四探针法测电阻率数据
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晶片 标识
1
点数 1 2 3 4 5 6 7 8 9
最大 13.4
量程 (μA) 100
X(mm) 0 0 0 0 0
6.25 6.5 -6.25 -6.5
最小 12.2
薄圆片(厚度≤4)电阻率
电流 探针平均 (μA) 间距(mm) 22.03 1
直径 (mm) 25
直径修正 因子
厚度(mm)
4.418 0.5
电阻率 Ω·cm 12.2 12.7 12.7 13.4 13.1 12.8 13.3 12.6 13.1
电导率 (s/cm)
日期
8.20E-02
2016/6/23 星期四
7.87E-02
2016/6/23 星期四
7.87E-02
2016/6/23 星期四
7.46E-02
2016/6/23 星期四
7.63E-02
2016/6/23 星期四
7.81E-02
2016/6/23 星期四
7.52E-02
2016/6/23 星期四
7.94E-02
2016/6/23 星期四
7.63E-02
2016/6/23 星期四
时间
下午 2:15:09
下午 2:24:58
下午 2:29:16
下午 2:30:49
下午 2:31:45
下午 2:33:08
下午 2:33:50
下午 2:34:41
下午 2:35:27
分析数据(电阻率)
平均 12.9
最大百分变化 9.84%
径向不均匀度 9.38%
平均百分变化
厚度修 探针间距
正因子 修正因子
0.9975
1
测试数据
Y(mm)
正向电压 反向电压 (mV) (mV)
0
5.4Leabharlann Baidu 5.46
6.25 5.75 5.75
-6.25 5.74 5.74
-6.5 6.19 5.96
6.5 5.93 5.93
0
5.81 5.81
0
6.03 6.02
0
5.73 5.72
0
5.94 5.94
1
点数 1 2 3 4 5 6 7 8 9
最大 13.4
量程 (μA) 100
X(mm) 0 0 0 0 0
6.25 6.5 -6.25 -6.5
最小 12.2
薄圆片(厚度≤4)电阻率
电流 探针平均 (μA) 间距(mm) 22.03 1
直径 (mm) 25
直径修正 因子
厚度(mm)
4.418 0.5
电阻率 Ω·cm 12.2 12.7 12.7 13.4 13.1 12.8 13.3 12.6 13.1
电导率 (s/cm)
日期
8.20E-02
2016/6/23 星期四
7.87E-02
2016/6/23 星期四
7.87E-02
2016/6/23 星期四
7.46E-02
2016/6/23 星期四
7.63E-02
2016/6/23 星期四
7.81E-02
2016/6/23 星期四
7.52E-02
2016/6/23 星期四
7.94E-02
2016/6/23 星期四
7.63E-02
2016/6/23 星期四
时间
下午 2:15:09
下午 2:24:58
下午 2:29:16
下午 2:30:49
下午 2:31:45
下午 2:33:08
下午 2:33:50
下午 2:34:41
下午 2:35:27
分析数据(电阻率)
平均 12.9
最大百分变化 9.84%
径向不均匀度 9.38%
平均百分变化
厚度修 探针间距
正因子 修正因子
0.9975
1
测试数据
Y(mm)
正向电压 反向电压 (mV) (mV)
0
5.4Leabharlann Baidu 5.46
6.25 5.75 5.75
-6.25 5.74 5.74
-6.5 6.19 5.96
6.5 5.93 5.93
0
5.81 5.81
0
6.03 6.02
0
5.73 5.72
0
5.94 5.94