检测技术---第六章 角度测量

检测技术---第六章 角度测量
三、角度实物基准
❖ 光学度盘、光栅盘、圆感应同步器、码盘、 多面棱体与多齿分度盘等。
§6.2 单一角度尺寸的测量
一．直接测量
绝对测量： 1.测角仪 2.工具显微镜 相对测量： 自准直仪 (相对测量）
二．间接测量
坐标测量 平台测量
锥度测量
其它测量方法：环形激光器、激光干涉小角度测量仪
（三）其它测量方法： 1. 环形激光器测量法
2. 激光干涉小角度测量仪
激光小角度测量仪的瞄准方式有多种，其 中之一为白光双光束干涉瞄准：
§6.3 圆分度误差测量
一．圆分度误差的评定指标
（一）圆分度误差i
指各分度刻线(或具有分度特性的几何要素)的实际位置 对其理论位置的偏差。用i表示。
（二）零起分度误差 0 , i
一、直接测量 （一）绝对测量
两种常用的仪器：测角仪、工具显微镜
被测件 瞄准器
工作台 主轴 读数装置 圆分度器件
（二）相对测量
1. 自准直仪 光学自准直仪
2. 光栅式自准直仪 3. 光电自准自仪
二、间接测量法
(一)坐标测量
K dA dB /l
K(D 1D2)/H
(二)平台测量
1．用标准圆柱测量内燕尾槽的斜角
ቤተ መጻሕፍቲ ባይዱ
§6.4 角位移量的测量
❖ 单自由度角位移的测量
旋转变压器、传感器轴承、微动同步器
❖ 多自由度角位移的测量
双坐标光电自准直仪、五自由度激光跟踪测量仪、螺旋线 误差测量仪
一、单自由度角位移的测量
1. 旋转变压器
2.传感器轴承 3.微动同步器
二、多自由度角位移的测量
❖ 双坐标光电自准直仪、 ❖ 五自由度激光跟踪测量仪、 ❖ 螺旋线误差测量仪
（三）分度间隔误差fi
fi = j i , i+1 - j0
（四）直径误差
±
直径误差有正负：
00~1800和1800~3600区域内重复相等
二、圆分度误差的绝对测量
（一）用多面棱体测量测角仪器的度盘
例：光电式自动度盘测量仪
（三）通用测角仪器测量齿轮的齿距误差
三、圆分度误差的相对测量
四、圆分度误差的组合测量
a rc ta n [(M 2 M 1 )/2 a ]
2.用标准钢球测量内锥角
图a： 图b、c：
3．用正弦规测量角（锥）度
sin0 H/L
0
(n2n1)/l
0
（2）测量时的误差
1）千分表误差d1 2）估读误差d2
测量总误差：
d d 2 0 d 1 2 0 d 2 2 0 d 3 2 0 4 d 2 1 d 2 2