传感器原理及应用主编戴焯第七章磁电传感器

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第七章 磁电传感器
第一节 霍尔传感器 一、霍尔效应 二、霍尔元件的基本特性 三、测量电路 四、误差及其补偿 五、集成霍尔传感器 六、霍尔传感器的应用
第二节 磁敏电阻 一、磁阻效应 二、磁敏电阻的基本特性 三、磁敏电阻的应用
第三节 磁敏二极管和磁敏三极管 一、磁敏二极管 二、磁敏三极管 三20、20/1磁1/25敏管的应用
速度,从而实现转速的检
测;转盘上磁铁对数越多,
传感器测速的分辨率越高。
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图7-13 转速计原理图
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图7-6 不等位电势补偿电路
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2.温度误差及其补偿
霍尔元件在实际应用时,存在多种因素影响其测量精度,造 成测量误差的主要因素有两类:半导体的固有特性;半导体制造工 艺缺陷。其主要表现形式为温度误差和零位误差。一般来说,温度 升高半导体材料的电阻率(下降)和迁移率(下降)载流子浓度 (增加)RH下降,霍尔元件中常用的几种材料,硅比锗温度系数小 一些,梯化铟对温度最敏感,但其霍尔常数大,砷化铟温度系数最 小,但其霍尔常数小。不同材料的霍尔元件都具有一定的温度系数,
图7-10 线性型集成霍尔传感器原理框图
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(a)单端输出 (b)双端输出
差分放大器通常为两级差分放大电路,第二级差分 放大采用达林顿管,全电路的增益可达1000倍,因而灵敏 度大大提高;在磁不饱和的情况下,输出电压与磁感应强 度有很好的线性关系。这种电路内部一般都没有电源调整 电路和附加温度补偿电路,应用时最好外加稳压电路及温 度补偿措施。
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KH
Leabharlann Baidu
RH d
fHbL
,称之为霍尔元件灵敏度,
则(7-2)改写为
UH KHIB
(7-3)
可见,当霍尔元件的半导体材料性能及几何尺寸确
定后,霍尔元件的输出电压UH 正比于控制电流I 和磁感 应强度B 。
二、霍尔元件的基本特性 霍尔元件是由具有霍尔效应的半导体薄片、电极引 线及壳体组成,其电路符号如图7-2所示。图中两短边引 线通入控制电流,两长边引线输出霍尔电压;霍尔元件的 壳体由非导磁金属、陶瓷或环氧树脂封装而成。
开关型集成霍尔传感
器输出电平具有迟滞现象,
其回差宽度ΔB =BH-BL 。 ΔB 越小,电平转移灵敏 度就越高;反之,ΔB 越
大,输出电平抗干扰能力
越强。
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图7-9 输出电平与磁感应强度关系
2.线性型集成霍尔传感器(测量电路)
线性型集成霍尔传感器的输出电压与外加磁感应强度 之间呈线性比例关系、集成电路主要由霍尔元件和差分放 大器组成,差分放大器有单端输出和双端输出两种形式, 如图7-10所示。
5.集成特性
霍尔元件具有结构简单、体积小、无活动部件,便于 与测量电路一起作成集成霍尔传感器。
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三、测量电路
霍尔元件基本测量电路如图7-4所示。霍尔电压UH 一般为毫伏数量级,因而实际应用时霍尔效应输出电压UH
要接差动放大器;根据霍尔元件工作条件不同,霍尔电压 可以是线性量或开关量,因而其测量电路可能是线性型或 开关型。
3.转速计
如图7-13所示,将霍尔元件移置旋转盘下边,让转
盘上小磁铁形成的磁力线垂直穿过霍尔元件;当控制电流
I 一定时,霍尔输出电压UH 决定于小磁铁的磁场。
由于小磁铁固定在旋
转盘上,当旋转盘随转轴
转动时,霍尔元件上获得
周期变化的磁脉冲,因而
产生相应的霍尔脉冲电压,
此脉冲电压单位时间内的
个数,正比于转轴的旋转
第七章 磁电传感器
磁电传感器可分为两大类,一类是基于铁芯线圈电磁 感应原理的磁电感应式传感器,一类是基于半导体材料磁 敏效应的磁敏传感器。本章将介绍目前常见的几种半导体 材料磁敏效应器件及其传感器,即霍尔元件、磁敏电阻、 磁敏二极管及磁敏三极管。
第一节 霍尔传感器
霍尔是美国的一位物理学家,他在1879年首先在金属 材料中发现了霍尔效应,但由于金属材料的霍尔效应太弱 而没有得到应用,后来人们发现某些半导体材料的霍尔效 应十分显著,因而制成相应的霍尔元件,广泛用于电磁测 量、计数器、转速计、位移及无触点开关等。
开关型集成霍尔传感器是把霍尔元件的输出电压经 电路处理后形成一个高电平或低电平的开关量输出,集成 电路主要由霍尔元件、差分放大器、施密特触发器等部分 组成,如图7-8所示。
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图7-8 开关型集成霍尔传感器原理框图
霍尔元件一般由平面型硅霍尔元件组成,在0.1T磁场 作用下,其开路输出电压约20mV,接负载后不低于10mV。 由于霍尔元件输出电压随温度上升而下降,因而通常选用 具有负温度系数二极管与霍尔元件串联,温度上升使串联 二极2管020/1正1/25向压降下降,从而补偿霍尔输出电压。
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• 常用半导体材料的特性
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由这些半导体材料制成的霍尔元件在应用时都具有如 下几个基本特性。
1.UH—I 特性
当KH 和B 为定值时,在一定的温度下,霍尔电压UH 与控制电流I 有较好的线性关系,此时I 对UH 有较高的
灵敏度。利用这一特性,霍尔元件可直接用于测量电流或 激励源电压,也可以用于测量能转换为电流的其他物理量。
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图7-5 霍尔元件不等位电势原理图
a)不对称电极 (b)电极等效电桥
不等位电势是产生零位误差的主要原因,其大小通
常具有霍尔电压UH 相同的数量级,目前在工艺上很难保
证电极分布的对称性,因而必须采取电路补偿的方法以消 除不等位电势。图7-6给出了两种补偿电路,图中(a) 是电阻值较大的桥臂上并联电阻,图中(b)是在两相邻 桥臂上并联电阻,以增加电极等效电桥的对称性。
(a)线性型
(b)开关型
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图7-4 霍尔元件测量电路
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四、误差及其补偿
1.零位误差及其补偿
霍尔元件在控制电流I=0或磁场B=0时出现的霍尔电 压ΔUH ,称之为零位误差。引起零位误差的原因主要有
如下三个因素。 (1)直流寄生电势 霍尔元件控制电流或霍尔电压两引线电极焊点大小不
点间的霍尔电势与温度基本无关。
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五、集成霍尔传感器
随着硅集成电路工艺日趋完善,可以把霍尔元件和 测量电路集成在一起而组成集成霍尔传感器。目前已研制 出多种集成霍尔传感器,按其功能不同可分为两大类,即 开关型集成霍尔传感器和线性型集成霍尔传感器。
1.开关型集成霍尔传感器(控制电路)
2.电流计
如图7-12所示,将霍尔元件垂直置于磁环开口气隙
中,让载流导体穿过磁环,由于磁环气隙的磁感应强度B 与待测电流I成正比,当霍尔元件控制电流IH一定时,霍 尔输出电压UH 则正比于待测电流I,这种非接触检测安全 简便20,20/1适1/25用于高压线电流检测。 B=f(I) UH= KH IHf(I)
六、霍尔传感器的应用
霍尔传感器由于结构简单、体积小、动态特性好、工 作寿命长等特点,因而在许多领域得到广泛应用。
1.高斯计
如图7-11所示,将霍尔元件垂直置于磁场B 中,输 入恒定的控制电流I,则霍尔输出电压UH 正比于磁感应强 度B,用此方法可以测量恒定或交变磁场的高斯数。
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图7-11 高斯计原理图 (测恒定、交变磁场)图7-12 电流计原理图
电阻,rT 具有如rH 相同的正温度系数,此时霍尔元件的控
制 电流
IH
rT rH rT
I
基本不变。
β rT α rH
β-霍2020尔/11/2器5 件内阻温度系数 α-霍尔电势温度系数(查元
• 电桥补偿电路。RP用于调节补偿不等位电势。在霍尔 元件输出回路串接一个温度补偿电桥,桥臂上R1~R4 均为等值的锰铜电阻,其中一个桥臂电阻并联热敏电阻 Rt。当温度变化时, Rt阻值随之变化,使补偿电桥的输 出电压相应变化。只要精心调整补偿电桥的温度系数, 便可以做到一定温度范围内-40——+40,在1、2两
2.UH—B 特性
当KH 和I 为定值时,霍尔电压UH 与磁场B 具有单值 关系,在磁不饱和时(一般B小于0.5T) UB 与B 具有线
性关系。利用这一特性,霍尔元件可用于测量交、直流磁
感应强度或磁场强度;若B 为一个均匀梯度的磁场,则霍 尔电压UB 取决于霍尔元件在磁场中的位置,从而实现微
位移及可转换为微位移的压力、加速度、振动等非电量的 测量。 2020/11/25
(3)不等位电势(零位误差的主要原因)
霍尔元件控制电流I 和霍尔电压UH 的四电极分布不
对称而引起的寄生不等位电势。如图7-5所示,当各电极
a、b、c、d 对称分布时,各电极之间的电阻r1、r2、r3、 r4相等,此时电阻桥平衡,寄生霍尔电压ΔUH = 0。当各
电极分布不对称时,两个霍尔电极不在一个等位面上,电 阻桥失去平衡,故产生不等位寄生电势。
致使霍尔电压UH随温度而变化,产生温度误差。为了减小温度误差,
除了选择温度系数小的霍尔元件或采取恒温措施外,通常可采用图 7-7所示恒流源控制电路补偿方法。
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图7-7 温度补偿电路
在图7-7电路中,电流I为恒定电流,不受温度影响
;电阻rH 为霍尔元件等效输入电阻,并联rT 为外接补偿
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图7-2 霍尔元件电路符号
由式(7-2)可知,要使霍尔元件有较高的灵敏度,
必须要求霍尔元件材料有较大的霍尔常数。霍尔常数RH
等于材料的电阻率与电子迁移率的乘积,金属材料电子迁 移率大,但电阻率很小;绝绝材料电阻率极高,但载流子 迁移率极低;只有半导体材料适于作霍尔元件,其电阻率 和载流子的迁移率都比较大。目前常用的半导体材料有硅、 锗、锑化铟和砷化铟等,这些材料不但有较大的霍尔常数, 而且有较好的线性度。
3.UH—IB 特性
利用UH 与IB 的乘积关系,霍尔元件可作成乘法器, 当控制电流I 和磁场B 为同一电源激励时,可利用霍尔元
件进行电源输出功率的测量。
4.开关特性
霍尔元件霍尔效应的建立时间极短(10-12~10-14 S),适宜于作高频信号的检测或无触点开关,利用这一 特性,霍尔元件可用于制作计数器或转速计。
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一、霍尔效应
如图7-1所示,在(金属)半导体薄片上垂直施加磁 场B,在薄片两短边b方向通入控制电流I,则在薄片两长 边L方向产生电动势,这种现象称之为霍尔效应,该电动
势称为霍尔电压UH ,该半导体薄片称为霍尔元件。
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图7-1 霍尔效应原理图
图7-1中,v 表示半导体中电子在控制电流I作用下 的运动方向和速度,FL 表示电子受到磁场的洛伦兹力 ,
差分放大器采取双端输入、双端输出工作方式,将霍 尔输出电压放大几十倍;其共模反馈电阻进一步消除温度 对输出电压的影响,增强抗干扰能力。
施密特触发器将差分放大器输出电压整形为矩形脉冲, 并利用整形中的回差进一步提高抗干扰能力。整形后输出 的矩形脉冲经倒相后加至输出级,使输出电平与磁感应强 度之间的关系如图7-9所示。
等、热容量不同,或接触不良、欧姆电阻大小不等,因而 引起温差电势。提高电极焊点结构上的对称性,保持电极 引线接触良好,且散热条件相同,可以减小这种直流寄生 电势。
(2)寄生感应电势
当控制电流I 为交变电流时,此电流形成的交变磁场
在电极引线上要产生寄生感应电势。为了减小寄生感应电 势,要2020求/11/2各5 电极引线尽可能短,且布线合理以减少磁交链。
FE=qEH=Uh / b
F L q v F B E q U hb /
I=-nqvbd
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霍尔电压UH 的大小为
UH
RH d
IBH f
L b
(7-2)
式中 RH —霍尔常数(m3/c)
f
H
L b
—霍尔元件形状系数
d —霍尔元件厚度(m) L —霍尔元件长度(m) b —霍尔元件宽度(m) I —控制电流(A) B —磁感应强度(特斯拉T,即Wb/m2)
其大小为
FL qv B
(7-1)
式中q 为电子的电荷量, FL 方向符合左手掌定则, 运动电子在洛伦兹力FL 的作用下,电子以抛物线形式向
一侧运动,致使在霍尔元件的两长边积累起等量的正、负 电荷,形成霍尔电场,该电场对随后的电子施加一电场力
FE FE 表示该霍尔电场的电场力;当霍尔电场力FE 与洛伦 兹力FL 相等时,电荷积累达到动态平衡。
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