氦质谱检漏仪的检漏方法
常用的几种氦质谱检漏方法(1)
书山有路勤为径，学海无涯苦作舟
常用的几种氦质谱检漏方法(1)
氦质谱检漏方法比较多,根据被检件的测量目的可以分为两种类型,一种是漏点型,另一种是漏率型;在实际检验过程中要根据检验的目的选用最合理的方法, 要以被检器件的具体情况而定,灵活运用各种检漏方法。
1、测定漏点型氦质谱检漏方法确定漏点型既是确定要检部件的具体漏点或漏孔的位置,在大部件或大型部件中较为常见,如卫星、导弹弹体、弹头、输气管道、气罐、油罐、锅炉等。
1.1、喷氦法氦质谱检漏方法这是最常用的一种方法,通常用于检测体积相对较小的部件,将被检器件和仪器连通,在抽好真空后,在被检器件可能存在漏孔的地方(如密封接头,焊缝等) 用喷枪喷氦,如图4 所示,假如被检器件某处有漏孔,当氦喷到漏孔上时,氦气立即会被吸入到真空系统,从而扩散到质谱室中,氦质谱检漏仪的输出就会立即有响应,使用这种方法应注意:氦气是较轻的惰性气体,在喷出后会自动上升,为了准确的在漏孔位置喷氦,喷氦时应自上而下,由近至远(相对检漏仪位置) ,这是因为在喷下方时氦气有可能被上方漏孔吸入,就很难确定漏孔的位置; 再者漏孔离质谱室的距离检漏仪反应时间也不同,因此喷氦应先从靠近检漏仪的一侧开始由近至远来进行。
图4 喷氦法检漏示意图
在检测较大部件时要借助机械泵进行真空预抽,就可以提高检漏效率和时间,如图5 所示,喷氦法在检查那些结构比较复杂的,密封口和焊缝又比较多而且挤在一起的小容器时,由于氦喷出后会很快扩散开来,往往不容易准确地确定漏隙所在的部位,要采取从不同角度喷氦,仔细观察反应时间上的差别和将已发现的漏孔用真空封泥暂时封起来等办法,就可以把漏孔逐个检出。
氦质谱仪背压检漏方法_概述及解释说明
氦质谱仪背压检漏方法概述及解释说明1. 引言1.1 概述氦质谱仪背压检漏方法是一种常用的无损检测方法，用于检测工业设备及管道系统中可能存在的泄露点。
该方法通过利用氦气的特殊物理性质和气体流动原理，实现对泄漏点进行准确、快速的定位和评估。
背压检漏方法具有非侵入性、高灵敏度和自动化程度高等优势，在工业领域得到了广泛应用。
1.2 文章结构本文将围绕氦质谱仪背压检漏方法展开详细论述，文章结构包括引言、背压检漏方法的原理、背压检漏方法的步骤与实施、背压检漏结果分析与评估以及结论与展望等部分。
首先介绍了本文的概述和目的，然后详细解释了背压检漏方法相关的原理，并探讨其在不同领域中的应用优势。
接下来，阐述了使用该方法进行检测时所需进行的准备工作和步骤，并提供了数据分析与处理方法。
最后，对测试结果进行评估和解读，并分析存在的误差，并提出改进措施。
文章最后总结了本次研究的主要成果，并提出了未来进一步研究的方向。
1.3 目的本文旨在全面概述氦质谱仪背压检漏方法，介绍其原理、优势和应用领域，详细阐述该方法的步骤与实施过程，并提供相关数据分析与处理方法。
同时，通过对实验结果的评估与解读，发现存在的误差并提出改进措施。
通过对氦质谱仪背压检漏方法进行深入研究和分析，期望为工程技术领域中泄漏点检测及预防提供参考和指导，并为后续研究提供基础依据。
2. 背压检漏方法的原理:2.1 氦质谱仪背压检漏原理:氦质谱仪背压检漏是一种常用的方法，该方法基于气体分子的运动特性和质谱检测技术，通过检测目标物体表面的潜在泄漏点来实现泄漏检测。
其原理可以简要概括为以下几个步骤。
首先，将高纯度的氦气作为探测介质注入已密封的被测试系统或设备内部。
由于氦气分子具有很小的尺寸和较高的扩散性能，在目标物体出现泄露时，氦气会从泄漏点逸出到周围环境中。
接下来，使用一个质谱仪进行监测和分析。
质谱仪内部设置了一个称为“零背景样品”的容器，其中充满了监测过程中未受外部干扰影响而得到平衡状态的环境空气样品。
氦质谱检漏方法
[1]氦质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术，由于检漏效率高，简便易操作，仪器反应灵敏，精度高，不易受其他气体的干
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扰，在电阻炉检漏中得到了广泛应用。氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。质谱室里的灯丝发射出来的电子，在室内来回地振荡，并与室内气体和经漏孔进人室内的氦气相互碰撞使其电离成正离子，这些氦离子在加速电场作用下进人磁场，由于洛伦兹力作用产生偏转，形成圆弧形轨道，改变加速电压可使不同质量的离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测。喷氦法、吸氦法是氦质谱检漏仪在电阻炉检漏中最常用的两种方法。
航天氦质谱检漏方法
航天氦质谱检漏方法一、啥是航天氦质谱检漏呀。
你知道不？在航天领域啊，有个特别重要的事儿，就是得保证各种航天设备一点儿泄漏都不能有，这时候就用到了氦质谱检漏方法啦。
简单来说呢，它就是利用氦气这种特别的气体，通过一些神奇的仪器和技术，找出那些藏得很深的泄漏点，就像给航天设备来一场超级精密的“体检”一样。
二、氦质谱检漏的基本原理。
这个原理啊，还挺有意思的。
氦气这玩意儿啊，它的分子特别小，就像个超级灵活的小精灵，能钻进那些特别微小的缝隙和孔洞里。
当我们把氦气喷到可能有泄漏的地方时，如果真有漏点，氦气就会顺着漏点跑进去。
然后呢，有个专门的质谱仪，它就像个超级敏感的“鼻子”，能精准地嗅出氦气的存在。
一旦检测到氦气，就说明这儿可能有泄漏啦。
三、具体的操作步骤。
1. 准备工作。
在开始检漏之前啊，得先把要检测的航天设备清理干净，不能有啥灰尘啊、杂质啊这些捣乱的家伙。
然后呢，把设备连接到氦质谱检漏仪上，这就相当于给设备和仪器之间搭了一座“桥梁”，让它们能好好“沟通”。
2. 抽真空。
接下来啊，要对设备进行抽真空处理。
为啥要抽真空呢？这是为了把设备里面原来的空气啊、水汽啊这些都给赶跑，这样等会儿氦气进去了，就更容易被检测到啦。
就好像把房间打扫干净了，新东西放进去就一目了然啦。
3. 喷氦气。
现在就轮到氦气登场啦。
拿着专门的喷氦枪，对着设备可能有泄漏的地方，像喷漆一样均匀地喷上氦气。
这时候啊，眼睛得紧紧盯着检漏仪的显示屏，看看有没有啥动静。
4. 检测和判断。
如果检漏仪检测到了氦气，显示屏上就会有相应的信号显示。
根据信号的强弱啊，就能大概判断出泄漏点的大小和位置啦。
要是信号很强，那说明泄漏点可能比较大，得赶紧找找原因，把这个“漏洞”补上；要是信号比较弱，那可能就是个小小的缝隙，也不能掉以轻心哦。
5. 修复和复查。
四、氦质谱检漏的优点。
这个方法可真是有不少优点呢。
首先啊，它的检测灵敏度超高，哪怕是特别特别小的泄漏点，它都能发现，就像有一双超级厉害的“眼睛”。
正压法氦质谱检漏
正压法氦质谱检漏
正压法氦质谱检漏是一种常用的气体检漏方法，它利用氦气的小分子直径和低扩散系数特性，通过正压法将氦气注入被检测物体的内部，然后使用氦质谱仪检测被检测物体表面或密封边界是否存在漏气点。
正压法氦质谱检漏主要包括以下几个步骤：
1. 准备工作：将氦气充入质谱仪并建立质谱仪与被检测物体之间的连接。
2. 真空处理：在被检测物体内部建立一定的真空，以确保检测结果的准确性。
3. 注氦：将一定压力的氦气注入被检测物体的内部。
通常可以使用氦气罐或氦气压缩机进行注氦。
4. 检测：打开质谱仪，并进行氦气泄漏检测。
质谱仪将通过检测氦气的质谱信号，确定是否存在氦气泄漏点。
如果存在泄漏点，质谱仪将显示泄漏量的大小。
正压法氦质谱检漏的优点是灵敏度高、精确度高，能够检测到微小的气体泄漏点。
同时，由于氦气是稀有气体，对环境的影响较小。
然而，正压法氦质谱检漏也存在一些局限性，如设备价格较高，操作复杂，需要专业的操作人员等。
因此，该检漏方法主要适用于对泄漏点精确度要求高的场合。
氦质谱背压检漏
氦质谱背压检漏
氦质谱背压检漏是一种常用的检漏方法，主要用于检测气体系统中的微小泄漏。
其基本原理是利用氦气在质谱仪中的高灵敏度检测能力，通过测量系统中的氦气浓度差异来确定泄漏点。
具体操作步骤如下：
1. 确保系统处于关闭状态，并将质谱仪连接到气体系统的出口。
2. 在质谱仪的控制面板上设置合适的检测参数，如扫描速度、灵敏度等。
3. 打开质谱仪的抽气泵，将氦气抽入系统中。
4. 在气体系统中设置适当背压，通常在10-1000 Pa之间。
5. 开始检测，观察质谱仪的显示屏上的氦气峰值图谱。
6. 如果氦气峰值图谱中存在异常的峰值或与背景不一致的波动，表示存在泄漏点。
7. 根据泄漏点的大小和位置，采取相应的修复措施进行处理。
需要注意的是，在进行氦质谱背压检漏时，要确保气体系统的密封性良好，确保检漏结果的准确性。
此外，背压的设置应适当，过高的背压可能影响检测的灵敏度，而过低的背压可能导致系统内氦气稀释不足，也会影响检测的准确性。
氦质谱检漏试验方法
氦质谱检漏试验是一种常用的无损检测方法，主要用于检测设备或容器的密封性能。
其基本原理是通过氦气的渗透或压力差，检测设备或容器的漏气情况，从而判断其密封性能的好坏。
氦质谱检漏试验方法一般包括以下几个步骤：
1.准备测试设备：将待检设备或容器进行清洗和干燥处理，确保表面干净无油污和杂质。
2.安装氦质谱检漏仪：将氦质谱检漏仪安装到测试设备上，并连接好气源和检漏探头。
3.进行氦质谱检漏测试：在测试设备的接口处注入氦气，并通过检漏探头监测氦气泄漏的情况。
氦气泄漏的情况可以通过氦质谱检漏仪的显示屏或声音提示来判断。
4.分析测试结果：根据测试结果，判断设备或容器的密封性能是否符合要求，并确定是否存在漏气问题。
需要注意的是，氦质谱检漏试验需要在无风的环境下进行，以避免氦气的外泄。
同时，氦质谱检漏试验也不能完全替代其他检漏方法，应根据实际情况选择合适的检测方法。
氦质谱捡漏方法
氦质谱捡漏方法
氦质谱捡漏方法是一种通过使用氦质谱仪来检测气体泄漏的方法。
以下是氦质谱捡漏方法的基本步骤：
1. 准备工作：确保氦质谱仪和检测系统处于正常工作状态。
检查所有连接和密封处的泄漏，确保仪器不会在检测过程中泄漏氦气。
2. 准备氦气：使用标准的氦气瓶或氦气发生器准备氦气。
确保氦气纯度高，不含其他杂质。
3. 连接样品：将需要检测泄漏的样品与氦质谱仪连接。
确保连接处密封良好，以防氦气泄漏。
4. 启动质谱仪：打开氦质谱仪的电源并启动。
等待仪器预热稳定。
5. 设置仪器参数：根据需要设置质谱仪的参数，例如扫描范围、扫描速度等。
6. 设定氦气流量：根据样品的大小和需求，调整氦气注入样品的流量。
过高或过低的气流可能影响检测效果。
7. 开始检测：将氦气注入样品并观察质谱仪的读数。
如果样品存在泄漏，泄漏的氦气将进入质谱仪，产生特定的质谱图谱。
8. 分析结果：根据质谱图谱分析泄漏的位置和大小。
根据需要，
可以采取修复措施或对泄漏源进行进一步的检查和处理。
请注意，氦质谱捡漏方法需要专业的操作和分析技能。
操作人员应遵循仪器的操作手册，并在安全的实验室环境中进行操作。
氦质谱检漏仪检测泄漏的6种方法
氦质谱检漏仪检测泄漏的6种⽅法原⽂出⾃：/index.aspx?lanmuid=101&sublanmuid=711&id=1866氦质谱检漏仪（Helium Mass SpectrometerLeakDetector）是真空检漏领域⾥不可缺少的⼀种技术，设备具有检漏效率⾼、简便易操作、仪器反应灵敏、精度⾼、不易受其他⽓体的⼲扰等特点，该仪器在电阻炉检漏中得到了⼴泛应⽤。
氦质谱检漏仪检漏中最常⽤的两种⽅法是喷枪测试法及吸枪测试法，其实除了这两种⽅法之外，氦质谱检漏仪的检漏⽅法多达6种，且每种测试也各有⾃⼰的优点，今天⼩编就跟⼤家普及⼀下。
氦质谱检漏仪检测泄漏⽅法⼀：喷枪测试法喷枪测试法主要⽤在真空环境下定位泄漏点。
⾸先，检漏仪将检测部件内部的⽓体抽到⼀定的真空度。
然后，探测⽓体通过喷枪喷扫在部件的外表⾯。
通过泄露点进⼊的探测⽓体流量定位泄漏点。
喷枪测试法具有定位泄漏、⾼灵敏度、操作简便、局部或整体测试等特点。
氦质谱检漏仪检测泄漏⽅法⼆：吸枪测试法吸枪测试法是通过正压的⽅法定位泄漏点。
⾸先，向测试部件内充⼊⼀定压⼒的探测⽓体。
然后，吸枪探头对被测部件四周进⾏检测。
如果存在泄漏，检漏仪会探测出外泄的探测⽓体从⽽定位泄漏点。
吸枪测试法具有定位泄漏、⽆需在真空环境下进⾏测试、操作简便等特点。
氦质谱检漏仪检测泄漏⽅法三：真空箱测试法真空箱测试法主要应⽤于⽣产线环境。
测试部件被放置在充满探测⽓体的真空腔体内。
如果发现有泄漏，探测⽓体会从测试部件内逃到真空腔体内，从⽽检测出泄漏点。
真空箱测试法具有⾼灵敏度、⾼产量、便于集成到产线上、易于校准、⾼重复性等特点。
氦质谱检漏仪检测泄漏⽅法四：背压法背压法要求测试部件是已经密封好的，没有⽓体外泄也不能加压。
将测试部件置于真空腔体内，灌⼊探测⽓体并加压。
如果发现有泄漏，由于⽓压关系探测⽓体会进⼊到测试部件内部。
随后将被测部件脱离真空环境。
由于压差关系，原先进⼊到测试部件内的探测⽓体会脱附出来，同时被检漏仪检测出。
氦质谱检漏方法
氦质谱检漏方法
氦质谱检漏方法是一种常用的检测气体泄漏的方法，使用氦气作为探测气体。
具体步骤如下：
1. 将被检测的系统或设备充满氦气，通常使用氦气罐或氦气瓶进行充气。
2. 在系统或设备的周围布置氦气检测仪器，包括质谱仪、探测器和监测器等设备。
3. 打开质谱仪和探测器等设备，使其开始工作。
4. 然后，在被检测的系统或设备上寻找潜在的泄漏点，可以使用氦气探测仪进行寻找。
5. 当氦气从泄漏点泄漏出来时，探测器会将泄漏气体中的氦气探测到，并转变成质谱信号。
6. 质谱仪会将探测到的质谱信号转化为相应的电信号，并通过监测器进行显示和记录。
7. 根据监测器上显示的信号强度，可以判断泄漏的位置和程度。
8. 检测完毕后，关闭质谱仪和探测器等设备，并及时排放残余的氦气。
氦质谱检漏方法的优点是敏感度高，能够检测到非常微小的气体泄漏。
而且氦气为无毒、无害的气体，对环境和人体无害。
因此，氦质谱检漏方法被广泛应用于空调、制冷、真空、压缩空气、液化气体等行业中的泄漏检测。
氦质谱检漏仪的检漏方法
氦质谱检漏仪的检漏方法氦质谱检漏仪的检漏方法氦质谱检漏仪是一种高精度的检漏设备，可以检测出微小的漏孔和缺陷。
下面是氦质谱检漏仪的几种常见检漏方法：1.吸枪法吸枪法是一种常用的检漏方法，它通过将吸枪放置在待检测部位，利用氦气在漏孔处产生的气流吸引，将漏气吸入质谱室进行分析。
吸枪法的优点是操作简单、灵敏度高，适用于检测表面上的小漏孔。
但是，对于一些深孔或内部缺陷，吸枪法可能无法检测到。
2.喷吹法喷吹法是通过将氦气或氮气等气体以一定的压力和流量喷向待检测部位，从而发现漏孔的方法。
喷吹法的优点是可以检测到深孔或内部缺陷，并且对于一些小漏孔也有较好的检测效果。
但是，喷吹法的灵敏度相对较低，需要较高的气体压力和流量，可能会对被检测部件造成一定损伤。
3.真空法真空法是通过将被检测部件放置在真空环境中，然后向其内部充入一定量的氦气或氮气等气体，再通过检测部件内部气体压力的变化来判断是否存在漏孔的方法。
真空法的优点是可以检测到微小的漏孔，并且不会对被检测部件造成损伤。
但是，真空法的操作比较复杂，需要较高的技术水平和设备投入。
4.压力法压力法是通过将被检测部件放置在一定压力的氦气或氮气等气体环境中，然后通过观察部件表面是否有气体泄漏来判断是否存在漏孔的方法。
压力法的优点是可以检测到较大的漏孔，并且操作简单、灵敏度高。
但是，压力法可能会对被检测部件造成一定损伤，需要小心操作。
5.粘滞液体法粘滞液体法是通过将粘滞液体（如硅油）涂抹在被检测部件表面，然后在一定压力的氦气或氮气等气体环境中观察是否有气泡产生来判断是否存在漏孔的方法。
粘滞液体法的优点是可以检测到微小的漏孔，并且不会对被检测部件造成损伤。
但是，粘滞液体法的操作比较复杂，需要小心操作避免产生假阳性结果。
真空氦质谱检漏原理与方法综述
真空氦质谱检漏原理与方法综述一、真空氦质谱检漏原理1. 啥是真空氦质谱检漏呢？简单来说呀，就像是我们找东西一样。
氦气在这个过程里就像是一个小侦探。
在真空环境下，因为氦气的一些特殊性质，它就特别容易被检测到。
如果有泄漏的地方，氦气就会从那里跑出来，然后被我们的检测仪器给发现。
你可以把这个过程想象成在一个密封的房子里，氦气就是那个调皮的小老鼠，哪里有洞它就从哪里钻出去，然后我们的仪器就是那个厉害的猫，一下子就能抓住它的踪迹。
2. 从原理的科学角度来讲，氦质谱检漏仪是利用氦气在磁场中的特性来工作的。
氦气原子质量比较小，在磁场中它的运动轨迹和其他气体不一样。
当有氦气混入到被检测的系统里，如果这个系统有泄漏，氦气就会随着泄漏的地方进入到仪器能检测到的范围。
仪器就可以根据氦气的这种特殊的质谱信号来判断是不是有泄漏，以及泄漏的大概位置。
二、真空氦质谱检漏方法1. 喷吹法这是一种比较常见的方法哦。
就像我们给花浇水一样，只不过我们浇的是氦气。
我们拿着喷吹的装置，把氦气朝着可能泄漏的地方喷。
如果有泄漏，氦气就会被吸进去，然后仪器就能检测到。
这种方法很直观，就像我们用手去摸哪里有洞一样，不过这个是用氦气去探测。
但是呢，这种方法也有缺点，就是如果泄漏的地方比较小或者比较隐蔽，可能就不太容易发现。
2. 吸枪法这个方法就有点像用吸管吸东西。
我们用一个特殊的吸枪，把周围的气体吸进来。
如果周围有从泄漏处跑出来的氦气，就会被吸进枪里，然后被仪器检测到。
这种方法适合检测一些比较小的泄漏，因为它可以更精准地把周围的气体收集起来检测。
不过呢，它的检测范围可能相对小一些，不像喷吹法那样可以大面积地检测。
3. 氦罩法想象一下给东西盖个罩子。
我们把被检测的东西用一个充满氦气的罩子罩起来。
如果这个东西有泄漏，里面的氦气就会从泄漏的地方跑进去，然后仪器就能检测到。
这种方法对于一些形状比较复杂的物体检测比较有效。
但是这个罩子的密封性要做好，不然氦气跑出来了就会影响检测结果。
氦质谱检漏操作规程
氦质谱检漏操作规程氦质谱检漏是一种常用的高精度气体泄漏检测方法，广泛应用于各个行业的设备、管道、容器的泄漏检测。
一、操作前准备：1. 确定检测对象：确定需要检测的设备、管道或容器，并明确泄漏的位置；2. 准备仪器设备：确保氦质谱仪及其配套的氦气源、真空系统、探头等设备良好运行；3. 清洁检测对象：清除检测对象表面的油污、尘垢等物质，以免干扰检测结果。
二、操作步骤：1. 准备样品室：将需要检测的设备、管道或容器连接到氦质谱仪的样品室，保证连接口密封可靠；2. 真空抽气：打开氦质谱仪的真空系统，将检测对象及样品室内部的气体抽至真空状态，通常要求达到10^-6 Pa以下的真空度；3. 确定扫描范围：根据需要检测的泄漏位置，设置氦质谱仪的扫描范围和扫描速度，以确保能够准确检测到泄漏气体的存在；4. 进行泄漏检测：打开氦气源，将氦气加入到样品室中，同时打开氦质谱仪的检测模式，并开始进行扫描；5. 分析检测结果：根据氦质谱仪的显示结果，观察并记录泄漏信号的强度、大小和位置，以确定泄漏的具体位置；6. 确认泄漏位置：根据检测结果，排除可能的干扰因素，确定泄漏的具体位置；7. 停止泄漏检测：关闭氦气源和氦质谱仪的检测模式；8. 检修和修复：根据泄漏位置和检测结果，对泄漏位置进行维修和修复，确保设备、管道或容器的正常使用。
三、操作注意事项：1. 操作人员必须熟悉氦质谱仪的使用方法和操作规程；2. 操作过程中要注意安全，防止氦气泄漏造成爆炸危险；3. 对于高真空设备，要确保真空度达到要求后再进行泄漏检测，以免影响检测结果；4. 检测过程中要及时记录检测结果，并留下必要的检测记录和报告；5. 对于大型设备、管道或容器，可以采用分段泄漏检测的方式，以提高检测效率和准确性；6. 检测后要对设备、管道或容器进行清洁和维护，确保其正常运行。
氦质谱检漏是一种高精度、高灵敏度的泄漏检测方法，能够快速准确地定位泄漏点，提高设备、管道或容器的安全性，减少环境污染和人身伤害风险。
压力容器氦质谱检漏法介绍
被检件漏孔检漏方法介绍压力容器氦质谱检漏法介绍一、概述检漏的目的是确定被检件漏孔的位置和漏率，这些目的是通过采用一些标准的检漏方法实现的。
采用什么方法要视被检件的结构、检漏的经济效益及检漏系统的性质来决定。
根据不同的检漏目的，基本上有吸入法、喷吹法、背压法、真空箱法等几种常用检漏方法：1、吸入法——确定漏孔位置又称吸枪检漏，如图1-5，将专用吸枪联接在仪器检漏口上，被检件则充入规定压力的氦气（纯氦气或一定比例含氦的混合气）。
检漏时，让吸枪沿可疑漏孔处慢慢移动，若被检件有漏孔，氦气自漏孔漏出，被吸枪吸入送至仪器的质谱管而被检测。
吸入法检漏灵敏度相对喷吹法要低，但是其检漏口真空主要是由吸枪流量决定的，所以不受被检件容积的限制，适合检测大的容器。
2、喷吹法——确定漏孔位置该方法是将被检件接在检漏仪的检漏口，用仪器的真空系统对其抽真空并达到真空衔接与质谱管沟通，然后用喷枪向可疑漏孔喷吹氦气。
当有漏孔存在时，氦气就通过漏孔进入质谱管被检测。
下图是喷吹法原理示意图。
喷吹法检漏的灵敏度高，质谱管不吸枪检漏仪装有氦气的压力容器装有氦气的压力容器喷枪被检件漏孔检漏仪易受污染，但是检大容器时可能有真空抽不下来的情况，可能要加辅助真空设备。
3、 背压法——测总漏率电子元器件进行气密性检测时常用背压法。
检漏前用专用加压容器向被检件压入氦气（由压力和时间控制压入的量），然后取出被检件，吹去表面吸附氦后放入专用检漏罐中，再将检漏罐联接到检漏仪的检漏口上，对检漏罐抽真空，实施检漏。
若器件有漏，则通过该漏孔压人的氦气又释放出来进入检漏罐，最终到达质谱管。
用这种方法测得的漏率也是总漏率。
图1－7为背压法检漏示意图。
4、 真空箱法真空箱法是一种比较复杂的方法。
检漏时先将工件如上图放入真空箱中，关闭V1、V2，打开V3使用真空箱预抽系统对真空箱抽真空，如果可以在规定时间内抽到规定的真空度，说明被检工件没有大漏，反之有大漏则需要将工件拿下来检大漏。
氦质谱检漏仪原理及使用方法及相关介绍精编版
氦质谱检漏仪原理及使用方法及相关介绍精编版一、氦质谱检漏仪的原理1.首先，将待检测的物体使用泵抽真空，将环境中的空气抽去，使之达到一个低压下。
2.然后，将氦气注入被检测物体的周围环境中，此时被检测物体内部存在可能的泄漏点。
3.接下来，利用泵将周围的氦气抽入质谱仪进行分析。
在质谱仪中，氦气会分子破裂形成氦原子以及其他质子和电子组成的离子。
4.最后，利用质谱仪的探测器检测这些离子，并根据离子的种类和数量来确定氦气泄漏的位置和程度。
二、氦质谱检漏仪的使用方法使用氦质谱检漏仪来检测气体泄漏需要以下步骤。
1.连接仪器：首先，将氦质谱检漏仪的各个部分按照说明书连接好，确保仪器正常工作。
2.准备工作：确保被检测物体周围环境处于一定的真空状态，注入氦气之前，将其它气体从被检测物体周围排除出去。
3.注入氦气：将氦气注入被检测物体周围环境中，确保氦气在泄漏点出漏时能进入到被检测物体内部。
4.开始检测：通过操作仪器，将泵启动，将周围环境中的氦气抽入质谱仪中进行分析。
5.分析结果：根据质谱仪输出的数据和显示的曲线，来确定氦气泄漏的位置和程度。
6.维护和记录：检测完成后，对仪器进行维护和清洁，同时将检测过程和结果进行记录。
三、氦质谱检漏仪的应用1.工业领域：氦质谱检漏仪可以用于汽车、空调、制冷设备、容器、管道等工业设备的泄漏检测。
它可以检测到微小的泄漏，避免了潜在的安全隐患。
2.实验室应用：氦质谱检漏仪可以用于实验室的真空系统、气体贮存、气体分析等设备的泄漏检测。
它可以保证实验室设备和实验工作的准确性和安全性。
3.能源设备：氦质谱检漏仪可用于能源设备的泄漏检测，如太阳能光伏系统、风力发电机、核电站等。
它可以提高设备的使用寿命和能源利用效率。
综上所述，氦质谱检漏仪是一种非常有效的气体泄漏检测仪器，具有高灵敏度和准确性。
它的工作原理简单明了，使用方法也相对简单。
在工业和实验室中的广泛应用，保证了设备的安全和工作的正常进行。
常见的四种氦质谱检漏法的检测原理、优缺点及检测标准
常见的四种氦质谱检漏法的检测原理、优缺点及检测标准氦质谱检漏法是利用氦质谱检漏仪的氦分压力测量原理，实现被检件的氦泄漏量测量。
当被检件密封面上存在漏孔时，示漏气体氦气及其它成分的气体均会从漏孔泄出，泄漏出来的气体进入氦质谱检漏仪后，由于氦质谱检漏仪的选择性识别能力，仅给出气体中的氦气分压力信号值。
在获得氦气信号值的基础上，通过标准漏孔比对的方法就可以获得漏孔对氦泄漏量。
根据检漏过程中的示漏气体存贮位置与被检件的关系不同，可以将氦质谱检漏法分为真空法、正压法、真空压力法和背压法，下面分别总结了这四种氦质谱检漏法的检测原理、优缺点及检测的标准。
真空法氦质谱检漏采用真空法检漏时，需要利用辅助真空泵或检漏仪对被检产品内部密封室抽真空，采用氦罩或喷吹的方法在被检产品外表面施氦气，当被检产品表面有漏孔时，氦气就会通过漏孔进入被检产品内部，再进入氦质谱检漏仪，从而实现被检产品泄漏量测量。
按照施漏气体方法的不同，又可以将真空法分为真空喷吹法和真空氦罩法。
其中真空喷吹法采用喷枪的方式向被检产品外表面喷吹氦气，可以实现漏孔的精确定位; 真空氦罩法采用有一定密闭功能的氦罩将被检产品全部罩起来，在罩内充满一定浓度的氦气，可以实现被检产品总漏率的测量。
真空法的优点是检测灵敏度高，可以精确定位，能实现大容器或复杂结构产品的检漏。
真空法的缺点是只能实现一个大气压差的漏率检测，不能准确反映带压被检产品的真实泄漏状态。
真空法的检测标准主要有QJ3123-2000《氦质谱真空检漏方法》、GB /T15823-2009《氦泄漏检验》，主要应用于真空密封性能要求，但不带压工作的产品，如空间活动部件、液氢槽车、环境模拟设备等。
正压法氦质谱检漏采用正压法检漏时，需对被检产品内部密封室充入高于一个大气压力的氦气，当被检产品表面有漏孔时，氦气就会通孔漏孔进入被检外表面的周围大气环境中，再采用吸枪的方式检测被检产品周围大气环境中的氦气浓度增量，从而实现被检产品泄漏测量。
氦质谱检漏测试
氦质谱检漏测试
氦质谱检漏是一种用于检测气体泄漏的先进技术。
它通过将氦气注入被测系统，然后利用质谱仪检测泄漏处的氦气浓度，从而确定泄漏位置和泄漏率。
这种方法具有灵敏度高、检测速度快、检测范围广等特点，适用于各种气体泄漏检测场景，包括航天、航空、核工业、化工等领域。
在进行氦质谱检漏测试时，一般遵循以下步骤：
1.准备测试设备：包括氦气瓶、氦质谱检漏仪、探头等。
2.连接测试设备：将氦气瓶与氦质谱检漏仪连接，确保气体通畅。
3.设置测试参数：根据被测系统的特点，设置合适的检测参数，如检测灵敏度、检测范围等。
4.开始检测：将氦气注入被测系统，并通过氦质谱检漏仪检测泄漏处。
5.分析结果：根据氦质谱检漏仪显示的泄漏处氦气浓度，判断泄漏位置和泄漏率。
6.定位泄漏源：根据检测结果，采用合适的方法（如探头）定位泄漏源，并进行修复。
7.重复检测：在修复泄漏后，再次进行氦质谱检漏测试，确保泄漏问题得到解决。
需要注意的是，氦质谱检漏测试过程中应严格遵守安全规程，
避免氦气泄漏对人体和环境造成危害。
同时，操作人员应具备相关知识和技能，确保测试结果的准确性和可靠性。
氦质谱检漏仪的检漏方法
无毒
价格不昂贵
很轻
化学性质不活泼
等等
氦气
气体分子小
部分检漏法可检漏率比较
漏率 , 单位 atm .cc3 /second
10-10 10-9 10-8 10-7 10-6 10-5 10-4 10-3 10-2 10-1 10+0 10+1 10+2
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重离子靶 用于测量总压
看! 一个气泡!
漏率的定义和单位
例如: 假设对于一个体积 为10升的容器，压力在80 秒内的变化为2mbar，那 么漏率
Q = 2 mbar x 1 liters = 0.25 mbar . l/s. 80 seconds
漏率的定义和单位 mbar. liter/second
› 漏率其实反映的是在一定时间内从泄漏的气体分子的数量.
但是当我们在海拔很高的山上跑步时 : 我们就觉得呼吸不过来了
虽然泵的抽速并没有发生变化 : 4l/s, 但是在山上的压力要比海平面的压力
要低很多
所以，吸氧量（流量）
自然就大不相同了
在每一个 截面上， 气体的流 量都是相
同的
Pa F=Pa x Sa
Pb F=Pb x Sb
F=Pc x Sc Pc
*
高灵敏度
氦检漏仪的灵敏度
一个含 30 g 气体的打火机, 全部的气体漏光则需要
5 百万年, 漏率为 1.10-11 mbar.l/s
*
不同检漏仪连接方式的优点
被测件直接与检漏仪 连接.
检漏仪和辅助泵并联.
将检漏仪连接在分子泵的 排气口.
优点 :
• 到达可以检漏的压力所需时间 (+) • 灵敏度 (++) • 响应时间 (+) • 恢复时间 (+)
氦质谱检漏吸枪法
氦质谱检漏吸枪法
氦质谱检漏吸枪法是一种常用的检漏方法，其工作原理是将被检产品内部充入一定压力的示踪气体，如氦气，然后使用吸枪对被检表面进行扫描。
如果存在漏孔，氦气就会通过漏孔进入被检表面的周围大气环境中，吸枪就能检测到氦气的存在。
对于大型容器或内部放气管量很大的容器，采用正压检漏是很不经济的，而且检漏速度慢。
在这种情况下，一般采取氦质谱检漏。
首先将被检产品放入检漏仪中，对检漏仪抽真空，然后向被检产品内部充入一定压力的氦气。
检漏仪连接吸枪，吸枪接在检漏仪的检测口，而检漏仪的示踪气体进口则接在被检产品的另一端。
检漏开始时，检漏仪对被检产品抽真空，将氦气吸入检漏仪。
一旦产品存在漏孔，氦气就会通过漏孔进入被检产品的周围大气环境中，然后被吸枪吸入检漏仪，从而被检测出来。
这种方法可以实现漏孔的精确定位。
此外，还有一种使用压氦法的氦质谱检漏。
首先将仪器调整好，再将器件放入加压罐内压入氦气，氦气进入有漏孔的器件内部，无漏孔的器件只是表面吸咐氦气。
器件加压压力和时间根据相关文件而定。
器件从加压罐中取出后将表面吸咐的氦气吹掉再放入检漏夹具中抽空，待真空抽至设定值后自动将夹具连至仪器的测量系统。
这时压入存在漏孔器件内部的氦气泄漏出来被检测，其漏率在漏率表上显示出来。
这种方法一般采用排除法。
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所以，吸氧量（流量）
自然就大不相同了
在每一个 截面上， 气体的流 量都是相
同的
Pa F=Pa x Sa
Pb F=Pb x Sb
F=Pc x Sc Pc
流量的定义 流量
c0 1
21
漏率的计算
虽然确切的计算泄漏量很难，但 是可以用以下公式进行初步的估 算（层流，20摄氏度空气）：
Qpv = 135 x d4/L x(Po2-Pi2)/2
漏率的定义和单位
真空系统中漏气/虚漏与抽气之间的平衡
真空系统中漏气流量的平衡表示式如下:
P =(Qo +∑Qi)/S +Po
P-----系统达到的压力 Po—真空泵的极限压力 S-----真空系统的有效抽速 Qo---由系统外部流向系统内部的总漏率 ∑Qi—虚漏所形成的总漏率(如材料表面出气等)
看! 一个气泡!
其中，d-漏点的直径，L-漏点的长度，Po-高压端压 力，Pi-低压端压力
漏率的定义和单位
针对于一个体积(V)不变的容器,单位 时间(Δt)内压力的变化量(ΔP)与该容 器体积(V)的乘积就是泄漏量：
Q leak = V x ΔP / Δt
因此，泄漏量的单位通常用mbar l/s（也可用 Pa m3/s , atm cc/s 或 Torr l/s）
/s ? mbar.l/s ?
Pa.m3/s ? Torr.l/s ?
10-9 mbar.l/s = 10-9 /s = 10-8 Pa.m3/s = 7,5.10-8 torr.l/s
不同应用对漏率的要求
电子行业
薄膜技术 集成电路
研究所
粒子加速器 核聚变
医药行业
起搏器
漏率 mbar.l/s (氦气)
的不确定
采用分子泵则有点明显： 1. 无油，非常洁净的真空 2. 稳定的转速，非常利于在所能检测的最低
值附近来确定泄露率的大小
被测件
氦质谱检漏仪的检漏方法 检漏时常遇到的问题
He
检漏仪
辅助泵
He
被测件
高真空泵 罗茨泵 前级泵
氦质谱检漏仪的检漏方法 检漏时常遇到的问题
检漏仪
究竟应该把检漏仪安装 在哪个位置？？？
气泡法检漏
水泡法，最多可
测到10-4mbar.l/s;
检漏完毕需要干
燥;且被测件很大
被测 件
的话就更困难！
将打压后的被测件浸在水槽里，气泡 可以反映漏率的大小
也可以采取肥皂泡法，通常在5分钟内出现1mm半 径的肥皂泡，其漏率约为10-5mbar l/s
压降法检漏
压缩空气或 抽真空
1. 检漏仪的应用
之后，检漏变得越发重要，尤其： 为了防止系统内介质漏到系统外（污 染环境）或系统外介质漏到系统内（ 影响系统操作）； 用于检测一些不紧固的元器件
检漏仪的应用
检漏仪的应用
电子和电力行业
灯泡 灯管 变压器 断路开关
半导体行业
流量计 集成电路 气体管道
显示
航天
发动机 天线 腔
飞机制造行业
液压元件 回旋装置
机翼 导弹
医药行业
起搏器 导管
输血管 药物包装
汽车行业
安全气袋 罐和管道
空调 减震器
前灯 散热器
车轮 传感器
食品包装行业 其它容器
核技术
元器件
钟表行业
物理研究所 粒子加速器
通常在检漏时容易遇到的问题
氦质谱检漏仪的检漏方法 检漏仪中的高真空泵
检漏仪早期甚至有用到扩散泵作为高真空泵， 但是缺点非常明显： 1. 油的返流造成污染（要加Trap） 2. 油加热装置的不稳定容易造成泄露率显示
电力行业
灯泡 断路器
航天
泵 回旋装置
汽车行业
气囊 减震器 过滤器 压缩机
航空
Airplane tanks
制冷
冰箱 空调
飞机制造业
导弹
10-12
10-11 10-10
10-9
10-8
10-7
10-6
10-5
工业应用
钟表行业
食品包装
10-4
10-3
检漏的目的
因此，检漏的目的在于 将泄漏降低到一个可以接受的，不 影响系统正常运行的程度！
氦检漏技术的应用
ห้องสมุดไป่ตู้
1. 检漏仪的应用 2. 通常在检漏时容易遇到的问题 3. 漏率的计算，定义和单位 4. 检漏的方法 5. 氦检漏仪的检漏方式 6. 检漏时间
8. 氦质谱检漏仪的内部构造 9. 氦气污染 10. 自动校准 11. 氦质谱检漏仪的选择 12. 检漏前的准备和检漏的注意事项 13. Alcatel 氦质谱检漏仪
检漏的方法
被测件内部压力 > 1000 mbar
不同的检漏方法
被测件内部压力 < 1000 mbar
检漏的方式
正压 :
对被测件内部打压
FLOW
Test part pressurized with test
gas
Air
真空 :
对被测件抽真空
Air/test gas
FLOW
Test part vacuum inside
例如: 假设漏率为 1mbar.l/sec (20°C的空气) 每秒将会有2.5*1019 个空气分子逃逸 !!!
时间
压力 = 1000 mbar 压力 = 1 mbar
25.000.000.000.000.000.000 个空气分子/秒
*
漏率的定义和单位
漏率的不同单位
漏率反映的是气体的流量, 例如 在某一个特定压力下(Pa, atm, mbar, torr)的体积流量(m3/s, cc/s, l/s)
1升 10 bar
=
10 升
AIR
1 bar
流量的定义
当我们在海平面高度下跑步 : 丝毫没有任何问题
我们的肺就象一台泵 : S = 4 l/s 泵的抽速是 4 l/s
但是当我们在海拔很高的山上跑步时 : 我们就觉得呼吸不过来了
虽然泵的抽速并没有发生变化 : 4l/s, 但是在山上的压力要比海平面的压力
漏率的定义和单位
例如: 假设对于一个体积 为10升的容器，压力在80 秒内的变化为2mbar，那 么漏率
Q = 2 mbar x 1 liters = 0.25 mbar . l/s. 80 seconds
漏率的定义和单位 mbar. liter/second
› 漏率其实反映的是在一定时间内从泄漏的气体分子的数量.
漏率的计算，定义和单位
› 流量体现的是在单位时间下
流体分子数的多少
› 对于液体而言：
• 流量 = 液体泵的抽速
体积 流量 =
时间
› 而对于气体而言：
• 流量 = 泵的抽速 x 压力
流量 = 体积 x压力 时间
流量的定义
流量的定义
• 所以，在10bar下一升气体与在1bar下10升气体所含的气体 分子数是相同的