日立S4800扫描电镜中文使用手册

一、介绍

Hitachi S-4800场发射扫描电镜采用了新型ExB式探测器和电子束减速功能,提高了图象质量(15 kV下分辨率1 nm)，尤其是将低加速电压下的图象质量提高到了新的水平(1 kV下1.4 nm)；新型的透镜系统，提高了高分辨模式、高速流模式、大工作距离模式、磁性样品模式等多种工作模式，使其能够精确和清楚地捕捉最短暂的瞬间。

二、操作说明

1．开机

（1）日常开机：打开Display的开关，PC自动开机进入用户界面并自动运行PC_SEM程序，以空口令登入。

（2）完全关闭电源后开机：接通配电盘电源→拔上MAIN Swith 开关→按一下Reset按钮，→将MAIN控制面板上EVAC POWER按至ON，SC EVAC指示灯处于常绿状态后，等半小时→按下Display开关至ON, PC 自动开机进入用户界面并自动运行PC_SEM程序，以空口令登入。

2．图像观察

（1）装入样品

制样→把样品托装入样品座，并用标尺确定高度、旋紧→按AIR按钮→将样品座插在样品交换杆上，并锁紧→将交换杆拉至尽头卡紧，关闭交换室→按下EVAC按钮→按下OPEN 按钮打开MV-1后，推进交换杆，旋转样品杆UNLOCK位置后拉出交换杆→按下CLOSE 按钮。

（2）图像观察及保存

SC真空恢复正常后（显示为L E-3）→选择适当的加速电压（Vacc）→加高压→在低倍、TV模式下将图像调节清楚→聚焦、消象散→Slow3确认图像质量→点击Capture按钮拍照→点击右下方Save按钮→选择保存位置、使用者及样品信息，保存。

（3）结束观察

点击OFF按钮关闭加速高压→将放大倍率还原设至×1.00K→按操作界面上home使样品台回到初始位置→依照装入样品的方式反序取出样品。

3．关机

（1）日常关机

退出PC_SEM程序→退出Windows XP系统→关闭DISPLAY

（2）完全关机

短时间关机：退出PC_SEM程序→退出Windows XP系统→关闭DISPLAY→关闭EVAC→等待约35分钟后Multi Indicator区域显示“POFF”→关闭MAIN SWITCH→关闭电源总开关。长时间停机：退出PC_SEM程序→退出Windows XP系统→关闭DISPLAY→关闭STAGE→关闭EVAC→等待约35分钟后Multi Indicator区域显示“POFF”→关闭IP1-3switch→关闭EVAC、IP、DISPLAY开关→关闭MAIN SWITCH→关闭电源总开关。（3）紧急关机

在紧急情况下，按下红色EMERGENCY OFF按钮顺时针旋转到底，系统关机后，将各开关按钮拨至正常停机位置。

三．注意事项

1．每次使用时，记录IP1、IP2、IP3真空度，以及Flashing结束后第一次加高压后Vext 值，若Vext大于5.0 kV时，请准备新的FE-Tip更换。对电镜出现的故障详细记录并即使解决。每次操作完后，做电镜室内的卫生，注意保持操作台、地面以及电镜面板等清洁。2．对样品的要求：需用电镜观测的样品，必须干燥，无磁性、无挥发性，有导电性，能与样品台牢固粘结。样品制完后用强力气流吹去粘结不牢固的粉末。同一次装入电镜的样品，高度差不要超过1.5 mm。样品进交换仓之前需与比高器相比，样品最高处须低于比高器规定的高度。

3．关于电脑：禁止修改电脑的任何设置，禁止安装任何软件。禁止使用USB接口（包括优盘）。使用光驱或软驱等需经电镜管理人员检查同意，严防病毒感染。电脑的许多指令要

驱动电镜中的电气部件或机械部件的一系列动作，时间可能较长，千万不要连续点击或按键，否则可能引起电脑死机。

4．未经专门培训的人员不得操作该电镜。操作者未经允许不得改变电镜各参数。

四．S-4800场发射扫描电镜的维护

1．轰击操作（频率：1天1次以上）

选择Flashing Intensity为2，执行Flashing。若Flashing运行时Ie不在30-40 µA范围内，则重复执行直至Ie值在要求范围内（最多执行3次）。

2．压缩机的维护（频率：1个月1次以上）

压缩机内部排水

3．机械泵、干泵的维护（频率：半年1次以上（机械泵），1年1次（油泵））

机械泵：半年1次以上，当油雾收集器附着油液或有油烟时立即更换。当油的颜色变为茶色时或换油过了6个月时：停机→交换油→开机

油泵：1年1次，委托服务人员维护保养。

4．循环水箱的维护（频率：1年1次以上）

检查水位、换水以及清洗过滤网。

5．烘烤（频率：1年1次以上）

若IP泵真空度不能满足IP1<2×10-7 Pa, IP2<2×10-6 Pa, IP3<7×10-5 Pa,，执行Baking：

拆下高压电线→拆下电子枪外罩→装上Outer加热器→装上Inner导线→装上烘烤电源连接器→装上烘烤外罩→定时→开始烘烤→结束→拆下烘烤外罩→拆下烘烤电源连接器→拆下加热器→装上电子枪外罩→清洁电线插入口→插入高压电线

6．机械合轴（频率：1年1次以上）

准备→FE灯丝合轴→电子束显示器光栏合轴→物镜光栏合轴→第1聚光镜合轴→第2聚光镜合轴→消像散→Low Mag 低位校正