放电等离子体烧结技术 ppt课件
放电等离子体烧结技术讲解
材料合成与制备
ngmuir又进一步对低压气体放电形成的发光区，即阳
光柱深入研究，发现其中电子和正离子的电荷密度差不多 相等，是电中性的，电子、离子基团作与其能量状态对应 的振动。他在其发表的论文中，首次称这种阳光柱的状态 为“等离子体”。
等离子体特效图
材料合成与制备
1930年，美国科学家提出利用等离子体脉冲电流烧结原理，但
在低压下产生，压力小于 1.33×104Pa 时，气体被撞击的几率减少，气体吸 收电子的能量减少，造成电子温度和 气体温度分离，电子温度比较高 （ 104K ） 而 气 体 的 温 度 相 对 比 较 低 （ 102~103K ），即电子与气体处于非 平衡状态。气体压力越小，电子和气 体的温差就越大。
1990年以后，日本推出了可用于工业生产的 SPS第三代产品，
具有 10~100t 的烧结压力和 5000~8000A 脉冲电流，其优良的烧 结特性，大大促进了新材料的开发。
1996年，日本组织了产学官联合的 SPS研讨会，并每年召开一
次。
材料合成与制备
由于SPS技术具有快速、低温、高效率等优点，近几年国
随后上海硅酸盐研究所、清华大学、北京工业大学和武汉大学
SPS 作为一种材料制备的全新技术，已引起了国内外的广泛重
材料合成与制备
9.2 SPS合成技术原理
9.2.1
等离子体烧结技术的概念
等离子体 等离子体是宇宙中物质存在的一种状态，是除固、 液、气三态外物质的第四种状态。所谓等离子体就 是指电离程度较高、电离电荷相反、数量相等的气 体，通常是由电子、离子、原子或自由基等粒子组 成的集合体。
材料合成与制备
图
9.2
放 电 等 离 子 体 形 成 的 机 理 示 意 图
放电等离子体烧结技术课件
▪ 2000年6月武汉理工大学购置了国内首台SPS装置。 ▪ 随后上海硅酸盐研究所、清华大学、武汉大学等高校及科研机构也相继引进了
SPS装置, 用来进行相关的科学研究。
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放电等离子体烧结（SPS）简介
由于其独特的烧结机理, SPS技术具有升温速度快、烧 结温度低、烧结时间短、节能环保等特点, SPS已广泛 应用于纳米材料、梯度功能材料、金属材料、磁性材料 、复合材料、陶瓷等材料的制备。
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放电等离子烧结（SPS）的应用
将1700 C下用SPS分别烧结3 min和5 min的样品与常规方法在1500 C烧结 72 h的样品对比可以看出使用SPS方法得到的样品所用时间更短, 致密性更 好。
放电等离子体烧结技术
Spark Plasma Sintering（SPS）
课程：材料合成与制备
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目录
1. 放电等离子烧结（SPS）简介 2. 放电等离子烧结（SPS）的基本原理 3. 放电等离子烧结（SPS）的优缺点 4. 放电等离子烧结（SPS）的应用
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放电等离子体烧结（SPS）简介
SPS的发展
▪ 1930年, 美国科学家提出利用等离子体脉冲电流烧结原理, 直到1965年, 脉冲电流烧
结技术才在美、日等国得到应用。日本获得了SPS技术的专利, 但当时未能解决该 技术存在的生产效率低等问题, 因此SPS技术没有得到推广应用。
▪ SPS技术的推广应用是从上个世纪80年代末期开始的。 ▪ 1988年日本研制出第一台工业型SPS装置, 并在新材料研究领域内推广应用。 ▪ 由于SPS技术具有快速、低温、高效率等优点, 近几年国内外许多大学和科研机构
放电等离子烧结(sps)
SPS放电等离子烧结（Spark Plasma Sintering，简称SPS）是制备功能材料的一种全新技术，它具有升温速度快、烧结时间短、组织结构可控、节能环保等鲜明特点，可用来制备金属材料、陶瓷材料、复合材料，也可用来制备纳米块体材料、非晶块体材料、梯度材料等。
1 前言随着高新技术产业的发展，新型材料特别是新型功能材料的种类和需求量不断增加，材料新的功能呼唤新的制备技术。
放电等离子烧结（Spark Plasma Sintering，简称SPS）是制备功能材料的一种全新技术，它具有升温速度快、烧结时间短、组织结构可控、节能环保等鲜明特点，可用来制备金属材料、陶瓷材料、复合材料，也可用来制备纳米块体材料、非晶块体材料、梯度材料等。
2 国内外SPS的发展与应用状况SPS技术是在粉末颗粒间直接通入脉冲电流进行加热烧结，因此在有的文献上也被称为等离子活化烧结或等离子辅助烧结（plasmaactivatedsintering-PAS或plasma-assistedsintering-PAS）[1,2]。
早在1930年，美国科学家就提出了脉冲电流烧结原理，但是直到1965年，脉冲电流烧结技术才在美、日等国得到应用。
日本获得了SPS技术的专利，但当时未能解决该技术存在的生产效率低等问题，因此SPS技术没有得到推广应用。
1988年日本研制出第一台工业型SPS装置，并在新材料研究领域内推广使用。
1990年以后，日本推出了可用于工业生产的SPS第三代产品，具有10～100t 的烧结压力和脉冲电流5000～8000A。
最近又研制出压力达500t，脉冲电流为25000A的大型SPS装置。
由于SPS技术具有快速、低温、高效率等优点，近几年国外许多大学和科研机构都相继配备了SPS烧结系统，并利用SPS进行新材料的研究和开发[3]。
1998年瑞典购进SPS烧结系统，对碳化物、氧化物、生物陶瓷等材料进行了较多的研究工作[4]。
放电等离子烧结技术
放电等离子烧结技术概述放电等离子烧结技术是一种利用放电等离子体瞬间高温作用，将微米尺寸的粒子连结成块状材料的先进烧结工艺。
该技术可应用于金属、陶瓷和高分子材料的制备，广泛应用于航空航天、汽车工业、电子器件等领域。
原理放电等离子烧结技术主要依靠高能电子束、激光束或电弧产生的等离子体，对粉末进行加热、熔化、溶胶-凝胶相变及凝固等过程。
其主要步骤包括放电等离子体生成、能量传递、粉末加热和冷却固化。
1.放电等离子体生成：通过施加电弧、电子束或激光束，将电能转化为热能，形成高电离度的等离子体。
此过程会产生高温和高压的环境，使粉末表面瞬间熔化。
2.能量传递：放电等离子体中的高能电子、电荷、能量和动量会在粉末中传递。
高能电子的轰击使粉末中的原子、分子发生能级跃迁，从而引发化学反应、电子交换和原子结构的变化。
这些能量和动量的传递是改变粉末性质、形成块状材料的关键。
3.粉末加热：放电等离子体释放的能量使粉末中的粒子加热，粒子间的距离减小，表面融化形成胶体。
同时，粉末中的化学反应使胶体具有一定的粘结力，使粉末颗粒开始结合。
4.冷却固化：当放电停止时，粉末开始冷却。
冷却过程中，胶体迅速凝固，形成粒子间的连接。
这些连接在冷却固化后形成比较牢固的固结区，从而构成块状材料。
优点和应用放电等离子烧结技术具有以下优点：•高效性：放电等离子体的高能量传输和快速冷却固化过程，使得烧结时间大大缩短，提高了生产效率。
•成型性：该技术可实现复杂形状、高密度、均匀结合的材料制备，满足不同行业的需求。
•可控性：通过调整放电参数和粉末性质，可以控制物质的相变过程和烧结结构，达到所需的性能要求。
•应用广泛：放电等离子烧结技术可应用于制备各种材料，包括金属、陶瓷和高分子材料。
在航空航天、汽车工业、电子器件等领域有着广泛应用。
发展趋势放电等离子烧结技术在材料科学和工程领域的研究和应用仍在不断发展。
未来的发展趋势有：1.新材料研究：随着新材料的涌现，放电等离子烧结技术将继续为新材料的研发和制备提供有力的手段。
放电等离子体烧结技术PPT课件
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等离子体一般分两类
第一类是高温等离子体或称热等离子体（亦称高压平衡等离子体）
第二此类类是等离低子温体等中离，子粒体子（的亦激称冷等离子体）
发或是电离主要是通过碰
撞实现，当压力大于 1.33×104Pa 时 ， 由 于 气 体密度较大，电子撞击气 体分子，电子的能量被气 体吸收，电子温度和气体 温度几乎相等，即处于热
区域和不发光的暗区。
法拉第
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▪ ngmuir又进一步对低压气体放电形成的发光区，即
阳光柱深入研究，发现其中电子和正离子的电荷密度差不 多相等，是电中性的，电子、离子基团作与其能量状态对 应的振动。他在其发表的论文中，首次称这种阳光柱的状
态为“等离子体”。
等离子体特效图
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ቤተ መጻሕፍቲ ባይዱ
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▪ SPS过程中，颗粒之间放电时，会瞬时产生高达几千度
至1万度的局部高温，在颗粒表面引起蒸发和熔化，在颗 粒接触点形成颈部，由于热量立即从发热中心传递到颗粒 表面和向四周扩散，颈部快速冷却而使蒸汽压低于其他部 位。
▪ 气相物质凝聚在颈部形成高于普通烧结方法的蒸发-凝
固传递是SPS过程的另一个重要特点。
在低压下产生，压力小于1.33×104Pa 时，气体被撞击的几率减少，气体吸 收电子的能量减少，造成电子温度和 气体温度分离，电子温度比较高 （ 104K ） 而 气 体 的 温 度 相 对 比 较 低 （102~103K），即电子与气体处于非
力学平衡状态。
平衡状态。气体压力越小，电子和气 体的温差就越大。
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放电等离子体烧结技术
1 放电等离子体烧结的工艺 1.1放电等离子体烧结的设备
一般放电等离子体烧结设备主要由三部分组成
产生单轴向压 力的装置和烧 结模具，压力 装置可根据烧 结材料的不同 施加不同的压 力；
脉冲电流发生 器，用来产生 等离子体对材 料进行活化处 理
电阻加热设备
材料合成与制备
SPS装置的结构示意图
图1 为其装置简图。图2 为SPS 的电压、电流及外加压力与烧结 时间的关系曲线。其电流曲线主要由三段组成: (1) 脉冲大电流; (2) 稳态小电流; (3) 停止放电间隙。在稳态电流阶段, 仅施加很小 的压力; 放电间隙阶段施加大压力。
分电流加热模具，使模具开始对试样传热，试样温度升高，
开始收缩，产生一定的密度，并随着温度的升高而增大，
直至达到烧结温度后收缩结束，致密度达到最大。
材料合成与制备
1.3 等离子体烧结工艺参数的控制
烧结气氛 烧结气氛对样品烧结的影响很大（真空烧结情况除外）， 合适的气氛将有助于样品的致密化。
材料合成与制备
烧结温度 烧结温度的确定要考虑烧结体样品在高温下的相转变、
晶粒的生长速率、样品的质量要求以及样品的密度要求。一 般情况下，随着烧结温度的升高，试样致密度整体呈上升趋 势，这说明烧结温度对样品致密度程度有明显的影响，烧结 温度越高，烧结过程中物质传输速度越快，样品越容易密实。
但是，温度越高，晶粒的生长速率就越快，其力学性能就越差。而 温度太低，样品的致密度就很低，质量达不到要求。温度与晶粒大小 之间的矛盾在温度的选择上要求一个合适的参数。
业株式会社生产，SPS-1050）。
材料合成与制备
等离子体烧结技术的概念
等离子体 等离子体是宇宙中物质存在的一种状态，是除固、
放电等离子体烧结技术(SPS)教学教材
放电等离子体烧结技术(S P S)放电等离子体烧结技术（SPS）一、S PS合成技术的发展▪最初实现放电产生“等离子体”的人是以发现电磁感应法则而知名的法拉第（M.Farady），他最早发现在低压气体中放电可以分别观测到相当大的发光区域和不发光的暗区。
▪ngmuir又进一步对低压气体放电形成的发光区，即阳光柱深入研究，发现其中电子和正离子的电荷密度差不多相等，是电中性的，电子、离子基团作与其能量状态对应的振动。
他在其发表的论文中，首次称这种阳光柱的状态为“等离子体”。
等离子体特效图▪1930年，美国科学家提出利用等离子体脉冲电流烧结原理，但是直到1965年，脉冲电流烧结技术才在美、日等国得到应用。
日本获得了SPS 技术的专利，但当时未能解决该技术存在的生产效率低等问题，因此SPS技术没有得到推广应用。
▪SPS技术的推广应用是从上个世纪80年代末期开始的。
▪1988年日本研制出第一台工业型SPS装置，并在新材料研究领域内推广应用。
▪1990年以后，日本推出了可用于工业生产的SPS第三代产品，具有10~100t的烧结压力和5000~8000A脉冲电流，其优良的烧结特性，大大促进了新材料的开发。
▪1996年，日本组织了产学官联合的SPS研讨会，并每年召开一次。
▪由于SPS技术具有快速、低温、高效率等优点，近几年国外许多大学和科研机构都相继配备了SPS烧结系统，应用金属、陶瓷、复合材料及功能材料的制备，并利用SPS进行新材料的开发和研究。
▪1998年瑞典购进SPS烧结系统，对碳化物、氧化物、生物陶瓷登材料进行了较多的研究工作。
▪目前全世界共有SPS装置100多台。
如日本东北大学、大阪大学、美国加利福尼亚大学、瑞典斯德哥尔摩大学、新加坡南洋理工大学等大学及科研机构相继购置了SPS系统。
▪我国近几年也开展了利用SPS技术制备新材料的研究工作，引进了数台SPS烧结系统，主要用于纳米材料和陶瓷材料的烧结合成。
▪最早在1979年，我国钢铁研究总院自主研发制造了国内第一台电火花烧结机，用以批量生产金属陶瓷模具，产生了良好的社会经济效益。
放电等离子体烧结
放电等离子体烧结
放电等离子体烧结是一种新兴的材料加工技术，通过高温等离子体的作用，可以将粉末材料烧结成坚固的材料。
这种技术具有高效、环保、节能等优点，被广泛应用于金属、陶瓷、复合材料等领域。
放电等离子体烧结的原理是利用放电等离子体在高温下的高能量状态，使粉末颗粒表面迅速熔化并结合成致密的材料。
在这个过程中，放电等离子体不仅提供了高温和高压的条件，还能够激发粉末颗粒之间的化学反应，加速烧结速度，提高材料的密度和强度。
放电等离子体烧结技术的优势在于可以实现快速烧结、高密度、高强度和高温稳定性的材料制备。
与传统烧结方法相比，放电等离子体烧结可以大大缩短烧结时间，降低能耗，减少材料损耗，提高生产效率和材料质量。
在金属材料加工领域，放电等离子体烧结技术被广泛应用于制备高性能的工具钢、不锈钢、合金等材料。
通过这种技术，可以实现金属材料的高密度、高强度、高硬度和高耐磨性，满足各种工业领域对材料性能的要求。
在陶瓷材料加工领域，放电等离子体烧结技术也有着重要的应用。
通过这种技术，可以制备高密度、高强度、高耐磨性和高抗压性的陶瓷材料，广泛应用于电子、光学、航空航天等领域。
在复合材料领域，放电等离子体烧结技术的应用也日益广泛。
通过
这种技术，可以实现复合材料的高密度、高强度、高硬度和高耐磨性，满足汽车、航空航天、船舶等领域对复合材料性能的要求。
总的来说，放电等离子体烧结技术是一种高效、环保、节能的材料加工技术，具有广阔的应用前景。
随着材料科学技术的不断发展，相信放电等离子体烧结技术将在各个领域发挥重要作用，为人类社会的发展做出贡献。
放电等离子烧结技术
放电等离子烧结技术一、技术概述放电等离子烧结技术是一种利用高温等离子体烧结陶瓷材料的方法。
该技术通过放电产生高温等离子体，使陶瓷粉末在高温下熔融并形成致密的块体，从而达到烧结的目的。
二、工艺流程1.原料制备：将陶瓷粉末按一定比例混合，并加入必要的助剂。
2.成型：将混合好的陶瓷粉末通过压制或注塑成型。
3.预处理：对成型后的坯体进行去除水分和有机物等预处理。
4.放电等离子体处理：将坯体置于放电等离子体发生器中，通过放电产生高温等离子体，使陶瓷粉末在高温下熔融并形成致密的块体。
5.后处理：对放电等离子体处理后得到的块体进行去除残余气孔和表面加工。
三、优点1.能够制备出具有优异性能的陶瓷材料，如高强度、高硬度、耐腐蚀性好等。
2.制备过程中无需添加任何外部热源，能够节约能源。
3.制备的陶瓷材料致密度高、气孔率低，具有较好的抗压强度和耐磨性。
四、缺点1.设备成本高，需要专门的放电等离子体发生器。
2.制备过程中需要控制放电等离子体的温度和时间等参数，技术难度较大。
3.制备出的陶瓷材料存在一定的残余应力，容易导致裂纹和断裂。
五、应用领域放电等离子烧结技术主要应用于制备高强度、高硬度、耐腐蚀性好的陶瓷材料。
目前已广泛应用于航空航天、汽车工业、机械加工等领域。
例如，利用该技术可制备出具有优异性能的氧化锆陶瓷刀具，在机械加工领域得到广泛应用。
六、发展趋势随着科学技术的不断进步和人们对高性能材料需求的增加，放电等离子烧结技术将会得到更广泛的应用。
未来该技术将会更加成熟，设备成本也将会逐渐降低，同时制备出的陶瓷材料也将会具有更优异的性能。
放电等离子烧结技术进展
4、放电等离子烧结技术的展望
（1）.SPS设备需要优化 SPS需要增加设备的多功能性和脉冲电流的
容量 ,以便做尺寸更大的产品。 需要发展全自动化的 SPS 生产系统 ,以满足
究所、清华大学、北京工业大学。
• 随后燕山大学、武汉大学、四川大学、哈尔滨工业大学、北京
科技大学、华南理工大学、昆明理工大学等高校及科研机构也 相继引进了SPS装置，在梯度功能材料、复合材料、靶材等领 域开展相关的科学研究。（注：进口SPS设备只用作科研是免 关税的。）
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SPS设备实物图
最高脉冲电流： 5000A
SPS方法制备的四元 Ag-Bi-Se-Te 合金的 Seebeck 系数绝对值(|α|) 为1.80×10-4V·K-1；ZT值为0.75。 SPS方法提高了材料的热电转换性能。 此外，SPS技术也已成功地应用于贵金属靶材，如Au 靶，Ru靶等，用于贵金属基复合材料、含贵金属牙科 陶瓷材料以及超导材料、多孔材料等新材料的制备。
放电等离子烧结工艺参数的控制
但是，温度越高，晶粒的生长速率就越快，其力学性能就越差。而温度 太低，样品的致密度就很低，质量达不到要求。温度与晶粒大小之间的矛 盾在温度的选择上要求一个合适的参数。
升温速率 随着升温速率的加快，使得样品在很短的时间内达到所要求的温
度，晶粒的生长时间会大大减少，这不仅有利于抑制晶粒的长大， 得到大小均匀的细晶粒陶瓷，还能节约时间、节约能源以及提高烧 结设备的利用率。但是，由于设备本身的限制，升温速率过快对设 备会造成破坏性影响。因此在可允许的范围内尽可能的加快升温速 率。但是，在实测的实验数据中反映到：随着升温速率的增大，样 品致密度表现出逐渐下降的趋势。
放电等离子体烧结技术讲义.29页PPT
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、
倚
南
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傲
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审
容
膝
之
易
安
。
16、业余生活要有意义，不要越轨。——华盛顿 17、一个人即使已登上顶峰，也仍要自强不息。——罗素·贝克 18、最大的挑战和突破在于用人，而用人最大的突破在于信任人。——马云 19、自己活着，就是为了使别人过得更美好。——雷锋 20、要掌握书，莫被书掌握；要为生而读，莫为读而生。——布尔沃
文 家 。汉 族 ，东 晋 浔阳 柴桑 人 （今 江西 九江 ） 。曾 做过 几 年小 官， 后辞 官 回家 ，从 此 隐居 ，田 园生 活 是陶 渊明 诗 的主 要题 材， 相 关作 品有 《饮 酒 》 、 《 归 园 田 居 》 、 《 桃花 源 记 》 、 《 五 柳先 生 传 》 、 《 归 去来 兮 辞 》 等 。
放电等离子体烧结技术讲义.
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、
露
凝
无
游
氛
，
天
高
风
景
澈
。
7、翩翩新 来燕，双双入我庐 ，先巢故尚在，相 将还旧居。
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吁
嗟
身
后
名
，
于
我
若
浮
烟
。
9、 陶渊 明（ 约 365年 —427年 ），字 元亮， （又 一说名 潜，字 渊明 ）号五 柳先生 ，私 谥“靖 节散
END
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放电等离子体烧结技术
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放电等离子体烧结（SPS）的基本原理
放电等离子体烧结系统示意图
放电等离子体烧结技术
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放电等离子体烧结（SPS）的基本原理
放电过程中粉末粒子对的模型
粉末颗粒微区存在电场诱 导的正负极，在脉冲电流作用 下颗粒间发生放电，激发等离 子体，由放电产生的高能粒子 撞击颗粒间的接触部分，使物 质产生蒸发作用而起到净化和 活化作用，电能贮存在颗粒团 的介电层中，介电层发生间歇 式快速放电，在粉末颗粒未接 触部位产生自发热。
但是SPS的基础理论目前尚不完全清楚，需要进行大量实践与 理论研究来完善，SPS需要增加设备的多功能性和脉冲电流的容量，以 便做尺寸更大的产品；特别需要发展全自动化的SPS生产系统，以满足 复杂形状、高性能的产品和三维梯度功能材料的生产需要。
放电等离子体烧结技术
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放电等离子烧结（SPS）的应用
等离子体烧结技术的适用范围
由于其独特的烧结机理，SPS技术具有升温速度快、 烧结温度低、烧结时间短、节能环保等特点，SPS已广 泛应用于纳米材料、梯度功能材料、金属材料、磁性材 料、复合材料、陶瓷等材料的制备。
放电等离子体烧结技术
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放电等离子烧结（SPS）的应用
将1700 C下用SPS分别烧结3 min和5 min的样品与常规方法在1500 C烧结 72 h的样品对比可以看出使用SPS方法得到的样品所用时间更短，致密性更 好。
放电等离子体烧结技术
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放电等离子烧结（SPS）的优缺点
放电等离子烧结(SPS)技术具有在较低温度下实现快速烧结致密材 料的特点，与传统烧结方法相比，不仅可以节约能源、节省时间、提高 设备效率，而且所得的烧结体晶粒均匀、致密度高、力学性能好，这对 于工业生产和科学研究来说，在节约能源、提高生产效率方面都有极为 重要的意义。
构都相继配备了SPS烧结系统，应用金属、陶瓷、复合材料及功能材料的制备， 并利用SPS进行新材料的开发和研究。
▪ 2000年6月武汉理工大学购置了国内首台SPS装置。 ▪ 随后上海硅酸盐研究所、清华大学、武汉大学等高校及科研机构也相继引进了
SPS装置，用来进行相关的科学研ቤተ መጻሕፍቲ ባይዱ。
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放电等离子体烧结（SPS）简介
放电等离子体烧结技术
放电等离子体烧结技术
Spark Plasma Sintering（SPS）
课程：材料合成与制备
放电等离子体烧结技术
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目录
1. 放电等离子烧结（SPS）简介 2. 放电等离子烧结（SPS）的基本原理 3. 放电等离子烧结（SPS）的优缺点 4. 放电等离子烧结（SPS）的应用
放电等离子体烧结技术
Materials Letters, Volume 196, 1 June 2017, Pages 403-405
放电等离子体烧结技术
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放电等离子烧结（SPS）的应用
Materials Le放tt电er等s离1子23体(烧2结01技4术) 142–144
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放电等离子烧结(Spark Plasma Sintering,简称SPS)工艺是将金属等粉末装入 石墨等材质制成的模具内，利用上、下模冲及通电电极将特定烧结电源和压制 压力施加于烧结粉末，经放电活化、热塑变形和冷却完成制取高性能材料的一 种新的粉末冶金烧结技术。
放电等离子烧结具有在加压过程中烧结的特点，脉冲电流产生的等离子体 及烧结过程中的加压有利于降低粉末的烧结温度。同时低电压、高电流的特征， 能使粉末快速烧结致密。
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放电等离子体烧结（SPS）简介
SPS的发展
▪ 1930年，美国科学家提出利用等离子体脉冲电流烧结原理，直到1965年，脉冲电
流烧结技术才在美、日等国得到应用。日本获得了SPS技术的专利，但当时未能 解决该技术存在的生产效率低等问题，因此SPS技术没有得到推广应用。
▪ SPS技术的推广应用是从上个世纪80年代末期开始的。 ▪ 1988年日本研制出第一台工业型SPS装置，并在新材料研究领域内推广应用。 ▪ 由于SPS技术具有快速、低温、高效率等优点，近几年国内外许多大学和科研机