扫描电子显微镜SEM原理和应用

SEM仪器介绍—JEOL: JSM-T200
SEM三大部分：
真空系统 分析系统
电子束系统
SEM维护——灯丝更换
SEM的调试
预热灯丝 调节灯丝位置 正常工作电压
SEM的调试
Alignment screw
Hale Waihona Puke Baidu
SEM的调试
LSP MODE、EXP SIZE模式下的观察
FILAMENT control 11 o’clock position
SEM的调试
用SEM观察STM针尖：
放大倍数: 10000 加速电压：25kv
不同显微镜结果比较
金刚石薄膜观测
金相显微镜初步观测
第一台SEM观测
不同显微镜结果比较
SEM2观测样品一 SEM2观测样品二
不同显微镜结果比较
AFM观测样品一 AFM观测样品二
不同尺度金刚石颗粒拉曼光谱研究
Intensity(cnt)
FILAMENT control 1 o’clock position
First peak position
FILAMENT control 2 o’clock position
Second peak position
SEM的调试
I
正常工作位置
11 o’clock position
1 o’clock 2 o’clock V position position
致谢
乐永康老师
蔡群老师
杨新菊老师
岑剡老师
Outline
❖ 实验动机 ❖ SEM的工作原理与仪器介绍 ❖ SEM的维护与校准 ❖ 不同显微镜结果对比 ❖ 不同尺度金刚石颗粒拉曼光谱研究 ❖ 总结
实验动机
SEM的工作原理
SEM的工作原理： 1、电子束扫描样品 2、在样品表面激发出次级电子 3、次级电子由探测体收集 4、电子被闪烁器转变为光信号 5、光电倍增管和放大器转变为 电信号 6、显示出与电子束同步的扫描 图像。
16000 14000 12000 10000
8000 6000 4000 2000
0 300
纳米量级金刚石薄膜拉曼谱 微米量级金刚石薄膜拉曼谱
600 900 1200 1500 Raman Shift(cm-1)
1800
纳米和微米尺寸金刚石薄膜的拉曼光谱
总结
工作总结： SEM的原理，使用，维护 金相显微镜、SEM、AFM确定样品尺寸 不同尺寸对样品物理性质（拉曼光谱）的影响 工作展望： 拉曼光谱的进一步研究：变温、变磁场 其它测量手段，如XRD、红外光谱等