氦质谱检漏仪使用说明
氦质谱检漏仪操作规程(3篇)
第1篇一、概述氦质谱检漏仪是一种用于检测气体泄漏的高效、精确的仪器，广泛应用于真空系统、半导体设备、化工、科研等领域。
为确保操作人员的人身安全和仪器的正常运行，以下为氦质谱检漏仪的操作规程。
二、操作前的准备工作1. 环境检查：确保操作环境安全，通风良好，无腐蚀性气体。
2. 设备检查：检查氦质谱检漏仪外观是否完好，电源线、连接线等是否完好无损。
3. 仪器预热：打开仪器电源，预热30分钟以上，使仪器达到工作状态。
4. 参数设置：根据检测需求，设置合适的检测参数，如漏率阈值、扫描时间等。
三、操作步骤1. 连接仪器：将氦气源、抽气系统、波纹管等连接至氦质谱检漏仪，确保连接牢固。
2. 真空系统连接：将氦质谱检漏仪连接至待检测的真空系统，确保连接正确无误。
3. 设置检测参数：根据待检测系统的真空度、漏率等要求，设置合适的检测参数。
4. 启动检测：开启氦气源，调整流量至合适范围，启动检测程序。
5. 观察检测结果：仔细观察仪器显示屏，根据漏率值、泄漏位置等信息，判断是否存在泄漏。
6. 记录数据：将检测结果记录在检测记录表中，包括检测时间、漏率值、泄漏位置等。
四、注意事项1. 安全操作：操作过程中，注意个人防护，佩戴防护手套、眼镜等。
2. 防止误操作：熟悉仪器操作流程，避免误操作导致仪器损坏或安全事故。
3. 注意仪器保养：定期对仪器进行清洁、保养，确保仪器性能稳定。
4. 氦气处理：使用完氦气后，关闭氦气源，确保氦气排放到安全区域。
5. 设备维护：定期对仪器进行校准、维护，确保检测结果的准确性。
五、操作结束后的工作1. 关闭仪器：检测结束后，关闭氦气源、抽气系统等，断开电源。
2. 清理现场：清理操作现场，确保无安全隐患。
3. 整理记录：整理检测记录，归档保存。
六、附录1. 氦质谱检漏仪操作流程图2. 氦质谱检漏仪常见故障及排除方法通过以上操作规程，可以确保氦质谱检漏仪的正确使用，提高检测效率，确保检测结果的准确性。
氦气检漏仪操作方法
氦气检漏仪操作方法
氦气检漏仪是一种常用的气体检测仪器，用于检测气体泄漏。
下面是一般的氦气检漏仪操作方法：
1. 准备工作：确认氦气检漏仪内部的氦气供应充足，并确保仪器与气源（通常是氦气罐）连接良好。
2. 打开氦气供应：打开氦气检漏仪上的气源开关，让氦气进入仪器。
3. 设置检测灵敏度：根据需要，使用仪器上的调节钮或菜单设置灵敏度。
如果需要更高的灵敏度，可以选择较低的数字或更窄的范围。
4. 目标定位：将氦气检漏仪靠近要检查的目标区域，使用仪器上的探头或喷嘴对准目标区域。
5. 开始检测：按下仪器上的检测按钮或触发器，开始释放氦气。
仪器将开始检测周围空气中的氦气浓度，并显示结果。
6. 观察仪器显示：观察仪器上的指示灯、数字显示或屏幕，以确定是否检测到气体泄漏。
一般情况下，如果检测到泄漏，仪器会发出声音或显示相关警告。
7. 确认检测结果：如果仪器显示检测到了泄漏，可以通过改变仪器位置或调整
灵敏度来定位泄漏源的具体位置。
8. 关闭氦气供应：检测完成后，关闭气源开关，停止供氦。
9. 清洁和存储：清洁仪器的外壳和探头，将仪器存放在安全干燥的地方，避免物品压迫或受潮。
请注意，以上仅为一般操作步骤，具体操作方法可能会因仪器型号和制造商的不同而略有差异。
因此，在使用氦气检漏仪之前，最好阅读并按照制造商提供的操作手册进行操作。
同时，确保在操作中遵守相关安全操作规程，并使用个人防护设备，如手套和眼镜。
氦质谱检漏仪使用说明
氦质谱检漏仪使用说明(总9页)--本页仅作为文档封面，使用时请直接删除即可----内页可以根据需求调整合适字体及大小--氦质谱检漏仪使用说明书资产编号：型号：ZQJ-542一、设备组成及工作原理1、设备组成框图2、设备工作原理检漏仪内部组成：氦质谱检漏仪主要由分子泵、质谱室、组合阀体，机械泵以及控制电路板等组成。
检漏仪的工作原理：氦质谱检漏仪是根据质谱仪学原理，用氦气作为搜索气体制成的气密性检测仪器。
ZQJ-542检漏仪采用180度磁偏转质谱室，钨制灯丝发射出来的电子经过加速进入离化室，在离化室内与残余气体分子和经被检件漏孔进入离化室的氦气互相碰撞使其电离成正离子，这些离子在加速电场作用下进入磁场，由于洛伦兹力作用产生偏转，由于不同质量数（m/e）的离子其偏转半径不同，这样就将不同的离子分离开了。
由于磁场参数是固定的，只有调节加速压力就可以改变氦离子的偏转半径，使氦离子正好通过隔离板上的窄缝打到放大器入口，这样就使氦离子（m/e=4）与其他离子分开了。
氦离子流正比于容器中氦分压。
因此，对氦离子的测量可以用来确定被检件的漏率。
二、设备工作外部条件氦质谱检漏仪电源电压220V 频率50HZ 额定功率2000W。
仪器应安装在符合仪器使用的环境要求的场所，特别是仪器的电源插座，应符合要求，要有良好的地线，左右要留有30CM的通风间距。
放置好检漏仪，以避免仪器有倾斜或倾倒的危险。
检漏仪的底部有安装孔，可以将其固定在桌子或支架上。
在仪器运行前要确保真空泵中的机械泵油是否足够，机械泵油必须用专用的针对机械泵型号的油。
三、设备工作外部条件接通操作氦质谱检漏仪图1检漏仪的机械泵有足够的机械泵油；保证机体内分子泵、机械泵、真高空组件各连接顺畅；电源线线路没有破损，有良好的接地。
检漏仪要放平稳，不能倾斜，检漏仪底面要有一层防静电布。
加压罐压氦装置图2加压罐压氦装置的外部接通顺序：写出设备外部条件的接通先后顺序，操作方法，具体的参数等。
氦质谱检漏仪原理及使用方法及相关介绍
氦质谱检漏仪原理及使用方法及相关介绍一、原理氦质谱检漏仪的原理基于质谱技术。
质谱技术是一种将样品原子或分子离子化并加速到特定质量的仪器分离和检测方法。
在氦质谱检漏仪中，首先将氦气引入被测系统中，然后利用真空泵将系统抽成高真空状态，此时如果系统存在泄漏，氦气会从泄漏点进入真空室。
接下来，仪器将氦气离子化并加速，然后将其通过质谱仪进行分离和检测。
质谱仪按质量对氦离子进行分离，只保留本离子，其他离子则被排除在外。
最后，通过测量离子的电流，就可以确定氦气的浓度，从而判断系统是否有泄漏的情况。
二、使用方法1.准备工作：将氦气瓶连接到仪器中，确保连接紧固，打开氦气瓶阀门。
2.开机操作：按下电源开关，等待仪器启动并进入工作状态。
此时，仪器会进行自检，并显示相关的信息。
3.设置参数：根据需要，设置仪器的工作参数，如离子加速电压、离子电流等。
这些参数的设定会影响仪器的灵敏度和分辨率。
一般来说，根据被测系统的特点和泄漏的排查需求来确定。
4.测试操作：将仪器探头移至被测系统周围，并尽量靠近可能存在泄漏的区域。
慢慢移动探头，直到仪器探测到氦气浓度的变化。
此时，仪器会发出声音或显示信号，以提示泄漏处的位置。
5.结果判断：根据仪器显示的信号确定泄漏点，可以通过仔细观察和移动探头来进一步定位泄漏。
6.数据记录：记录泄漏点的位置、泄漏大小以及检测时间等信息，便于后续处理和跟踪。
三、相关介绍1.灵敏度：氦质谱检漏仪具有非常高的灵敏度，可以检测非常微小的氦气泄漏。
一般来说，它可以检测漏率为10^-9至10^-12毫升/秒的泄漏。
2.应用范围：氦质谱检漏仪广泛应用于各个领域，如航空航天、化学工业、电子、制药等。
在这些领域，确保系统的密封性非常重要，而氦质谱检漏仪的高灵敏度和精确度可以满足这些需求。
3.优点：氦质谱检漏仪的优点包括操作简单、快速、准确，具有高灵敏度和分辨率，可以定位并确定泄漏点。
4.注意事项：在使用氦质谱检漏仪时，需要保证被测系统处于高真空状态，以确保准确的检测结果。
氦质谱检漏仪使用说明资料
加压罐压氦装置
图2 加压罐压氦装置的外部接通顺序： 写出设备外部条件的接通先后 顺序，操作方法，具体的参数等。 1、把加压罐、电阻真空计、真空泵、氦气瓶按要求连接。 2、检查加压罐的密封圈是否有损害， 加压罐进出阀门是否关闭不了； 真空泵是否有足够的泵油， 气镇阀旋钮是否处在关闭的位置； 氦气瓶 减压阀是否漏气现象。 3、确认所有应该注意的事项没有问题之后可以接电源通电。 重氟油粗检
图3 1、 查看温度检测线路和加热板线路没有破损。
2、 在油箱中加入适量的重氟油 3、 插上电源线，设定重氟油的温度进行加热处理，打开照明灯。
当温度达到要求即可用来粗检产品。 四、详细操作 启动检漏仪 1、 连接电源插头，打开检漏仪开关。 2、 机械泵开始启动。 3、 面板上的指示灯亮。 4、 液晶屏（ LCD ）显示如下信息：
化。如果在报废点之内则说明密封性合格， 如若有报警声响则说明该 点密封性不合格需要返修。 4、组件检完之后再按下检漏按钮当待机按钮灯亮之后即可取下组件。 (二)全检（背压法） 1、由于组件在加压罐和检漏盒中会受到一定的压力冲击，因此要用 一张无尘纸包裹住组件以免碰伤和组件内部元件受到冲击。 2、全检是要把产品先放在充满氦气的加压罐中施加绝对压力 0.2Mpa 的压力加压 4h。 加压罐装置如下图所示：
氦质谱检漏仪使用说明书
资产编号：
一、设备组成及工谱检漏仪
重氟油粗检装置 检漏盒
检漏托盘 氦气喷抢
型号： ZQJ-542
双级旋片真空泵 电阻真空计 氦气瓶
2、设备工作原理 检漏仪内部组成：氦质谱检漏仪主要由分子泵、质谱室、组合阀体， 机械泵以及控制电路板等组成。 检漏仪的工作原理： 氦质谱检漏仪是根据质谱仪学原理， 用氦气作为 搜索气体制成的气密性检测仪器。 ZQJ-542 检漏仪采用 180 度磁偏转质谱室， 钨制灯丝发射出来的电子 经过加速进入离化室， 在离化室内与残余气体分子和经被检件漏孔进 入离化室的氦气互相碰撞使其电离成正离子， 这些离子在加速电场作 用下进入磁场，由于洛伦兹力作用产生偏转，由于不同质量数（ m/e） 的离子其偏转半径不同， 这样就将不同的离子分离开了。 由于磁场参
氦质谱检漏仪使用说明(1)
氦质谱检漏仪使用说明一、检漏仪及其真空系统的组成VARIAN959-50检漏仪检漏漏率范围从1X10-3（毫升/秒）到2X10-10（毫升/秒）（相当于30年漏1毫升），它主要由质谱管、高真空泵、热偶规管、一系列按钮控制的阀、测试接口、真空和漏率指示，以及电路板等部分组成，其真空系统结构为（分子泵型），如图1：图1 检漏仪真空系统结构图（分子泵型）检漏仪开启后，V1、V2、V6阀打开，测试口与质谱管保持真空连接。
如果按下“VENT”键，放气阀V3打开，V1关闭，测试口处于大气状态，同时V2打开，使分子泵、质谱管和机械泵连通。
分子泵运行时，质谱管真空度要达到2X10-4TORR以上，才能给离子源灯丝加热。
二、检漏仪工作原理图2 检漏仪工作原理图如果被检系统有微小漏孔，在小孔周围喷氦气时，总有部分氦原子会通过漏孔进入检漏仪接口，通过其真空系统扩散到质谱管。
质谱管是检漏仪核心组成部分，参见上图2，在电场和磁场作用下，灯丝发射电子使气体电离，电离后带正电的离子通过聚焦和孔集中后，进入分析磁场（磁场强度为2340高斯），由于受洛仑磁力作用，离子会发生偏转，其它外界条件相同的情况下，偏转半径由带电粒子电量与质量之比即荷质比决定，荷质比小的离子偏转半径小，荷质比大的粒子偏转半径大，只有氦离子才能通过抑制小孔到达收集极，信号经放大后，检漏仪报警。
三、控制和指示器功能说明：序号控制、指示器功能四、开机操作步骤（对分子泵检漏仪）1) 将待检设备和检漏仪接口接好确保不漏；2) 开前级机械泵电源；3) 打开右边小门，合上主电源开关，所有指示灯暂亮起，等到“TRURBO READY”指示灯亮；4) “HIVACK OK”指示灯亮后，将“FIL”开关打到ON，灯丝指示灯亮，必要时多次重复这一步骤直到灯丝指示稳定；5) 按下START键；6) 当测试口压力降到绿色指示段（100 millitorr）时，TEST指示灯亮，三分钟后，如果测试口真空度降到绿色指示段，HOLO指示灯亮，压力降到100milltor以下后，HOLO指示灯灭，（如果真空度达不到要求，HOLD指示将在三分钟内发亮）；7) 检漏仪会自动上一步，直到测试口压力降到100毫以下；8) 被检系统喷氧检漏；五、关机步骤1) 按下VENT键；2) 关掉检漏仪主电源；3) 关机械泵主电源；以上操作使分子泵隔离大气，质谱管保持真空状态六、检漏仪调零和校准在检漏之前，检漏议质谱应调到对氦反应灵敏，这需要用到标准漏孔。
氦质谱检漏仪作业指导书
一、氦质谱检漏仪作业指导书
1.氦质谱检漏仪的结构
氦质谱检漏仪由电源、控制器、探测器、探测器控制器、气体控制器、计算机、显示器等
组成。
2.氦质谱检漏仪的安装
（1）安装氦质谱检漏仪前，应检查检漏仪的各部件是否完整，并确保安装环境温度、湿度、电源电压等符合要求。
（2）安装时，应把检漏仪放置在平整、无振动的地面上，保证检漏仪的稳定性。
（3）安装完成后，应检查检漏仪的各部件是否连接正确，气体流量是否正常，电源电压
是否稳定，探测器的工作状态是否正常。
3.氦质谱检漏仪的操作
（1）操作前，应检查检漏仪的各部件是否连接正确，气体流量是否正常，电源电压是否
稳定，探测器的工作状态是否正常。
（2）将检漏仪连接到计算机，打开软件，设置检漏参数，设置检漏模式，设置检漏时间，设置检漏结果的显示方式等。
（3）启动检漏仪，检漏过程中应定期检查检漏仪的工作状态，并及时调整检漏参数。
（4）检漏完成后，应对检漏结果进行分析，如果出现异常，应及时修改检漏参数，重新
检漏。
4.氦质谱检漏仪的维护
（1）定期检查检漏仪的各部件，确保检漏仪的正常工作。
（2）定期清洁检漏仪，防止检漏仪的结构受潮、受污染。
（3）定期更换检漏仪的耗材，如滤芯、探测器等，确保检漏仪的正确性。
二、结论
氦质谱检漏仪是一种用于检测气体泄漏量的仪器，其安装、操作和维护都需要严格按照操作规程进行，以确保检漏仪的正确性和可靠性。
氦质谱检漏仪使用方法
氦质谱检漏仪使用方法
一、氦质谱检漏仪的简析：
1、为气体工业名词术语，用氦气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。
氦气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散。
2、另外，氦系惰性气体，不腐蚀设备，故常用氦作示漏气体。
将这种气体喷到接有气体分析仪（调整到仅对氦气反应的工作状态）的被检容器上，若容器有漏孔，则分析仪即有所反应，从而可知漏孔所在及漏气量大小。
二、氦质谱检漏仪的使用方法：
1、氦质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术，由于检漏效率高，简便易操作，仪器反应灵敏，精度高，不易受其他气体的干扰，在电阻炉检漏中得到了广泛应用。
2、是根据质谱学原理，用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。
由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。
3、质谱室里的灯丝发射出来的电子，在室内来回地振荡，并与室内气体和经漏孔进人室内的氦气相互碰撞使其电离成正离子，这些氦离子在加速电场作用下进人磁场。
4、由于洛伦兹力作用产生偏转，形成圆弧形轨道，改变加速电压可使不同质量的离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测。
喷氦法、吸氦法是在电阻炉检漏中常用的两种方法。
总结：氦质谱检漏仪的简析及使用方法，看完本文您就应该有了基本的认识和了解相信大家都明白了吧！总的来说，希望对大家有所帮助。
氦质谱检漏仪操作规程
氦质谱检漏仪操作规程一、仪器准备1.确认氦质谱检漏仪的各个部件是否完好并连接良好，包括样品室、氦质谱仪、真空泵等。
2.检查氦气供应，确保氦气的储罐或瓶体已经安装好，并且压力稳定。
3.检查真空泵的状态，确认真空泵已经安装好并连接到氦质谱检漏仪上，并连接好电源。
4.确保仪器的电源线已经接通，并开启电源。
二、仪器操作顺序1.打开氦质谱检漏仪的电源开关，待仪器启动后，将仪器调至待机状态，等待稳定。
2.打开真空泵电源开关，将真空泵开始抽空样品室。
观察真空泵的压力表，确保真空泵的抽空状态良好。
3.打开氦气供应开关，将氦气注入样品室，以提高样品室的压力。
观察氦气的进入情况，并通过泄漏口校正阀门进行调整。
4.将样品室的压力调至所需的工作压力范围内（通常为0.1至1000毫巴），并通过仪表读数进行确认。
5.打开氦质谱仪的工作开关，选择所需的工作模式和参数，如质谱仪的检测灵敏度、扫描范围等。
确保质谱仪处于正常工作状态。
6.根据需要，调整质谱仪的检漏灵敏度，以便检测到所需的泄漏量。
根据仪器的使用说明进行操作。
7.打开泄漏校正阀门，将氦气泄漏到所需的被测目标上，确保样品室的氦气泄漏量符合检测要求。
三、数据记录与分析1.在仪器的工作过程中，及时记录所检测的泄漏目标、泄漏位置等相关信息。
2.根据需要，记录氦质谱仪的检测结果，包括泄漏的大小、位置和泄漏速率等。
3.对于检测到的泄漏，进行合理的分析和评估，确定泄漏的性质、原因和危害程度，并采取相应的处理措施。
4.对于检测结果的分析和报告，及时向相关人员进行传达，确保泄漏问题得到及时解决。
四、仪器维护1.在使用氦质谱检漏仪之前，对仪器进行必要的清洁和维护，以确保仪器的正常运行。
2.定期检查仪器的电源线、氦气供应线、真空泵连接线等是否有松动或损伤，及时进行维修或更换。
3.定期校准仪器的检漏灵敏度，确保其准确性和可靠性。
4.清洁氦质谱检漏仪的各个部件，防止灰尘和杂质的积累影响仪器的检测性能。
氦质谱检漏仪操作规程
氦质谱检漏仪操作规程氦质谱检漏仪操作规程一、检漏仪的常见故障及解决方法1. 漏气检测灵敏度低：检查氦气输送管道是否有泄漏，检查检漏仪保护罩是否安装正确，调整检漏仪探头的距离和角度。
2. 漏气检测结果不准确：检查检漏仪背景读数，并进行零点校准，检查漏气点的位置和状态，并使用带有氦气充装的喷嘴重新检测。
3. 检漏仪电源不工作：检查电源插头是否正确插入，检查电池是否安装正确并充电。
二、检漏仪的基本操作步骤1. 准备工作：将漏气检测仪连接到氦气供应系统，并将氦气气瓶连接到检漏仪上。
确保电源正常工作并充电。
2. 打开电源：按下电源按钮，检漏仪将开始初始化并显示相关信息。
3. 调节检测灵敏度：根据需要，通过调节检漏仪的灵敏度按钮来调整检测灵敏度。
通常，灵敏度越高，检测结果越准确，但也容易产生误报。
4. 零点校准：在开始检测之前，需要进行零点校准。
将检漏仪放在一个无气体泄漏的环境中，按下零点校准按钮进行校准。
5. 检测漏气点：将检漏仪探头靠近怀疑泄漏的部位，检测仪将开始收集氦气并进行分析。
过程中需要保持探头和被检测区域的距离适当，通常为5-10厘米。
6. 分析检测结果：检漏仪将显示漏气点的读数，并根据设定的报警值发出警报。
如果不确定结果，可以反复检测或调整探头位置。
7. 关闭电源：检测结束后，按下电源按钮关闭检漏仪，并将氦气源关闭。
三、检漏仪的安全使用注意事项1. 禁止将氦气直接吸入：氦气是惰性气体，但高浓度的氦气对人体有害。
在操作时应注意不要将氦气直接吸入，尽量避免长时间暴露在氦气环境中。
2. 避免氦气泄漏：在连接氦气供应系统时，要确保连接处紧固，避免氦气泄漏。
在检测过程中，检漏仪背景读数应为零，否则可能存在氦气泄漏，需要重新检查连接处。
3. 防止电源故障：在使用检漏仪时，应定期检查电源插头和电池的状态，确保电源正常工作。
在使用过程中，尽量避免电源过载或短路等故障。
4. 妥善保管和维护：使用完毕后，应将检漏仪存放在干燥、通风的地方，避免受潮或暴露在高温环境中。
氦质谱检漏仪的使用是怎样的呢
氦质谱检漏仪的使用是怎样的呢
氦质谱检漏仪是一种专业用于检测真空系统漏气的仪器。
它使用氦气作为测试
气体，利用氦气极小的分子大小和无色无味的特性，在真空系统中通过泄漏孔进入真空室进行检测。
通过对泄漏氦气进行检测，可以确定系统中的漏率并定位漏点。
氦质谱检漏仪广泛应用于各种机械、电子、航空航天等各个领域，因其检测精
度高、可靠性强而备受青睐。
在此介绍氦质谱检漏仪的使用方法及注意事项。
1. 准备工作
在使用氦质谱检漏仪进行检测之前，需要做好各种准备工作：
•确定检测目标
•安装适当的接口及氦气瓶
•检查真空系统密封性
2. 检测前操作
使用氦质谱检漏仪进行检测前，需要进行一些操作：
•安装检测器
•启动氦气供应
•实施排气处理
•进行预漏测试
3. 进行检测
进行氦质谱检漏仪检测的步骤如下：
1.将氦气从氦气瓶中引入到真空系统中。
2.在检测器控制面板上设置好检测参数，如检测压力、场强、灵敏度等。
3.开始检测，并对检测结果进行分析定位漏点。
4. 注意事项
在使用氦质谱检漏仪进行检测时，需要注意以下事项：
1.氦气具有燃爆性，检测过程中禁止吸烟、使用明火等行为。
2.氦气具有极小的分子大小，在真空系统中容易扩散，因此检测时需要
尽可能避免漏气。
3.在检测前需仔细检查检测设备和真空系统密封性，以免测结果不准确
或漏点不能定位。
4.在检测过程中需要根据实际情况进行调整，调整参数，增强检测灵敏
度，以更好地检测漏点。
以上是氦质谱检漏仪使用方法及注意事项，正确使用氦质谱检漏仪可以确保系统的安全性，保障产品质量。
氦质谱检漏操作规程
氦质谱检漏操作规程氦质谱检漏是一种常用的高精度气体泄漏检测方法，广泛应用于各个行业的设备、管道、容器的泄漏检测。
一、操作前准备：1. 确定检测对象：确定需要检测的设备、管道或容器，并明确泄漏的位置；2. 准备仪器设备：确保氦质谱仪及其配套的氦气源、真空系统、探头等设备良好运行；3. 清洁检测对象：清除检测对象表面的油污、尘垢等物质，以免干扰检测结果。
二、操作步骤：1. 准备样品室：将需要检测的设备、管道或容器连接到氦质谱仪的样品室，保证连接口密封可靠；2. 真空抽气：打开氦质谱仪的真空系统，将检测对象及样品室内部的气体抽至真空状态，通常要求达到10^-6 Pa以下的真空度；3. 确定扫描范围：根据需要检测的泄漏位置，设置氦质谱仪的扫描范围和扫描速度，以确保能够准确检测到泄漏气体的存在；4. 进行泄漏检测：打开氦气源，将氦气加入到样品室中，同时打开氦质谱仪的检测模式，并开始进行扫描；5. 分析检测结果：根据氦质谱仪的显示结果，观察并记录泄漏信号的强度、大小和位置，以确定泄漏的具体位置；6. 确认泄漏位置：根据检测结果，排除可能的干扰因素，确定泄漏的具体位置；7. 停止泄漏检测：关闭氦气源和氦质谱仪的检测模式；8. 检修和修复：根据泄漏位置和检测结果，对泄漏位置进行维修和修复，确保设备、管道或容器的正常使用。
三、操作注意事项：1. 操作人员必须熟悉氦质谱仪的使用方法和操作规程；2. 操作过程中要注意安全，防止氦气泄漏造成爆炸危险；3. 对于高真空设备，要确保真空度达到要求后再进行泄漏检测，以免影响检测结果；4. 检测过程中要及时记录检测结果，并留下必要的检测记录和报告；5. 对于大型设备、管道或容器，可以采用分段泄漏检测的方式，以提高检测效率和准确性；6. 检测后要对设备、管道或容器进行清洁和维护，确保其正常运行。
氦质谱检漏是一种高精度、高灵敏度的泄漏检测方法，能够快速准确地定位泄漏点，提高设备、管道或容器的安全性，减少环境污染和人身伤害风险。
氦质谱检漏仪原理及使用方法及相关介绍精编版
氦质谱检漏仪原理及使用方法及相关介绍精编版一、氦质谱检漏仪的原理1.首先，将待检测的物体使用泵抽真空，将环境中的空气抽去，使之达到一个低压下。
2.然后，将氦气注入被检测物体的周围环境中，此时被检测物体内部存在可能的泄漏点。
3.接下来，利用泵将周围的氦气抽入质谱仪进行分析。
在质谱仪中，氦气会分子破裂形成氦原子以及其他质子和电子组成的离子。
4.最后，利用质谱仪的探测器检测这些离子，并根据离子的种类和数量来确定氦气泄漏的位置和程度。
二、氦质谱检漏仪的使用方法使用氦质谱检漏仪来检测气体泄漏需要以下步骤。
1.连接仪器：首先，将氦质谱检漏仪的各个部分按照说明书连接好，确保仪器正常工作。
2.准备工作：确保被检测物体周围环境处于一定的真空状态，注入氦气之前，将其它气体从被检测物体周围排除出去。
3.注入氦气：将氦气注入被检测物体周围环境中，确保氦气在泄漏点出漏时能进入到被检测物体内部。
4.开始检测：通过操作仪器，将泵启动，将周围环境中的氦气抽入质谱仪中进行分析。
5.分析结果：根据质谱仪输出的数据和显示的曲线，来确定氦气泄漏的位置和程度。
6.维护和记录：检测完成后，对仪器进行维护和清洁，同时将检测过程和结果进行记录。
三、氦质谱检漏仪的应用1.工业领域：氦质谱检漏仪可以用于汽车、空调、制冷设备、容器、管道等工业设备的泄漏检测。
它可以检测到微小的泄漏，避免了潜在的安全隐患。
2.实验室应用：氦质谱检漏仪可以用于实验室的真空系统、气体贮存、气体分析等设备的泄漏检测。
它可以保证实验室设备和实验工作的准确性和安全性。
3.能源设备：氦质谱检漏仪可用于能源设备的泄漏检测，如太阳能光伏系统、风力发电机、核电站等。
它可以提高设备的使用寿命和能源利用效率。
综上所述，氦质谱检漏仪是一种非常有效的气体泄漏检测仪器，具有高灵敏度和准确性。
它的工作原理简单明了，使用方法也相对简单。
在工业和实验室中的广泛应用，保证了设备的安全和工作的正常进行。
氦气谱检漏仪使用方法
氦气谱检漏仪使用方法
嘿！朋友们，今天咱们来聊聊氦气谱检漏仪的使用方法呀！
首先呢，1. 在使用氦气谱检漏仪之前，咱们得先做好准备工作。
哎呀呀，这可不能马虎！要检查仪器的外观有没有损坏，电源是不是正常连接，还有那些传感器和探头是不是干净、完好无损呢？这可太重要啦！
然后呢，2. 打开仪器电源，等待仪器预热。
哇！这个预热时间可不能着急哟，一般都得几分钟到十几分钟不等。
在等待的过程中，咱们可以先熟悉一下仪器的操作界面和功能按钮。
接下来，3. 进行仪器的校准。
这一步可是关键中的关键呀！要使用标准的氦气样本对仪器进行校准，确保检测结果的准确性。
不然的呀，检测出来的数据可就不靠谱啦！
再然后，4. 连接好检漏仪的探头和管道。
注意哟，连接一定要牢固，不能有漏气的地方呢！
准备工作都做好啦，5. 就可以开始检测啦！将探头对准可能存在泄漏的部位，缓慢移动。
哎呀呀，这时候可得仔细观察仪器的读数和显示。
要是发现了泄漏，6. 仪器会给出相应的提示和数据。
这时候要赶紧记录下来泄漏的位置和泄漏量。
还有哦，7. 在检测过程中，要注意保持检测环境的稳定。
不能有太大的温度变化、湿度变化或者气流干扰，不然会影响检测结果的准确性呢！
另外呀，8. 检测完成后，要及时关闭仪器电源，清理探头和管道。
哇塞！使用氦气谱检漏仪其实也不难，只要咱们按照这些步骤一步步来，认真仔细，就一定能准确检测出泄漏的地方呀！
朋友们，你们学会了吗？。
氦质谱检漏仪说明书
氦质谱检漏仪说明书
氦质谱检漏仪是一种用于检测气体泄漏的仪器，常用于工业生产中的排气管道、气密系统、发动机、航空航天等领域。
使用氦质谱检漏仪需要注意以下事项：
1. 确保氦气源充足并连接到仪器上。
2. 预热仪器至工作温度，一般为25℃-35℃之间。
3. 将检漏仪连接至被检测泄漏物的管路或设备。
4. 打开仪器的氦气流控开关，使氦气流经被检测泄漏物的管路或设备。
5. 打开检测仪器的高压控制开关，使电离针产生电离氦原子。
6. 从氦气源中选择一个适合被检测设备的质量标准。
7. 根据设备的检测需求，选择不同的泄漏检测程序和扫描速度。
8. 正常情况下，泄漏位置将在仪器上以响声、指示灯或数字显示的形式出现。
9. 检测完毕后，将仪器清洁干净并储存至干燥处。
10. 注意安全，避免氦气泄漏对人体造成危害。
以上是氦质谱检漏仪的基本操作使用说明，使用时务必遵守安全操作规程，以确保操作人员的安全和设备效果。
HLT使用简述
HLT氦质谱检漏仪使用说明一、用前须知和注意事项1.使用电源：50Hz, 230V+/-10%2.使用温度：3.在运输过程中应该保证仪器水平放置，并且不能有剧烈震动4.检测时需要使用的工作气体为氦气5.分子泵关机后，至少10分钟后才可以移动，否则有可能损坏内部的高速转动部件二、操作说明1.准备好氦气和喷枪，将检漏口连接到系统2.开机（打开仪器背部的电源开关）开机大概需要3分钟的时间，处于开机状态的显示如下，并且带有倒记时3.启动完成后将显示如下界面按右上方的Setup（设置）键进入系统设置，界面将显示如下：这里需要用户设置的为User settings(用户设置)，按User setting 进入如下截面：这里建议用户设置的只有Mode &Mass（工作模式设定）和Alarm（报警设置）两项，首先进入Mode & Mass按左侧的选键，选中Mode选项，通过操作+或者- 将Mode (模式)选项设置成Vacuum下面两项保持为Mass: 4He和Leak rate factor: Gas，设置完成后按Save保存，下次使用仪器时，设置将继续默认为保存过的设置按右上角的Back（返回）键，返回上级菜单：按Alarm进入需要设置的只有Setpoint value（设定点的数值）项，按左侧的键一次选中系数（1.0），可以按+ 或者- 来更改具体数值，通常用的更多的是更改幂数（-04），再按一次就可以选中幂数，通用可以按+ 或者- 来更改具体数值设置完成后，请保存（Save键），保存的设置将成为下次使用的默认状态4.设置完成后，就可以开始检测了，按屏幕下方的START/STOP键开始检测（此时按键下方的绿灯将亮起），如果希望看到大字体的漏率显示，请按Escape，此时将显示如下：当检测到漏时漏点时，显示的漏率数值将增大很多，甚至达到报警点，发出警报声音5.暂停检测时，可以按START/ STOP，暂停时绿灯熄灭，并显示如下：重新开始启动检测时，就再按STAR/STOP键6.当检测到一个很大的漏点时，比较大的量的氦气进入仪器，将对仪器造成污染，此时可以启动ZERO（清零复位），按在ZERO时，下方的绿灯将亮起三、使用技巧1.因为氦气质量比较轻，所以在检测大型设备时，应该先检测高处的位置，然后逐步检测低位置，否则容易产生漏点位置的混淆2.气体的扩散需要一定的时间，当检测的系统或者工件容积比较大时，漏点喷吹氦气之后，仪器不可能马上接收到，需要一小段延时，所以在可疑处喷吹氦气后，应该等待一小段时间看仪器是否有反应。
氦质谱检漏仪操作规程
氦质谱检漏仪操作规程一、前言二、设备准备1.检查氦质谱检漏仪是否完好无损，确认所有部位都连接牢固。
2.准备空气压缩机并将其连接到氦质谱检漏仪上。
3.确保氦气瓶和氮气瓶都充足，并将其连接到氦质谱检漏仪上。
三、操作步骤1.打开氦气瓶和氮气瓶的气阀，并逐步调整其压力，将压力控制在设备要求的范围内。
2.检查氦质谱检漏仪的电源是否正常，并将其接通。
3.打开气源系统，确保氦气和氮气顺利进入系统。
4.启动空气压缩机，使其通过高强度过滤器将气体吹洗，保持系统清洁。
5.将被测设备与氦质谱检漏仪连接，确保连接口密封良好。
6.打开氦质谱检漏仪的控制面板，选择合适的检漏模式和参数。
四、操作注意事项1.在操作整个过程中，必须随时注意保持设备和周围环境的安全。
2.在操作前必须穿戴好相关的个人防护设备。
3.在操作过程中，不得随意拆卸或更换任何设备部件。
4.操作人员应该保持专注，避免分心或麻痹大意。
5.使用氦质谱检漏仪时，应避免将火焰和高温物体接近其表面。
6.任何发现的异常情况都必须及时向相关部门汇报。
五、事故处理和紧急措施1.若发现气体漏洞，应立即停止使用氦质谱检漏仪，关闭所有操作开关，并迅速离开现场。
2.在紧急情况下，应立即关闭氦气和氮气的气阀，并迅速通知紧急人员。
3.若发生火灾等危险情况，应按照紧急预案执行相应的措施。
六、设备维护1.定期对氦质谱检漏仪进行检修和清洁，确保其正常运行。
2.不定期更换氦气和氮气瓶，确保其充足。
3.定期对氦质谱检漏仪进行校准，确保其准确性和可靠性。
七、结语氦质谱检漏仪是一种精确的仪器，可以用于检测和定位气体漏洞。
遵循以上操作规程，保证了氦质谱检漏仪的正常使用和操作安全，有助于提高工作效率和保护人员的安全。
同时，合理维护和定期校准氦质谱检漏仪，可保证其长久的使用寿命和准确性。
ZQJ-230D氦质谱真空检漏仪使用说明书.
ZQJ-230D氦质谱检漏仪企业通过ISO 9001质量管理体系认证ZQJ-230D型氦质谱检漏仪使用说明书目录第一部分仪器介绍1.1外观尺寸.................................................1-1 1.2仪器结构.................................................1-11.2.1 质谱室..............................................1-31.2.1.1 离子源.........................................1-31.2.1.2 磁分析器.......................................1-41.2.1.3 接收极与前置放大器.............................1-41.2.1.4 全离子检测极...................................1-41.2.2 真空系统............................................1-51.2.2.1 机械泵.........................................1-51.2.2.2 涡轮分子泵.....................................1-61.2.2.3 组合阀.........................................1-71.2.2.4真空测量.......................................1-81.2.3 电气系统............................................1-81.2.3.1 电子机柜.......................................1-81.2.3.2 操作台板......................................1-101.2.3.3 电磁阀电源箱..................................1-121.3 仪器主要性能参数.......................................1-131.4 仪器使用环境条件.......................................1-131.5 仪器成套性.............................................1-14 第二部分使用方法.....................................2-12.1 开箱...................................................2-12.2 操作前准备.............................................2-12.3 安装...................................................2-22.4 操作...................................................2-22.4.1 首次开机..........................................2-22.4.2 氦峰调试与漏率校准................................2-32.4.3 喷吹法检漏........................................2-62.4.3.1 正常检漏操作(≤10Pa........................2-62.4.3.2 高压检漏操作(10~20Pa......................2-72.4.3.3 延长预抽时间..................................2-72.4.3.4 超高压检漏(>20Pa...........................2-82.4.4 吸枪检漏...........................................2-82.5 停机....................................................2-92.5.1 维持备用..........................................2-92.5.2 完全停机.........................................2-10 第三部分维护.......................................3-13.1 漏率校准...............................................3-13.2 真空维护与清洗.........................................3-1 目录III3.2.1 机械泵油面观测.....................................3-1 3.2.2 更换机械泵油.......................................3-1 3.2.3 分子泵加注润滑油...................................3-2 3.2.4 清洗分子泵.........................................3-23.2.5 清洗质谱室.........................................3-23.2.6 更换离子源........................................3-113.2.7 清洗组合阀........................................3-123.3 电子部件调整...........................................3-13 3.3.1 发射调节..........................................3-133.3.2 离子源电压校正....................................3-13 3.3.3 热偶规管调整......................................3-14 3.3.4 过压保护调节......................................3-14 3.3.5 分子泵启动设置....................................3-15 3.3.6 漏率显示放大器调整................................3-15 3.3.7 检查前置放大器供电................................3-15 3.4 检验氦本底.............................................3-163.5 仪器泄漏自检...........................................3-16 第四部分常见故障及处理.............................4-14.1 正常运转与故障判断.....................................4-14.2 故障检查与排除.........................................4-3 附录A ZQJ-230D氦质谱检漏仪的工作原理...............A-1A.1 质谱原理.................................................A-1A.2 真空系统原理.............................................A-2A.3 电子学线路的原理.........................................A-5 附录B 氦质谱检漏仪的检漏方式和检漏方法..............B-1B.1 检漏方式................................................B-1B.2 检漏方法................................................B-2B.2.1 喷吹法--确定漏孔位置..............................B-2B.2.2 吸入法——确定漏孔位置..............................B-2B.2.3 钟罩法——测总漏率..................................B-3B.2.4 背压法——测总漏率..................................B-3 附录C 压强和漏率单位换算IV目录KYKY ZQJ-230D 氦质谱检漏仪第一部分仪器介绍 1-1第一部分仪器介绍ZQJ -230D 型氦质谱检漏仪是对密封容器的泄漏进行快速定位和定量测量的完整仪器。
氦质谱检漏仪操作规程
氦质谱检漏仪操作规程《氦质谱检漏仪操作规程》一、引言氦质谱检漏仪是一种专业用于检测密闭容器和管道系统泄漏的仪器。
它利用氦气作为探测气体，通过质谱分析技术来检测微小泄漏。
正确的操作规程能够确保检测的准确性和可靠性，提高工作效率。
二、操作规程1. 准备工作：检测前需要确认被检测系统已断开氦气供应，并且处于密闭状态。
检测仪器也需要连接好电源和氦气供应管路。
同时，在进行实际操作之前，需要对界面软件进行启动和设置。
2. 仪器校准：启动检测仪器后，需要进行系统的自动校准，确保各项参数的正常工作。
包括氦气流量、真空泵运转状态、质谱仪的灵敏度等。
同时还需要对氦气的纯度进行测试，并记录相关数据。
3. 检测操作：将检测仪器放置在被检测系统附近，打开氦气供应阀门，开始充入氦气。
在氦气充入的过程中，观察质谱仪的数据显示，一旦出现氦气浓度异常升高的现象，即可判定系统存在泄漏。
并且质谱仪会自动记录并报警。
4. 结果分析：当检测结束后，需要对检测仪器的数据进行分析。
包括泄漏位置、泄漏程度等情况。
同时也需要对数据进行记录和存档。
5. 整理仪器：检测完成后，及时关闭氦气供应管路，关闭仪器电源，并对仪器进行整理清洁。
同时还需要进行定期的维护和保养。
三、注意事项1. 操作人员需要经过专业培训，并严格按照操作规程进行操作。
2. 在使用时，需要对仪器进行定期的校准。
3. 在检测过程中需要保持现场通风良好，避免仪器受到污染。
4. 检测仪器需放置在平稳的工作台上，避免因振动引起误差。
通过严格按照《氦质谱检漏仪操作规程》进行操作，能够有效提高检测的准确性和可靠性，保障设备和系统的正常运行。
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氦质谱检漏仪使用说明书
资产编号：型号：ZQJ-542
一、设备组成及工作原理
1、设备组成框图
2、设备工作原理
检漏仪内部组成：氦质谱检漏仪主要由分子泵、质谱室、组合阀体，机械泵以及控制电路板等组成。
检漏仪的工作原理：氦质谱检漏仪是根据质谱仪学原理，用氦气作为搜索气体制成的气密性检测仪器。
ZQJ-542检漏仪采用180度磁偏转质谱室，钨制灯丝发射出来的电子经过加速进入离化室，在离化室内与残余气体分子和经被检件漏孔进入离化室的氦气互相碰撞使其电离成正离子，这些离子在加速电场作用下进入磁场，由于洛伦兹力作用产生偏转，由于不同质量数（m/e）的离子其偏转半径不同，这样就将不同的离子分离开了。
由于磁场参
数是固定的，只有调节加速压力就可以改变氦离子的偏转半径，使氦离子正好通过隔离板上的窄缝打到放大器入口，这样就使氦离子（m/e=4）与其他离子分开了。
氦离子流正比于容器中氦分压。
因此，对氦离子的测量可以用来确定被检件的漏率。
二、设备工作外部条件
氦质谱检漏仪电源电压220V 频率50HZ 额定功率2000W。
仪器应安装在符合仪器使用的环境要求的场所，特别是仪器的电源插座，应符合要求，要有良好的地线，左右要留有30CM的通风间距。
放置好检漏仪，以避免仪器有倾斜或倾倒的危险。
检漏仪的底部有安装孔，可以将其固定在桌子或支架上。
在仪器运行前要确保真空泵中的机械泵油是否足够，机械泵油必须用专用的针对机械泵型号的油。
三、设备工作外部条件接通操作
氦质谱检漏仪
图1检漏仪的机械泵有足够的机械泵油；保证机体内分子泵、机械泵、真高空组件各连接顺畅；电源线线路没有破损，有良好的接地。
检漏仪要放平稳，不能倾斜，检漏仪底面要有一层防静电布。
加压罐压氦装置
图2
加压罐压氦装置的外部接通顺序：写出设备外部条件的接通先后顺序，操作方法，具体的参数等。
1、把加压罐、电阻真空计、真空泵、氦气瓶按要求连接。
2、检查加压罐的密封圈是否有损害，加压罐进出阀门是否关闭不了；真空泵是否有足够的泵油，气镇阀旋钮是否处在关闭的位置；氦气瓶减压阀是否漏气现象。
3、确认所有应该注意的事项没有问题之后可以接电源通电。
重氟油粗检
图3
1、查看温度检测线路和加热板线路没有破损。
2、 在油箱中加入适量的重氟油
3、 插上电源线，设定重氟油的温度进行加热处理，打开照明灯。
当温度达到要求即可用来粗检产品。
四、详细操作 启动检漏仪
1、 连接电源插头，打开检漏仪开关。
2、 机械泵开始启动。
3、 面板上的指示灯亮。
4、 液晶屏（LCD ）显示如下信息：
当分子泵达到正常转速（100%）后，LCD 显示：
当灯丝检测、加电完毕后，系统进入待机状态：
如果检漏仪存放一段时间后的启动
如果检漏仪长时间不用后，再次开机会增加一额外的启动时间用来排
出系统内的气体。
此时屏幕显示如下图所示：
检漏方法概述
根据被检件和测量精度要求，选择合适的测量方法，如下图4所示
是
是
是 （一）半检漏（喷氦法）的详细步骤：
1、插上电源，打开检漏仪总开关。
等待2到3分钟，当听到一阵风鸣声之后说明检漏仪已完全启动。
2、查看检漏仪装置确保检漏参数未被更改，检漏仪运行正常。
打开检漏仪盲孔，选择合适大小的检漏托盘和密封橡胶板。
用无尘布沾上酒精擦拭下密封孔处，把检漏托盘装在检漏口上，在放密封橡胶板时也要用沾上酒精的无尘布擦拭一遍；然后涂上一层高真空硅脂；最后密封橡胶板对准检漏托盘中间的小孔紧密贴合放在检漏托盘上。
3、如图把组件未封盖面放在检漏孔的正上方处，手指轻轻的按压组件背面。
在组件的四周面用沾有酒精的棉签涂上一层，然后点击检漏按钮进行漏率检测。
等漏率值稳定之后，拿装好氮气的喷枪尽可能的靠近组建前后端子处一个个的进行喷气，这是漏率值都会有相应的变
v1.0 可编辑可修改化。
如果在报废点之内则说明密封性合格，如若有报警声响则说明该点密封性不合格需要返修。
4、组件检完之后再按下检漏按钮当待机按钮灯亮之后即可取下组件。
(二)全检（背压法）
1、由于组件在加压罐和检漏盒中会受到一定的压力冲击，因此要用一张无尘纸包裹住组件以免碰伤和组件内部元件受到冲击。
2、全检是要把产品先放在充满氦气的加压罐中施加绝对压力的压力加压4h。
加压罐装置如下图所示：
3、在检漏仪的检漏孔处把检漏盒装好，把组件放入检漏盒中盖好盖板。
进行检漏。
检漏过程中不能揭开盖板。
4、将在检漏仪上检漏合格的组件，还需要经过氟油检漏装置进行进一步的检漏。
主要原因是担心有些组件的漏率合格在检漏仪抽真空时，如果产品有很大的漏孔，会把产品中泄露的氦气也抽走，从而影响检测的结果因此才进行氟油粗检。
氟油粗检的时候通过肉眼观察气泡的泄露情况即可最终判断该组件的漏率是否合格。
5、氟油检漏之后，带上高温手套把组件从氟油中拿出来，冷却。
写出设备的详细操作步骤，列出典型的工艺参数设置；如果需要编制程序，写出简要的编程过程和要领。
1、
2、
…
五、设备工作外部条件关断操作
（一）关闭检漏仪
仪器可以在任何情况关闭，但是建议如果检漏仪长时间不用，需要遵循下面的步骤进行关闭！
1、在检漏口上堵上盲板。
2、按下检漏按钮，使检漏仪处于检漏状态。
3、等到漏率达到最小可检漏率状态。
4、确认放气阀处于手动关闭。
5、按下检漏键停止检漏。
6、关闭检漏开关。
（二）重氟油检漏
关闭照明，加热拔下插头切断电源；当重氟油检漏长期不用时可等油冷却之后重新装入油桶里储存。
（三）加压罐
工作完成后关闭氦气减压阀，并把减压阀两个表中的气体排尽。
六、外部工作条件异常处理
1、气源供应不足时检查气瓶是否用完，还是有泄露情况，及时解决。
2、真空泵不能正常运行，检查泵油其否足够，不足时及时添加。
七、操作安全注意事项
1、产品放入加压罐中加压时，不能直接拆除加压罐。
必须先把加压罐里面的气体排出才能打开。
由于加压罐中压力比空气中的压力大以防造成一定的伤害因此在加压过程中不能让不相干的人员靠近并在加压罐上方贴一个警告标识。
2、氦气减压阀连接气瓶接口处要锁紧不能有松动情况。
以防气体冲击带来伤害。
3、产品半检漏时，按压住的组件不能挪动或者强行扳开。
以防气体冲击带来伤害。
4、在进行重氟油检漏时，产品不能直接放进油箱中，而应把油箱中的托盘拿出，把产品放在其上在慢慢放入油中。
以防止油飞溅烫伤。
八、日常保养及故障处理
设备日常保养：
1、定期检查机械泵的油位，如果不足要及时添加；如果机械泵油
呈棕色、褐色或闻起来有糊味，说明油已经变质。
此时，应放
出泵中油，必要时，先用新油冲洗后，再注入新油。
2、定期清洗或更换机械泵的排气管。
如果发现排气管内积存了很
多油滴，可以将其从仪器内部取下来，然后清洗它，再用热风
吹干或是自然晾干。
（二）常见故障处理。