喷射式真空泵设计

毕业设计任务书
题目喷射式真空泵设计
专业机械设计制造及其自动化学号姓名
主要内容：本次设计通过对喷射式真空泵的原理和结构的了解，从而对泵的抽气量、工作蒸汽消耗量、抽气时间等主要性能参数进行了选择设计和计算，同时对拉瓦尔喷嘴和扩压器等零部件的几何尺寸进行了设计计算。

本次设计选取了蒸汽作为喷射泵的工作介质，蒸汽喷射式真空泵具有结构简单、工作稳定、使用寿命长等优点，同时也大大地缩短了泵的抽气时间，提高了泵的工作效率。

基本要求：
本设计要求是泵的实际工作工作压力为105～1.3×104Pa，允许的极限压力（极限真空度）不低于 6.5×103Pa。

主要性能参数为：泵的进口处压力为
P
1=0.075MPa，泵的排出压力P
4
=0.11 MPa，工作条件连续，工作寿命10年（每
年工作300天），两班制。

主要参考资料：
[1] 余国琮. 化工机械工程手册（中卷）[M]. 化学工业出版社, 2003: 223-237.
[2] 葛中民. 机械设计基础[M]. 北京：有色金属工业出版社, 1995: 51-60.
[3] 高香院. 现代低温泵[M]. 西安: 西安交通大学出版社, 1990: 21-23.
[4] 梅剑珊. 氧化铝生产工艺[M]. 北京: 有色金属工业出版社, 1990: 55-59.
[5] 杨惠霞. 泵用干气密封技术及应用研究[J]. 流体机械, 2005, 11(3): 24-29.
[6] 陈立德. 机械基础课程设计指导书（第二版）[M]. 北京: 高等教育出版设, 2004: 16-23.
[7] 刘应书, 杜雄伟, 赵华. 富氧空调的可行性[J]. 暖通空调, 2006: 11-14.
完成期限：2013.12-2014.5
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年月日
喷射式真空泵设计
摘要
喷射式真空泵是利用泵流动时流体的动能与静压能相互转化的原理来吸送流体的，工作介质可以是气体，也可以是液体。

本设计采用的工作介质是水蒸气。

蒸汽喷射式真空泵具有结构简单，性能稳定可靠，启动快，无污染等特点。

本文介绍了蒸汽喷射式真空泵的工作蒸汽压力、极限压力、吸入气体量等性能参数、工作原理及结构组成等。

并且针对喷射式真空泵的总体结构进行了基本设计，包括基本性能参数的选择计算，拉瓦尔喷嘴以及扩压器的尺寸设计计算。

同时还给出了该泵使用时的安装方案，检修和排查故障方法以及后期维护措施等。

通过严格设计计算，从而设计出了与生产相匹配的蒸汽喷射泵，这与传统意义上的真空泵相比较，不仅提高了泵的产能和运转周期，而且还降低了泵的各项消耗。

关键词:喷射泵；原理；设计计算
JET PUMP DESIGN
ABSTRACT
Jet pump is used to suction fluid with the principle that the fluid static pressure energy can convert to the kinetic energy mutually when the pump flow, which the working media could be gas or liquid. Water vapor is selected as working media in this design. The steam jet vacuum pump has several advantages such as simple structure, reliable performance, start fast, no pollution and so on. In this article, the working principle, the structure and the performance parameters of steam jet vacuum pump like the working pressure of steam, the extreme pressure, the amount of gas inhalation and others are described. And the overall structure of jet pump is basic designed, include the selection and calculation of basic performance parameters, the size calculation of the Laval nozzle and the diffuser. At the same time, the installation program when the pump using, the maintenance and troubleshooting methods, and the later maintenance measures are given. The jet pump that matches the production is designed by rigorous calculation. This pump improves the production capacity and operating cycle, and also reduces the consumption by comparing with the vacuum pump in the traditional sense.
KEYWORDS:Jet pump ;Principles;Design calculations
目录
摘要 (I)
ABSTRACT (II)
1 前言 (1)
1.1真空泵的发展历程及趋势 (1)
1.2真空泵的分类 (3)
2 真空泵概述 (7)
2.1蒸汽喷射式真空泵的工作原理 (7)
2.2蒸汽喷射式真空泵的结构组成 (7)
2.3蒸气喷射真空泵的分类 (8)
2.4蒸汽喷射式真空泵的特点 (8)
2.5影响真空泵能力的主要因素分析 (9)
2.5.1对工作蒸汽及其干度的分析 (9)
2.5.2对循环冷却水要求的分析 (9)
2.5.3对真空泵系统密封要求的分析 (10)
2.5.4对喷嘴要求的分析 (10)
3 蒸汽喷射式真空泵性能参数的选定与计算 (11)
3.1蒸汽喷射泵结构设计背景 (11)
3.2真空泵的设计要求 (12)
3.3设计计算的条件假定 (13)
3.4设计条件 (13)
3.5.1 真空度计算 (14)
3.5.2 真空泵被抽气体量、膨胀比以及压缩比的计算 (15)
3.5.3 喷射系数的确定 (16)
3.5.4 喷射泵工作蒸汽量的计算 (16)
3.5.5 喷射泵抽气时间的计算 (17)
4 蒸汽喷射式真空泵结构组成与计算 (19)
4.1拉瓦尔喷嘴的结构 (19)
4.2拉瓦尔喷嘴的材质 (19)
4.3拉瓦尔喷嘴的使用与防护 (20)
4.4喷嘴几何尺寸计算 (21)
4.5扩压器几何尺寸计算 (22)
4.6吸入混合式计算 (24)
5 蒸汽喷射式真空泵的安装、维护与检修 (25)
5.1蒸汽喷射式真空泵的安装 (25)
5.2蒸汽喷射泵的维护 (25)
5.3蒸汽喷射真空泵的故障查找与消除 (25)
5.3.1真空系统示意图 (25)
5.3.2原因分析 (26)
5.3.3故障查找及解决 (27)
结论 (29)
参考文献 (31)
附录 (31)
1 前言
真空泵的定义：利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的装置。

它是一种旋转式变容真空泵，真空泵须有前级泵配合方可使用，对被抽除气体中含有灰尘和水蒸汽不敏感，在较宽的压力范围内有较大的抽速。

真空泵是一个量大面广的产品，产量很大，产值不高，但它确实是一个直接影响到真空成套设备性能质量的必不可少的基础产品。

真空泵的市场根据用户的需要而发生动态变化。

市场增长的主要驱动力来自于半导体工业的迅速发展以及干泵和分子泵应用领域的日益扩大。

真空泵广泛用于塑料机械、农药化工、染料化工、砖瓦机械、低温设备、造纸机械、医药化工、食品机械、工业电炉、电子行业、真空设备、化肥、冶金、石油、矿山、地基处理等领域[1]。

1.1真空泵的发展历程及趋势
从1643年托里斯利实测出大气压强，1650年葛克利进行著名的马德堡半球实验以来，真空技术起始到今天已有三百多年的历史，但最初的二百多年内，其发展是十分缓慢的。

从1905年盖德发明机械泵起，近一个多世纪来才有了快速发展。

1930～1945年间，真空技术突破了实验室的圈子，进入了前途十分辽阔的生产技术领域，第二次世界大战以后，真空技术已成为工业生产技术发展与尖端科学研究中的重要组成部分。

真空应用的迅速发展，要求提供高才平的各种真空泵，大大促进了真空获得技术设备水平的提高和发展。

现在真空技术作为一种重要的技术手段，已广泛地应用到许多工业部门和尖端科学领域。

如:真空在电子管工业、电光源工业中的应用[2]。

真空镀膜存光学、微电子学、电子计算机、超导方面的应用。

真空冷冻干燥在食品工业、医药工业、电气工业中的应用。

真空蒸馏在化学工业、金属工业中的应用。

真空在冶金方面的应用。

真空在焊接、铸造、热处理、包装、成型、运输方面的应用。

真空在原子能、可控热核反应、电子显微镜、质量分析仪、低温技术、表面物理、材料性能、宇宙模拟等尖端科学方面的应用等。

所有这些充分说明真空技术在发展国民经济和尖端科学方面都发挥着重大作用，而且还有许多这样的例子，既各项工业技术发展到一定阶段遇到问题阻碍前进或感再提高不易，一经采用真空技术，往往突破关键，从而提高到新的境域。

另一方面，随着这许多应用部门的发展和他们不断提出的新要求，也就促使着真空技术不断地向前发展。

历史上电子管工业、原子能研究、以及宇宙空间探索等
三个部门曾给予真空技术设备的发展以巨大的推动力[3]，成为真空技术发展史的上三个飞跃阶段。

真空应用设备种类繁多，但无论何种真空应用设备都有一套排除被抽容器内气体的系统，便在真空容器内获得所需要的真空条件。

举例来说：一个真空处理用的容器，用管道和阀门将它与真空泵连接起来，当真空泵对容器进行抽空时，容器上要有真空我国真空设备行业自改革开放的20多年来有了很大的发展和长足的进步，这不仅反映在产值、产量上的大幅度增长，而且在品种、规格还是在综合技术水平上都取得了可观的成绩。

尤其是“十五”以来，行业各企业抓住机遇，调整产品结构，大力推进技术创新，取得了许多大行业级以及国家级的新产品、新技术成果，为我国的国民经济建设，科学技术的发展，国防高新技术的提升做出了贡献[4]。

真空泵行业对我国市场来说，仍是一个备受关注的新兴行业，消费者对于真空泵的认知相当贫乏，而真空泵时尚潮流的汹涌袭来，暗示了行业发展中的不少问题，特别在真空系统方面，面对冬季取暖的到来，真空泵市场正经历着质量的大考验。

真空泵是一种旋转式变容真空泵须有前级泵配合方可使用在较宽的压力范围内有较大的抽速对被抽除气体中含有灰尘和水蒸汽不敏感广泛用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。

真空泵广泛用于塑料机械、农药化工、染料化工、砖瓦机械、低温设备、造纸机械、医药化工、理等领域。

食品机械、工业电炉、电子行业、真空设备、化肥、冶金、石油、矿山、地基处真空应用设备种类繁多，但无论何种真空应用设备都有一套排除被抽容器内气体的抽气系统，以测量装置，这就构成了一个最简单的真空抽气系统。

近年来，真空泵的市场越来越繁荣。

据空调制冷大市场调查发现，现在我国的真空泵市场的销量呈现出逐年上涨的趋势，并且这种发展势头还在不断加速。

随着环保力度的不断加大，原来一些用水环真空泵的企业或厂家因大量排出污水而被迫停止使用这种类型的真空泵，必须要选用无油的真空泵或闭式循环系统及大型无油真空机组代替，比如立式无油往复泵和无油旋片泵，无油真空泵具有真空度高，抽速快，无污染的优点。

由于无污水排放，所以WLW系列[5]无油立式真空泵特别适用于化工、医药和食品等行业，特别需要在清洁高真空或者气体需洁净回收的环境中应用。

WX型无油真空泵的使用范围更广泛，应用于各种物品的吸收和输送，自动机械的物料供给设备。

通过对全球真空泵市场的分析我们
可以看出，各类真空泵的市场及应用领域都在不断变化和发展。

但特别应该指出的是，不断世事如何变化，环保是我们永恒的主题，作为机械设备的制造商，我们会谨遵这个主题，在不破坏环境的前提下，进行生产创新。

目前，全球真空泵市场的年销售额约20亿美元，年增长率在7%左右。

我国生产真空泵的厂家很多，全部真空泵的年销售额大约在1.5亿元左右，仅相当于美国Kinney公司一家真空泵的年销售额。

通过对全球真空泵市场的分析我们可以看出，各类真空泵的市场及应用领域都在不断变化和发展。

我国真空泵制造业有着悠久的历史和雄厚的基础，国产真泵已经在各个不同领域得到应用并经过验证，有些泵还出口国外，得到国外用户的认可并受到好评，应该说我国真空泵制造业在国内外市场仍然有着巨大的发展空间。

1.2 真空泵的分类
(1) 水环真空泵
水环真空泵内装有带固定叶片的偏心转子，将水（液体）抛向定子壁，水（液体）形成与定子同心的液环，液环与转子叶片一起构成可变容积的一种旋转变容积真空泵。

虽然水环真空泵属于粗真空泵，但在我国的石油、化工、电力、轻纺、造纸、医药等领域仍然有着很大的市场。

在国外，水环泵的销售额占全部真空泵市场的14%，仅次于干泵，所以NASH、SEIEMMS和KINNEY等公司都在我国投资建厂或建立销售网络，不断扩大在我国的市场份额。

由于水环泵大部分是铸件，加工要求也不高，属劳动密集型产品，所以国产水环泵在价格上有竞争优势，关键是要改进设计，缩小体积，减轻重量，提高效率，降低能耗。

(2) 滑阀泵
滑阀泵是油封式真空泵的一种。

由于滑阀泵比较耐用、可靠，国内外各种真空炉、镀膜机以及干燥、浸渍等设备都是用滑阀泵作为前级泵，但是滑阀泵铸件重，加工工作量较大，所以国外各真空泵厂都在中国寻找合作伙伴。

为了使国产滑阀泵能够进入国际市场，必须进一步降低泵的振动噪声，杜绝喷油和漏油，提高滑阀泵长期运行的可靠性。

(3) 直联旋片泵
旋片式真空泵（简称旋片泵）是一种油封式机械真空泵[6]。

其工作压强范围为101325～1.33×102 Pa，属于低真空泵。

它可以单独使用，也可以作为其它高
真空泵或超高真空泵的前级泵。

它已广泛的应用于冶金、机械、军工、电子、化工、轻工、石油及医药等生产和科研部门。

随着真空技术在各个应用领域的不断扩大，直联旋片泵的需求量越来越大。

由于这种泵数量很多，加工装配工作量很大，价格又很低，所以有的国外真空泵厂商在中国建立专业厂。

国产中小型直联旋片泵在技术上已经过关，价格又远比国外的泵便宜，所以国产泵仍然有竞争优势，关键是要解决轴封漏油以及旋片材料和真空泵油的性能质量问题，确保直联泵在高速、高温下性能稳定和运行可靠，同时还要进一步提高国产直联旋片泵抽除水蒸气的能力。

(4) 罗茨真空泵
从国外罗茨真空泵生产情况来看，国外几家大公司，如Leybold、Balzers、Alcatell、Edwards和ULVAC，他们各家罗茨泵的销售额占全球罗茨泵销售额的比例都没超过5%，这5家总计才20%，罗茨泵产量不大，但国外罗茨泵的价格远比国产泵要高得多。

目前，国内外几乎所有大型或小型的高真空和中真空系统，为了缩短抽气时间、提高生产效率都配有罗茨泵。

所以国产罗茨泵一定要在占领国内市场基础上设法进入国际市场，这样就必须进一步降低国产罗茨泵的振动噪声，彻底解决轴封漏油问题，改进泵的外观质量，提高泵内的光洁度和清洁度。

另外，还要考虑到有些国家和地区的电源频率为60Hz，更要确保罗茨泵在提高转速的情况下长期运行的可靠性。

目前，国内气冷式直排大气罗茨泵进展很快，技术上已经成熟。

由于这种泵在排气口的下面装有气体冷却器，其中一部分被冷却的气体通过管道返回泵腔以冷却转子，从而使压缩热得到平衡，所以这种泵可以直排大气。

为了满足不同极限真空度的要求，这种泵可以串联使用，一般前面加一台气冷式直排大气罗茨泵，所达到的极限真空要比前级泵高一个数量级。

这种泵由于在泵腔内没有工作介质，实际上也是属于干泵。

目前，这种气冷式直排大气罗茨泵及机组已经在石油、化工、塑料、农药、汽轮机转子动平衡、航空航天空间模拟等装置上得到了长期运行的考验，所以应该在国内大力推广和应用[6]。

(5) 分子泵
分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵，尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。

由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。

为了提高抽速，国外在分子泵的入口侧装一个130~150o o C C --的低温冷板[7]，称之为低温分子泵，水蒸气被低温板捕获，其他气体则由分子泵抽走。

这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用，既提高了生产效率又改善了膜层质量。

随着我国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展，分子泵应该是我国真空泵制造业发展的重点。

首先，分子泵要从小到大建立完整系列，并研究开发各种复合分子泵、牵引泵和低温分子泵，以满足不同场合的需要。

(6) 干式机械真空泵
国外干式机械真空泵市场的不断增长，其主要驱动来自于半导体行业、化学工业、薄膜产业的迅速发展。

在日本，半导体行业已全部用干式真空泵代替油封式机械泵[8]，欧美半导体行业45%以上用干式真空泵代替了油封式机械泵，大大提高了产品的性能和质量。

为了满足不同应用领域和不同工况的要求，国外有多级罗茨真空泵、多级爪式真空泵、螺杆式真空泵、涡旋式真空泵、往复式活塞真
空泵以及涡轮式无油真空泵等。

极限压力从
210~10Pa Pa ，抽速从3320/~500/m h m h 。

据统计，目前国产干式真空泵的应用还不足1%，国内半导体工业用的干式真空泵全部从国外进口，其价格十分昂贵。

所以，我国应大力研究开发干泵，使干式真空泵成为我国真空工业新的经济增长点。

(7) 蒸汽喷射真空泵
蒸汽喷射真空泵是一种结构简单、性能稳定可靠的真空获得设备，广泛应用于石油、化工、油脂、制药、冶金、轻工、纺织、食品、制糖、制盐等行业的真空蒸发、蒸馏、精馏、升华、干燥、结晶、浓缩、脱臭、脱色、脱水、过滤、真空输送物料、化学吸收、除气、除氧、制冷等工艺[9]。

蒸汽喷射泵有一定压强的工作，蒸汽通过拉瓦尔喷咀，减压增速（蒸汽的势能转变为动能）以超音速喷入混合室，与被抽介质混合，进行能量交换，混合后的气体进入扩压器，减速增压（动通转化为压强能），为了减少后级泵的抽气负荷，配置冷凝器，通过有一定温差的两种介质对流，进行热交换，达到冷凝高温介质目的，排到大气压。

工作特点是低位安装，不需要大气腿；适用于系统体积大，要求抽空时间短的场合；
适用于系统不凝性气体量特别大的场合；可用于工作蒸汽含水率较高的场合以及用于工作蒸汽压力不稳定或低于0.4MPa·A的场合[10]。

2 真空泵概述
2.1 蒸汽喷射式真空泵的工作原理
蒸汽喷射式真空泵（以下简称喷射泵）是利用流体流动时的静压能与动能相互转换的气体动力学原理来形成真空[11]。

具有一定压力的水蒸汽通过拉瓦尔喷嘴喉径时达到声速，到喷嘴的扩散部时,静压能全部转化为动能，达到超声速，同时喷嘴出口处形成真空，被抽气体在压差的作用下，被抽入吸入室和以超声速的蒸汽一边混合一边进入文丘里管，然后以亚声速从文丘里的扩散管排出，同时混合的气体速度逐渐降低，压力随之升高，而后从排出口排出。

如果将几个喷射泵串联起来使用，泵与泵中间加入冷凝器使蒸汽冷凝,便可得到更高的真空度。

整台蒸汽喷射真空泵由若干级泵体与冷凝器两大部分组成。

各级泵体均由喷嘴、入室及扩压器组成,喷嘴可以是单只，也可以是多只，喷嘴一般采用不锈钢材料，吸入室和扩压器等其它部件可采用不锈钢、铸铁及碳钢等材料[12]。

图2-1 蒸汽喷射泵工作原理图
2.2 蒸汽喷射式真空泵的结构组成
图2-2 为蒸汽喷射式真空泵的结构示意图[13]，该泵由工作蒸汽进入室、气体吸入室、拉瓦尔喷嘴和扩压器等相连组成。

拉瓦尔喷嘴和扩压器两部件组成了一条断面变化的特殊气流通道，工作蒸汽通过拉瓦尔喷嘴将压力能转变成动能进行抽气，而混合气流通过扩压器又将动能转变成压力能进行排气。

工作蒸汽压P0和扩压器出口压力P4间的压力差，使工作蒸汽得以在管道中流动。

1.吸入室
2.工作蒸汽进入室
3.拉瓦尔喷嘴
4.混合室
5.扩压器
6.压缩器A—被抽气体入口B—工作蒸汽入口C—混合气体出口
图2-2 蒸汽喷射式真空泵结构简图
2.3 蒸气喷射真空泵的分类
单级喷射泵的压缩比（即排气压力与进气压力之比）一般不超过10[14]，为了获得更低的极限压力，就要采用多级泵。

表为不同级数喷射泵的性能。

多级泵的每级喷射器所喷射出的混合气体为被抽气体与工作蒸汽的混合物，除末级排入大气外，都被后一级抽除，这就会增加后一级的负载或使泵的工作性能变坏。

因此,多级泵常在两级喷射器间安装中间凝汽器[14]，使混合气体中大部分可凝气体冷凝。

若被抽气体中含有大量可凝性气体，而其分压又远高于凝汽器进水温度下的饱和蒸汽压，则在第一级入口处安装一级凝汽器。

为回收末级混合气体的余热和消除气流噪声，可安装末级凝汽器。

凝汽器的结构有混合式、表面式和喷射式等，设计时可按不同情况和要求选用。

对于工作压力低于700帕的喷射器，因蒸汽膨胀比大（喷嘴入口处与出口处的蒸汽压力比），出口处温度低于0℃,为了防止结霜，必须在扩散器收缩段上设置加热套[15]。

带有混合式凝汽器的喷射泵安装高度在11米以上，目的是使凝汽器的回水能够靠自重排出泵外并保持泵的密封。

这种泵称为高架式真空泵。

为了降低土建投资，用水泵抽出回水可以降低安装高度，这种泵称为低架式真空泵。

低架式泵的可靠性受水泵影响，而且，维修费用增加，故一般不采用。

2.4 蒸汽喷射式真空泵的特点
蒸汽喷射式真空泵是由一级或多级蒸汽喷射泵与高效冷凝器组成的，一定压力的饱和或过热蒸气通过拉瓦尔喷嘴减压增速后进入蒸汽喷射器的混合室，使混合室产生真空，被抽介质被抽吸进混合室与工作蒸汽混合，混合后的流体通过扩
散管，速度下降，压力升高，直至达到下一级吸入口压力后排入下一级蒸汽喷射器。

冷凝器前面的蒸汽喷射器排出的混合流体进入高效冷凝器后，可凝性汽体被冷却成液体与不凝性气体一起随冷却水排出冷凝器外（见新型高效蒸汽喷射真空泵工艺流程图）。

它可以实现任意高度安装，适合于抽吸的介质中不凝性气体量相对较小，大部分为可凝性汽体的工艺，代替传统的多级蒸汽喷射真空泵可以节约工作蒸汽60%以上[16]。

另外蒸汽喷射式真空泵启动快、工作压力范围宽、抽气量大、可抽吸含尘、易燃易爆气体，除水泵外无运动零部件，工作可靠，但耗水量大。

作为泵引射用的动力有：水蒸气、油蒸汽、空气和水等，其中以水蒸气居多，其次是空气，少数情况用水用油作为单独喷射泵极少应用。

2.5 影响真空泵能力的主要因素分析
2.5.1 对工作蒸汽及其干度的分析
蒸汽压力偏低及压力波动均对真空泵的能力有较大影响，因此蒸汽压力不应低于要求的工作压力，但所用真空泵结构设计已定型，过多提高蒸汽压力并不会增加抽气量及真空度。

另外，要确保锅炉供给的蒸汽压力稳定，最好用一台锅炉专门给蒸汽喷射泵提供工作蒸汽，这样蒸汽压力就不会出现波动，真空泵性能稳定。

蒸汽的干度对真空泵的性能也有较大影响,其中含水会引起真空波动[17]，含水过多甚至会抽不起真空，通常的作法是在汽包前加装汽水分离器以获得干度较高的工作蒸汽，同时对蒸汽管路进行有效保温。

为取得最佳的工作效益，为喷射真空泵提供的工作蒸汽应为5℃～10℃的过热蒸汽。

特别是五级泵，对蒸汽的品质要求非常高，含微量水分都可能引起喷嘴的冰塞，造成开第五级喷射器真空度反而下降或没有作用。

2.5.2 对循环冷却水要求的分析
冷却水供量不足，冷凝器会发热，气流声音变大,真空度迅速下降，甚至蒸汽会返入抽气管。

对于列管间冷式冷凝器，应保证供水压力为0.2MPa，供水量应比实际的用量稍微大一点，这样用水的波动会比较平稳。

另外，为避免供水量不稳定而引起真空波动，最好采用单独的循环水系统对真空泵的冷凝器进行供。