气敏传感器检测应用-PPT课件
合集下载
6.1气敏传感器基本原理及测量电路.pptx

阻的特性影响很大,因此加热器的加热电压必须恒定。 如前所述,MQN型气敏传感器使用时气敏电阻工作时必须加热到200300℃,
其目的是加速被测气体的化学吸附和电离的过程并烧去气敏电阻表面的污物(起清洁 作用)。
— 20 —
8. 气体检测使用注意事项
2)温度补偿 半导体气敏电阻在气体中的电阻值与温度和湿度有关。当温度和湿度较低时,电
测量转换电路
据分压比定律,Uo不受温度影响,减小了
测量误差。
汽车尾气分析
二氧化钛氧浓度传感器可 用于汽车或燃烧炉排放气 体中的氧浓度测量。
观察右图看说明非线性特性对 浓度超限报警是否有利?
气敏半导体的灵敏度特性曲线
— 18 —
— 19 —
8. 气体检测使用注意事项
1)气敏电阻使用时一定要加热 一般由变压器二次绕组交流输出或直流电压提供低电压加热。加热温度对气敏电
阻值较大;温度和湿度较高时,电阻值较小。因此,即使气体浓度相同,电阻值也会 不同,需要进行温度补偿。
如前所述,TiO2氧浓度传感器的测量转换电路中,与TiO2气敏电阻串联的热敏电 阻Rt 起温度补偿作用。
— 21 —
8. 气体检测使用注意事项
• 温度补偿中实用的热敏电阻工作原理 • 半导体热敏电阻简称热敏电阻,是一种新型的半导体测温元件。 • 热敏电阻是利用半导体的电阻值随温度的变化而显著变化的特性实现测
气敏传感器类型:
半导体气敏传感器 接触燃烧式气敏传感器 电化学气敏传感器
2.气敏传感器外形
— 5—
半导体气敏传感器应用最多。它的 应用主要有:一氧化碳气体的检测、 瓦斯气体的检测、煤气的检测、氟 利昂的检测、呼气中乙醇的检测、 人体口腔口臭的检测等等。
— 6—
其目的是加速被测气体的化学吸附和电离的过程并烧去气敏电阻表面的污物(起清洁 作用)。
— 20 —
8. 气体检测使用注意事项
2)温度补偿 半导体气敏电阻在气体中的电阻值与温度和湿度有关。当温度和湿度较低时,电
测量转换电路
据分压比定律,Uo不受温度影响,减小了
测量误差。
汽车尾气分析
二氧化钛氧浓度传感器可 用于汽车或燃烧炉排放气 体中的氧浓度测量。
观察右图看说明非线性特性对 浓度超限报警是否有利?
气敏半导体的灵敏度特性曲线
— 18 —
— 19 —
8. 气体检测使用注意事项
1)气敏电阻使用时一定要加热 一般由变压器二次绕组交流输出或直流电压提供低电压加热。加热温度对气敏电
阻值较大;温度和湿度较高时,电阻值较小。因此,即使气体浓度相同,电阻值也会 不同,需要进行温度补偿。
如前所述,TiO2氧浓度传感器的测量转换电路中,与TiO2气敏电阻串联的热敏电 阻Rt 起温度补偿作用。
— 21 —
8. 气体检测使用注意事项
• 温度补偿中实用的热敏电阻工作原理 • 半导体热敏电阻简称热敏电阻,是一种新型的半导体测温元件。 • 热敏电阻是利用半导体的电阻值随温度的变化而显著变化的特性实现测
气敏传感器类型:
半导体气敏传感器 接触燃烧式气敏传感器 电化学气敏传感器
2.气敏传感器外形
— 5—
半导体气敏传感器应用最多。它的 应用主要有:一氧化碳气体的检测、 瓦斯气体的检测、煤气的检测、氟 利昂的检测、呼气中乙醇的检测、 人体口腔口臭的检测等等。
— 6—
《气敏材料能检测》课件

稳定性问题
气敏材料在长时间使用过程中可 能发生性能衰减,影响检测的准
确性。
选择性限制
不同气敏材料对不同气体的敏感度 不同,可能存在选择性限制。
成本问题
一些高性能的气敏材料制备成本较 高,限制了其广泛应用。
如何应对气敏材料的挑战
加强基础研究
深入开展气敏材料的基础研究,探索提高稳定性 和选择性的方法。
优化制备工艺
通过优化制备工艺,降低高性能气敏材料的成本 ,促进其广泛应用。
跨领域合作
加强跨领域合作,将气敏材料与传感器技术、物 联网等领域结合,拓展应用场景。
THANK YOU
疗诊断等领域得到了广泛应用。
气敏材料的未来展望
随着科技的不断发展,气敏材料将会 继续向着高灵敏度、高选择性、快速 响应和低成本的方向发展。
同时,随着人们对气体检测需求的不 断增加,气敏材料的应用领域也将不 断拓展,为人类的生产和生活提供更 加安全和便捷的保障。
新材料和新技术将会不断涌现,为气 敏材料的研发和应用提供更多的可能 性。
《气敏材料能检测》PPT课件
• 气敏材料简介 • 气敏材料的检测原理 • 气敏材料的发展历程 • 气敏材料的实际应用案例 • 气敏材料的发展趋势与挑战
01
气敏材料简介
气敏材料的定义
气敏材料
指能够感应周围环境中的气体成分、浓度、湿度等参数,并能够将相关信息转 化为可识别信号的材料。
气敏材料的原理
长时间使用可能导致性能 下降。
成本较高
部分高性能气敏材料成本 较高。
03
气敏材料的发展历程
气敏材料的起源
气敏材料的起源可以追溯到20世纪初,当时人们开始研究如何利用材料对气体进行 敏感检测。
气敏材料在长时间使用过程中可 能发生性能衰减,影响检测的准
确性。
选择性限制
不同气敏材料对不同气体的敏感度 不同,可能存在选择性限制。
成本问题
一些高性能的气敏材料制备成本较 高,限制了其广泛应用。
如何应对气敏材料的挑战
加强基础研究
深入开展气敏材料的基础研究,探索提高稳定性 和选择性的方法。
优化制备工艺
通过优化制备工艺,降低高性能气敏材料的成本 ,促进其广泛应用。
跨领域合作
加强跨领域合作,将气敏材料与传感器技术、物 联网等领域结合,拓展应用场景。
THANK YOU
疗诊断等领域得到了广泛应用。
气敏材料的未来展望
随着科技的不断发展,气敏材料将会 继续向着高灵敏度、高选择性、快速 响应和低成本的方向发展。
同时,随着人们对气体检测需求的不 断增加,气敏材料的应用领域也将不 断拓展,为人类的生产和生活提供更 加安全和便捷的保障。
新材料和新技术将会不断涌现,为气 敏材料的研发和应用提供更多的可能 性。
《气敏材料能检测》PPT课件
• 气敏材料简介 • 气敏材料的检测原理 • 气敏材料的发展历程 • 气敏材料的实际应用案例 • 气敏材料的发展趋势与挑战
01
气敏材料简介
气敏材料的定义
气敏材料
指能够感应周围环境中的气体成分、浓度、湿度等参数,并能够将相关信息转 化为可识别信号的材料。
气敏材料的原理
长时间使用可能导致性能 下降。
成本较高
部分高性能气敏材料成本 较高。
03
气敏材料的发展历程
气敏材料的起源
气敏材料的起源可以追溯到20世纪初,当时人们开始研究如何利用材料对气体进行 敏感检测。
《气敏传感器》课件

相对误差
指传感器测量值与真 实值之间的差距,较 小的相对误差表示传 感器的测量精度较高。
工作温度范围
指传感器能够正常工 作的温度范围,对应 不同应用场景需要选 择适合的工作温度范 围。
响应时间
指传感器从检测到气 体变化到输出检测结 果所需的时间,较短 的响应时间意味着传 感器更加敏捷。
气敏传感器的应用
• 空气质量监测 • 工业制程控制 • 安全监测 • 智能家居
气敏传感器的发展趋势
1 微型化
2 智能化
ห้องสมุดไป่ตู้
随着技术的进步,气敏传感器正在朝着更小、 更集成的趋势发展,以适应日益复杂的应用 场景。
借助人工智能和物联网技术,气敏传感器正 在实现智能化,能够自动分析和判断气体状 况,并提供准确的监测结果。
3 多功能化
《气敏传感器》PPT课件
本课件介绍气敏传感器的原理、分类、制备方法、性能指标、应用和未来发 展趋势,帮助你深入了解这一重要领域。
什么是气敏传感器
气敏传感器是一种可以感知气体成分、浓度或相应的物理性质的装置。通过 检测气体的变化,它可以帮助我们了解环境中的气体状况。
气敏传感器的分类
基于传感材料分类
1 薄膜制备法
通过沉积敏感材料在基底上,形成薄膜结构的制备方法。
2 溶胶凝胶法
将溶胶中的成分凝胶化,制备敏感材料的方法。
3 高压方法
利用高压技术将材料转变为具有特殊结构和性质的制备方法。
气敏传感器的性能指标
灵敏度
指传感器对气体的响 应程度,越高说明相 同浓度的气体变化能 够被传感器更好地捕 捉到。
根据传感器所使用的敏感材 料的不同,可以将气敏传感 器分为多种类型,如金属氧 化物传感器、半导体传感器 等。
气敏传感器ppt分析

0.5 3 3
(单位 : mm)
氧化 物半导 体 Pt电极 氧化 铝基片
7 器件 加热用 的加 热器 (印制 厚膜 电阻 )
(c)
图9-2 气敏半导体传感器的器件结构 (a) 烧结型气敏器件; (b) 薄膜型器件; (c) 厚膜型器件
由于加热方式一般有直热式和旁热式两种,因而形成了直热
式和旁热式气敏元件。直热式气敏器件的结构及符号如图 9-3 所 示。
表7-3 添加物对SnO2气敏效应的影响
添加物质 PdO,Pd Pd,Pt过渡金属 PdCI2 ,SbCI3 Sb2O3,TiO2TIO3 V2O5,Cu 稀土类 过渡金属 Sb2O3,Bi2O3
高岭土(陶土), Bi2O3 WO
检测气体 CO,C3H8 酒精 CO,C3H8 CH4,C3H8, CO
2、常见气敏传感器的分类
3、半导体气敏传感器的机理
半导体式气敏传感器: 利用半导体气敏元件同气体接触,造成半导体的电 导率等物理性质发生变化的原理来检测特定气体的 成分或者浓度
材料:气敏电阻的材料是金属氧化物半导体; 其中P型:如氧化钴、 氧化铅、氧化铜、氧化镍等。 N型:如氧化锡、氧化铁、氧化锌、氧化钨等。 合成材料有时还渗入了催化剂, 如钯(Pd)、铂 (Pt)、银(Ag)等。
V
图 9-5 MOS二极管结构和等效电路 (a) 结构; (b) 等效电路; (c) C-U特性
(2)MOS场效应晶体管气敏器件 钯-MOS场效应晶体管(PdMOSFET)的结构, 参见图9-6。
S
Pd栅
D Al SiO2
N+ P—Si
N+
图 9-6 钯—MOS场效应晶体管的结构
5、气敏元件的基本特性
当氧化型气体吸附到N型半导体(SnO2, ZnO)上, 还原型气体吸附到P型半导体(CrO3)上时,将 使半导体载流子减少,而使电阻值增大。 当还原型气体吸附到N型半导体上,氧化型气体 吸附到P型半导体上时,则载流子增多,使半 导体电阻值下降。
气体传感器PPT演示文稿

多采用烧结工艺,以多孔SnO2陶瓷为基底材料,再添加不同 的其他物质,用制陶工艺烧结而成,烧结时埋入加热电阻丝和测 量电极。此外,还有薄膜型与厚膜型两种工艺。
烧结型
电极(铂丝) 氧化物半导体
加热 器 玻璃(尺寸 约1 mm,也有 全为
半导 体的 ) (a)
半导 体 0.5 mm 电极
厚膜型
3 mm
0.6 mm
(b)
a b
V (c)
Schottky二极管
通过在抛光的钨基上沉积重硼P型金刚石膜,再镀上一层 无杂质金刚石,在850度下退火,最后在金刚石表面热蒸发金 属钯形成钯电极,它对氢气的敏感度高。
9
2.2 非电阻型半导体气敏器件
2.2.2 MOSFET型气敏器件
气敏二极管的特性曲线左移可以看作二极管导通电压发生改 变,这一特性如果发生在场效应管的栅极,将使场效应管的阈值 电压UT改变,利用这一原理可以制成MOSFET型气敏器件。
当用作气体传感器时,它是一种电池。它无需使气体经过透气膜溶于电解液 中,可以避免溶液蒸发和电极消耗等问题。电导率高,灵敏度和选择性好。
高浓度氧 O2
低浓度氧 O2
设电极的氧分压分别为PO2 (1)、PO2 (2) ,则
在两电极发生如下反应:
()极P : O2(2), 2O2O24e ()极P : O2(1), O24e2O2
电路可以测出氢气浓度。
氢气敏MOSFET特点: 灵敏度:氢气浓度高,则变低;氢气浓度低,则变高。 气体选择性高(氢气) 响应时间:温度越高,氢气浓度越高,则响应越快 稳定性:在HCl气氛中生长一层SiO2绝缘层可改善UT随时间漂移特性
11
3 固体电解质气体传感器
固体电解质是一种具有与电解质水溶液相同的离子导电特性的固态物质,
烧结型
电极(铂丝) 氧化物半导体
加热 器 玻璃(尺寸 约1 mm,也有 全为
半导 体的 ) (a)
半导 体 0.5 mm 电极
厚膜型
3 mm
0.6 mm
(b)
a b
V (c)
Schottky二极管
通过在抛光的钨基上沉积重硼P型金刚石膜,再镀上一层 无杂质金刚石,在850度下退火,最后在金刚石表面热蒸发金 属钯形成钯电极,它对氢气的敏感度高。
9
2.2 非电阻型半导体气敏器件
2.2.2 MOSFET型气敏器件
气敏二极管的特性曲线左移可以看作二极管导通电压发生改 变,这一特性如果发生在场效应管的栅极,将使场效应管的阈值 电压UT改变,利用这一原理可以制成MOSFET型气敏器件。
当用作气体传感器时,它是一种电池。它无需使气体经过透气膜溶于电解液 中,可以避免溶液蒸发和电极消耗等问题。电导率高,灵敏度和选择性好。
高浓度氧 O2
低浓度氧 O2
设电极的氧分压分别为PO2 (1)、PO2 (2) ,则
在两电极发生如下反应:
()极P : O2(2), 2O2O24e ()极P : O2(1), O24e2O2
电路可以测出氢气浓度。
氢气敏MOSFET特点: 灵敏度:氢气浓度高,则变低;氢气浓度低,则变高。 气体选择性高(氢气) 响应时间:温度越高,氢气浓度越高,则响应越快 稳定性:在HCl气氛中生长一层SiO2绝缘层可改善UT随时间漂移特性
11
3 固体电解质气体传感器
固体电解质是一种具有与电解质水溶液相同的离子导电特性的固态物质,
气敏传感器公开课ppt教材

烟雾报警器
酒精传感器
二氧化碳传感器
气敏电阻外形
其他可燃性 气体传感器
酒精传感器
酒精测试仪
呼气管
家庭用液化气 报警器
一氧化碳传感器
其他气体传感器
甲烷传感器
NH3传感器
二氧化碳浓度传感器
氧浓度传感器外形
可用于汽车 尾气测量
汽车尾气分析
有毒气体传感器的使用
二、认识气敏传感器
1、气敏传感器的性能要求:
三、气体传感器的应用
气敏传感器应用较广泛的是用于防灾报警,如可制成液化 石油气、天燃气、城市煤气、煤矿瓦斯以及有毒气体等方 面的报警器。也可用于对大气污染进行监测以及在医疗上 用于对O2、CO2等气体的测量。生活中则可用于空调机、烹 调装置、酒精浓度探测等方面。
(1)、电源电路 一般气敏元件的工作电压不高 (3V~10V),其工作电压,特别是供 给加热的电压,必须稳定。否则,将 导致加热器的温度变化幅度过大,使 气敏元件的工作点漂移,影响检测准 确性。
(1) MOS二极管气敏器件
MOS二极管气敏元件制作过程
是在P型半导体硅片上,利用热氧化工艺生成一层厚度为50~100 nm 的二氧化硅 (SiO 2) 层,然后在其上面蒸发一层钯 (Pd) 的金 属薄膜,作为栅电极,如图9-5(a)所示。
M(Pd) C SiO2 Ca P—Si Cs O (a ) (b ) (c) b a
以质量浓度的单位(mg/m3)表示,中国的标准规范也都是采
用质量浓度单位(如:mg/m3)表示。
什么是气敏传感器?
气敏传感器是用来检测气体类别、浓度和成分的传感器。
由于气体种类繁多, 性质各不相同,不可能用一种传感器检测所
有类别的气体,因此,能实现气-电转换的传感器种类很多,按 构成气敏传感器材料可分为半导体和非半导体两大类。目前实 际使用最多的是半导体气敏传感器。
气敏、湿敏电阻传感器的应用PPT课件

4
广东机电职业技术学院------传感器及应用
一、气敏电阻传感器
气敏电阻是一种半导体敏感器件,它是利用气体的吸附而使 半导体本身的电导率发生变化这一机理来进行检测的。人们 发现某些氧化物半导体材料如SnO2、ZnO、Fe2O3、MgO
、NiO、BaTiO3等都具有气敏效应。 气敏电阻工作原理:
气体的成分、浓度等参数变化 ↓
直热式的加热丝兼作电极。 其结构简单、 成本低、 功耗 小; 但热容量小, 易受环境气流影响; 因加热丝热胀冷缩, 易使之与材料接触不良; 在测量电路中, 信号电路和加热电 路相互干扰。间接式加热丝和电极分立,有好的稳定性。
9
广东机电职业技术学院------传感器及应用
(2) 温湿度特性: SnO2传感器的阻值随温度、 湿度上 升而有规律地减小。 因此除尽量保持恒温、 恒湿外, 其有效
该类气敏元件通常工作在高温状态(200~450℃), 目 的是为了加速上述的氧化还原反应。
8
广东机电职业技术学院------传感器及应用
(1) 气敏特性:遇H2、CO、碳氢化合物等(还原性即可 燃性)气体, 材料表面层电阻率减小;遇O2等氧化性气体时, 材料表面层电阻率增大。在检测前,材料表面已经吸着氧, 所 以对可燃性气体更敏感。最佳工作温度一般多在200~500℃ 范围内。为使传感器能在这样高的温度范围内稳定工作,具有 高温稳定性的半导体材料只有金属氧化物,常见的是SnO2和 ZnO。
(4)
烧结型气体传感器主要用来检测甲烷、丙烷、一氧化碳、 氢气、 酒精、 硫化氢等。
11
广东机电职业技术学院------传感器及应用
例如, 用氧化锡制成的气敏元件, 在常温下吸附某种气 体后, 其电导率变化不大, 若保持这种气体浓度不变, 该器件 的电导率随器件本身温度的升高而增加, 尤其在 100~300℃范围内电导率变化很大。显然, 半导体电导率 的增加是由于多数载流子浓度增加的结果。
广东机电职业技术学院------传感器及应用
一、气敏电阻传感器
气敏电阻是一种半导体敏感器件,它是利用气体的吸附而使 半导体本身的电导率发生变化这一机理来进行检测的。人们 发现某些氧化物半导体材料如SnO2、ZnO、Fe2O3、MgO
、NiO、BaTiO3等都具有气敏效应。 气敏电阻工作原理:
气体的成分、浓度等参数变化 ↓
直热式的加热丝兼作电极。 其结构简单、 成本低、 功耗 小; 但热容量小, 易受环境气流影响; 因加热丝热胀冷缩, 易使之与材料接触不良; 在测量电路中, 信号电路和加热电 路相互干扰。间接式加热丝和电极分立,有好的稳定性。
9
广东机电职业技术学院------传感器及应用
(2) 温湿度特性: SnO2传感器的阻值随温度、 湿度上 升而有规律地减小。 因此除尽量保持恒温、 恒湿外, 其有效
该类气敏元件通常工作在高温状态(200~450℃), 目 的是为了加速上述的氧化还原反应。
8
广东机电职业技术学院------传感器及应用
(1) 气敏特性:遇H2、CO、碳氢化合物等(还原性即可 燃性)气体, 材料表面层电阻率减小;遇O2等氧化性气体时, 材料表面层电阻率增大。在检测前,材料表面已经吸着氧, 所 以对可燃性气体更敏感。最佳工作温度一般多在200~500℃ 范围内。为使传感器能在这样高的温度范围内稳定工作,具有 高温稳定性的半导体材料只有金属氧化物,常见的是SnO2和 ZnO。
(4)
烧结型气体传感器主要用来检测甲烷、丙烷、一氧化碳、 氢气、 酒精、 硫化氢等。
11
广东机电职业技术学院------传感器及应用
例如, 用氧化锡制成的气敏元件, 在常温下吸附某种气 体后, 其电导率变化不大, 若保持这种气体浓度不变, 该器件 的电导率随器件本身温度的升高而增加, 尤其在 100~300℃范围内电导率变化很大。显然, 半导体电导率 的增加是由于多数载流子浓度增加的结果。
《气敏传感器》课件

能量回收与利用
利用新型能源收集技术,将环境中的能量转 化为电能,为传感器供电,降低对外部电源
的依赖。
微型化与集成化
要点一
微型化
通过微纳加工技术和MEMS工艺,将气敏传感器微型化, 减小体积和重量,方便集成到便携式设备中。
要点二
集成化
将多个气敏传感器集成在一个芯片上,实现多气体同时检 测,提高检测效率和准确性。同时,集成化还有助于降低 成本和提高可靠性。
用于检测室内空气中的有害气体,如一氧化碳、甲烷等,保障家庭成员的安全。
工业用气体检测报警器
用于监测工厂、仓库等场所的气体泄漏,及时发现并预防事故发生。
环保领域的气体检测
大气污染监测
检测大气中的有害气体和颗粒物 ,为环境保护和治理提供数据支 持。
水质监测
检测水体中的有害气体和化学物 质,保障水质安全。
提高气敏传感器的选择性
优化传感器结构设计
通过改进传感器结构,提高对特定气体的选择性,降低交叉敏感效应,提高检测的准确 性和可靠性。
表面修饰与改性
通过表面修饰和改性技术,改善传感器的敏感性能和选择性,实现对特定气体的快速、 准确检测。
降低气敏传感器的功耗
低功耗设计
优化传感器电路设计和材料选择,降低功耗 ,延长传感器使用寿命和便携式设备的续航 时间。
半导体气敏传感器
半导体气敏传感器是利用气体在半导 体表面的吸附和反应,引起半导体电 阻变化来检测气体成分的。
例如,用硅半导体掺杂制成n型或p型 半导体敏感元件,当遇到检测到的气 体浓度增加时,传感器的电阻会随之 减小。
固体电解质气敏传感器
固体电解质气敏传感器是利用固体电解质导电率的变化来检 测气体的原理。
工作原理
最新7.2气敏传感器解析ppt课件

• 4、稳定性:当检测的气体浓度不变时,气敏元件的 输出也应保持不变,但实际情况会受其他条件的变化 影响而发生变化,这种在其他条件发生变化时气敏元 件的输出特性保持不变的能力,称为稳定性。
• 5、温度特性:气敏元件的特性随温度的变化而发生 变化的特性称为温度特性,消除这种影响的方法是采 用温度补偿。
由等效电路可知,总电容C
也是栅偏压的函数。其函数 关系称为该类MOS二极管的 C—V特性。由于钯对氢气 (H2)特别敏感,当钯吸附了 H2以后,会使钯的功函数降 低,导致MOS管的C – V特 性向负偏压方向平移,如右 图(c)所示。根据这一特性就 可用于测定H2的浓度。
一、Pd-MOSFET气敏传感器
三、接触燃烧式气体传感器
• 1、结构:管芯、支架、引脚组成。 • 2、原理:敏感材料铂丝遇到空气中的可燃气体时,由
于可燃气体与氧发生氧化反应,产生反应热,使铂丝 温度升高,具有正温度系数的铂丝电阻会相应增大, 而铂丝电阻值的增大量与可燃气体的浓度成正比。这 样只要测出铂丝的电阻增大量就能检测出空气中的可 燃气体浓度。 • 可以检测常见的可燃气体,如H2、CO、CH4、丙酮、 丙烷等。在低温度时,输出信号与可燃气体的浓度之 间具有良好的线性关系,而不受空气中水蒸气的影响。
(G)、源极(S)之间加正向偏压VGS,且VGS>VT(阈值电压)
时,则栅极氧化层下面的硅从P型变为N型。这个N型区就 将源极和漏极连接起来,形成导电通道,即为N型沟道, MOSFET进入工作状态。若此时,在源(S)漏(D)极之间加
电压VDS,则源极和漏极之间有电流(IDS)流过。IDS随VDS和 VGS 的大小而变化,其变化规律即为MOSFET的V-A特性。 当VGS<VT时,MOSFET的沟道未形成.故无漏源电流。
• 5、温度特性:气敏元件的特性随温度的变化而发生 变化的特性称为温度特性,消除这种影响的方法是采 用温度补偿。
由等效电路可知,总电容C
也是栅偏压的函数。其函数 关系称为该类MOS二极管的 C—V特性。由于钯对氢气 (H2)特别敏感,当钯吸附了 H2以后,会使钯的功函数降 低,导致MOS管的C – V特 性向负偏压方向平移,如右 图(c)所示。根据这一特性就 可用于测定H2的浓度。
一、Pd-MOSFET气敏传感器
三、接触燃烧式气体传感器
• 1、结构:管芯、支架、引脚组成。 • 2、原理:敏感材料铂丝遇到空气中的可燃气体时,由
于可燃气体与氧发生氧化反应,产生反应热,使铂丝 温度升高,具有正温度系数的铂丝电阻会相应增大, 而铂丝电阻值的增大量与可燃气体的浓度成正比。这 样只要测出铂丝的电阻增大量就能检测出空气中的可 燃气体浓度。 • 可以检测常见的可燃气体,如H2、CO、CH4、丙酮、 丙烷等。在低温度时,输出信号与可燃气体的浓度之 间具有良好的线性关系,而不受空气中水蒸气的影响。
(G)、源极(S)之间加正向偏压VGS,且VGS>VT(阈值电压)
时,则栅极氧化层下面的硅从P型变为N型。这个N型区就 将源极和漏极连接起来,形成导电通道,即为N型沟道, MOSFET进入工作状态。若此时,在源(S)漏(D)极之间加
电压VDS,则源极和漏极之间有电流(IDS)流过。IDS随VDS和 VGS 的大小而变化,其变化规律即为MOSFET的V-A特性。 当VGS<VT时,MOSFET的沟道未形成.故无漏源电流。
新型传感器原理及应用ppt课件

半导瓷材料的表面电阻下降。由此可见,不论是N型还是P型 半导瓷,其电阻率都随湿度的增加而下降。
5.1 气敏、湿敏传感器
2) 正特性湿敏半导瓷的导电原理 正特性材料的结构、电子能量状态与负特性材料有所不 同。当水分子附着在半导瓷的表面使电动势变负时,导 致其表面层电子浓度下降,但这还不足以使表面层的空 穴浓度增加到出现反型程度,此时仍以电子导电为主。 于是,表面电阻将由于电子浓度下降而加大,这类半导 瓷材料的表面电阻将随湿度的增加而加大。
5.1 气敏、湿敏传感器
2. 半导体陶瓷湿敏电阻
通常,用两种以上的金属氧化物半导体材料混合烧结而成为多孔陶瓷,这 些材料有ZnO-LiO2-V2O5系、Si-Na2O-V2O5系、TiO2-MgO-Cr2O3系和Fe3O4等, 前三种材料的电阻率随湿度增加而下降,故称为负特性湿敏半导体陶瓷, 最后一种材料的电阻率随湿度增加而增大,故称为正特性湿敏半导体陶瓷 (以下简称半导瓷)。
1—ZnO-LiO2-V2O5;2—Si-Na2OV2O5;3—TiO2-MgO-Cr2O3
Fe3O4半导瓷正湿敏特性图
5.1 气敏、湿敏传感器
1) 负特性湿敏半导瓷的导电原理
由于水分子中的氢原子具有很强的正电场,当水在半导瓷表面吸 附时,就有可能从半导瓷表面俘获电子,使半导瓷表面带负电。 如果该半导瓷是P型半导体,则由于水分子吸附使表面电动势下降, 将吸引更多的空穴到达其表面,于是,其表面层的电阻下降。若 该半导瓷为N型,则由于水分子的附着使表面电动势下降,如果表 面电动势下降较多,不仅使表面层的电子耗尽,同时吸引更多的 空穴达到表面层,有可能使到达表面层的空穴浓度大于电子浓度, 出现所谓表面反型层,这些空穴称为反型载流子。它们同样可以 在表面迁移而表现出电导特性。因此,由于水分子的吸附,使N型
5.1 气敏、湿敏传感器
2) 正特性湿敏半导瓷的导电原理 正特性材料的结构、电子能量状态与负特性材料有所不 同。当水分子附着在半导瓷的表面使电动势变负时,导 致其表面层电子浓度下降,但这还不足以使表面层的空 穴浓度增加到出现反型程度,此时仍以电子导电为主。 于是,表面电阻将由于电子浓度下降而加大,这类半导 瓷材料的表面电阻将随湿度的增加而加大。
5.1 气敏、湿敏传感器
2. 半导体陶瓷湿敏电阻
通常,用两种以上的金属氧化物半导体材料混合烧结而成为多孔陶瓷,这 些材料有ZnO-LiO2-V2O5系、Si-Na2O-V2O5系、TiO2-MgO-Cr2O3系和Fe3O4等, 前三种材料的电阻率随湿度增加而下降,故称为负特性湿敏半导体陶瓷, 最后一种材料的电阻率随湿度增加而增大,故称为正特性湿敏半导体陶瓷 (以下简称半导瓷)。
1—ZnO-LiO2-V2O5;2—Si-Na2OV2O5;3—TiO2-MgO-Cr2O3
Fe3O4半导瓷正湿敏特性图
5.1 气敏、湿敏传感器
1) 负特性湿敏半导瓷的导电原理
由于水分子中的氢原子具有很强的正电场,当水在半导瓷表面吸 附时,就有可能从半导瓷表面俘获电子,使半导瓷表面带负电。 如果该半导瓷是P型半导体,则由于水分子吸附使表面电动势下降, 将吸引更多的空穴到达其表面,于是,其表面层的电阻下降。若 该半导瓷为N型,则由于水分子的附着使表面电动势下降,如果表 面电动势下降较多,不仅使表面层的电子耗尽,同时吸引更多的 空穴达到表面层,有可能使到达表面层的空穴浓度大于电子浓度, 出现所谓表面反型层,这些空穴称为反型载流子。它们同样可以 在表面迁移而表现出电导特性。因此,由于水分子的吸附,使N型
ch11 气敏传感器及其应用.ppt

半导体气敏器件的分类
一、 电阻型半导体气敏器件
适宜制作半导体气敏传感器的材料主要是氧化物。 由于半导体材料的特殊性质,气体在半导体材料颗粒表 面的吸附可导致材料载流子浓度发生相应的变化,从而 改变半导体元件的电导率。由氧化物半导体粉末制成 的气敏元件,具有很好的疏松性,有利于气体的吸附,因此 其响应速度和灵敏度都较好。通常所指的氧化物半导 体气敏传感器,就是由粉末状氧化物经烧结或沉积而制 成的。
产生电阻值变化使电桥失去平
待测气体
衡。电桥输出信号的大小反映
被测气体的种类或浓度。
11.2 接触燃烧式气敏传感器 接触燃烧式气敏传感器结构与测量电路原理如图
铂金等金属线圈埋设在氧化催化剂中便构成接触燃烧式气敏 传感器
一般在金属线圈中通以电流,使之保持在300~500℃的高温状 态,当可燃性气体与传感器表面接触,燃烧热进一步使金属 丝温度升高,从而电阻值增大。其电阻值增量为:
1.表面电阻控制型气敏器件
它是利用半导体表面因吸附气体引起半导体元件 电阻值变化特性制成的一类传感器。多数是以可燃性 气体为检测对象,但如果吸附能力很强,即使是非可燃性 气体也能作为检测对象。这种类型的传感器,具有气体 检测灵敏度高、响应速度比一般传感器快、实用价值 大等优点。
表面电阻控制型半导体气敏器件的工作原理,主要 是靠表面电导率变化的信息来检验被接触气体分子。 因此,要求做这种器件的半导体材料的体内电导率一定 要小,这样才能提高气敏器件的灵敏度。
目前常使用的ν-Fe2O3气敏器件,其结构如图8.49所示。 (氧化物 半导体,由于化学反应强而且容易还原的氧化物,在比较低的 温度下与气体接触时晶体中的结构缺陷就发生变化,继之体电 阻发生变化,因此,可以检测各种气体)
- 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性,平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
- 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
- 3、如文档侵犯您的权益,请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间:9:00-18:30)。
烧结成球状多孔体。将烧结后的小球 , 放在贵金属铂、钯
等的盐溶液中 , 充分浸渍后取出烘干。然后经过高温热处 理 , 使在氧化铝 ( 氧化铝一氧化硅 ) 载体上形成贵金属触媒
层,最后组装成气体敏感元件。
湖南铁道职业技术
应 用 电 子 技 术 专 业 教 学 资 源 建 设
F2 D R1 M F1 C
W2 B
E0
R2
W1
湖南铁道职业技术
应 用 电 子 技 术 专 业 教 学 资 源 建 设
R R R F F 1 1 E E 0 R R R R R F F F 1 2 1 2
湖南铁道职业技术
应 用 电 子 技 术 专 业 教 学 资 源 建 设
2、接触燃烧式气体敏感元件的桥式电路
A
F2
M
F1
D R1
C
W2
B
R2 W1
E0
湖南铁道职业技术
应 用 电 子 技 术 专 业 教 学 资 源 建 设
F1 是检测元件, F2 是补偿元件,其作用是补偿可燃性气体 接触燃烧以外的环境温度、电源电压变化等因素所引起的 偏差。
湖南铁道职业技术
E=k•m•b
丙烷 输 150 出 电 100 压 / mV 50 乙醇 异丁烷 丙酮 环己烷 0 0.2
0.4
0.6
0.8
1.0
气体浓度(XLEL)
接触燃烧式气敏元件的感应特性
3、接触燃烧式气敏元件的结构
应 用 电 子 技 术 专 业 教 学 资 源 建 设 用高纯的铂丝 , 绕制成线圈 , 为了使线圈具有适当的阻值 (1Ω~2Ω),一般应绕10圈以上。在线圈外面涂以氧化铝或 氧化铝和氧化硅组成的膏状涂覆层 , 干燥后在一定温度下
因为Δ RF很小,且RF1•R1=RF2•R2
R R F 1 2 E E R 0 F R R R R R 1 2 F F F 1 2 1
A M F1 C
F2 D R1
湖南铁道职业技术
W2 B E
R2 W1
A F2 D
R1 M
F1
C
W2
B
R2 W1
E0
湖南铁道职业技术
应 用 电 子 技 术 专 业 教 学 资 源 建 设
工作时,要求在F1和F2上保持100mA~200mA的电流通过, 以供可燃性气体在检测元件F1上发生氧化反应(接触燃烧) 所需要的热量。当检测元件F1与可燃性气体接触时,由于 剧烈的氧化作用(燃烧),释放出热量,使得检测元件的温 度上升,电阻值相应增大,桥式电路不再平衡,在 A 、 B 间产生电位差E。 A
敏感材料的铂丝温度升高,电阻值相应增大。
湖南铁道职业技术
应 用 电 子 技 术 专 业 教 学 资 源 建 设
一般情况下,空气中可燃性气体的浓度都不太高 (低于10%),可燃性气体可以完全燃烧,其发热量与可 燃性气体的浓度有关。 空气中可燃性气体浓度愈大,氧化反应(燃烧)产生 的反应热量(燃烧热)愈多,铂丝的温度变化(增高)愈大,
应 如果令 0 11 2 F F 1 2 用 电 则有 RF2 子 E k RF 技 RF1 术 专 业 这样,在检测元件F1和补偿元件F2的电阻比RF2/RF1接近于 教 1的范围内,A,B两点间的电位差E,近似地与ΔRF成比例。 学 资 在此,ΔRF是由于可燃性气体接触燃烧所产生的温度变化 源 (燃烧热)引起的,是与接触燃烧热(可燃性气体氧化反应热) 建 成比例的。 设
表面处理方法等因素有关。 Q是由可燃性气体的种类决定。 因而,在一定条件下,都是确定的常数。则:
E=k•m•b
Q b C
湖南铁道职业技术、 B 两点间的电位差 与可燃性气体的浓度 m 成 比例。如果在 A 、 B 两点 间连接电流计或电压计, 就可以测得 A 、 B 间的电 位差 E ,并由此求得空气 中可燃性气体的浓度。若 与相应的电路配合,就能 在空气中当可燃性气体达 到一定浓度时,自动发出 报警信号,其感应特性曲 线如图。
《家电传感器应用》课程教学资源建设
建设院校:
顺德职业技术学院
主要参与企业:
广东美的集团 广东新宝电器 佛山市顺德区美智电子 佛山市顺德区高迅电子
气体传感器与检测应用
应 用 电 子 技 术 专 业 教 学 资 源 建 设
湖南铁道职业技术
主要内容
应 用 电 子 技 术 专 业 教 学 资 源 建 设
接触燃烧式气敏元件 金属氧化物半导体气敏元件 氧化锆气敏元件
气体传感器的应用
湖南铁道职业技术
一、接触燃烧式气敏元件
应 用 电 子 技 术 专 业 教 学 资 源 建 设
1、检测原理
可燃性气体 (H2、 CO 、 CH4等 ) 与空气中的氧接触,
发生氧化反应,产生反应热(无焰接触燃烧热),使得作为
C—检测元件的热容量;
Q—可燃性气体的燃烧热;m—可燃性气体的浓度[%(Vol)]; α—由检测元件上涂覆的催化剂决定的常数。
湖南铁道职业技术
应 用 电 子 技 术 专 业 教 学 资 源 建 设
H Q R T m F C C
ρ , C和 α 的数值与检测元件的材料、形状、结构、
其电阻值增加的就越多。
因此,只要测定作为敏感件的铂丝的电阻变化值 (Δ R),就可检测空气中可燃性气体的浓度。
湖南铁道职业技术
应 用 电 子 技 术 专 业 教 学 资 源 建 设
实际使用的检测元件:
使用单纯的铂丝线圈作为检测元件,其寿命较短,所
以,实际应用的检测元件,都是在铂丝圈外面涂覆一层 氧化物触媒。这样既可以延长其使用寿命,又可以提高 检测元件的响应特性。
湖南铁道职业技术
k E R R R R R
应 用 电 子 技 术 专 业 教 学 资 源 建 设
ΔRF可用下式表示
H Q R T m F C C
ρ —检测元件的电阻温度系数; Δ T—由于可燃性气体接触燃烧所引起的检测元件的温度增加值; Δ H—可燃性气体接触燃烧的发热量;