晶圆表面微观形貌检测系统操作指南(Matlab版)

晶圆表面微观形貌检测系统操作指南——Matlab版

一.PC配置要求：

1 Windows系列操作系统，windows XP系统为检验过运行该检测系统较好版

本，Vista系统及win7未经测试，建议选用Windows XP系统。

2 目前主流PC配置即可满足该检测系统的要求，由于后台检测算法处理程

序工作任务复杂，建议选用PC主频大者为宜。

二. PC需安装的应用软件：

Matlab7.0以上版本

1.

CCD驱动程序（Microvision MV-3000UC）

2.

电机驱动程序（GCD-0301M ）

3.

上述所需软件附在我们给出的程序包中，此部分软件仅供实验检验只用，用于商业目的时请购买正版软件。

三. 系统实际操作流程：

1.使用前默认PC已正确完全安装了所需软件。

2.将CCD连出的USB端口接于PC，将电动台连出的USB端口接于PC（后

台程序设定了改端口申请占用的端口为COM3，连接时注意给定端口的

正确性，如想为其申请其他端口，需要更改后台控制程序，建议直接给

其非配COM3口）

3.接通激光器及电动台电源，打开激光器电源开关，设定其强度区间为

1.76~1.80为宜。打开电动台控制转换器开关，打开后将在其正面的红色

指示灯将亮起。

4.打开Matlab7.1，单击File菜单，在其下拉列表中选择New的子级联列

表中选择GUI选项，打开GUIDE Quick Start对话框，点击Open Existing

GUI选项，点击右下角Browse……按钮，选择检测系统控制界面的原始

编辑界面，默认路径为：D:\Matlab7\work\p_fig.fig(注：拟定我们已将系

统给出的相关文件放于D:\MATLAB7\work根目录下。)，找到该p_fig.fig

文件并将其打开，程序将打开系统工程，进入与编译界面。点击运行Run

图标编译运行该程序，得到系统控制界面。界面右侧部分为控制按钮部

分，左侧为图像采集提示信息及采集图像及图像处理结果显示，根据界

面提示信息依次有序地按检测CCD、电机复位、采集图像、相位提取、

表面形貌、保存原图像控件完成系统检测整个过程。并在使用完该系统

时按退出键退出系统。

四. 注意事项：

1.在每次操作前与Matlab命令窗口依次输入命令clear、clc刷新系统

以保证系统执行处理任务过程中不受残留数据的干扰导致无法得到

检测结果的情况出现。

2.操作过程中，要在每采集一副图像前等待电动台复位完成后，并手

动旋转系统箱体中的检偏器（旋转方向-π->π）,每次旋转45度，旋

转允许误差为±1 ，电动台转动时GCD-0301M的指示绿灯将开启，

转动结束后自动隐没该指示灯的点亮。

3.检测结束后，请依次断开CCD USB端口及电机USB端口的连接，

并关闭激光器电源开关按钮及GCD-USB开关按钮，关闭系统控制

界面及Matlab工作空间。

4.在系统检测出现没有复原结果时，原因可能是：①操作流程不合

理②打开Matlab后，运行系统预编译界面前，没有做刷新控制工

作，可重新打开并按要求操作来处理③系统箱体内检偏器部分的

旋转误差较大。