纳米级薄膜厚度的精确测量

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第２卷７
第１期０
２１Ｚ：
：Ｑ
文章编号：０７ｌ８（１）００４ — ５１０～０２１－０５０１０ｏ
纳米级薄膜厚度的精确测量
张立超
（中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室，吉林长春１０３）３０３
Ｔｅｒｓｌｈｗｔａｔｅｆｅａｊｓｅｔｒｃｄｒｏｅｓｍｌｓｇｅｐｅｏｄｔｎｔａｑｉｃｕａｅｌｈｕｔｓｏｔｈｎｄｔｎｐｏｅｕｅｆｈａｐｅｔｅｉｔｒｃｎｉｏｃｕｒａｃｒｔｆｍｅｓｈｉｕｍｔａｓｈｉｏｅｉ
优于０１ｎ的多层膜周期厚度测量精度。．ｍ０
关键词：超薄膜层；膜厚；ｘ射线衍射
中图分类号：０８．４４４文献标识码：Ａ
ＤＯＩ１３８／：７８０ＭＥｌ２０７１．０５０．０１２００４
ｔｉｋｅｓｓｏｌｌｙｒｔｉｌｒｒｃｕａｅｔａｈｓｆｓｎｌａｅｈｎｆｍｓｂｉｕｆｔｅｒｎｒｏｈｃｎｓｅｆｍｕｔａｅｎｆｍｓａｅｍｏｅａｃｒｔｈｎｔｏｅｏｉｇｅｌｙｒｔｉｌ，ｙｖｒｅｏｉａｒｗｉｈｉｉｔｈ
ｔｅｍｅｓｒｇａｃｒｃｆｅｔｒｔａ．１ｎｆｒｅｉｄｔｉｋｅｓｓｏｈｌｙｒｔｉｌａｅａｈｅｅ．ｈａｕｎｃｕａｙｏｔｎ０ＯｍｒｃｎｓｅｆｍｕｉｅｎｆｍｓｃｎｂｃｉｖｄｉｂｅｈｏｐｏｈａｈｉＫｙｒＳｕｔ — ｈｎｆｍｓｆｍｉｋｅｓＸ— ａｉｒｃｉｎｅｗｏｄ：ｌａｔｉｌ；ｌｔｃｎｓ；ｒｙｄｆａｔｒｉｉｈｆｏ
摘要：对于纳米级多层膜来说，膜厚的精确测量至关重要。本文针对Ｘ射线衍射测量薄膜厚度的方法，对
所能够获得的测量精度进行了研究。结果表明，无论是单层膜还是多层膜，实现样品台的精密装调都是获得
膜厚精确测量结果的前提条件；而在实现了精密装调的情况下，由于多层膜具有相对较窄的衍射峰，因此能够提取出更为精确的峰位数据，与单层膜相比，能够得到更精确的膜厚；经过合理地选择衍射峰，能够获得
ｓａｅｏｉｒｃｉｎｐａｓａｄｔｅｃｎｅｕｎｌｃｕａｅｐａｏｉｏｓｙｃｏｓｎｉｒｃｉｎｐａｓａｐｏｒａｅｙｈｐｆｄｆａｔｏｅｋｎｈｏｓｑｅｔａｃｒｔｅｋｐｓｔｎ．Ｂｈｏｉｇｄｆａｔｅｋｐｒｐｔｌ，ｙｉｆｏｉ
ｔｉｎｓｆｏｉｌｌｅｎｈｌｅｉｆｍ．ｅｈｎｄｕｔｎｐｏｅｕｅｉｐｒｒｅ，ｅｏｈｃｅｓｏｂｔｓｇｅａｒａｄｍｕｉｙｒｈｎｉｓＷｈｎｔｅｆｅａｊｓｋｒｈｎｙａｔｌｉｍｅｔｒｃｄｒｓｅｆｍｄｐｒｄｏｉ
Ａｂｓｒｃ：Ａｃｕａｅｄｔｒｎｔｏｆｆｍｈｃｎｓｅｓｃｔａｏａｏｔｒｕｔａ— ｈｎｆｍｓｎｔｉｐｒｔａｔｃｒｔｅｅｍｉａｉｎｏｉｔｉｋｅｓｓｉｒｉｌｆｒｎｎｍｅｅｌｒｔｉｌ．Ｉｈｓｐａｅ．ｗｅｌｉｃｉｃｒｙｏｔｔｅｒｓａｃｎｔｅａｃｒｃｆｔｅｍｅｈｄｔｅｅｍｉｅｆｌｔｉｋｅｓｓｂｓｎ－ａｉｒｃｏｔｒａｒｕｈｅｅｒｈｏｈｃｕａｙｏｈｔｏｏｄｔｒｎｍｈｃｎｓｅｙｕｉｇＸ－ｙｄｆａｔｍｅｅ．ｉｒｆ
ＡｃｒｔｔｒｉａｉｎｏｈｃｎｓｅｏｎｍｅｅｉｆｍｓｃｕａｅＤｅｅｍｎｔｆＴｉｋｅｓｓｆｒＮａｏｏｔｒＴｈｎＦ．１
ＺＨＡＮＧ —ｃａＬｉｈｏ
（ａｅｅＬｂｒｏＡｐｉｐｉ，ｈｎｃｕＩｓｔｅｆＯｔｓＦｎｃａｉｎＰｙｉ，ｈｎｓｃｄｍＳ￣ＫｙａｏａｒｏｐｌｄｔｓＣａｇｈｎｎｔｕｐｉ，ｉＭｅｈｎｃａｄｈｓｓＣｉｅａｅｙｔｔｙｆｅＯｃｉｔｏｃｅｓｃｅＡｏＳｉｎｅＣａｇｈｎ１０３，ｈａｆｃｃｓｈｎｃｕ３０３Ｃｉ）ｅ，ｎ
基金项目：国家自然科学基金项目（ｏ０７０４，国家科技重大专项项目Ｎ．６８３）６
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