一个范例。对小卫星试验来说幸运的是 ,因 其飞行寿命短 ,所以 ,暴露在宇宙辐射之下并不是关键问题。小卫星上基 于硅的 RF开关在太空应用中表现出优异的性能 ,这得益于它的超微小尺
2、MEMS在军事国防上的应用
3、MEMS在汽车工业上的应用
4、MEMS在医疗和生物技术上的应用 5、MEMS在环境科学上的应用
6、MEMS在信息技术领域中的应用
8:21 AM
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在汽车上的应用
MEMS传感器及其组成的微型惯性测量组合在汽车自动 驾驶、汽车防撞气囊、汽车防抱死系统（ABS）、减震 系统、防盗系统等。GPS定位系统。 *在汽车里作为加速表来控制碰撞时安全气囊防护系统 的施用 * 在汽车里作为陀螺来测定汽车倾斜，控制动态稳定 控制系统 * 在轮胎里作为压力传感器。
8:21 AM
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影像工作站
OMOM胶囊内镜的工作原理是：患者像服药一样用水将智 能胶囊吞下后，它即随着胃肠肌肉的运动节奏沿着胃→十 二指肠→空肠与回肠→结肠→直肠的方向运行，同时对经 过的腔段连续摄像，并以数字信号传输图像给病人体外携 带的图像记录仪进行存储记录，工作时间达6～8小时，在 智能胶囊吞服8～72小时后就会随粪便排出体外。医生通过 影像工作站分析图像记录仪所记录的图像就可以了解病人 整个消化道的情况，从而对病情做出诊断。 优点: 操作简单:整个检查仅为吞服胶囊、记录与回放观察三个 过程。医生只需在回放观察过程中，通过拍摄到的图片即 可对病情做出准确判断。 安全卫生:胶囊为一次性使用，避免交叉感染 ;外壳采用不 能被消化液腐蚀的医用高分子材料，对人体无毒、无刺激 性 ,能够安全排出体外。 扩展视野:全小肠段真彩色图像清晰微观，突破了小肠检 查的盲区，大大提高了消化道疾病诊断检出率。 方便自如:患者无须麻醉、无须住院，行动自由，不耽误 正常的工作和生活。
微机电系统的新型传感器设计与应用
微机电系统的新型传感器设计与应用微机电系统（Micro-Electro-Mechanical Systems，简称MEMS）是一种集电子、机械和传感器于一体的微小尺寸装置，广泛应用于诸多领域。
本文将重点讨论微机电系统中新型传感器的设计与应用。
第一部分：新型传感器的设计新型传感器的设计需要考虑多个因素，包括传感器的尺寸、灵敏度、可靠性和成本等。
微机电系统的优势在于其小尺寸和集成化特性，可以实现更小型化的传感器设计。
例如，利用MEMS技术可以制造出微小的加速度传感器，可广泛应用于智能手机和移动设备中。
另一个关键因素是传感器的灵敏度。
通过优化材料选择和结构设计，可以提高传感器的灵敏度。
例如，利用纳米材料制备的压力传感器具有更高的灵敏度和响应速度，可被应用于医疗和生物领域。
传感器的可靠性也是设计过程中需要关注的一个方面。
传感器常常需要在复杂环境下工作，如高温、高压和强震动等。
因此，新型传感器的设计必须考虑到对这些环境的适应性和可靠性。
例如，利用纳米材料的特殊性质，可以制造出具有高温抗性和耐腐蚀性的传感器。
在设计过程中，成本也是一个不可忽视的因素。
尽管MEMS技术降低了传感器的成本，但仍然需要寻求更经济高效的设计。
例如，采用新型的制造工艺和材料可以减少传感器的生产成本，实现更大规模的生产。
第二部分：新型传感器的应用新型传感器的设计可以应用于各种领域。
其中一个重要应用是智能健康监测。
借助MEMS技术，可以制造出微型血压传感器、心电图传感器和血糖监测传感器等。
这些传感器可以实时监测人体的生理指标，并将数据传输给移动设备进行分析和处理，为用户提供健康状态的实时反馈和预警。
另一个应用是环境监测。
新型传感器可以用于检测空气质量、水质和土壤污染等。
通过将这些传感器网络化，可以实现对大范围区域的环境监测和数据收集。
这对于环境保护和资源管理具有重要意义。
此外，新型传感器还可以应用于智能交通系统中。
通过在车辆上安装高精度的传感器，可以实现智能驾驶和交通流优化。
微机电系统(mems)研究报告
微机电系统(mems)研究报告
微机电系统（MEMS）是一种将微米（微薄）尺度的机械系统与先
进的微电子技术和纳米加工技术相结合的领域。
它是一个综合性的交
叉学科，包括机械工程、电子工程、材料科学等多个领域。
MEMS通常
用于制造微型设备以及各种传感器、执行器、微机械系统等。
MEMS技术的发展始于20世纪60年代。
在此之前，人们只能制造出很大的电气机械系统。
然而，伴随着硅微米加工技术的进步，科学
家们终于有能力制造出微型机器。
现在，MEMS技术已经得到广泛应用，例如气体传感器、压力传感器、光学器件、生物传感器等。
MEMS设备的制造非常复杂。
尽管它的大小很小，但有时候需要数百步的加工流程，这通常需要利用高精密的光学和电子设备。
MEMS技
术还需要涉及到虚拟与实际的领域，制造出来的设备通常都需要通过
计算机模拟来测试性能，同时还要回到实验室进行物理实验。
MEMS技术不仅在实验室中被应用于研究，其实在各个领域都有应用。
这些应用通常涉及到小型手机、传感器、医学诊断等领域。
综上所述，MEMS技术代表了一个快速发展的领域，它的出现大大扩展了微电子技术的应用。
这种技术对于现代社会的重要性越来越广泛，它的不断发展和创新相信也会带来更多的惊喜和可能性。
微机电系统参考答案
微机电系统参考答案1. 引言微机电系统（Microelectromechanical Systems，MEMS）是一种集成了微机电器件和微电子器件的系统。
它结合了微纳制造技术、微电子技术和传感器技术，可以在微米尺度上实现电机、传感器、执行器和电子控制器的集成。
本文将介绍微机电系统的基本原理、应用领域以及未来的发展方向。
2. 微机电系统的基本原理微机电系统的基本原理是利用微纳制造技术制作微尺度的机械和电子器件，并将它们集成到一块芯片上。
通过控制电信号，可以实现对微机电器件的操控和控制。
微机电系统的核心是微机电器件，它包括微机械部件和微电子部件。
微机械部件主要由微压力传感器、微加速度传感器、微惯性导航传感器等组成，它们可以实现对外界的感知和控制。
微电子部件主要由微处理器、存储器和通信接口组成，它们负责处理和传输数据。
微机电系统的工作原理是通过电信号来操控和控制微机电器件。
当外界有力信号作用于微机械部件时，微机械部件会产生微小的变形。
这个变形可以通过微电子部件进行检测和放大，最终转化为电信号。
3. 微机电系统的应用领域微机电系统在很多领域都有广泛的应用，包括医学、汽车、电子设备等。
3.1 医学领域在医学领域，微机电系统可以用于实现微创手术和诊断。
通过将微机电器件集成到手术工具中，可以实现对手术器械的精确操控和控制。
另外，微机电系统还可以实现对患者生理指标的监测和记录，用于疾病的诊断和治疗。
3.2 汽车领域在汽车领域，微机电系统可以用于实现汽车的智能控制和安全监测。
通过将微机电器件集成到汽车中，可以实现对汽车的运行状态和环境条件的监测和控制。
例如，通过加速度传感器可以实时监测汽车的加速度和姿态，从而实现对车辆的稳定控制。
3.3 电子设备领域在电子设备领域，微机电系统可以用于实现电子设备的小型化和功能增强。
通过将微机电器件集成到电子设备中，可以实现对设备的感知和控制。
例如，通过压力传感器可以实时监测设备的压力变化，从而实现对设备的自动调节和控制。
《微机电系统》课件
02
《微机电系统设计与制造》
03
《微机电系统应用》
THANKS
详细描述
新型的微型陀螺仪采用先进的微 制造工艺和新型材料，具有更高 的灵敏度和稳定性。未来，随着 技术的进步和应用需求的增长， 微型陀螺仪的发展前景将更加广 阔。
微型加速度计
总结词
详细描述
总结词
详细描述
微型加速度计是一种用于测 量物体运动状态的传感器， 也是微机电系统的重要应用 之一。
微型加速度计被广泛应用于 汽车安全气囊系统、手机游 戏控制、医疗器械等领域。 由于其具有体积小、重量轻 、响应速度快等优点，微型 加速度计在许多领域都得到 了广泛应用。
详细描述
微机械结构采用微型化的加工技术制作而成，具有体积小、重量轻、精度高等特点。常见的微机械结构有连杆、 齿轮、轴承等，它们在微执行器、微传感器等元件中发挥着重要作用。
微控制器
总结词
微控制器是微机电系统中的控制中心，用于实现系统的智能化和自动化。
详细描述
微控制器是一种集成度较高的集成电路芯片，具有数据处理、控制输出等功能。在微机电系统中，微 控制器负责接收传感器信号、处理数据和控制执行器动作，从而实现系统的自动化和智能化。
测试方法
对封装好的微机电系统进行性能测试，以确保其满足 设计要求。
可靠性评估
对微机电系统的寿命和可靠性进行评估，以确定其在 实际应用中的表现。
04
微机电系统的应用实例
微流体控制系统
总结词
微流体控制系统是微机电系统的一个重要应用， 它利用微小的流体控制元件和控制电路对流体进 行精确控制。
总结词
微流体控制系统的优点在于其高精度、低能耗、 低成本和易于集成等特性，使得它在许多领域具 有巨大的应用潜力。
微机电系统(MEMS)
何谓微机电系统(MEMS)为了说明什么是微机电系统MEMS (Micro Electro Mechanical Systems)，首先来解释一下什么是机电系统。
20多年以前，汽车还是一个单纯的机械系统，后来随着电子技术的发展，汽车的很多零部件(例如电子点火器、燃油电子喷射装置、电控自动变速箱等)都依靠电子系统进行控制，因此现在的汽车实际上就是一个大的机械电子系统。
而微机电系统则是指微小的机械电子系统，例如比一粒花生米还要小的飞机或汽车，是由很多只有几百微米大小的零件组成的，而这些零件是用微电子等微细加工技术制备出来的，既包含机械部件又包含电子部件，因此我们称这类微小的机械电子系统为微机电系统。
微机械电子系统是微电子技术的拓宽和延伸，它是将微电子技术和精密机械加工技术相互融合，并将微电子与机械融为一体的系统。
MEMS将电子系统和外部世界有机地联系起来，它不仅能感受运动、光、声、热、磁等自然界的外部信号，使之转换成电子系统可以识别的电信号，而且还能通过电子系统控制这些信号，进而发出指令，控制执行部件完成所需的操作。
MEMS主要包含微型传感器、执行器和相应的处理电路三部分。
作为输入信号的自然界各种信息首先通过传感器转换成电信号，经过信号处理以后(模拟/数字)再通过微执行器对外部世界发生作用。
传感器可以把能量从一种形式转化为另一种形式，从而将现实世界的信号(如热、运动等信号)转化为系统可以处理的信号(如电信号)。
执行器根据信号处理电路发出的指令完成人们所需要的操作。
信号处理器则可以对信号进行转换、放大和计算等处理。
美国AnalogDevice公司已经研制出很多种将集成电路与MEMS集成在一起的集成微加速度计、微陀螺等产品。
MEMS技术是一种典型的多学科交叉的前沿性研究领域，它几乎涉及到自然及工程科学的所有领域，如电子技术、机械技术、光学、物理学、化学、生物医学、材料科学、能源科学等。
MEMS技术的目标是通过系统的微型化、集成化来探索具有新原理、新功能的元件和系统。
微机电系统(MEMS)的学习
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?光传感方式?成像系统(Imager)➢CCD➢CMOS?发光系统➢LED➢半导体激光器➢等离子➢生物发光?光调节器
传统的光传感器
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电容式微加速度计
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光学MEMS器件?定义➢Optical Transducers , MOEMS, Optical MEMS?分类➢传统的光传感器 、转换器√光传感 、成像 、发光器件（光电子） ➢利用光进行传感的器件√位置传感器 、光谱仪 、DNA芯片➢利用微机械加工方法形成的器 、环境 监控 、汽车都有广泛应用。2000年有120- 140亿美元市场相关市场达1000亿美元
2年后市场将迅速成长分子和原子级加工
MEMS 从顶层向下
大机器加工 小机器 , 小 机器加工微 机器
• 从底层向上
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用微电子加 工技术MEMS系统
•
. 9
MEMS技术的应用?在生物医学方面 , 将光 、机 、 电 、液、生化等部件集成在一起 , 构成一个微型 芯片实验室 , 用于临床医学检测 , 为医 生甚至家庭提供简单 、廉价 、准确和快 捷的检测手段?光显示 、 高密度存储 、汽车 、 国防等微 系统
惯性器件?加速度计➢压阻式加速度计➢电容式加速度计 ➢压电式加速度计
•. 8
惯性器件
•. 9
研究领域?技术基础: 设计 、工艺加工(高深宽比多层微结构) 、微装配工艺 、微系统的测量等。?应用研究: 如何应用这些MEMS系统也是一 门非常重要的学问 。人们不仅要开发各种制造MEMS的技术 ， 更重要的是如何将MEMS器件用于实际系统 ， 并从中受益。
•. 5
体硅工艺
•. 4
?表面牺牲层与CMOS工艺集成➢ 结构单独制造 , 灵活性较大➢灵敏度高 、寄生小 、体积小➢简化封装和组装 , 可靠性高➢加工工艺复杂 , 成品率较低 ➢工艺兼容的材料种类较少
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（3）美国“龙眼”微型无人飞机 2003年，美伊战争中正式使用，是一款全自
动、可返回、手 持发射的微型飞机。飞行重量2.3kg，锂电池供 76km/h的时速飞 行1小时。噪声低于42-45分贝，15装并发射，可
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通过戴在手腕上的屏幕观察到相关信息。
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（2）以色列 “云雀” 微型侦察无人飞机
机长1.1m，翼展1.5m，重6kg，作战半径10km，持 续飞行时间 90min。
该机为便携式、电驱动的战术巡逻型监视侦察平台, 全系统包括无人机、两个发射筒、一个膝上任务控制台,
可由两名士兵携带。系统可重复使用，可在开阔地、 城市战的环境、封闭的环境，或从机动地面平台上发射。
有必要对微动力学、微流体力学、微热力学、微 摩擦学、微光学、微结构学进行深入的研究。
这方面的研究虽然受到重视，但难度较大，往往 需要多学科的学者进行基础研究。
7
(2)技术基础 MEMS的技术基础可分为以下几个方面: ① 设计与仿真技术 ② 材料与加工技术 ③ 封装与装配技术 ④ 测量与测试技术 ⑤ 集成与系统技术
微电子概论
肖国玲 主编
第5章 微机电系统 （MEMS）
2
信息系统微型化
– 系统体积大大减小 – 性能、可靠性大幅度上升 – 功耗和价格大幅度降低
信息系统的目标------微型化和集成化
– 微电子解决电子系统的微型化 – 非电子系统成为整个系统进一步缩小的关键
3
控制部分 电子学
机械 部分 传感 执行
卫星通过向太空发射带电粒子束，或者仅靠一个放 射性同位素放射带电粒子的方式，“洛伦兹力”与其飞 行方向形成一定的垂直角度，作用到此卫星上，从而 推动此卫星飞行。
洛伦兹力：运动电荷在磁场中所受到的力称为洛伦兹力，即磁场对运动电荷的作用力。洛伦
兹力的公式为F=QvB。荷兰物理学家洛伦兹首先提出了运动电荷产生磁场和磁场对运动电荷有作
微电子学
MEMS
4
MEMS：Micro Electromechanical System
微电子机械系统： 集微型传感器、执行器以及信号处理和控
制电路、接口电路、通信和电源于一体的微型 机电系统。
MEMS特点: 微型化，智能化，多功能，高集成度，适
于大批量生产。
5
MEMS技术通过系统的微型化和集成化，探索具有
新原理、新功能的元件和系统。 MEMS 技术是多学科交叉的前沿性研究领域，几乎
涉及到自然及工程科学的所有领域。如：电子、机械、 物理学、化学、生物医学、材料科学、能源科学等。
研究内容可归纳为以下 3 个基本方面。
6
(1)理论基础
在当前 MEMS 所能达到的尺度下，宏观世界基本 的物理规律仍然起作用，但尺寸缩小会使得许多物理 现象与宏观世界有很大区别，许多原来的理论基础都 会发生变化。如：力的尺寸效应、微结构的表面效应、 微观摩擦机理等。
8
(3)应用研究
最重要的是将MEMS技术与航空航天、信息通 信、生物化学、医疗、自动控制、消费电子以及 兵器等应用领域相结合,制作出符合各领域要求 的微传感器、微执行器、微结构等MEMS器件与系 统。
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代表性的微飞行器 （1）美国“银狐”微型无人飞机
机长1.8m，翼展2.5m，重8.6kg，120km/h的速度可 持续飞行4-6h。 机身用玻璃纤维制做，使用标准飞行发 动机，利用机腹着陆。机翼为可拆卸式，可分解装在一 个大高尔夫球袋内。飞机配带微型摄像机和全球定位系 统，已装备在美国海军陆战队。
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（2）“翅果”
美国海军设计的转换式微型无人机。 采用一对单桨叶翼片，固定在两个共轴传动轴根上。 低速飞行时，驱动翼片由反向对转桨叶产生升力； 固定翼飞行时，两个翼片互相相对而停，变成停转桨翼。
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（3） “昆虫机”
乔治亚理工研究院和剑桥大学研制的“昆虫机” 。 使用基于往复化学肌肉的动力装置，把化学能变 为动能。“昆虫机”重量为50克。 演示机翼拍打频率 为10Hz，1立方厘米燃料可以推动100克的昆虫机飞行32 秒。
计划制造一台在100公里高度上每个像素的分辨率为7米、具 有飞行功能的微型相机。使用2000×2000像素的低噪声CCD阵列， 探测器阵列面积可缩减至1.2平方厘米，集成到一个图像处理圆片 上，重量可小于1公斤。
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美国提出不用燃料的微型卫星
由美国宇航局投资的一个项目正在开发一种微型卫 星，将由地球磁场来驱动其推进系统。
飞行航时为20～60分钟，距离大于5千米。巡航速度为每小 时56千米，高度为15--90米。提供识别一般人大小目标的图像。 通过无线电通信把信息传送地面控制板。
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（7）铅笔大小的美国“黑寡妇”微型机
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形状各异的微型机
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神奇的扑翼机
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（1）“微型蝙蝠”
加州理工学院研制的微型扑翼机，电池为动力。 钛合金骨架蒙以聚合物薄膜构成机翼，包括电池、直流支 流变流器、减速器、扑动传动机构的轻型动力传输系统。 飞行航时已达5至20秒。
用力的观点，为纪念他，人们称这种力为洛伦兹力。
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“航天清华一号”微小卫星
“航天清华一号”微小卫星是具有遥感、通信、 无线电信号分析和科学实验载荷的微小型航天器。重 量轻(50公斤），2000年6月在俄罗斯成功发射运行。
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（4）哈佛大学的“机器苍蝇”
具有和苍蝇相同的主要飞行结构，重约43毫克，直径5－10毫 米，身体用纸一样薄的不锈钢制成，翅膀用聚酯树脂做成，由太阳 能电池驱动，微型压电石英驱动器以每秒180次的频率扇动它的4只 小翅膀。
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美国宇航公司纳米技术的专家们认为，用ＭＥＭＳ技术使现 有卫星分系统和部件微型化，即可研制有较强功能的微型卫星。
(4)美国”黄蜂”微型飞行器
翼展38cm，燃料充足时140g，每次飞行15min。地面通过无 线电控制其节流阀、方向舵、飞行高低和飞行速度，用燃料电池 作动力。
由地面的无线电控制装置进行调节。黄蜂增强型可携带一台 简单自动驾驶仪和一台彩色摄像机。
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（5）美国 “微星”无人机
设计重量100克，总电功耗是15瓦。机身重为7克，电子组件 重量6克，照相机/镜头总重4克，电动机及其螺旋桨的共重为20 克。