实验3椭圆仪测量薄膜厚度
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实验3椭圆仪测量薄膜厚度
目录
• 实验目的 • 实验原理 • 实验设备 • 实验步骤
一、实验目的
1. 结合传统的测试方法去理解自动椭圆偏振测厚仪 的工作原理，并且熟悉其操作的软件平台；
2. 用椭偏仪测量Si衬底上的SiO2薄膜的折射率和厚 度。
二、实验原理
使一束自然光经起偏器变成线偏振光。再经1/4波 片，使它变成椭圆偏振光入射在待测得膜上。反 射时，光的偏振状态将发生变化。通过检测这种 变化，便可以推算出待测膜面的某些光学参数。
四、实验步骤
150nm对应的曲 线
160nm对应的曲 线
四、实验步骤
通过绘图可知， 数据点在155nm 和156nm之间
修改上下线 和精度
修改图像 放大倍数
四、实验步骤
切换模式，画曲 线寻找折射率
Βιβλιοθήκη Baidu
四、实验步骤
修改上下限
修改精度 修改放大倍数 逼近数据点
四、实验步骤
填入前面作 图法获得厚 度和折射率， 得到周期厚度
四、实验步骤
1、点 击设置
2、设置测量 方式为查表
四、实验步骤
点击开始 进行测量
四、实验步骤
点击建表
四、实验步骤
点击建表
四、实验步骤
记录消光点 折射率 膜厚度
厚度周期 =d1-d0
三、实验设备：自动椭圆偏振测厚仪光路图
•测试 •完成
三、实验设备：SGC-2型自动椭圆偏振测厚 仪
三、实验设备：软件界面
四、实验步骤
同时也要设 置设备的入 射角
同时也要保证 反射光进入接 收端小孔
1、设 置光源
2、设置 入射角
3、设置 衬底
四、实验步骤
1、点击 设置
2、设置测量方 式为快速测量
四、实验步骤
点击开始 进行测量
四、实验步骤
1、测量结束 弹出如下框
2、点击快 速出结果
四、实验步骤
记录下薄膜折射 率、薄膜基厚度 、厚度周期
记录下消光点
四、实验步骤
1、点 击设置
2、设置测量 方式为做图 测量
四、实验步骤
点击开始 进行测量
四、实验步骤
数据点所在位置
点击开始绘图，绘 制薄膜厚度曲线
目录
• 实验目的 • 实验原理 • 实验设备 • 实验步骤
一、实验目的
1. 结合传统的测试方法去理解自动椭圆偏振测厚仪 的工作原理，并且熟悉其操作的软件平台；
2. 用椭偏仪测量Si衬底上的SiO2薄膜的折射率和厚 度。
二、实验原理
使一束自然光经起偏器变成线偏振光。再经1/4波 片，使它变成椭圆偏振光入射在待测得膜上。反 射时，光的偏振状态将发生变化。通过检测这种 变化，便可以推算出待测膜面的某些光学参数。
四、实验步骤
150nm对应的曲 线
160nm对应的曲 线
四、实验步骤
通过绘图可知， 数据点在155nm 和156nm之间
修改上下线 和精度
修改图像 放大倍数
四、实验步骤
切换模式，画曲 线寻找折射率
Βιβλιοθήκη Baidu
四、实验步骤
修改上下限
修改精度 修改放大倍数 逼近数据点
四、实验步骤
填入前面作 图法获得厚 度和折射率， 得到周期厚度
四、实验步骤
1、点 击设置
2、设置测量 方式为查表
四、实验步骤
点击开始 进行测量
四、实验步骤
点击建表
四、实验步骤
点击建表
四、实验步骤
记录消光点 折射率 膜厚度
厚度周期 =d1-d0
三、实验设备：自动椭圆偏振测厚仪光路图
•测试 •完成
三、实验设备：SGC-2型自动椭圆偏振测厚 仪
三、实验设备：软件界面
四、实验步骤
同时也要设 置设备的入 射角
同时也要保证 反射光进入接 收端小孔
1、设 置光源
2、设置 入射角
3、设置 衬底
四、实验步骤
1、点击 设置
2、设置测量方 式为快速测量
四、实验步骤
点击开始 进行测量
四、实验步骤
1、测量结束 弹出如下框
2、点击快 速出结果
四、实验步骤
记录下薄膜折射 率、薄膜基厚度 、厚度周期
记录下消光点
四、实验步骤
1、点 击设置
2、设置测量 方式为做图 测量
四、实验步骤
点击开始 进行测量
四、实验步骤
数据点所在位置
点击开始绘图，绘 制薄膜厚度曲线