单晶炉机械结构PPT课件

晶体提升腔拆装及调整
取出压力辊子组件 左端盖
9 松开压力滚子组件固定到提升腔上的4颗螺钉，拆下 压力滚子组件。
10 拆下提升腔右端盖的4颗螺钉。 12 用小拉马取下花键轴左端的滚动轴承。
拆下提升腔左端盖的盖板，用铜棒敲击花键轴，将 其向
11 右端推出，同时顺时针旋转花键轴使得缆索管从铜螺母 的螺纹上脱开，将花键轴、缆索管、右端盖以及晶转磁 流体密封作为一个整体从提升腔内抽出。
坩埚提升机构（俯视）
坩埚提升机构拆装及调整
拆旋转皮带
1、关掉坩埚轴冷却水的进水管阀门，将其回水管用扎带 扎起。
2、松开坩埚旋转电机齿轮箱组件并从坩埚轴上拆下旋转 皮带。
3、从坩埚轴组件上松开并取下旋转接头夹紧圈。 4、松开坩埚轴上的固定冷却管的3只紧定螺钉，向下取
出旋转接头和冷却管。
5、松开固定波纹管的螺钉，取下波纹管。 6、从坩埚轴磁流体密封的底部取下夹紧圈和旋转带轮。 7、从炉底板的上方将坩埚轴从埚转磁流体密封中抽出。
松开3个紧定螺钉
取下旋转接头和冷却管 取下波纹管
1、拔下称重传感器腔上的航空插头。 2、从钢丝绳上取下籽晶夹头。 3、将缆索管下降到如左图所示位置之后，取下
钢丝绳。 4、松开第二级蜗轮蜗杆减速箱输出轴上卡环的
内六角螺钉，松开刚性连轴器右侧的紧定螺 钉，将其向外滑出。小心不要把联轴器上的 十字块跌落。 5、松开行程块的2颗固定螺钉，卸下同步带。 6、拆下把提升腔固定到晶升底板上的两个螺钉。 螺钉是从底板下面向上旋进的。 7、把提升腔垂直平稳向上提起，小心不要破坏 提升腔的内孔以及晶转磁流体密封的O型圈 和轴。 8、松开2颗铰链螺钉，使称重腔与提升腔脱离。
一个整体从提升腔右侧送入，逆时针旋转花键轴使得 缆索管拧入铜螺母，将右端盖完全压入提升腔，上紧4 颗固定螺钉。
22、装回提升腔左端盖的盖板，拧紧固定螺钉。 23、装回压力滚子组件，拧紧压力滚子组件固定到提升腔
上的4颗螺钉。 24、将对中针从提升腔下面晶转磁流体孔放入，检查钢缆
螺纹与磁流体孔中心的位置，保证磁流体孔中心与所 对应螺纹的中心的偏差不大于0.05mm。
晶升离合器的调整
1、使用0.2mm的塞尺塞入离 合器，当离合器通电时， 固定离合器右侧的定位螺 钉。
2、离合器断电，取出塞尺， 重新通电，检查是否吸合。
3、离合器断电，用0.2mm的 塞尺检查间隙是否有变化。
4、反复测试几次，至离合器 吸合、分离正常。
晶体提升机构维护周期表
设备名称 籽晶钢缆 籽晶提升滑轮及卷丝轮 晶转和晶升皮带 晶转、晶升电机噪声、刷磨损 联轴器紧定螺钉 晶升离合器组件的调整
晶体提升腔拆装及调整
25、提升腔垂直向下放到底板上，小心不要破坏提升腔的内孔以及晶转 磁流体密封的O型圈和轴。在O型圈上抹少量的真空脂将有助于提升 腔的装入。
26、装回把提升腔固定到底板上的两颗螺钉。 27、装回称重腔，拧紧铰链螺钉。 28、装回钢丝绳，并重新检查限位开关的设置。 29、装回刚性联轴器和卡环，确定联轴器上的十字块仍在正确位置。 30、在钢丝绳上装上籽晶夹头。 31、将称重传感器腔的航空插头重新插上。
13 松开并取下把花键轴滑套固定到缆索管上的4颗螺钉。
14 将缆索管从花键滑套上拉出，小心，不要把滑套拉出花 键轴，否则，滚珠将会从滚槽中掉下来。
取出晶转磁流体
右端盖
取出右端盖
花键轴、缆索管
晶体提升腔拆装及调整
左端盖及铜螺母 对中针
缆索管的对中
15、拆下提升腔左端盖的4颗螺钉，将左端盖连同铜螺母 一起从提升腔内抽出。
16、拆下把铜螺母固定到盖端上的4颗螺钉，取下铜螺母。 17、重装时，首先铜螺母装回端盖，装回把铜螺母固定到
盖端上的4颗螺钉。 18、将右端盖装回提升腔，上紧固定螺钉。 19、将缆索管装入花键滑套，上紧固定螺钉。 20、装回花键轴左端的滚动轴承。 21、将花键轴、缆索管、右端盖以及晶转磁流体密封作为
炉体
整 体
电控柜
结 构 尺 电源柜 寸
总重
整体结构尺寸
接口尺寸
晶体提升机构
• 籽晶提升机构经过 静平衡和动平衡测 试
• 带称重传感器 • 快慢速双电机 • 外置限位调节 • 观测玻璃窗 • 光电编码计行程
晶体提升机构结构（主视）
晶体提升机构结构（俯视）
晶体提升腔拆装及调整
拆装钢丝绳时缆索管位置
TDR85A-ZJS单晶炉的机械 结构与维修
背景 — 半导体生产流程
Baidu Nhomakorabea
石英砂－金属硅
多晶
拉制单晶棒 （本产品研究环节）
单晶硅片
单晶硅棒
集成电路
集成电路应用
太阳能电池
太阳能电池应用
设备简介
直拉式单晶硅生长炉是一种高效率制备硅单 晶体的设备。
将多晶硅原料放在炉体的石英坩埚内进行高温 熔化（大于1450℃），在低真空度和氩气保护下， 通过籽晶插入多晶硅熔体后，在籽晶周围形成过冷 态并进行有规律结晶生长，形成一根单晶棒体。
维修周期 每次运行 每个月
3个月 3个月 3个月 3个月
步骤 检查磨损、损坏情况 清洁并检查对中性 检查磨损/对中和张力
检查碳刷长度 检查紧固性
检查离合器间隙及动作
坩埚提升机构
• 滚珠直线导轨 • 精密丝杆，自锁 • 承受轴向力磁流体
密封 • 快慢速双电机 • 光电编码计行程
坩埚提升机构（主视）
籽晶提升 旋转机构
单晶棒 CCD
加热器 坩埚 坩埚提升 旋转机构
液面测 温仪 氩气 流量
籽晶
热场测 温仪
工艺过程
• 抽真空 • 检漏 • 调压 • 熔料 • 稳定 • 熔接 • 引晶 • 放肩 • 转肩 • 等径 • 收尾 • 停炉 • 氧化
熔料
引晶
放肩
等晶
收尾
TDR85A-ZJS全自动晶体生长炉
籽晶钢缆的对中
1、安放对中靶在坩埚轴的托盘上，保证其 位于托盘正中。 2、安装对中针在籽晶夹头的一端。 3、定位坩埚使对中靶在要求的熔体水平位 置。 4、抽空单晶炉且维持在20Torr静态压力。 5、降下籽晶夹头，使对中针几乎触及对中 靶。 6、从另一个观察窗观察对中针是否正对对 中靶中心。 7、如对中针没有正对对中靶中心，则松开 固定籽晶提升装置的三个压紧块。 8、调整压紧块侧面的顶紧螺钉使对中针正 对对中靶中心。 9、上紧三个压紧块，观察对中针是否有偏 差。 10、拆下对中靶和对中针。