晶圆表面微米级缺陷检测

晶圆表面微米级缺陷检测
晶圆表面微米级缺陷检测

缺陷严重程度分类的定义(精)

缺陷严重程度分类的定义: Critical:An observation is defined as“Critical”when any one or more of the following four conditions apply: ● Any non-conformance or non-compliance that will or already has adversely affected product performance meeting specification,safety,therapeutic efficacy,or regulatory requirements。 ● Any non-conformance or non-compliance that if allowed to continue,may result in product rejection,field action,or serious regulatory action(e.g. Warning Letter or similar) ● The observation is a repeat“Critical”or“Major”observation,or relates to failure to meet a commitment made to a regulatory authority。 ● The observation represents the complete absence of one or more quality system elements or system components necessary to meet regulatory requirements. Ma jor:An observation is defined as“Major” when any one or more of the following two conditions apply: ● Any non-conformance or non-compliance that may or may have adversely affected product performance meeting specification,safety,therapeutic efficacy,or regulatory requirements。 ● Any isolated non-compliance in not reporting or reporting late any required regulatory/health authority reports notifications.(Note:frequent occurrences represent a “Critical”observation.)

【CN110018181A】一种晶圆缺陷检测的方法和装置【专利】

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请号 201910336397.4 (22)申请日 2019.04.25 (71)申请人 德淮半导体有限公司 地址 223300 江苏省淮安市淮阴区长江东 路599号 (72)发明人 孙必胜 刘命江  (74)专利代理机构 中国国际贸易促进委员会专 利商标事务所 11038 代理人 周阳君 (51)Int.Cl. G01N 21/95(2006.01) (54)发明名称 一种晶圆缺陷检测的方法和装置 (57)摘要 本发明涉及一种晶圆缺陷检测的方法和装 置。更具体地,本发明公开了一种为管芯确定管 芯角的方法,包括在管芯的内部选取参考点;获 取位于管芯的最外围的水平边上的第一节点以 及位于管芯的最外围垂直边上的第二节点,其中 参考点与第一节点的连线与管芯的最外围的水 平边垂直,并且参考点与第二节点的连线与管芯 的最外围的垂直边垂直;获取第三节点,其中第 一节点、第二节点、第三节点和参考点形成矩形; 以及第三节点被认为是管芯的管芯角。权利要求书1页 说明书8页 附图4页CN 110018181 A 2019.07.16 C N 110018181 A

权 利 要 求 书1/1页CN 110018181 A 1.一种为管芯确定管芯角的方法,包括 在管芯的内部选取参考点; 获取位于管芯的最外围的水平边上的第一节点以及位于管芯的最外围垂直边上的第二节点,其中参考点与第一节点的连线与管芯的最外围的水平边垂直,并且参考点与第二节点的连线与管芯的最外围的垂直边垂直; 获取第三节点,其中第一节点、第二节点、第三节点和参考点形成矩形;以及 第三节点被认为是管芯的管芯角。 2.根据权利要求1所述的方法,其中所述参考点为管芯内的图形的顶点。 3.根据权利要求2所述的方法,其中所述图形为矩形。 4.根据权利要求1所述的方法,其中所述管芯为非矩形管芯。 5.根据权利要求1所述的方法,其中所述参考点被选取使得第一节点位于最外围的水平边内,而不位于水平边的延长线内。 6.根据权利要求1所述的方法,其中所述参考点被选取使得第二节点位于最外围的垂直边内,而不位于垂直边的延长线内。 7.根据权利要求1所述的方法,其中所述参考点被选取使得第一节点位于最外围的水平边内,而不位于水平边的延长线内;并且同时第二节点位于最外围的垂直边内,而不位于垂直边的延长线内。 8.一种晶圆检测装置,包括: 照射组件,所述照射组件被配置为产生激光脉冲以扫描晶圆上的管芯; 图像传感组件,所述图像传感组件被配置为接收从由所述晶圆上的管芯散射到各个不同角度范围内的辐射以形成辐射图像;以及 观察和计算组件,所述观察和计算组件为晶圆上的管芯确定管芯角; 其中所述观察和计算组件被配置为: 在管芯的内部选取参考点; 获取位于管芯的最外围的水平边上的第一节点以及位于管芯的最外围的垂直边上的第二节点,其中参考点与第一节点的连线与管芯的最外围的水平边垂直,并且参考点与第二节点的连线与管芯的最外围的垂直边垂直; 获取第三节点,其中第一节点、第二节点、第三节点和参考点形成矩形; 第三节点被认为是管芯的管芯角。 9.根据权利要求8所述的晶圆检测装置,仅为晶圆上的选定的管芯确定管芯角。 10.根据权利要求8所述的晶圆检测装置,还包括用于调整管芯与照射组件对应位置关系的定位组件。 2

表面缺陷无损检测方法的比较

表面缺陷无损检测方法的比较方法 项目 磁粉检测(MT) 漏磁检测(MLF) 渗透检测(PT) 涡流检测(ET) 方法原理 磁力作用 磁力作用 毛细渗透作用 电磁感应作用 能检出的缺陷 表面和近表面缺陷 表面和近表面缺陷 表面开口缺陷 表面及表层缺陷 缺陷部位的显示形式 漏磁场吸附磁粉形成磁痕 漏磁场大小分布 渗透液的渗出

检测线圈输出电压和相位发生变化 显示信息的器材 磁粉 计算机显示屏 渗透液、显像剂 记录仪、示波器或电压表 适用的材料 铁磁性材料 铁磁性材料 非多孔性材料 导电材料 主要检测对象 铸钢件、锻钢件、压延件、管材、棒材、型材、焊接件、机加工件在役使用的上述工件检测铸钢件、锻钢件、压延件、管材、棒材、型材、焊接件、机加工件在役使用的上述工件检测任何非多孔性材料、工件及在役使用过的上述工件检测 管材、线材和工件检测;材料状态检验和分选;镀层、涂层厚度测量 主要检测缺陷 裂纹、发纹、白点、折叠、夹渣物、冷隔 裂纹、发纹、白点、折叠、夹渣物、冷隔 裂纹、白点、疏松、针孔、夹渣物

裂纹、材质变化、厚度变化缺陷显示 直观 直观 直观 不直观 缺陷性质判断 能大致确定 能大致确定 能基本确定 难以判断 灵敏度 高 高 高 较低 检测速度 较快 快 慢

很快 污染 较轻 无污染 较重 无污染 相对优点 可检测出铁磁性材料表面和近表面(开口和不开口)的缺陷。 能直接的观察出缺陷的位置、形状、大小和严重程度。 具有较高的检测灵敏度,可检测微米级宽度的缺陷。 单个工件的检测速度快、工艺简单,成本低、污染轻。 综合使用各种磁化方法,几乎不受工件大小和几何形状的影响。 检测缺陷重复性好。 可检测受腐蚀的在役情况。 a) 易于实现自动化 b) 较高的检测可靠性 c) 可以实现缺陷的初步量化 d) 在管道的检查中,在厚度高达30mm的壁厚范围內,可同时检测內外壁缺陷 e) 高效、无污染,可以获得很高的检测效率. 可检测出任何非松孔性材料表面开口性缺陷。 能直接的观察出缺陷的位置、形状、大小和严重程度。 具有较高的灵敏度。 着色检测时不用设备,可以不用水电,特别适用于现场检验。 检测不受工件几何形状和缺陷方向的影响。 对针孔和疏松缺陷的检测灵敏度较高。 非接触法检测,适用于对管件、棒材和丝材进行自动化检测,速度快。 可用检测材料导电率代替硬度检测。了解材料的热处理状态和进行材料分选。污染很小。 相对局限性

金属零件表面缺陷的检测与识别技术综述

华东交通大学硕士学位论文开题报告格式模板 本模板供统招硕士和同等学历硕士使用 (2005年12月制订) 一、页面设置 ●纸张大小:A4,正文部分可双面印刷 ●页边距:上2.8cm、下2.5cm,左、右2.5cm,装订线:0cm ●页眉:1.6cm,页脚:1.5cm ●文档网格:无网格(设置文档网格后无法达到模板格式要求!) 二、字间距 无特别说明时均采用标准字间距。 三、小技巧 1、设置标题、段落格式时请学会使用格式刷; 2、一段文字中既有中文又有英文(含数字),中英文采用不同字体时,可先选中这段文字,设定中文字体后再设定英文字体; 3、采用插入分节符(下一页)的办法强行换页; 4、如果对自动编号的格式设置不十分熟悉,建议不要使用自动编号。 四、其他 1、本模板中的内容来自于不同的资料,上下文之间可能没有直接的联系,由此给您带来的不便,我们表示歉意; 2、报告中有图、表、公式时,其格式要求与“学位论文”相同,可参见“华东交通大学硕士学位论文格式模板”。

铁路货车滚动轴承表面缺陷的自动检测 与识别技术研究 学 号: 20020390010101 姓 名: XXX 导 师: XXX 教授 学 院: 机电工程学院 专 业: 机械制造及其自动化 研究方向: 故障诊断 年3月 华东交通大学研究生院制

一、课题的来源、目的和意义 ................................................ 1 二、货车滚动轴承表面缺陷的计算机自动识别的研究现状 (1) 1、常用的表面缺陷检测方法 ............................................. 1 2、滚动轴承表面缺陷自动识别的研究现状 ................................. 2 3、相关的研究 ......................................................... 2 三、本课题研究的主要内容和重点 ............................................ 2 四、技术方案 .............................................................. 3 五、实施方案所需的条件 .................................................... 3 六、存在的主要问题和技术关键 .............................................. 3 七、预期能达到的目标 ...................................................... 3 八、课题研究计划进度 ...................................................... 3 九、研究经费预算 .......................................................... 3 十、主要参考文献 .......................................................... 4 文献阅读报告:金属零件表面缺陷的检测与识别技术综述 (5) 1 金属零件表面缺陷检测的必要性 ........................................ 5 2 检测表面缺陷的常规方法 .............................................. 5 3 …… ................................................................ 5 …… 8 5

出生缺陷的定义分类和危害

出生缺陷的定义、分类及危害 一、出生缺陷的定义 出生缺陷又称先天缺陷,是指由于先天性、遗传性和不良环境等原因引起的出生时存在的各种结构性畸形和功能性异常的总称。是导致流产、死胎、死产、新生儿死亡和婴儿夭折的重要原因。 出生缺陷包括形态上的畸形(如脊柱裂)、细胞的异常(如先天性白血病)、染色体异常(如21-三体综合征)、分子的异常(如苯丙酮尿症)等。也包括精神、行为等方面的异常。 二、出生缺陷的分类 根据出生缺陷特点分为变形缺陷,裂解缺陷,发育不良,畸形缺陷四类。 根据出生缺陷的严重程度可将其分为重大和轻微的缺陷两类,前者是指需进行较复杂的内科、外科及矫形处理的出生缺陷,后者则不需进行复杂处理。 根据发生情况出生缺陷可分为三类:①三胚层形成紊乱,多发生在胚胎第15-18天,常见神经管与肠管相通、内脏反位、连体畸胎等三种;②神经管闭合过程紊乱,导致脑、脊髓发育不全,进而引起椎弓、颅骨及邻近皮肤出现异常,常见于无脑畸形、脑膨出、脊柱裂等畸形;③器官系统发生和形成过程中的紊乱,种类多,可分为胚体升高过程紊乱、器官原基发生过程紊乱、器官发生过程后期紊乱、性别决定和分化过程中的紊乱等几类。

在常见的出生缺陷有: 1.神经系统畸形:无脑畸形、脑膨出、脊柱裂、先天性脑积水、小头畸形、脑性瘫痪; 2.头部器官畸形:先天性白内障、小眼畸形、小耳畸形、副耳及耳凹、小下颌; 3.腹壁缺损及疝:腹裂畸形、脐膨出、膀胱外翻、膈疝、脐疝、腹股沟斜疝; 4.消化系统畸形:腭裂、唇裂、食道闭锁、狭窄和食道气管瘘、先天性肥大性幽门狭窄、先天性肠闭锁和先天性肠狭窄、先天性巨结肠、直肠或肛门闭锁; 概论-常见的出生缺陷 5.先天性心脏病:房间隔缺损、室间隔缺损、动脉导管未闭、法洛四联症、完全性大动脉转位、肺动脉狭窄; 6.泌尿生殖系统畸形:尿道下裂、先天性肾囊肿、隐睾、外生殖器两性畸形。 7.四肢畸形:足变形、多指(趾)畸形、并指(趾)畸形、肢体短缺畸形、先天性髋关节脱位; 8.皮肤畸形:血管瘤、色素痣; 9.遗传代谢病及多发畸形:21-三体综合征、苯丙酮尿症、肝糖原累积病、软骨营养障碍。 三、危害 出生缺陷是世界范围内围产儿、婴儿死亡的主要原因,并导致大

金属材料外观缺陷的检验与处理

金属材料外观缺陷的检验与处理 金属材料外观缺陷的检验 钢材表面缺陷:结疤、裂缝、气泡、夹杂(非金属夹杂)、折叠、麻面、分层、拉裂、辊印、粘结等不得超出相应标准规定。 有色金属材料表面缺陷:裂缝、起皮、起泡、针孔、夹杂、起刺、压折、划伤、擦伤、斑点、凹坑、压灰、辊印等不得超出相应标准规定。 金属材料形状缺陷:弯曲、波浪弯、镰刀弯、瓢曲、扭转、外缘斜度(工字钢)、弯腰挠度(工字钢、槽钢)、椭圆、凹面(钢管)、剪切偏斜,锯齿形边(钢板)、剪切宽窄、塌肩(槽钢)、厚薄不均、厚边(钢板)、缺角(钢板)等不得超出相应标准规定。 金属材料外观缺陷的处理 金属材料的外观缺陷,在验收中除根据相应标准判别外,还应根据实际情况做好文字记录,必要时照像摄影留存,作为综合判断处理的依据。 金属材料的锈蚀 金属材料锈蚀的分类 分轻锈(浮锈)、中锈(迹锈)、重锈(层锈)、水渍、粉末锈、破锡(锌)锈 金属材料锈蚀的计算 板材锈蚀的计算:两面锈蚀在相对的同一部位,按较重的一面锈蚀面积计算,不在同一部位的,按两面锈蚀面积之和计算。 管材锈蚀的计算:内外壁锈蚀在相对的或同一长度的同一部位,按较重的一面锈蚀长度计算,不在同一部位的或不在同一长度内的,按两面锈蚀之和计算。 型材锈蚀的计算:按锈蚀长度计算,在已计算的长度内,各点、段处不重复加以计算。金属材料锈蚀等级的划分

金属材料锈蚀的处理 一般一、二级锈蚀要根据情况做贬值处理,三级锈蚀的材料拒收。贬值处理后入库的材料要及时做好除锈、防锈处理,以免锈蚀程度增加。 部分常用金属材料的外观质量检验 圆钢、方钢、条钢、槽钢、工字钢、角钢、扁钢的外观质量检验 圆钢、方钢、工字钢、角钢不应有扭转、弯折。条钢表面用肉眼检查,不应有裂缝、折迭、结疤和夹杂,两端不应有分层和6mm以上的毛刺。扁钢不应有显著的扭转,侧边不应有显著弧形凸起或凹入。 线材的外观质量检验 盘条表面不能有裂缝、折迭、结疤、分层及杂夹。钢筋表面不应有裂缝、结疤和折迭;钢筋表面可有凸块,但不应超过螺纹筋的高度,钢筋的螺纹筋与纵筋应相连接。 钢板、钢带的外观质量检验 钢板、钢带的表面不应有裂纹、结疤、折叠、气泡和夹渣;不应有分层;表面可有深度和高度小于或等于厚度公差之半的折印、麻点、划伤、小拉痕,以及氧化铁皮脱落所造成的表面粗糙等局部缺陷;表面的局部缺陷,可用修磨方法清除,但清除深度小于或等于钢板、钢带厚度公差之半。 无缝钢管的外观质量检验 钢管的外表面不应有裂缝、折迭、轧折、离层、发纹和结疤等缺陷,缺陷清除深度不能超过公称壁厚的负偏差,清除处的实际壁厚大于或等于壁厚的最小值。 焊接钢管的外观质量检验 钢管内外表面应光滑,不应有折迭、裂缝、分层、搭焊等缺陷,表面可有不超过壁厚负偏差的划道、刮伤、焊缝错位、烧伤和结疤等缺陷存在,允许焊缝处壁厚增厚和内缝焊筋存在。 镀锌钢管的外观质量检验 镀锌钢管的内外表面应有完整的镀锌层,不应有未镀上锌的黑斑和气泡存在,局部可有微小的粗糙和不明显的锌瘤存在。 套管、油管的外观质量检验 套管、油管的管体内外表面及接箍外表面不应有折迭、发纹、离层、裂缝、轧折和结疤等缺陷;套管、油管及其接箍外表面应有一层透明光滑、致密、防锈的涂层;管体、接箍不能有碰伤变形、管体弯曲;从靠近接箍的管体表面查漆印、钢印,识别钢级、查壁厚;成捆油管拆捆后不应有明显弯曲。 钻杆的外观质量检验 杆体表面外观检验与套管、油管要求相同;所有加厚钻杆的管体表面加厚过渡段结构应平整,不应有直台肩、折皱、表面凹凸尖角。 钻铤的外观质量检验 钻铤管体内外表面不应有裂纹、分层和结疤等缺陷,若有缺陷应修磨消除。修磨处与钻铤表面呈圆弧过渡。钻铤表面的任何部位不能焊补。

表面缺陷检测

对于生产物件的检测,由于科学技术的限制,起初只能采用人工进行检测,这样的方式不仅消耗大量人力,而且浪费时间,效率低下。于是,基于机器视觉技术的表面缺陷检测技术应运而生,我们有必要关注关注,并了解相关注意事项。 当今社会,随着计算机技术,人工智能等科学技术的出现和发展,以及研究的深入,出现了基于机器视觉技术的表面缺陷检测技术。这种技术的出现,大大提高了生产作业的效率,避免了因作业条件、主观判断等影响检测结果的准确性,实现能更好更准确地进行表面缺陷检测,更加快速的识别产品表面瑕疵缺陷。 产品表面缺陷检测属于机器视觉技术的一种,就是利用计算机视觉模拟人类视觉的功能,从具体的实物进行图象的采集处理、计算、进行实际检测、控制和应用。产品的表面缺陷检测是机器视觉检测的一个重要部分,其检测的准确程度直接会影响产品的质量优劣。由于使用人工检测的方法早已不能满足生产和现代工艺生产制造的需求,而利用机器视觉检测很好地克服了这一点,表面缺陷检测系统的广泛应用促进了企业工厂产品高质量的生产与制造业智能自动化的发展。

在进行产品表面检测之前,有几个步骤需要注意。 首先,要利用图像采集系统对图像表面的纹理图像进行采集分析; 其次,对采集过来的图像进行一步步分割处理,使得产品表面缺陷能像能够按照其区域特征进行分类; 再者,在以上分类区域中进一步分析划痕的目标区域,使得范围更加的准确。 通过以上的三步处理之后,产品表面缺陷区域和特征能够进一步确认,这样表面缺陷检测的基本步骤就完成了。 利用机器视觉技术提高了用户生产效率,使得生产更加细致化,分工更加明确,同时,减少了公司的人工成本支出,节省了财力,实现机器智能一体化发展。 南京博克纳自动化系统有限公司总部位于美丽的中国古都南京,是国内专业研制无损检测仪器及设备的高科技企业。公司致力于涡流、漏磁和超声波仪器及各种非标设备的研制,已拥有自主研发的多项国家专利。产品被广泛应用于航天航空、军工、汽车、电力、铁路、冶金机械等行业。产品出口:美国、

金属表面喷涂检验规范(涂装规范细则)

1.0目的 规定了金属零部件喷涂标准的朮语、技朮要求、试验方法、检验规则等, 其最终目的在于满足最终客户对视觉、触觉的要求 2.0范围 本文件适用于喷粉生产质量检验。 3.0定义 3.1 A级表面:能直接正视的外部表面和全部需丝印的表面; 3.2 B级表面:不明显的外部表面和开启门后能看见的内部表面; 3.3 C级表面:不易察看的内部和外部表面; 3.4起泡:涂层局部粘附不良引起涂膜浮起; 3.5针孔:涂层表面上可看见类似针刺成的微小孔; 3.6桔皮:喷涂涂料产生的凸凹,象桔皮一样的斑点; 3.7异物:空气中灰尘,喷涂机污物等杂物; 3.8凹痕:喷涂前基材上的伤痕使涂装后该处出现凹陷; 3.9浅划痕:涂层表面有伤痕,但看不见底层表面; 3.10深划痕:涂层表面有伤痕,且伤及底层表面; 3.11厚边:喷涂时在产品边缘或内折弯角处的涂料堆积现象,包括因局部保护不良而产生的毛边; 3.12流挂:喷涂时涂层流动产生的堆积; 3.13露底:局部无涂层或涂料覆盖不严等现象,常见于内折弯角处/孔的边缘截面,基材切口边缘截面 等部位; 3.14剥落:一道或多道涂层脱离上涂层,或涂层完全脱离基材的现象; 3.15缩孔:涂层干燥后滞留的若干大小不等,分布各异的图形小坑现象; 3.16开裂:涂层出现不连续的外观开裂变化,通常由于涂层老化而引起的; 3.17粉化:涂层表面由于一种或多种漆基的降解及颜料的分解而呈现出疏松附着细粉。 4.0输入 4.1 金属零(组)件的粉末喷涂技朮规范 4.2金属零(组)件的喷漆技术规范 5.0输出

喷涂检验日报表6.0工作程序

6.1主要检验工具 6.1.1 色差仪。 6.1.2涂层测厚仪。 6.1.3本公司标准样板。 6.1.4透明杂物判定表。 6.1.5 切刀及透明胶带(采用3M公司生产的Scotch 250# 胶带)。 6.1.6 100%工业酒精。 6.1.7白色棉质软布(或脱脂棉)和端面直径为6.3mm,长40mm的圆柱形木棒。 6.1.8冲击试验器和4倍放大镜。 6.2检视条件 6.2.1光度:200?300Lx(相当于40W日光灯750mm远)。 6.2.2如条件许可,检验者目视方向应与光源方向成450,如下图图1所示:(接下页) 6.2.3检验者沿目视方向与待检表之间的距离如下: A级表面:400mmB级表面:500mmC级表面:800mnr t 6.3试验方法及质量指标 6.3.1试验及试片要求 a.试片要求 材料:符合GB 9271 的铝板或马口铁板 尺寸:80 X 125X( 0.5 ~ 1.0)mm 表面粗糙度:Ra < 1 mm 表面预处理:铝为硫酸阳极氧化 马口铁板按GB 9271进行溶剂清洗 喷涂:喷涂用涂料应与DKBA0.400.0001中任一标准样板所对应的涂料产品相同;且 应在表面预处理后24小时内进行喷涂操作。试样必须两面全喷涂、且应保证 边缘质量。 b.试验项目及试样数量

变电站设备缺陷分类标准

输变电设备缺陷分类参考标准--变电站设备缺陷分类标准 ?根据中国南方电网有限责任公司的有关输变电设备运行管理标准中设备缺陷的分类原则,设备缺陷按其严重程度分为紧急、重大、一般三类。本参考根据供电系统常用电气设备运行状况中的缺陷进行整理。各公司可以根据所管辖设备的特点引用此附件,发电厂可以结合所管辖设备的特点,参照制定相应的设备缺陷分类实施细则。 目次 1 变电站设备缺陷分类标准 3 1.1?变压器(消弧线圈、接地变、站用变、电抗器参照执行)3? 1.2?断路器?4 1.3?隔离开关5? 1.4?母线?6 1.5?防雷设备7? 1.6?电力电缆7 1.7 控制电缆8 1.8 继电器8 1.9 表计9 1.10?电力电容器10? 1.11?电压、电流互感器、耦合电容器、阻波器10? 1.12继电保护及自动装置11? 1.13 直流设备12 1.14?土建部分13 1.15变电其它设备14

2 通讯、计算机、远动、消防系统分类标准14 2.1?通讯1?4 2.2 计算机系统1?6 2.3远动部分16 2.4?消防系统173 电力线路设备缺陷分类标准18 3.1?导线及架空地线18 3.2?绝缘子及金具19? 3.3 杆塔20? 3.4?横担20 3.5 拉线2?1 3.6 柱上开关21 3.7?配电变压器及令克2?2 3.8 避雷器22 3.9 接地装置2?3 3.10?线路电力电缆23 ?1 变电站设备缺陷分类标准 1.1 变压器(消弧线圈、接地变、站用变、电抗器参照执行) 1.1.1紧急缺陷 1.1.1.1绝缘油不合格或呈酸性、水份严重超标、气相色谱分析重要指标超标或有明显

金属材料表面缺陷及残余应力的无损检测研究

金属材料表面缺陷及残余应力的无损检测研究 摘要:新的时代不断的涌现出新的科技和工艺,引起人们的生产和生活的巨大 改善。新材料的出现预示着新工艺的产生,对新材料的各种物理表征的监测都引 起了广大人们的重视。传统的检测技术都会对材料进行损害,因此无损检测技术 的出现,更为满足现代人的生产需求。无损检测技术就是指在不破坏检测材料的 基础上,对这些材料进行质量以及工艺性能、安全性能的检测。 关键词:激光超声;无损检测;金属材料;表面缺陷;残余应力 一、金属材料表面缺陷和残余应力检测概述 金属材料在加工过程中难免会出现材料变形,并且会在材料内部产生残余应力。这部分残余应力会造成材料出现开裂以及变形的情况,与此同时也会严重影 响到材料疲劳性能,这在一定程度上会影响到材料的工艺性能与强度,所以,检 测金属材料残余应力一直以来都是学界研究的重点内容,同时也是金属质量以及 工艺标准的重要保证。伴随着科学技术以及工业水平的持续发展,金属材料残余 应力无损检测手段也出现了多种类型,包括了电学法、X射线法、磁测法以及光 学法等,可是相较而言,利用激光超声技术检测金属材料的表面波是成本最低, 同时也是最为精确的一种检测手段。通过激光与超声的有效结合,对声波渡越时 间进行测量,从而探测残料表面缺陷以及残余应力。 二、扫描线光源缺陷检测机制研究 超声表面波检测材料表面的缺陷已经在金属材料无损检测方面发挥了巨大的 作用,但是这种检测方法一般都是分析反射信号的脉冲回波或者是信号衍射的渡 越时间分析,具有一定的局限性。利用利用激光源来激发超声波而不是利用压电 换能器,这样就具备了非接触式检测法以及远距离激发超声波的优点,而且激发 光源还可以自由的进行移动,奠定了对大面积的工件进行高效率无损害的检测的 坚实基础。在早期的研究中,仅仅是利用了表面波的透射、折射、反射等依据, 并没有将激光声源的优势真正的发挥,然而提高激光声源的利用率是一个艰难的 研究。21世纪以后,激光源得到了充分的利用,高效率的实现了无损检测,这就是扫描激光源技术。扫描激光源技术就是对样品的表面利用激光源进行扫描检查,如图1所示,超声探测可以选择传统的接触式压电换能器,也可以选择光学检测法;对于超声探测的位置,可以固定,也可以随着光源一起移动,只要保持激光 源和探测位置的距离是固定的就可以,当激光源扫描到缺陷位置的时候,探测到 的材料表面波就会发生变化。扫描激光源技术会出现以下三种特征的结果:图1扫描激光源法缺陷探测示意图 1.当检测样品的表面没有缺陷或者是激光源与缺陷的距离比较远的时候,探 测到的表面波的波幅几乎保持不变,如果出现缺陷,则反射回来的表面波的信号 就会减弱(样品表面有微小缺陷的情况下); 2.当激光源扫描到样品上的缺陷时,探测到的声波信号会很明显的放大; 3.当激光源的扫描位置移动到缺陷位置的后面时,由于散射现象,到达探测 点的信号就会减小。根据探测点收到的回波信号的时间和幅度,可以对材料表面 的缺陷位置和深度进行探测。 三、无损检测技术实际应用的过程中遇到的问题 在缺陷精准定量以及精准定性领域当中,现存的超声检测技术比方说 A 型脉 冲实际应用的过程当中,可以精准的将缺陷找寻出来,但是对缺陷的定量及定性

金属表面处理检验规范

金属表面处理检验规范 金属表面处理检验规范 1 适用范围 本规范适用于电镀、氧化、化学处理、喷塑、喷漆、喷砂、拉丝等金属表面处理的检验。 2 术语和定义 2.1 A级表面:在使用过程中总能被客户看见的部分(如:面壳的正面和顶面,后壳的顶面,手柄, 透镜,按键及键盘正面,探头整个表面等)。 2.2 B级表面:在使用过程中常常被客户看见的部分(如:面壳的左右侧面,底壳或后壳的左右侧 面及背面等)。这些表面允许有轻微不良,但是不致引起挑剔客户不购买产品。 2.3 C级表面:在使用过程中很少被客户注意到的表面部分(如:面壳的底面,底壳或后壳的底面, 内部零件表面)。此表面的外观缺陷应合理而且不至于给客户觉得该产品质量不佳。 2.4 金属表面:包括电镀、氧化、钝化等表现为金属质感的表面,非喷涂表面。 2.5 基材花斑:电抛光、电镀或氧化前因基体材料腐蚀、或者材料中的杂质、材料微孔等原因所造 成的、与周围材质表面不同光泽或粗糙度的斑块状花纹外观。

2.6 抛光区:对基材上的腐蚀、划伤、焊接区、铆接区等部位进行机械打磨抛光后表现出的局部高 光泽、光亮区域。 2.7 浅划痕:镀(膜/塑/漆)层表面划伤,但未伤及底层(即底层未暴露);对其它无镀(膜/塑/漆)层表 面则为:目测不明显、手指甲触摸无凹凸感、未伤及材料本体的伤痕。数控冲床加工中机床台面对板材的摩擦产生的轻微痕迹属于此类划痕。 2.8 深划痕:镀(膜/塑/漆)层表面划伤,且已伤至底层(即底层已暴露出来);对其它无镀(膜/塑/漆) 层表面则为:目测明显、手指甲触摸有凹凸感、伤及材料本体的伤痕。 2.9 凹坑:由于基体材料缺陷,或在加工过程中操作不当等原因而在材料表面留下的小坑状痕迹。 2.10 凹凸痕:因基材受撞击或校形不良等而呈现出的明显变形、凹凸不平的现象,手摸时有不平 感觉。 2.11 烧伤:拉丝、电抛光、电镀处理时因操作不当、造成零件表面过热而留下的烧蚀痕迹。 2.12 水印:电镀、氧化或电抛光后因清洗水未及时干燥或干燥不彻底所形成的斑纹、印迹。 2.13 露白:镀锌钝化膜因磨擦而被去除、露出新层,或因缝隙截留溶液导致的无钝化膜现象,呈 现为区别于周围颜色的白色。 2.14 修补:因膜层损伤而用涂料所作的局部遮盖。 2.15 色点:由材料、模具、环境或设备中的灰尘或夹杂物等影响,在表面处理层中形成不同色的 斑点。

电力设备缺陷的分类标准

电力设备缺陷的分类标 准 Document serial number【NL89WT-NY98YT-NC8CB-NNUUT-NUT108】

电力设备缺陷的分类标准1、紧急缺陷 变电部分 设备接头发热烧红、变色。 设备瓷件有明显裂缝。 设备内部有明显的放电声或异音。 设备的绝缘、温升等技术参数超过极限值。 主设备与地网没有可靠连接。 外绝缘有严重放电现象。 高、低压室、开关柜防小动物措施失效。 变压器 冷却装置故障严重,影响出力或威胁安全运行。 分接开关操作卡阻或跳档。 铁芯接地电流不合格,串接电阻后仍不能满足运行要求,并有发展的趋势。 本体漏油严重或大量喷油。 套管漏油,套管油位超过下限,密封失效。 主变油箱进水。 潜油泵损坏,金属物可能进入油箱。 电气及油试验结果严重超标。 高压断路器

操动机构有卡涩,运行中有拒合、拒分或误合、误分的现象,储能元件损坏, 液(气)压机构的压力超出闭锁限额,油开关严重漏油或大量喷油,不能保 证安全运行者; 开关短路开断电流不能满足运行要求,又无保证安全运行的措施,额定电流 小于负荷电流者。 SF6开关设备的SF6气体质量不合格,或有严重漏气,其压力低于制造厂规定的下限。 真空开关的真空泡有裂纹或严重漏气者。 真空开关的真空泡失去光泽、发红。 液(气)压机构油(气)泵频繁启动,打压间隔时间小于10分钟,连续5次及以 上者。 断路器辅助接点、液(气)压闭锁接点失灵。 断路器绝缘拉杆脱落。 刀闸、母线 瓷件有破裂,刀闸触头铸铝件部分有裂纹。 刀闸严重锈蚀,以致操作卡阻,不能正常停送电。 母线一串绝缘子串上零值或破损瓷瓶片数110kV 3片、220kV 4片、500kV 4片及以上者。

表面缺陷无损检测方法的比较

表面缺陷无损检测方法的比较 方法 项目 磁粉检测(MT)漏磁检测(MLF)渗透检测(PT)涡流检测(ET)方法原理磁力作用磁力作用毛细渗透作用电磁感应作用 能检出的缺陷表面和近表面缺陷表面和近表面缺陷表面开口缺陷表面及表层缺陷 缺陷部位的显示形式漏磁场吸附磁粉形成 磁痕 漏磁场大小分布渗透液的渗出 检测线圈输出电压和 相位发生变化 显示信息的器材磁粉计算机显示屏渗透液、显像剂 记录仪、示波器或电 压表 适用的材料铁磁性材料铁磁性材料非多孔性材料导电材料 主要检测对象铸钢件、锻钢件、压 延件、管材、棒材、 型材、焊接件、机加 工件在役使用的上述 工件检测 铸钢件、锻钢件、压 延件、管材、棒材、 型材、焊接件、机加 工件在役使用的上述 工件检测 任何非多孔性材 料、工件及在役使 用过的上述工件检 测 管材、线材和工件检 测;材料状态检验和 分选;镀层、涂层厚 度测量 主要检测缺陷裂纹、发纹、白点、 折叠、夹渣物、冷隔 裂纹、发纹、白点、 折叠、夹渣物、冷隔 裂纹、白点、疏松、 针孔、夹渣物 裂纹、材质变化、厚 度变化 缺陷显示直观直观直观不直观缺陷性质判断能大致确定能大致确定能基本确定难以判断灵敏度高高高较低 检测速度较快快慢很快 污染较轻无污染较重无污染 相对优点可检测出铁磁性材料 表面和近表面(开口 和不开口)的缺陷。 能直接的观察出缺陷 的位置、形状、大小 和严重程度。 具有较高的检测灵敏 度,可检测微米级宽 度的缺陷。 单个工件的检测速度 快、工艺简单,成本 低、污染轻。 综合使用各种磁化方 法,几乎不受工件大 a) 易于实现自动化 b) 较高的检测可靠 性 c) 可以实现缺陷的 初步量化 d) 在管道的检查中, 在厚度高达30mm的 壁厚范围內,可同时 检测內外壁缺陷 e) 高效、无污染,可以 获得很高的检测效率. 可检测出任何非松 孔性材料表面开口 性缺陷。 能直接的观察出缺 陷的位置、形状、 大小和严重程度。 具有较高的灵敏 度。 着色检测时不用设 备,可以不用水电, 特别适用于现场检 验。 检测不受工件几何 形状和缺陷方向的 非接触法检测,适用 于对管件、棒材和丝 材进行自动化检测, 速度快。 可用检测材料导电率 代替硬度检测。了解 材料的热处理状态和 进行材料分选。 污染很小。

出生缺陷的定义分类和危害

出生缺陷的定义分类和 危害 集团企业公司编码:(LL3698-KKI1269-TM2483-LUI12689-ITT289-

出生缺陷的定义、分类及危害一、出生缺陷的定义 出生缺陷又称先天缺陷,是指由于先天性、遗传性和不良环境等原因引起的出生时存在的各种结构性畸形和功能性异常的总称。是导致流产、死胎、死产、新生儿死亡和婴儿夭折的重要原因。 出生缺陷包括形态上的畸形(如脊柱裂)、细胞的异常(如先天性白血病)、染色体异常(如21-三体综合征)、分子的异常(如苯丙酮尿症)等。也包括精神、行为等方面的异常。 二、出生缺陷的分类 根据出生缺陷特点分为变形缺陷,裂解缺陷,发育不良,畸形缺陷四类。 根据出生缺陷的严重程度可将其分为重大和轻微的缺陷两类,前者是指需进行较复杂的内科、外科及矫形处理的出生缺陷,后者则不需进行复杂处理。 根据发生情况出生缺陷可分为三类:①三胚层形成紊乱,多发生在胚胎第15-18天,常见神经管与肠管相通、内脏反位、连体畸胎等三种;②神经管闭合过程紊乱,导致脑、脊髓发育不全,进而引起椎弓、颅骨及邻近皮肤出现异常,常见于无脑畸形、脑膨出、脊柱裂等畸形; ③器官系统发生和形成过程中的紊乱,种类多,可分为胚体升高过程紊乱、器官原基发生过程紊乱、器官发生过程后期紊乱、性别决定和分化过程中的紊乱等几类。

在常见的出生缺陷有: 1.神经系统畸形:无脑畸形、脑膨出、脊柱裂、先天性脑积水、小头畸形、脑性瘫痪; 2.头部器官畸形:先天性白内障、小眼畸形、小耳畸形、副耳及耳凹、小下颌; 3.腹壁缺损及疝:腹裂畸形、脐膨出、膀胱外翻、膈疝、脐疝、腹股沟斜疝; 4.消化系统畸形:腭裂、唇裂、食道闭锁、狭窄和食道气管瘘、先天性肥大性幽门狭窄、先天性肠闭锁和先天性肠狭窄、先天性巨结肠、直肠或肛门闭锁; 概论-常见的出生缺陷 5.先天性心脏病:房间隔缺损、室间隔缺损、动脉导管未闭、法洛四联症、完全性大动脉转位、肺动脉狭窄; 6.泌尿生殖系统畸形:尿道下裂、先天性肾囊肿、隐睾、外生殖器两性畸形。 7.四肢畸形:足变形、多指(趾)畸形、并指(趾)畸形、肢体短缺畸形、先天性髋关节脱位; 8.皮肤畸形:血管瘤、色素痣; 9.遗传代谢病及多发畸形:21-三体综合征、苯丙酮尿症、肝糖原累积病、软骨营养障碍。 三、危害 出生缺陷是世界范围内围产儿、婴儿死亡的主要原因,并导致大量

表面缺陷测试论文

带钢表面缺陷检测方法研究 学号:1110121096 班级:11材控2班姓名:倪明 摘要:表面质量的好坏是带钢的一项重要指标,随着科学技术的不断发展,后续加工工业对带钢的表面质量要求越来越高。如何检测出带钢表面缺陷并加以控制,引起带钢生产企业的高度关注。本文通过对带钢表面的缺陷检测的重要性分析,讲述了国内外带钢表面缺陷检测的发展现状,并比较分析了几种检测方法,最终得出本研究的意义。由于带钢表面缺陷种类繁多,建议下一步研究工作重点放在缺陷种类识别与分类部分,以满足带钢表面缺陷的无遗漏检测。 关键词: 带钢表面缺陷缺陷检测 1.1带钢表面缺陷检测的重要性 随着生活水平的提高和生产力的发展,人们对产品质量提出了更高的要求,带钢作为机械、航天、电子等行业的原材料,用户对其表面质量的要求更加严格。影响带钢表面质量的主要因素是带钢在制造过程中由于原材料、轧制设备和加工工艺等多方面的原因,导致其表面出现的擦伤、结疤、划痕、粘结、辊印、针眼、孔洞、表面分层、麻点等不同类型的缺陷。这些缺陷不仅影响产品的外观,更严重的是降低了产品的抗腐蚀性、耐磨性和疲劳强度等性能。原料钢卷的表面缺陷是造成深加工产品废次品的主要原因。由于部分质量缺陷在出厂前不能有效地被检测出来,而在用户使用过程中被发现,造成用户索赔,不仅给企业带来巨大的经济损失,还严重影响了产品的市场形象,降低了用户对产品的信任度。因此,必须加强对带钢表面缺陷的检测和控制,这对于剔除废品、减少原料浪费、提高成材率、改善工人劳动条件都有重要意义。而如何在生产过程中检测出带钢的表面缺陷,从而控制和提高带钢产品的质量,一直是钢铁生产企业非常关注的问题。 1.2 国内外带钢表面缺陷检测方法与装置研究现状 目前带钢表面缺陷检测装置主要分为采用传统检测方法的检测装置、采用自动检测方法的检测装置和采用计算机视觉检测方法的检测装置。 1.2.1传统检测方法 非自动化的传统表面缺陷检测方法可以分为人工目视检测方法和频闪光检测法两种。05年代至06年代,冷轧带钢表面缺陷检测主要采用人工目视检测,检测者凭借肉眼观察缺陷。由于带钢轧制速度很快,人眼无法可靠的捕获缺陷信息。同时,某些高质量的带钢要求其表面缺陷小于0.5mm×0.5mm,这种微小缺陷人的视觉很难发觉,从而产生大量的漏检和误检。人工检测需要在高温、噪音、粉尘、振动的恶劣环境下进行,对人的身体和心理造成极大伤

设备缺陷范围及分类标准

设备缺陷范围及分类标准 A.1 设备缺陷管理范围 ——变电站一、二次设备; ——防止电气误操作的闭锁装置; ——通讯、远动、计量系统及其辅助设备; ——变电设备构架、基础、电缆沟道; ——生产性建筑物、照明、给排水、通风、消防、保安系统; ——电力电缆及附件; ——架空线路、架空地线、绝缘子、金具、杆塔、拉线及基础; ——线路防护及交叉跨越; ——防雷保护装置、接地引下线和接地装置; ——配电设备; ——可能影响系统安全运行的其它因素术语和定义。 A.2 设备缺陷的分类 设备紧急缺陷重大缺陷一般缺陷 变电通用部分1.设备瓷件有明显裂缝。 2.设备内部有明显的放电声或 异常声响。 3.主设备与地网连接线断裂。 4.外绝缘有严重放电现象。 5.设备接头发热严重、变红、变 色。 1.35kV及以上电压等级设 备试验超周期且无相应的 批准手续。 2.高、低压室、开关柜防 小动物措施失效。 3.基础下沉。 4.设备接头发热。 1.设备接头温度 超过同类运行设 备的温度(无明显 变化)。 2.其他不影响设 备运行的缺陷 主变压器(消弧线圈、接地变、站用变、电抗器参照执行)1.绝缘油色谱试验重要指标超 标。 2.油中烃类、氢气产气速率超过 10%/月。 3.电气预防性试验主要项目不 合格。 4.套管破损、裂纹,并有严重放 电声。 5.测温装置全部损坏或失灵。 6.主变压器强油循环冷却器全 停。 7.油浸变压器油位异常。 8.有载调压开关动作异常,极限 位置不能闭锁。 9.内部有异常响声。 10.铁芯接地电流超过规定,串 接电阻后仍不能满足运行要求, 并有发展趋势。 12.铁芯或外壳接地不良。 1.引线桩头螺丝松动连接 处发热。 2.绝缘油化学、电气性能 不良,气相色谱数据指示 可能有潜伏故障。 3.温度指示不准确,超温 信号异常(失灵)。 4.基础下沉。 5.冷却设备不全,尚不影 响出力。 6.油位指示与温度监视线 不对应。 7.达不到铭牌或上级批准 的出力,温升及上层油温 超过容许的数值。 8.本体漏油(五分钟内有 油珠垂滴)。 9.铁芯多点接地致使接地 电流超标。 1.变压器渗油。 (1min以上一滴 或未见滴油但油 迹非常大,超过主 变表面积1/10以 上) 2.附件震动大。 3.引线或接线桩 头有严重电晕。 4.预试数据合格, 但与历史数据比 较有明显变化。 5.变压器绕组轻 微变形。 6.其他不影响变 压器运行的缺陷。 7.呼吸器变色达 2/3以上有载调压 开关油室内渗漏

基于机器视觉的表面缺陷检测系统设计_毕业设计

编号 本科生毕业设计 基于机器视觉的表面缺陷检测系统设计 Surface defect detection system design based on machine vision 学生姓名 专业电子信息工程 学号 指导教师 学院电子信息工程学院

毕业设计(论文)原创承诺书 1.本人承诺:所呈交的毕业设计(论文)《基于机器视觉的表面缺陷检测系统设计》,是认真学习理解学校的《长春理工大学本科毕业设计(论文)工作条例》后,在教师的指导下,保质保量独立地完成了任务书中规定容,不弄虚作假,不抄袭别人的工作内容。 2.本人在毕业设计(论文)中引用他人的观点和研究成果,均在文中加以注释或以参考文献形式列出,对本文的研究工作做出重要贡献的个人和集体均已在文中注明。 3.在毕业设计(论文)中对侵犯任何方面知识产权的行为,由本人承担相应的法律责任。 4.本人完全了解学校关于保存、使用毕业设计(论文)的规定,即:按照学校要求提交论文和相关材料的印刷本和电子版本;同意学校保留毕业设计(论文)的复印件和电子版本,允许被查阅和借阅;学校可以采用影印、缩印或其他复制手段保存毕业设计(论文),可以公布其中的全部或部分内容。 以上承诺的法律结果将完全由本人承担! 作者签名:年月日

中文摘要 为了不断提高产品质量和生产效率,金属工件表面缺陷在线自动检测技术在生产过程中显得日益重要。针对金属工件表面的多种缺陷,本文设计了一套基于机器视觉能够实现对金属工件表面缺陷进行实时在线、无损伤的自动检测系统。该系统采用面阵CCD和多通道图像采集卡作为图像采集部分,提高了检测系统的速度并降低了对CCD的性能要求,使系统在现有的条件下比较容易实现实时在线检测;采用自动选取图像分割阈值,根据实际应用的阈值把工件信息从图像中提取出来并扫描工件图像中的信息,实现了系统的自动测量;根据扫描得到的工件信息去除掉工件边缘的光圈,利用自动选取的阈值对金属工件表面的图像进行二值化分割,从而实现各种缺陷的自动提取及识别。 关键词:机器视觉表面缺陷CCD 图像处理缺陷检测

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