三维形貌测量仪X - 360文档中心

三维形貌仪测量原理

三维形貌仪测量原理
三维形貌仪是一种用于测量物体表面形貌的仪器。

它基于光学原理，通过记录光线在物体表面的反射或散射来获取物体的三维形状信息。

三维形貌仪的测量原理主要包括以下几个步骤：
1. 光源发射：三维形貌仪通过发射光源（如激光或白光）照射在物体表面，光源发射出的光线传播到物体表面。

2. 光线反射/散射：光线照射到物体表面后，根据物体表面的
性质，光线可能会有反射或散射现象。

其中，反射光线的方向与入射光线的方向相对称，散射光线的方向则随机分布。

3. 光线收集：三维形貌仪通过相机或其他光学探测器收集物体表面反射或散射的光线。

收集到的光线会通过光学系统进入成像系统。

4. 成像：收集到的光线经过光学系统的聚焦和成像处理，最终形成物体表面的图像。

成像系统可以利用单一的相机或多个相机进行成像。

5. 图像分析：通过对物体表面图像进行分析处理，可以得到物体表面的三维形貌信息。

常用的分析方法包括三角剖分法、相位测量法、结构光法等。

通过以上测量原理，三维形貌仪可以实现对物体表面的高精度、非接触式的三维形貌测量。

它在工业、制造、科学研究等领域中广泛应用，可用于表面质量检测、产品设计、模具制造、雕刻等方面。

美国NANOVEA公司的三维非接触式表面形貌仪

美国NANOVEA公司的三维非接触式表面形貌仪一、产品简介美国NANOVEA公司是一家全球公认的在微纳米尺度上的光学表面轮廓测量技术的领导者，生产的三维非接触式表面形貌仪是目前国际上用在科学研究和工业领域最先进表面轮廓测量设备，采用目前国际最前端的白光轴向色差原理（性能优于白光干涉轮廓仪与激光干涉轮廓仪）对样品表面进行快速、重复性高、高分辨率的三维表面形貌、关键尺寸测量、磨损面积、磨损体积、粗糙度等参数的测量。

二、产品分类该公司的三维非接触式表面形貌仪主要有4款：JR25、PS50、ST400与HS1000（区别见技术参数）：JR25便携式三维表面轮廓仪：野外操作或不可拆卸部件的理想选择·便携式表面形貌仪·结构紧凑，性价比高·替代探针式轮廓仪和干涉式轮廓仪·应用范围广·测量范围：25mm×25mmPS50表面轮廓仪：科研单位与资金不足企业的最佳选择·性价比高·结构紧凑·替代探针式轮廓仪和干涉式轮廓仪·应用范围广·测量范围：50mm×50mmST400表面轮廓仪：·应用范围广·适合大样品的测试·测量范围：150mm×150mm·360O旋转工作台·带彩色摄像机（测量前可自动识别特征区域）HS1000表面轮廓仪：·适用于高速超快自动测量场合·超高的扫描速度（可达1m/s，数据采集频率可达31KHz，最高可达324KHz）·能保证超高平整度和稳定性（花岗石平台）三、测量原理简介：Nanovea 公司的三维非接触式表面形貌测量仪采用的是国际最前端的白光轴向色差技术技术实现先进的高分辨率的三维图像扫描与表面形貌测量。

•利用白光点光源，光线经过透镜后产生色差，不同波长的光分开后入射到被测样品上。

• 位于白光光源的对称位置上的超灵敏探测器系统用来接收经被测样品漫反射后的光。

3D形貌仪操作说明

Quick Guide
真空开/关如果 Live Video 窗口处于关闭状态，点击 “Display Live Image” 或 “Live Video” 可将其再次打开。点击 Crosshair/Scale 打开或关闭视频窗口的十字线 /标尺。点击 Grid 打开或关闭视频窗口的网格。点击”Freeze Video”可将当前视频保存为二维图像用来分析。 “Print/Save Screen”可将当前屏幕上的所有显示以指定的格式保存。 “Save Current to Stored”保存当前Z轴位置，以便稍后返回到这个位置。 “Set Current to Zero”设定当前Z 轴位置为相对0点。此时移动Z 轴，相对于0点的位移将显示于 “Save Current to Stored” 之上。
[Analysis] 用于二维和三维数据分析的主要界面。当扫描完成后, 分析窗会自动显示扫描结果。分析选项有三个主要视图: • Z View 3D • Z Analysis • Z View 2D
[Sequence] 此画面允许用户通过一个预先设好的序列自动地对样品上多个点进行扫描，选项包括： •启动新的序列 •加载现有的 MAP文件 •显示当前序列的 MAP 注解：序列扫描是升级选项。
Live Image
Right-click menu (右键菜单)
Quick Guide
Move to Center Screen 用鼠标点击视场内任何一点，然后按鼠标右击键，再选择Move to Center Screen 即可将所选位置移到视场中心 Create and add Location to Map 把当前位置的XY坐标存入Map
Live Image

一种三维形貌测量仪[发明专利]

专利名称：一种三维形貌测量仪
专利类型：发明专利
发明人：尹建华,张跃飞,屠金磊,马晋遥,唐亮,王晋,石文彬申请号：CN201910301563.7
申请日：20190416
公开号：CN109813226A
公开日：
20190528
专利内容由知识产权出版社提供
摘要：本发明公开了一种三维形貌测量仪，包括光学平台和设置于光学平台上的XY直线运动装置和设置有固定板的Z轴升降装置，XY直线运动装置用于带动样品放置单元在XY平面内做直线运动，Z 轴升降装置用于带动三维形貌检测装置上下运动；样品放置单元包括由下至上依次设置的水平调整台、X/Y轴压电陶瓷和样品台；三维形貌检测装置包括与固定板连接的位置检测单元、激光发生单元和探测单元，激光发生单元发出的激光聚焦在探测单元中探测元件的背面，并从探测元件的背面反射到位置检测单元上；或者，三维形貌检测装置包括设置在固定板上的触针固定板和设置于触针固定板上的触针测量仪。

本发明三维形貌测量仪结构简单，成本低，测量精度高。

申请人：山东中科普锐检测技术有限公司
地址：261061 山东省潍坊市高新区银枫路66号光电产业园第三加速器5座
国籍：CN
代理机构：潍坊正信致远知识产权代理有限公司
代理人：贾宝娟
更多信息请下载全文后查看。

3d测量仪

3D测量仪1. 介绍3D测量仪是一种用于测量三维物体尺寸、形状和位置的设备。

它采用先进的激光或光学技术，能够提供高精度和高速度的测量结果。

在制造业、科学研究和其他领域中，3D测量仪已经成为不可或缺的工具，用于检测产品的质量、进行模型分析和实时监测等。

2. 工作原理3D测量仪的工作原理基于激光或光学测量技术。

其主要步骤包括发射测量光束、受到物体反射或透射的光束、将光束转换为电信号并进行处理、计算物体的尺寸和位置等。

具体来说，3D测量仪通常会发射一束激光或光束，该光束会与物体相互作用。

通过测量光束与物体的交互过程中发生的变化，可以确定物体的尺寸和形状。

测量结果的精度取决于设备的精确度以及算法的准确性。

3. 分类根据不同的工作原理和应用领域，3D测量仪可以分为以下几类：3.1 激光三角测量激光三角测量是最常见的3D测量技术之一。

它利用激光光束射向目标物体，并测量光束射入和反射之间的角度和距离，从而计算出物体的三维坐标和尺寸。

3.2 结构光测量结构光测量技术使用光栅投影或编码投影，将一系列模式投射到目标物体上。

通过捕捉这些模式的形变，可以计算出物体的三维坐标和形状。

3.3 相位测量相位测量是一种使用光学干涉原理测量物体形状和表面纹理的方法。

它通过比较参考光波和测量光波之间的相位差异来确定物体的三维形状。

4. 应用领域3D测量仪在各个领域中有广泛的应用，包括但不限于以下几个方面:4.1 制造业在制造业中，3D测量仪被广泛应用于产品质量检测和检验。

它可以快速准确地测量产品的尺寸和形状，确保产品符合设计要求，并提高生产效率。

4.2 科学研究科学研究领域使用3D测量仪进行物体形状和尺寸的测量，用于研究材料性质、建模和仿真等。

例如，在生物学研究中，可以利用3D测量仪来测量细胞的大小和形状，以及研究细胞的结构和功能。

4.3 艺术与文化3D测量仪还可以用于艺术、文化遗产保护和数字化重建。

通过测量物体的三维形状，可以创建精确的数字模型，并进行虚拟展示和保护。

三维表面形貌仪(ST400

ST400三维表面形貌仪（美国NANOVEA
产品介绍：
ST400型三维表面形貌仪是一款多功能的三维形貌仪，采用国际领先的白光共聚焦技术，可实现对材料表面从纳米到毫米量级的粗糙度测试，具有测量精度高，速度快，重复性好的优点，该仪器可用于测量大尺寸样品，并具有多种选项，包含360°旋转工作台，原子力显微镜模块，光学显微镜，特征区域定位等多种功能模块。

·应用范围广
·适合大样品的测试
·测量范围：150mm×150mm
·360O旋转工作台
·带彩色摄像机（测量前可自动识别特征区域）
1355/ 2027/ 062 云
产品特性:
1，采用白光共聚焦色差技术，可获得纳米级的分辨率
2，测量具有非破坏性，测量速度快，精确度高
3，测量范围广，可测透明、金属材料，半透明、高漫反射，低反射率、抛光、粗糙材料(金属、玻璃、木头、合成材料、光学材料、塑料、涂层、涂料、漆、纸、皮肤、头发、牙齿…)；
4，尤其适合测量高坡度高曲折度的材料表面
5，不受样品反射率的影响
6，不受环境光的影响
7，测量简单，样品无需特殊处理
8，Z方向,测量范围大：为27mm
主要技术参数：
1，扫描范围：150mm×150mm(最大可选600mm*600mm)
2，扫描步长：0.1μm
3，扫描速度：20mm/s
4， Z方向测量范围：27mm
4， Z方向测量分辨率：2nm
产品应用：
MEMS、半导体材料、太阳能电池、医疗工程、制药、生物材料，光学元件、陶瓷和先进材料的研发。

3D形貌微结构测量用什么设备好？

3D形貌微结构测量用什么设备好？随着科技日新月异地发展，微小结构件的微观3D形貌测量技术也在不断变化，这就责促使相关企业，不断深耕市场需求、创新产品。

也只有这样，企业生产的产品才能不断地被市场认可，与此同时，企业的创新力才能不断被激活，最终才能实现其可持续发展。

深圳市大成精密设备有限公司作为专注于锂电池极片面密度及厚度在线无损检测的企业，经过多年的累积，深切懂得市场需求对产品乃至企业发展的重要意义。

研发的3D轮廓测量及分析仪专注测量微小结构件的微观3D形貌。

利用高精度2D位移传感器对被测物进行扫描，得到被测物表面轮廓相关数据后，对其进行各种矫正和分析，得出需要的高度、锥度、粗糙度、平面度等物理量。

如焊印毛刺是否过高，防爆阀是否安全等重要问题。

下面给大家介绍下3D轮廓测量及分析仪的应用：一、系统特性：1、设备用于测量微观三维形貌和表面特征分析2、支持一键式测量及分析，并自动生成测试报告3、系统测量高度可调，以适用不同厚度样品的3D测量二、极片3D波浪边测量1、设备能适应的被测物规格：有效测量宽度≤170mm有效扫描长度≤1000mm高度变化范围≤140mm2、测量精度：重复精度: ±0.1mm（3σ）X方向分辨率：0.1mmY方向分辨率：0.1mmZ方向分辨率：5um3、应用：极片分条后的波浪边测量，改设备可帮助识别分条导致的极片波浪边是否过大三、电池极耳焊印毛刺测量1、设备能适应的被测物规格：有效测量宽度≤8mm有效扫描长度≤150mm高度变化范围≤300um2、测量精度：重复精度: ±0.1um（3σ）X方向分辨率：10umY方向分辨率：10umZ方向分辨率：0.2um3、应用：电池极耳焊接焊印毛刺形貌测量，该设备可帮助识别焊接导致的毛刺是否过大，焊接头是否需要及时维修。

大成精密3D轮廓测量及分析仪的设计与实现，为微观三维形貌和表面特征分析提供可靠依据，降低了劳动强度，提髙了生产效率。

形貌仪的那些特点介绍

形貌仪的那些特点介绍形貌仪是一种常见的物理测试设备，在工业、医疗、环保等领域都有广泛应用。

它通过观测被测试物体的形貌、轮廓和表面特征，来判断其表面质量、精度等相关指标。

本文将就形貌仪的特点进行介绍。

精度高形貌仪采用的是光学成像技术，具备高分辨率、高精度等特点。

形貌仪将测试物体放置在测试台上，然后通过光线照射，将样品的形貌镶嵌在检测信号里，然后利用计算机算法来分析形貌，最后根据算法模型，提供测试结果。

由于光经定位，可以提供高精度的三维显影，因此形貌仪的精度远高于一般物理测试设备。

非接触式测试由于形貌仪采用了非接触式测试技术，不会对测试样品造成损伤或变形，同时也避免了测试样品污染或磨损的问题。

此外，非接触式测试还能够保证测试的准确性和可靠性。

因此，形貌仪不仅可以用于精密元件、测量薄膜、繁缕花加工技术中，还可以用于分析人类皮肤表面的纹理、成像分子等领域.测量参数多形貌仪还可用于多维形貌测量，在测试过程中可以获取众多数据。

主要的测量参数包括形貌、表面粗糙度、几何尺寸、轮廓、曲率等，还可以观测元件材料和样品之间等物性数据的连续性差异。

在初步测定测试领域内的物理现象、产生预测性建模方案以及制备和加工产品与元件时，这些参数可以提供非常有用的信息。

最终，这些信息对于测试时间和成本，以及材料选择和加工方案的最终偏差有着至关重要的作用。

操作简便与一些其他物理测试设备相比，形貌仪使用起来非常轻松，而且无需在操作过程中特别考虑操作员的技能。

这是由于通过自动化的计算机控制、自动对焦以及自动图像处理等技术来实现的，简单的操作界面使得使用者可以快速地获得测试数据，同时也提供了高度的精度和重复性。

在与插入该仪器的数据处理软件相配合时，能够保证容易得到正确的测试结果。

结论总的来说，形貌仪的特点在于其非接触式测试、精度高、测量参数多，同时还具有简便的操作界面，可以为国内外所在的繁琐领域提供常见的物理测试和研究数据。

此外，随着时代不断前进和技术发展，形貌仪所涉及的测试信息和测试应用也将愈发广泛，可能表现出更为出色的特点。

便携式三维形貌仪安全操作及保养规程

便携式三维形貌仪安全操作及保养规程前言便携式三维形貌仪（Portable 3D Profilometer），由于其非接触式光学测量技术和高精度数据采集和处理方式，被广泛应用于各种场合下的形貌表征。

而在使用该设备的过程中，注意安全操作和正确的保养方法，可以提高设备的寿命，减少维护成本和减少人员受伤的风险。

下文将详细介绍便携式三维形貌仪的操作和保养规程，以确保设备的正常运转和使用者的安全。

安全操作规程1. 给设备一个安全工作环境确认使用场合没有放置任何有害物质，保证设备周围通风，并确保设备放置在平稳、干燥的地方，并尽量避免长时间阳光曝晒。

2. 操作人员安全保障确保设备的使用者技术过硬，具有一定的经验，并按照规程操作设备。

3. 使用前的准备工作在使用三维形貌仪前，先进行外观检查，确认仪器的各部件完好无损、有无异味和杂音等。

若出现异常情况，应该尽快反应给制造商，再依照规程进行维修和保养。

4. 操作过程中的注意事项在操作中应根据规程进行操作。

1.在操作三维形貌仪时，必须佩戴静电手环、防护手套、防护眼镜、口罩等。

在操作之前应注意洗手，以避免人体汗液或油脂污染到设备，并要保证身体干燥，避免电离放电的发生。

2.操作人员在处理对样品的接触检查和保持样品的均匀提供下，在扫描等操作过程中，不能做过于急躁和强硬的动作，因为设备的广角度扫描会受到相应的影响。

3.使用三维形貌仪时，应该避免在毛发、灰尘和其他微小颗粒的周围操作。

在操作过程中要时刻注意设备偏离，从而调整设备的参照点，以保证整个操作过程的准确性。

4.若设备报警或异常情况发生，应立即停止操作并反映给制造商。

5. 操作完成后的注意事项操作完成后，要及时关闭设备和电源。

在设备变冷之前，不要移动设备，以免设备产生热缩收缩现象。

保养规程1. 日常保养1.每次使用完三维形貌仪后，应在设备上覆盖防尘罩，以免附在设备表面的异物进入作用的镜面部分。

2.在保养设备时，应该注意勿用带酸性或碱性的化学物质擦拭设备外壳。

如何选择三维形貌测量仪？

三维形貌测量仪如何选型？
三维形貌测量仪选型很重要。

那么如何选型了？
一，确定测量工件是什么？什么材质的，什么形状的，尺寸多大？
二，确定需要测量哪些参数，测量精度多少？
三，是否有特殊要求。

通过以上3点基本可以确定三维形貌测量仪的型号和配置了。

SuperView W1三维形貌测量仪是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。

它是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。

SuperView W1三维形貌测量仪
SuperView W1三维形貌测量仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件
等超精密加工行业及航空航天、国防军工、科研院所等领域中。

可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等，提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。

SuperView W1三维形貌测量仪应用。

NanoFocus三维表面形貌轮廓测量仪(共聚焦显微镜)运用于汽车材料检测、气缸内壁检测、钢板表面涂层检测

德国NanoFocus µsurf cylinder汽缸表面无损检测系统是世界上唯一的一款专为测量汽缸内壁设计的非接触式三维表面测量仪，并拥有超高光学分辨率和最全面广泛的三维表面形貌分析能力，被世界顶级的汽车厂商所应用。

下面为部分实际检测数据图。

汽车制造
曲柄轴
轴承
薄钢板
汽车外观检测
巴斯夫（BASF）作为NanoFocus合作用户，其研发的车身涂料检测，NanoFocus为其高品质产品带来简便
快捷且无任何破坏性的。

汽车制造未加工的和镀层的钢板
NanoFocus mobile（便携式三维形貌轮廓测量），基于其轻巧结构，方便携带至工厂、车间、实验室等几
乎任何地方检测，且受到周围环境影响微乎其微。

发动机气缸缸壁分析
国内应用厂商目前有上海大众，成都一汽，美捷特，中科院等汽车研究、应用方向众多客户。

缸壁磨损
德国NanoFocus 三维轮廓形貌测量仪（共聚焦显微镜）表面无损检测系统是世界上唯一的一款专为测量汽缸内壁设计的非接触式三维表面测量仪，并拥有超高光学分辨率和最全面广泛的三维表面形貌分析能力，被世界顶级的汽车厂商所应用。

美国NANOVEA公司的三维非接触式表面形貌仪资料

•最后将采集的数据交给专业的三维处理软件进行各种表面参数的分析。•软件能够自动获取用户关心的表面形貌参数。
四、产品技术优势
1．采用国际最前端的白光轴向色像差技术，可获得最小2nm的分辨率
2．测量具有非破坏性，测量速度快，精确度高
3．测量范围广，可测透明、金属材料，半透明、高漫反射，低反射率、抛光、粗糙材料(金属、玻璃、木头、合成材料、光学材料、塑料、涂层、涂料、漆、纸、皮肤、头发、牙齿…；
6、具有精确定位功能，可以从已经扫描的区域中重新精确扫描任意特定区域。
6.2专业3D
分析软件功能：
1、创建2D，3D图像；
2、自动得到样品的线粗糙度参数（Ra,Rp,Rv,Rz,Rc,Rt,Rq,Rsk,Rku），面粗糙度（Sa,Sp,Sq,Sv,Sz,Ssk,Sku），平整度，波纹度等参数；
3、自动校准功能，例如粗糙度，一般情况下对于曲面样品，首先展平，然后自动给出粗糙度的参数；
六、测试软件：
NANOVEA软件包含两个软件：NANOVEA 3D数据采集软件与专业的3D分析软件。
6.1 3D
数据采集软件功能：
1、可采集每一个测量点的XYZ三维坐标；
2、线扫描与面扫描两种模式可供选择；
3、可设置测量范围、测量步长、扫描速度等参数；
4、实时显示测量所需时间；
5、实时显示样品的2D图像与3D图像
·超高的扫描速度（可达1m/s，数据采集频率可达
31KHz，最高可达
324KHz）
·能保证超高平整度和稳定性（花岗石平台）
三、测量原理简介：
Nanovea公司的三维非接触式表面形貌测量仪采用的是国际最前端的白光轴向色差技术技术实现先进的高分辨率的三维图像扫描与表面形貌测量。

便携式三维形貌仪的功能特性

便携式三维形貌仪的功能特性在科技不断发展的今天，三维形貌检测仪被广泛地应用于各个领域中。

通过它们的帮助，我们可以对物体的表面进行非常精细的检测和分析。

而其中最引人注目的就是便携式三维形貌仪，它不论在外观还是功能上都经过了精心的设计与优化。

因此，本文将对便携式三维形貌仪的功能特性进行详细阐述。

1. 测量范围广便携式三维形貌仪具有广泛的测量范围，可以适用于许多不同类型的物体。

其测量范围可以覆盖从微型零件到大型工件等不同尺寸范围。

如此广泛的测量范围为用户带来了极大的便利，可以应用于多个行业中的自动化生产线、3D打印、等等。

2. 高精度的测量结果除了广泛的测量范围之外，该仪器的精度也是非常高的。

它可以提供高精度的测量结果，可以对物体进行细微的测量和分析。

因此，可以帮助用户更加准确地了解物体的表面形貌和结构，为后续优化工作提供数据支持。

而这种高精度的测量结果也意味着该仪器能够满足各种复杂的检测任务。

3. 简单易用的操作方式尽管该仪器的功能和性能非常强大，但其操作却非常简单易用。

凭借其用户友好的设计，用户可以轻松地使用该仪器进行3D形貌检测，并且不需要具有专业的技能或知识。

因此，即使是一个不熟悉该仪器的人也可以快速上手，为工作节省时间和成本。

4. 便捷携带与其他型号不同，便携式三维形貌仪具有便利的携带方式。

它的设计非常简洁，重量轻盈，用户可以轻松地将其航空托运或背负在肩上进行移动。

因此，用户可以将该仪器带到需要检测的场所，而不必担心航空运输或搬运等问题。

5. 自动化测量便携式三维形貌仪还具有自动化测量的功能。

借助于这个功能，该仪器可以快速地完成物体的测量和分析，提高工作效率。

在自动化测量过程中，用户无需人工干预，只需等待结果即可。

在高速生产中，自动化测量可以大量减少人力成本并提高效率。

6. 良好的稳定性便携式三维形貌仪还具有良好的稳定性。

它拥有先进的结构设计和材料使用，可以保证在实际使用过程中具有较高的机械稳定性和错误检测率。

使用全息测量仪进行三维表面形貌测量方法

使用全息测量仪进行三维表面形貌测量方法近年来，全息测量仪作为一种新兴的三维表面形貌测量方法，受到了广泛关注和应用。

全息测量仪能够以非接触、快速、精确的方式获取物体的表面形貌信息，为各个领域的研究和应用提供了强有力的工具支持。

本文将重点阐述全息测量仪的工作原理、测量方法以及在不同领域的应用。

全息测量仪的工作原理是基于光学全息的原理。

光学全息是指通过记录光的相位和振幅信息，使得在光学全息记录介质上的记录波前能够重构出被记录物体波前的一种技术。

全息测量仪利用光波经过物体时的衍射现象，通过记录光波的相位信息来获取物体的表面形貌。

全息测量仪通常由光源、物体平台、相机以及数据处理系统组成。

在全息测量中，首先需要选取适当的光源。

常见的光源包括激光光源和白光源。

激光光源的特点是具有高亮度、高一致性和高方向性，能够提供稳定的光源，适合进行高精度的测量。

白光源由于具有连续的波长分布，能够提供更丰富的信息，适用于获取物体的颜色和纹理等表面特征。

在全息测量中，物体平台承载待测物体，并保持物体的稳定。

物体平台通常具有微调功能，能够实现物体在不同方向上的旋转和平移，以便于全面测量物体的表面形貌。

相机是全息测量的重要组成部分，用于记录光波的相位信息。

常见的相机有CCD相机和CMOS相机，它们具有高灵敏度、高分辨率的特点，能够满足全息测量的要求。

要进行全息测量，首先需要进行全息干涉记录。

全息干涉记录是指将待测物体和参考光束进行干涉，记录光波的相位信息。

在全息测量仪中，干涉记录的方式通常有直接记录和间接记录两种。

直接记录是指通过将参考光束和物体光束同时照射到感光介质上进行记录；间接记录是指先记录物体光束的干涉图像，然后再通过参考光束进行重构。

不论是直接记录还是间接记录，都需要一系列的光学元件来引导和调整光路，以获得所需的干涉图像。

得到干涉图像后，需要通过数码图像处理技术对图像进行处理和分析，以获取物体的表面形貌信息。

数码图像处理技术主要包括图像采集、预处理、相位重构和形貌提取。

三维形貌测量仪设计流程

三维形貌测量仪设计流程
1. 需求分析
- 确定测量仪的应用领域和目标
- 分析测量对象的特征和测量要求
- 确定测量精度、分辨率和测量范围等关键指标
2.系统选型
- 选择合适的测量原理和技术方案
- 确定光学系统、机械结构和控制系统等主要组成部分 - 评估不同方案的优缺点并进行权衡
3.硬件设计
- 光学系统设计
- 镜头选型和优化
- 光源选择和布置
- 成像质量分析和优化
- 机械结构设计
- 运动机构设计
- 结构强度和刚性分析
- 热分析和补偿机制设计
- 电子硬件设计
- 控制系统设计
- 数据采集和处理电路设计
- 电源和接口电路设计
4.软件开发
- 算法设计和实现
- 图像处理算法
- 三维重构算法
- 数据融合和优化算法
- 控制软件开发
- 运动控制模块
- 数据采集和处理模块
- 用户界面和交互模块
5.系统集成和测试
- 硬件集成和调试
- 软件集成和测试
- 整机测试和性能评估
- 环境适应性测试
6.优化和改进
- 根据测试结果优化系统设计 - 持续改进算法和软件
- 提升测量精度和效率
7.文档撰写和培训
- 编写技术文档和用户手册
- 提供系统操作和维护培训
8.生产和交付
- 小批量生产和测试
- 大规模生产和质量控制
- 产品交付和售后服务
以上是三维形貌测量仪设计的一般流程,具体步骤和内容可根据实际情况进行调整和优化。

设计过程中需要注重系统集成、性能优化和用户体验,确保最终产品满足应用需求。

一种微米级三维形貌测量仪[实用新型专利]

专利名称：一种微米级三维形貌测量仪专利类型：实用新型专利
发明人：王孟哲,吴洋,梁正南,李恩全申请号：CN201921058741.X
申请日：20190709
公开号：CN210219174U
公开日：
20200331
专利内容由知识产权出版社提供
摘要：本实用新型涉及表面形貌测量设备领域，具体地说，涉及一种微米级三维形貌测量仪，其包括载物平台以及载物台角度调节装置；载物台角度调节装置包括安装基台，安装基台的上表面设有与载物平台间隙配合的安装台阶，安装基台内设有调节机构安装腔，安装台阶的底面的四个边角处设有通孔，载物平台下方设有与通孔间隙配合的第一安装柱，第一安装柱上设有外螺纹，调节机构安装腔中可转动的底端固定在调节机构安装腔底壁的第一转轴；第一转轴的上方设有位于通孔内的第二安装柱，第二安装柱上设有盲孔，盲孔的内壁上设有与外螺纹相配合的内螺纹；调节机构安装腔中设有用于驱动第一转轴的转轴组。

本实用新型较佳的实现了对于载物平台的调节。

申请人：宁波九纵智能科技有限公司
地址：315300 浙江省宁波市慈溪市附海镇观附公路402号
国籍：CN
代理机构：合肥初航知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：金娟娟
更多信息请下载全文后查看。