S-3000N扫描式电子显微镜使用手册
SEM操作规程
扫描电子显微镜操作规程
一、开始运行系统：
1.打开总电源。
2.打开空气压缩机。
3.打开机械泵和变压器。
4.通入冷却水。
5.打开真空电源，系统开始抽低真空。
6.30分钟后，使系统抽高真空。
7.待前级真空、管道真空和高真空均指示到200的位置以后，即可开始工
作。
二、关机
1.关闭阀1，打开“STAND BY”开关。
2.将真空控制板上的自动、手动开关置于手动，此时只有阀2继续抽扩散
泵的前级真空。
3.30分钟后，关真空电源。
4.关闭机械泵、空气压缩机、总电源。
5.关冷却水。
三、注意事项：
1.在测量高真空时，不要将表头开关置于HI V AC位置上。
2.加高压时，不要一下子加到20-30KV，特别是房间较潮湿的地方，高压
容易打火，造成仪器元件损坏。
所以可以先加10KV，再以1KV的步距
逐步增加高压。
3.要慢慢增加束流，并且是灯丝在饱和点工作。
4.灯丝一定要安正，否则看不到图像。
5.在仪器不用时，要定期开机抽真空。
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1.。
电子显微镜使用说明书
GAOSUO Digital MicroscopeUser Manual（中文）首先非常感謝貴司（您）購買了GAOSUO數碼顯微鏡數碼顯微鏡應用範圍非常廣泛主要有以下方面.1工業方面：a 、工業檢視，例如電路板、精密機械等b 、印刷檢視，SMT焊接檢查c 、紡織檢視d、IC表面檢查2美容方面A、皮膚檢視B、發根檢視C、紅外理療（特定產品）3生物應用A、微生物觀察B、動物切片觀察4其他A、擴視器，協助視障人士閱讀B、寶石鑒定GAOSUO數碼顯微鏡使用簡單，只需要同電腦USB介面連接就可以使用，本產品還配備測量軟體，可做簡單的量測，非常的方便。
為了更詳細的介紹本產品，敬請耐心的閱讀產下面的產品介紹，使用方法，注意事項。
規格：傳感器：高性能感光晶片主控晶片：專用主控16Bit DSP放大倍率：200X.300X .600X. 500X.800X (各款機型)拍照/錄影：內置輔助光源：8顆白光LED燈靜態解析度：640x480 最高可達1600x1200(可按需定制)數碼變焦：多段式成像距離：手動調節0~無限遠影像解析度：標準640*480固定底座：配用升降支架光盤：內含驅動，測量軟體，說明書支援系統：WIN XP/VISTA；WIN 7 32位和64位電源：USB（5V DC)電腦介面：USB 3.0、2.0 & USB 1.1 相容動態幀數: 30f/s Under 600 LUX Brightness照度範圍：0 ~ 30000LUX線控可調硬體需求：奔騰主頻700M Hz或以上；1G硬碟CD ROM 光碟機；64MB 記憶體支援語言：中文（簡）中文（繁體）英(其他語言需要定制)產品顏色：磨砂黑色，其他顏色可定制主體尺寸112 mm ( 長) 33 mm ( 外徑)單機包裝重量380g安全警告及注意事項1. 勿自行拆解本產品，以避免靜電擊穿精密晶片。
2. 勿用酒精等有機溶劑清潔產品。
3. 勿用手指觸摸鏡頭，以免表面造成刮痕和贓汙。
扫描电子显微镜(SEM)标准操作规程
1. S—4300F型扫描电子显微镜操作规程：①将制备好的样品固定在样品架上，将样品台每个手柄调节至标准位置，打开AIR待预抽室放大气后装上样品。
推紧预抽室门按下EV AC键抽真空，待SEC、high灯亮后打开手动阀MV1推入样品后关闭MV1；②换样时，将所有旋钮调节至标准位置，打开手动阀MV1取出样品，关闭MV1重复第一步；③打开主机面板上display power 开关，接通操作系统开关，按照计算机提示进入WINDOWS操作界面；④点击桌面上的PC—SEM文件夹，进入扫描电镜操作平台；⑤打开LOCK开关，拨向AOUT OPEN方向，点击SEM操作界面上的vacc打开高压对话框。
将电流设置在10uA的位置上，电压可根据样品自由调节，调节范围1kv~20kv，点击ON，打开高压系统；⑥调节样品位置，选择所需结构。
利用桌面上AUTO按钮调节图像的对比度和亮度，调节扫描速度，得到一幅满意的图像。
打开光路调节键，利用Beam、Aperture、StigX、StigY、STIGMATOR/ALIGNMENT相互配合调节光路系统；⑦选择选区扫描速度，调节高倍像中的像散，最终得到一幅高清晰图像，⑧存图像数据：点击Speed 3，点击M键，关闭Image窗口选择Yes，确定存储路径点击Save完成图像的抓取；2.注意事项：①换样品时样品杆只能在X方向上平行滑动，不得随意倾斜、旋转等；②样品预抽室放大气前必须关闭高压系统；③样品台锁定系统打开后，样品台只允许X、Y向的移动，不得做其他运动；③每次更换样品前后必须观察P1、P2、P3三级离子泵的真空情况，其中P1、P2不得小于3*10/-7，P3不得小于7*10/-7，如低于上述标准不得加高压；④如使用数码打印机打印图像，必须使SEM操作平台提前检索到打印机；⑤磁性材料的测试必须提前和管理人员联系，弱磁性材料必须经管理人员认可后方可上机实验，强词性材料不得上机测试，否则将停止其上机资格；⑥粉末样品测试前必须确定其粘结的牢固程度，禁止悬浮颗粒进入显微镜；。
扫描电镜使用说明书
扫描电镜使用说明书一、产品概述扫描电镜（Scanning Electron Microscope，SEM）是一种高分辨率的显微镜，能够通过扫描样品表面并检测扫描电子束的反射电子，从而获取样品的形貌和元素成分信息。
本说明书将详细介绍扫描电镜的使用方法和注意事项。
二、安全操作1. 在使用扫描电镜之前，请确保机器的电源已经正确接入地线，避免触电事故的发生。
2. 在打开扫描电镜之前，先检查样品台和操作盖是否已经安装好并正确固定。
3. 使用扫描电镜时，应该配戴好相关的防护眼镜和手套，确保个人安全。
4. 禁止将未经处理的有毒或易燃物质放入扫描电镜中进行观察。
三、仪器操作流程1. 打开电源开关，等待仪器自检完成，并确保控制面板上的指示灯正常。
2. 使用适当的工具调整样品台的位置和角度，使样品处于扫描电子束正下方。
3. 将待观察的样品放置到样品台上，并使用夹具或胶带固定，避免因振动而影响图像质量。
4. 根据样品特性和需要，选择合适的放大倍数和扫描模式，并进行相关设置。
5. 确保样品台和探针头之间的距离适当，并调整探针电子的聚焦和对准。
6. 点击开始扫描按钮，此时电子束将开始扫描样品表面，并生成相应的图像。
7. 观察并分析样品表面的形貌，使用相关软件进行图像处理和测量。
8. 在观察结束后，关闭电源开关，并进行必要的清洁和维护。
四、注意事项1. 在操作过程中，应该避免触摸样品表面，以免影响图像质量。
2. 在调整参数时，应该谨慎操作，避免产生误操作，导致损坏仪器或样品。
3. 镜头和样品台需要保持干净，可使用专门的清洁剂和软布进行清洁。
4. 扫描电镜不适合长时间连续工作，应该注意适当间隔，避免过热或损坏。
5. 扫描电镜需要定期进行保养和维护，以保证其正常工作。
6. 使用扫描电镜时应该有足够的耐心和耐心，避免急躁操作和粗心大意。
五、故障排除1. 若扫描电镜出现异常现象，如图像模糊、偏移等，可先通过重新校准参数来尝试解决问题。
S-4800日立扫描电子显微镜(SEM)简易操作指南(通用版) (1)
S-4800日立扫描电子显微镜（SEM）简易操作指南一、开机前准备1.1制备样品（带口罩与手套进行）SEM样品制备相对简单，原则上只要能放入样品室的样品，都可进行观察。
但需注意以下事项：a)样品在物理上和化学上必须要保持稳定，在真空中和电子束轰击下不挥发或变形，没有腐蚀性和放射性。
（通常是干燥固体。
）b)由于光源是电子，样品必须导电，非导电样品可喷镀金膜。
金膜在一定程度上会影响样品原有形貌。
（若样品本身导电，衬底不导电，如蓝宝石上的ZnO，只需用导电胶把样品表面连到样品台。
）c)由于物镜有强磁性，带有磁性的样品制样必须非常小心，防止在强磁场中样品被吸入物镜或分散在样品室中。
通常磁性样品必须退磁，且工作距离（WD）须大于8mm。
具体操作过程：(1) 按待测样品数量选择样品台，（支持直径d=5mm,15mm,1 inch,2 inch等规格，若要观测截面可选择带角度的样品台）。
(2) 剪一小段导电胶，粘到样品台上。
若样品为粉末，则把粉末撒到导电胶上，用吸耳球或高压氮气吹扫掉导电胶上未粘紧的粉末；若是块状样品，则把样品牢牢粘到导电胶上，用手轻轻推，样品不会左右晃动。
（为观测时方便定位，将样品排列成行（或列），并在行下方（或列左侧）标上数字编号。
）(3) 样品粘贴完成后，用吸耳球或高压氮气吹扫掉样品台上的粉末、灰尘、水珠、唾沫等（会影响照片质量，甚至使真空度下降而无法加高压，推荐认真执行。
）1.2查看真空度打开前面板盖，点击MODE按钮直至IP1指示灯闪，在登记表记下MULT INDICATOR数码显示管的读数，同理读取IP2，IP3并记录。
确认IP1<2E-7，IP2<2E-6，IP3<5E-5。
（通常情况都是IP1显示0E-8，IP2显示0E-8，IP3显示0E-8或aE-7,1<a<9。
）如图1所示：图1 按MODE读取IP1-IP3二、开机操作2.1开机a)开启冷却循环水电源，循环水温度显示应在15-20℃，水位应浸没金属线圈。
电子扫描显微镜使用说明书
电子扫描显微镜使用说明书使用说明书
1. 产品介绍
1.1 电子扫描显微镜简介
1.2 技术参数
1.3 主要组成部分
2. 安装要求
2.1 环境要求
2.2 安全操作提示
3. 仪器准备
3.1 接通电源
3.2 仪器开机
3.3 预热和校准
4. 样品准备
4.1 样品选择
4.2 样品制备
4.3 样品固定
5. 扫描参数设置
5.1 放大倍数选择
5.2 扫描速度设定
5.3 分辨率调整
5.4 曝光时间设置
6. 图像采集与处理
6.1 图像采集
6.2 图像保存
6.3 图像处理软件使用
7. 仪器的维护与保养
7.1 仪器清洁
7.2 储存条件
7.3 日常维护
8. 故障排除
8.1 常见问题与解决方法
8.2 联系售后服务
9. 安全事项与警示
9.1 仪器使用注意事项
9.2 避免电击风险
9.3 避免电磁辐射
10. 包装清单
10.1 产品清单
10.2 包装检查
11. 保修政策
11.1 保修期限
11.2 保修范围
11.3 保修条款
12. 售后服务联系方式
12.1 客户服务热线
12.2 技术支持邮箱
13. 附录
13.1 仪器操作快捷键
13.2 常用术语解释
通过以上章节的详细说明，您可以轻松地了解和使用我们的电子扫描显微镜。
请按照使用说明书中的步骤操作，并遵守安全警示和保养
维护要求，以确保您获得最佳的扫描结果和长期使用效果。
如有任何疑问或需求，请随时联系我们的售后服务团队。
祝您使用愉快！。
电子显微镜的操作规程
电子显微镜的操作规程电子显微镜（ESEM）是一种先进的显微镜技术，具有高分辨率和高放大倍数的特点，广泛应用于科学研究和工业生产中。
为了正确操作电子显微镜并获得准确的图像和数据，以下是电子显微镜的操作规程。
一、准备工作1. 确保电子显微镜的工作环境稳定，无震动和静电干扰。
2. 检查显微镜是否正常运行，如电源是否接通，主控开关是否打开等。
3. 检查电子显微镜的样品台是否干净，无尘和污染。
二、打开电子显微镜1. 将主控开关调至ON位置，等待电子显微镜启动。
2. 根据需要选择透射电子显微镜或扫描电子显微镜模式。
3. 等待电子显微镜的预热过程，确保设备温度稳定。
三、加载样品1. 在样品载物台上放置准备好的样品，确保样品平整且与载物台接触良好。
2. 使用样品夹固定样品，并调整样品的位置，使得感兴趣的区域位于观察范围内。
3. 确保样品室内的环境湿度适宜，可以根据样品的需要进行湿化或干燥。
四、对焦和取像1. 调节电子束的对焦功能，使得电子束聚焦在样品上。
2. 根据需要选择合适的放大倍数，以获得所需的图像细节。
3. 调整亮度和对比度，确保图像清晰可见。
4. 使用显微镜镜头和样品台的微动装置，进行微小调整和平移，以获得最佳图像。
五、记录和保存数据1. 使用数字相机或计算机连接电子显微镜，以记录图像和数据。
2. 对于扫描电子显微镜，可以使用软件进行图像采集和分析。
3. 确保保存的数据和图像被正确命名和归档，以便后续分析和研究使用。
六、关闭电子显微镜1. 将主控开关调至OFF位置，关闭电子显微镜。
2. 温和地关闭样品室门和抽真空系统，避免损坏设备。
3. 清理和整理工作区域，确保其它使用者能够方便使用电子显微镜设备。
电子显微镜的操作规程对于获得准确的图像和数据至关重要。
通过遵循以上规程，操作者可以确保电子显微镜的正常运行，并获得高质量的图像和数据，以促进科学研究和工业生产的发展。
扫描电子显微镜技术的使用方法与技巧
扫描电子显微镜技术的使用方法与技巧扫描电子显微镜（Scanning Electron Microscope，SEM）作为一种非常强大的科学研究工具，在生物学、材料科学、纳米技术等领域都得到了广泛的应用。
本文将介绍扫描电子显微镜技术的使用方法与技巧，帮助读者更好地理解和应用这一先进的技术。
一、原理概述扫描电子显微镜通过发射出高能电子束照射样本表面，并测量样本表面反射的电子信号来实现对样品的观察和分析。
与光学显微镜相比，扫描电子显微镜具有更高的放大倍数和更好的分辨率，使得细小结构和样品表面形貌得以清晰可见。
二、样品制备在使用扫描电子显微镜之前，首先需要将样品进行适当的制备处理。
不同的样品可能需要不同的制备方法，下面以常见的生物组织样品为例进行介绍。
1. 固定和固化：对于生物组织样品，通常需要使用一些化学物质进行固定，以防止样品变形和腐败。
常用的固定剂包括冷冻甲醛、乙醛和洗涤液等。
固定后，样品需要进行固化，通常使用环氧树脂或冷冻干燥等方法。
2. 切片：之后，需要使用超薄切片机将固定和固化后的样品切割成薄片。
切片要求非常薄，一般在50-100 nm之间。
3. 上膜：切割好的样品薄片需要粘贴在导电载体上，常见的载体有导电胶带或碳薄膜。
上膜过程中需要注意避免气泡和脏污。
三、仪器操作1. 样品装入和真空抽取：准备好的样品载体需要被正确地装入到扫描电子显微镜的样品台上，并确保样品与电子束之间有足够的距离。
2. 参数设定：在开始观察之前，需要根据样品的特性和所需观察的目的进行一些参数的设定。
如加速电压、工作距离和探针电流等。
这些参数的选择需要根据具体的样品类型和所需观察的目的来确定。
3. 对焦和调节：通过调节显微镜的对焦装置和样品台的三维移动装置，将电子束对准样品表面，并使其形成清晰的像。
同时，还需要通过调节探针电感补偿装置，以保持较高的分辨率。
四、图像获取与分析1. 图像获取：当样品合适地装载在扫描电子显微镜中后，可以开始进行图像获取。
扫描电子显微镜的操作步骤和注意事项心得
扫描电子显微镜的操作步骤和注意事项心得扫描电子显微镜的操作步骤与注意事项一、样品制备将分散好的样品滴于铜片上，干燥后将载有样品的铜片粘在样品座上的导电胶带上(对于大颗粒样品可直接将样品粘在导电胶带上)。
对于导电性不好的样品必须蒸镀导电层，通常为蒸金:将样品座置于蒸金室中，合上盖子，打开通气阀门，对蒸金室进行抽真空。
选择好适当的蒸金时间，达到真空度定好时间后加电压并开始计时，保持电流值，时间到后关闭电压，关闭仪器。
取出样品。
(注意:打开蒸金室前必须先关闭通气阀门，以防液体倒流。
)二、扫描电镜的操作1.安装样品“Vent”直至灯闪，对样品交换室放氮气，直至灯亮; 1) 按2) 松开样品交换室锁扣，打开样品交换室，取下原有的样品台，将已固定好样品的样品台，放到送样杆末端的卡抓内(注意:样品高度不能超过样品台高度，并且样品台下面的螺丝不能超过样品台下部凹槽的平面);3) 关闭样品交换室门，扣好锁扣;4) 按“EVAC”按钮，开始抽真空，“EVAC”闪烁，待真空达到一定程度，“EVAC”点亮;5) 将送样杆放下至水平，向前轻推至送样杆完全进入样品室，无法再推动为止，确认“Hold”灯点亮，将送样杆向后轻轻拉回直至末端台阶露出导板外将送样杆竖起卡好。
(注意:推拉送样杆时用力必须沿送样杆轴线方向，以防损坏送样杆)2.试样的观察(注意:软件控制面板上的背散射按钮千万不能点，以防损坏仪器)-51) 观察样品室的真空“PVG”值，当真空达到9.0×10Pa时，打开“Maintenance”，加高压5kv，软件上扫描的发射电流为10μA，工作距离“WD”为8mm，扫描模式为“Lei”(注意:为减少干扰，有磁性样品时，工作距离一般为15mm左右);2) 操作键盘上按“Low Mag”、“Quick View”，将放大倍率调至最低，点击“Stage Map”，对样品进行标记，按顺序对样品进行观察;3) 取消“Low Mag”，看图像是否清楚，不清楚则调节聚焦旋钮，直至图像清楚，再旋转放大倍率旋钮，聚焦图像，直至图像清楚，再放大……，直到放大到所需要的图;4) 聚焦到图像的边界一致，如果边界清晰，说明图像已选好，如果边界模糊，调节操作键盘上的“X、Y”两个消像散旋钮，直至图像边界清晰，如果图像太亮或太暗，可以调节对比度和亮度，旋钮分别为“Contrast”和“Brightness”，也可以按“ACB”按钮，自动调整图像的亮度和对比度;5) 按“Fine View”键，进行慢扫描，同时按“Freeze”键，锁定扫描图像;6) 扫描完图像后，打开软件上的“Save”窗口，按“Save”键，填好图像名称，选择图像保存格式，然后确定，保存图像;7) 按“Freeze”解除锁定后，继续进行样品下一个部位或者下一个样品的观察。
扫描电镜操作手册
扫描电镜操作手册扫描电镜操作手册一、目的本操作手册旨在为使用扫描电镜（Scanning Electron Microscope，简称SEM）的用户提供操作步骤和指南，以确保仪器的正确使用和延长其使用寿命。
二、操作步骤1、准备样品：根据SEM的要求，准备需要观察的样品。
确保样品具有足够的稳定性和导电性。
2、打开仪器：按顺序打开SEM的电源开关，并确保仪器稳定运行。
3、选择工作模式：根据样品的特性选择适当的工作模式（如高分辨率、低分辨率等）。
4、调整工作参数：根据需要，手动设置电子束加速电压、扫描速率、扫描分辨率等参数。
5、安装样品：将样品固定在样品台上，确保其稳定不动。
6、聚焦和校准：通过操作台面上的按钮或软件界面，调整电子束的聚焦位置和校准参数，确保图像的清晰度和准确性。
7、观察和记录：启动扫描过程，观察样品的微观结构，并使用计算机软件记录观察到的图像。
8、调整和优化：根据需要，对扫描参数进行调整和优化，以获得更好的图像质量。
9、关闭仪器：在完成观察后，按顺序关闭SEM的电源开关，并确保仪器完全停止运行。
三、注意事项1、在操作SEM之前，请务必阅读并了解仪器的操作手册和安全规范。
2、确保SEM的工作环境干燥、清洁，并避免强磁场、振动的干扰。
3、在安装和移动样品时，请避免与仪器碰撞，以免损坏设备。
4、在操作过程中，请勿将身体任何部位置于仪器内部，以防意外伤害。
5、若遇到任何操作问题，请及时联系专业人员进行处理。
四、维护与保养为了保持SEM的性能和延长其使用寿命，建议定期进行以下维护与保养工作：1、清洁真空系统：定期清洗或更换真空系统的组件，以确保仪器在高真空状态下运行。
2、检查电子枪：定期检查电子枪及其组件，确保其正常工作。
如需要，请更换老化的组件。
3、校准和调整：定期进行仪器的校准和调整，以保证图像的准确性和清晰度。
4、更换消耗品：根据需要，更换老化的真空泵油、过滤器等消耗品。
5、软件更新：定期更新SEM的软件系统，以确保其兼容性和稳定性。
扫描电子显微镜操作流程
扫描电子显微镜操作流程扫描电子显微镜（Scanning Electron Microscope，SEM）是一种常用的显微镜，用于观察微观尺度下的表面形貌和组织结构。
本文将介绍扫描电子显微镜的操作流程，帮助您更好地使用该仪器。
一、准备工作在进行扫描电子显微镜操作之前，需要做一些准备工作：1. 查看设备状态：确保扫描电子显微镜处于正常工作状态。
2. 清洁样品：将待观察的样品进行适当的清洁处理，以去除表面的杂质和污染物。
3. 固定样品：将样品放置在适当的样品架上，并使用夹具或者导电胶带等方式固定好。
二、样品装载1. 打开样品室：打开扫描电子显微镜的样品室门，确保样品室内的环境与外界隔离。
2. 放置样品：将准备好的样品小心地放置在样品架上，并确保样品与检测器件之间的距离适当。
3. 关闭样品室：关闭样品室门，并确保密封良好，避免样品室内空气进入。
三、真空抽气由于扫描电子显微镜需要在真空环境下运行，因此需要进行真空抽气：1. 打开真空阀门：打开真空阀门，开始抽气。
2. 监测真空度：通过监测仪器，观察真空度的变化，待真空度达到设定要求后进行下一步操作。
3. 关闭真空阀门：当真空度稳定后，关闭真空阀门，保持真空状态。
四、电子束调节1. 打开激光：打开光源或电子束发射器。
2. 对焦：通过调节电子束的对焦控制，使得电子束聚焦在样品表面上。
3. 调节亮度和对比度：根据实际需求，调节电子束的亮度和对比度，以获得清晰的显微镜图像。
五、影像获取1. 扫描区域选择：根据需要选择要扫描的区域，调整样品台的位置。
2. 开始扫描：按下扫描按钮，开始扫描电子显微镜。
3. 图像观察：通过显微镜的显示屏或者计算机上的图像软件，观察并记录扫描获得的图像。
4. 图像保存：根据需要，将扫描得到的图像保存到计算机或其他存储设备中。
六、仪器关闭1. 关闭激光：关闭光源或电子束发射器。
2. 关闭扫描电子显微镜：按下关闭按钮，将扫描电子显微镜关闭。
3. 停止真空抽气：打开真空阀门，停止真空抽气。
电子显微镜S-3000N操作手册
电子显微镜S-3000N操作手册SEM开机请依照下列程序开启电子枪体及操作系统，我们可由以下整理齐全的开机程序来进行开机。
(1) 开起冷却循环水，确认水流量设定在1至1.5公升/分钟的流量，水流量计在电子枪体之左侧。
(2) 打开NFB(在配电盘上)主电源开关。
(3) 打开EVAC POWER真空系统电源开关，打开后RP会开始运转，真空操作面板上的LOW指示灯及WAIT指示灯会亮。
(4) 将真空控制板上的EVAC/AIR按键，押至EVAC位置。
NOTICE：大概约20分钟左右WARM UP灯会熄灭，自动真空系统启动，抽至高真空时HIGH的指示灯会亮。
(5) 将DISPLAY POWER开关打开。
(6) PC进入操作系统。
(7) 上步骤(6)做完之后，下一步会进入user name及Password，输入正确的使用者名称及密码注册后，随及进入操作画面。
使用者名称：PC-SEM密码：没有设定user name和passward设完成后将OK按下即可进入(请不要设定Administrator的密码)。
SEM样品置换(1)请确认HV是否关掉，若无将HV OFF。
在取出样品之前样品轴五轴要归位(Tilt:0,Z轴:白点对白点,X轴:30,Y轴:20,Rotation:随意)(2)在关掉高压等待5-10分钟之后,将真空控制板上EVAC/AIR按键， AIR，此时LOW的指示灯亮，真空室内进入空气，样品室将会破真空。
(3) 等待2-3分钟,样品台与样品室有明显缝隙后,顺着样品台轨慢慢轻柔的将样品座拉出(在等待时间内,请不要用力向外拉样品台)。
(4) 将样品放置于样品座上面顺时针旋紧至固定牢靠,使样品的上表面与标尺的中间刻线齐平,后把样品轻轻的放入样品台,使样品固定环的上表面与样品固定槽座的上表面齐平。
请再此确认样品轴五轴归位.(5) 将放置好样品的样品台，轻轻推回主体之样品室内，用手推样品台,使样品台与样品室门压在一齐.后将EVAC/AIR之开关切至EVAC,直到机台后马达声响起后,把手松开。
扫描电子显微镜的操作流程
扫描电子显微镜的操作流程扫描电子显微镜（Scanning Electron Microscope，SEM）是一种常用的高分辨率显微镜，通过使用电子束来观察物体的表面形态和微观结构。
本文将介绍使用扫描电子显微镜的基本操作流程。
一、准备工作在操作扫描电子显微镜之前，需要做一些准备工作。
首先，确保室内环境干燥且无尘，因为灰尘可能会影响样本观察的质量。
其次，确保扫描电子显微镜的电源接通，并且仪器处于合适的工作温度。
二、加载样品1. 样品处理：将待观察的样品进行必要的处理，如切片、抛光、涂覆导电膜等，以确保样品表面光滑并具有良好的导电性能。
2. 安装样品：打开仪器的样品舱门，使用样品夹将样品固定在样品台上。
确保样品的位置稳固且与样品台接触良好。
三、真空系统操作1. 泵真空：关闭样品舱门后，打开真空泵开关，开始泵真空。
等待一段时间，直到真空达到所需的工作压力。
2. 气体通道：打开气体通道开关，注入惰性气体（如氮气）以进一步减小环境中的氧气含量，减少样品表面的氧化。
3. 真空泄漏测试：关闭气体通道开关，观察真空指示器，确保真空系统没有泄漏。
四、对焦与对齐1. 温度与电流调节：根据样品类型选择合适的工作温度和电流。
通常，较高的电流和较低的温度可以提供更好的分辨率和图像质量。
2. 对焦调节：使用对焦旋钮或对焦按钮，调节电子束的聚焦，使样品表面图像清晰可见。
3. 对齐调节：使用平板标准样片，调节电子束的对齐，确保图像垂直且居中。
五、参数设置与图像观察1. 工作参数设置：根据实际需要，设置合适的工作参数，如放大倍数、扫描速度、探测器类型等。
2. 图像观察：通过显示屏观察到的样品表面图像，根据需要进行捕捉、保存或调整图像。
六、完成操作1. 关闭仪器：在使用完毕后，按照设备操作步骤逆序关闭设备，先关闭真空泵，然后关闭电源。
2. 样品处理：将样品从样品台上取下，并根据需要进行后续处理，如去除导电膜等。
3. 数据保存：根据实验需要，将观察到的图像或数据保存到计算机或存储介质中。
操作手册扫描电镜使用方法说明书
操作手册扫描电镜使用方法说明书为了帮助用户准确并便捷地使用操作手册扫描电镜（以下简称SEM），本说明书详细介绍了SEM的使用方法。
请用户在使用前仔细阅读并按照说明书的步骤进行操作，以充分发挥SEM的功能和性能。
一、SEM简介操作手册扫描电镜（Scanning Electron Microscope）是一种常见的科学仪器，广泛应用于材料科学、生物科学、纳米技术等领域。
SEM通过扫描样品表面，并利用透射电子显微镜产生的信号进行成像，可以获得高分辨率的显微图像。
二、SEM的基本组成SEM主要由以下部件组成：电子枪、感应线圈、轴向磁透镜、扫描线圈、二次电子检测器、成像系统、显示器和控制系统等。
下面将逐一介绍各部件的作用和使用方法。
1. 电子枪电子枪是SEM的核心部件，负责产生高能的电子束。
在使用SEM 前，请确保电子枪处于正常工作状态。
操作时应避免碰触电子枪，以免造成损坏或伤害。
2. 感应线圈感应线圈用于控制电子束的尺寸和聚焦，用户可通过控制系统调整线圈来获得所需的电子束性能。
在操作过程中，需要根据实际要求进行相应的调节，以获得清晰的图像。
3. 轴向磁透镜轴向磁透镜用于进一步聚焦电子束，它可以通过控制磁场强度来改变电子束的聚焦效果。
用户可以通过控制系统进行调节，以提高图像的分辨率和对比度。
4. 扫描线圈扫描线圈负责控制电子束在样品表面上的扫描范围，用户可以通过控制系统设置扫描参数，如扫描速度和扫描线数等。
请确保设置合理的扫描范围，以充分观察样品的细节。
5. 二次电子检测器二次电子检测器用于检测被电子束激发后的次级电子，它能提供样品表面形貌信息。
在使用二次电子检测器时，保持探测器清洁，并根据需要进行灵敏度调节，以获取清晰的形貌图像。
6. 成像系统成像系统负责将电子束激发的信号转化为图像，用户可以通过控制系统来实时观察样品表面的形态。
在观察过程中，可以调整对比度、亮度和放大倍数等参数，以获得所需的图像效果。
WITec Alpha 3000 Raman微显微镜用户指南说明书
Raman Spectroscopy with the WITec Alpha 3000 MicroscopeAppropriate Samples and Sample PrepYou can attempt to analyze anything that will fit beneath the objective. Data quality will be determined by the number and intensity of Raman active vibrational modes in the materials making up the sample. If your sample is very thin (microns or less), you may observe Raman signals from your substrate convoluted with those of your analyte. It may therefore be necessary to select a substrate with a Raman spectrum that does not interfere with that of your analyte. Penetration depth in 3D images is limited by the optical properties of your sample. If your sample does not transmit the 633nm laser light well, you can expect a dramatic fall-off in signal intensity as you attempt to penetrate the surface further. Getting Started1.Turn on the power strip to the left of the cabinet.2.Open the cabinet using the foot pedal3.Rotate the 10x objective into place.4.Place your sample on the stage.5.Log into the PC.ername: labuserb.Password: Sample123!6.On the desktop, double click to start WITec Control 1.607.On the menu bar click Configurations→Raman→Raman8.In the Control window, expand the settings for Spectrograph 1 and change the LaserWavelength to 633nm, Grating to 300g/mm, and Spectral Center to 2700nm. Expand thesettings for Spec Camera 1 and type -60C in for temperature (this may be necessary even if -60C is already shown as the setting). In the Message window verify that the DV401: Cooling message shows a setpoint of -60C and the temperature is decreasing.9.To see an image of the sample on the monitor, you need to adjust the metal rod, mirror cube,and filter holder from the right side of the microscope (see pic below).a.The metal rod has two positions: in and out. To view the sample on the monitor it must bepushed in.b.The mirror cube has three positions labeled I, II, and III. While inserting the cube from theright side of the microscope, the first position you land on is I followed by II then III. To view the sample on the monitor, the cube must be in position I, which puts a dichroic mirror inplace to illuminate the sample with white light.c.The filter holder has two positions, 1 and 2. When inserting the filter holder from the rightside of the microscope, you will first land on position 1 which does not contain a filter. This is the position you want to be in while viewing your sample on the monitor. If you push the filter holder in further it will move to position two, which contains the laser line filter. If this filter is in place the image on the monitor will be very dark and have a blue/purple color.Setting up for Raman Acquisitione the remote control to raise the microscope objectivea.Repeatedly press one of the arrows on the remote control until RC: Microscope Z showsbelow the menu barb.Rotate the knob on the remote control all the way counterclockwise, then rotate itclockwise to the desired speed. Speed setting can be viewed in the Graphic Control window.c.Press and hold +Z button on the remote control to raise the microscope objective2.In the Control window, expand the settings for Illumination. Enter a value for Illumination (0 to100) and turn the illumination on. You should see a white spot on the surface of your sample. If you do not see a spot even at high settings, the mirror cube probably needs to be moved toposition Ie the remote control with a speed around 100 to lower the microscope objective. You willneed to reduce the illumination intensity as you lower the objective. As you come down the first thing you will see is the worm. Next you will see the clouds. Then your sample surface will come into focus. Use a lower speed and adjust the illumination to get a good focus on your sample.e the micrometers on the sample stage to find the area of the sample that you want to image.5.Rotate the 50X objective into position.e a slower speed to focus on your sample. You will need to increase the illumination.7.From the right side of the microscope, push the filter holder in to position 2. You should see theimage on the monitor darken indicating that that laser line filter is in the optical path. Also, push the mirror cube in to position 2 and pull the metal rod out.Warning: Make sure the laser line filter is in the optical path before you turn on thelaser. If the filter is not in place, the laser light may damage the spectral camera!8.Turn the laser on using the key on the controller. Turn the micrometer on the laser headcounterclockwise until you see the laser beam emerge from the microscope objective.9.In the Control window, expand the settings for the Oscilloscope and click Start Oscilloscope. Youshould observe a Raman spectrum of your sample in the Hardware Spectrum window.a.Scroll the mouse wheel in the Hardware Spectrum window to fit your peaks in the window.b.In the Control window under Spectrograph 1, you can adjust the settings to determine thewavelength range shown in the Raman spectrum. The Grating setting determines the width of the range while the Spectral Center determines the center wavelength. Below are settings for each grating that allow you to take a spectrum with the Rayleigh peak (shift = zero) onthe left edge of the spectrum.e the remote control to fine tune the height of the microscope objective to maximize thestrength of the Raman signal. You should need to go a few microns up as shown in the Status window.11.In the Control window under Oscilloscope, increase the Integration Time to check for additionalRaman peaks. Use the minimum integration time that provides acceptable S/N for your Raman peaks of interest.12.In the Control window under Oscilloscope click Stop.Acquiring Single Raman Spectra1.In the Control window expand the settings under Single Spectrum. Enter your desiredIntegration Time, Accumulations, Sample Name and Number then click Acc. Single Spectrum.Your spectrum will be shown in a new window.Acquiring Raman Images1.In the Control window, expand the settings under Image Scan. Under Scan Details, for a 2Dimage in a single XY plane, set Scan Mode to Single. For a 3D image, set the Scan Mode to Stack.2.Enter the desired Points per Line and Lines per Image (these control the XY spatial resolution)and Layers per Scan (these are depth or Z-axis layers for Stack scans).3.Under Geometry, enter your desired Height, Width, and Depth (stack scans only).4.Enter your desired integration time under Int. Time (Trace). Make note of the time per line: thetotal time is the trace plus the retrace. The total acquisition time for the image will be the time per line multiplied by the number of lines and the number of layers.5.Under Data Labeling, enter a Sample Name and Number.6.Click Start Scan to begin image acquisition. You can monitor the progress of your acquisition inthe Message window.Repositioning the SampleIf you want to view the sample on the monitor so that you can reposition it for another acquisition, follow these steps:1.Turn the micrometer on the laser head all the way clockwise. You should see the laser spotunder the objective disappear.2.Turn off the laser.3.Push the metal rod on the right side of the microscope in.4.From the right side of the microscope, pull the cube out to position I.5.From the right side of the microscope, pull the filter holder out to position 1.e the remote control to refocus on the sample. You should now see the sample in the video.7.window so you can reposition it using the micrometers below the sample stage.8.To acquire Raman data, start from Step 7 under Setting up for Raman Acquisition above.Data Analysis Overview:The Project Manager window shows all of the data files associated with a project. This includes raw data acquired with the microscope as well as processed data. Single spectrum data is shown as graph files represented by . Image data is shown as image graph files represented by . Images generated from acquired image graph files are represented by . You can double click any file in the Project Manager window to open it.For images and image graph files, you can use the arrow keys to move around and display Raman spectra from different points in the image. For 3D data you can use PgUp and PgDn keys to move through the vertical layers. You can click in any image to bring up the Raman spectrum from that location. You can zoom in on any image using the mouse wheel. You can hold the mouse wheel down to move around in the image.You can adjust the vertical scale of Raman spectra by positioning the pointer below the baseline and scrolling the mouse wheel. You can move the baseline up or down by positioning the pointer above the baseline and scrolling the mouse wheel.Exporting Data1.To export a picture of a Raman spectrum, right click the spectrum and select Export→Bitmapto File2.To export the raw data (XY pairs) of a Raman spectrum as an ASCII file, right click the spectrumand select Export→ASCII to File3.To export any open image as a picture, right click the image and select Export →Bitmap to File.4.To export raw image data, right click the image graph file in the Project Manager window andselect Export.Generation and Analysis of Raman Images1.Create images for each of the desired peaks in the Raman spectruma.In the Filter Manager window for your data file, click Add Sum Filter . If you don’t see thefilter manager window, right click on the spectrum and select Graphs→View→FilterManageri.In the Filter Manager window you can enter the expected left and right boundaries ofa Raman peak in wavenumbers in the Start and Stop fields.ii.Alternatively, you can select a region in the displayed spectrum: Check the Listen box in the Filter Manager window. In the Graph Tools window click Mark Region . Thenclick and drag over the peak location in the spectrum.b.Repeat the above step to add sum filters for each peak or spectral region where you want togenerate an image.c.To generate the images, click Calculate in the Filter Manager window. You can open theimages from the Project Manager window. You can click in any image to see the Ramanspectrum at that location.2.To perform cosmic ray removal, drag and drop an image graph file in the Project Managerwindow to CRR in the Drop Actions window. Adjust parameters if necessary then clickExtract. A new image graph file (CRR) will be generated in the Project Manager window.3.Background subtractiona.Drag an image graph file from the Project Manager window to Graph BackgroundSubtraction in the Drop Actions window.b.Make sure Mark Region is selected in the Graph Tools window.c.In the blue section of the new window, hold down the shift key while clicking and draggingover each peak to deselect the peaks. You may need click around in your images to bring updifferent spectra to make sure all of the peaks are deselected.d.In the Graph Background Subtraction window, change the order until the blue line on thespectrum closely follows the baseline.e.Click Extract when you are satisfied. The baseline in the new image graph file (Sub BG)should be flat.4.Obtaining pure spectraImages usually contain multiple features with unique Raman spectra. In this step you willgenerate Raman spectra corresponding to specific features or materials in the image.a.In the Image Tools window, select one of the selection tools (pen, circle, or rectangle). Use the selection tool in one of the images to select the region corresponding to a single material or feature.b.In the Image Tools window, click Make image from draw field . A new image file willappear in the Project Manager window.c.Repeat b and c for all other features of interest in the original image. You can use Clear drawfield in the Image Tools window to clear the selection.d.In the Project Manager window, ctrl+click to select all of the new images along with thedesired image graph file and drag them to Average Spectrum in the Drop Actionswindow. The pure spectra will appear as new graphs in the Project Manager window. When You Are Finished1.On the menu bar click File Save Project As to save your data.2.Turn the micrometer on the laser head all the way clockwise. You should see the laser spotunder the objective disappear.3.Turn off the laser.4.Remove your sample from the stage.5.Close the WITec Control software. There is a waiting period that must pass before the softwarecloses.Warning: Do not skip the wait period or you risk damaging the spectral camera!6.After the waiting period has passed and the software is fully closed, turn off the power strip tothe left of the cabinet.7.Close the cabinet using the foot pedal.。
扫描电镜操作手册
扫描电镜操作手册一、前言扫描电镜（Scanning Electron Microscope，SEM）是一种采用电子束来形成高分辨率图像的仪器。
它可以通过扫描样品表面并检测反射电子的方式，将样品的微观形貌和表面结构进行观察和分析。
本操作手册将向您介绍扫描电镜的基本原理和操作步骤，以及一些常见的技巧和注意事项。
二、扫描电镜的基本原理扫描电镜的基本原理是利用高能电子束与样品相互作用产生的各种信号来获取样品表面形貌的信息。
当电子束扫描到样品表面时，会产生次级电子、反射电子、散射电子等不同的信号。
这些信号被探测器接收并转换成电压信号，再通过信号处理系统转换成图像。
三、扫描电镜的操作步骤1. 准备工作在操作扫描电镜之前，需要进行一些准备工作。
首先，打开电镜主机，并确保它与电源连接。
其次，检查样品架是否干净，并将待观察的样品放置在样品架上。
注意，样品表面应干净且不含有尘埃和油污等杂质。
2. 开机和预热按下电源按钮，等待电镜主机启动。
在启动过程中，电子枪和样品室会开始预热。
预热时间一般为15-20分钟，以确保电子枪和样品室达到稳定的工作温度。
3. 样品安装当电镜主机预热完成后，打开样品室的门，并将准备好的样品放置在样品架上。
然后，仔细关闭样品室门，并确保它完全密封。
4. 参数调整根据样品的性质和需求，进行相应的参数调整。
主要包括加速电压、放大倍数、扫描速度等参数的选择和调整。
调整参数时，应根据所需的观察效果进行实时调整和反馈。
5. 图像观察和采集在参数调整完成后，可以开始观察和采集图像。
选择观察区域并调整对焦，然后点击图像采集按钮进行图像保存。
在观察和采集图像时，注意保持样品和电子束之间的距离适当，以避免样品受到过度辐照。
6. 关机和清理在使用完毕后，进行关机和清理工作。
首先，将加速电压调至最低，然后按下关机按钮。
等待电镜主机完全关闭后，进行样品架的清理和样品的取出。
清理时，使用压缩空气吹扫样品架和电子束光路，以去除附着在上面的灰尘和杂质。
扫描探针显微镜使用方法说明书
扫描探针显微镜使用方法说明书使用扫描探针显微镜的方法说明书第一部分：引言在科学研究和相关学科领域，显微镜是一种不可或缺的工具。
扫描探针显微镜（Scanning Probe Microscope，简称SPM）是一种非常重要的显微镜，广泛应用于纳米尺度下的表面形貌观测和材料性质的测量。
本说明书将为您介绍扫描探针显微镜的使用方法。
第二部分：仪器基本构造SPM主要由扫描单元和控制单元组成。
扫描单元包括扫描探针和样品台，控制单元包括控制面板和电脑连接接口。
第三部分：准备工作1. 确保实验室环境整洁、无尘，并保持适宜的温度和湿度。
2. 打开仪器电源，确保所有指示灯均正常亮起。
3. 检查样品台表面有无杂质，如果有，请使用无尘纱布轻轻擦拭。
4. 准备扫描探针，从存放盒中取出并确认表面无损伤。
5. 将扫描探针插入扫描单元，确保连接牢固。
第四部分：操作步骤1. 打开控制面板软件，并连接SPM仪器。
2. 在软件界面上选择合适的扫描模式，如原子力显微镜（Atomic Force Microscopy，AFM）或磁力显微镜（Magnetic Force Microscopy，MFM）。
3. 设定扫描参数，包括扫描速度、扫描范围和采样点数等。
4. 载入样品，切记保持样品平整，并固定在样品台上。
5. 选择适当的探针和扫描模式，并进行扫描区域的选择。
6. 开始扫描，观察样品表面的变化，并通过显微镜界面实时监控。
7. 根据需要调整扫描参数，以获得更准确的结果。
第五部分：操作注意事项1. 操作前确保已仔细阅读仪器的用户手册，并按照说明进行操作。
2. 避免直接用手触摸样品和探针，在操作过程中需佩戴手套，以防止外界污染。
3. 注意仪器的安全使用，避免碰撞或震动。
4. 在操作过程中要保持耐心，避免过度扫描或频繁更换探针。
5. 定期对仪器进行维护和校准，以保证其稳定性和准确性。
第六部分：结果分析与展示扫描探针显微镜可以获得高分辨率的表面形貌图像和有关材料性质的信息。
S-3000N 扫描式电子显微镜简说明书
電子槍接物孔徑SE偵測器S-3000N外觀圖目 錄Ⅰ、操作面板功能介紹 (2)Ⅱ、操作視窗介紹 (3)Ⅲ、開關機程序 (6)(A)開機程序 (6)(B)關機程序 (7)Ⅳ、樣品的置換 (8)(A)放置樣品於樣品座上 (8)(B)樣品的置入 (8)(C)高真空模式設定 (10)(D)低真空模式設定 (11)Ⅴ、影像的觀察 (12)(A)加速電壓的設定 (12)(B)影像亮度、對比調整 (13)(C)焦距調整 (13)(D)觀察區域的選擇 (14)(E)像差的調整 (14)(F)拍照攝影 (15)Ⅵ、決定影像品質的因素 (16)(A)高真空模式下 (16)(B)低真空模式下 (17)Ⅶ、準位（Alignment）調整 (18)Ⅷ、燈絲電流調整設定與電子槍的軸調整 (19)Ⅰ、操作面板功能介紹號碼轉鈕功能（1）X IMAGE SHIFT/ K1 MULTI-FUNCTIONS（X影像移動/K1多功能鈕）X方向影像移動K1多功能影像調整（2）Y IMAGE SHIFT/ K2 MULTI-FUNCTIONS（Y影像移動/K2多功能鈕）Y方向影像移動K2多功能影像調整（3）X STIGMATOR/ALIGNMENT（X像差調整鈕/軸調整）X方向影像像差調整電子束軸調整（4）Y STIGMATOR/ALIGNMENT（Y像差調整鈕/軸調整）Y方向影像像差調整電子束軸調整（5）MAGNIFICATION（倍率鈕）影像縮小放大（6）CONTRAST（對比鈕）影像對比度調整（7）BRIGHTNESS（明暗度鈕）影像明暗度調整（8）FOCUS（聚焦鈕）影像焦距調整Ⅱ、操作視窗介紹目錄列 工具列加速電壓設定掃描速度模式選擇 自動明亮對比調整自動聚焦調整自動像差調整影像掃描/凍結影像調整視窗放大倍率顯示功能選擇列 分析模式選擇影像擷取電子式影像位移波形顯示真空程度顯示影像掃描視窗 狀態列粗調設在”50”微調設在”0”高解析度、高倍率模式 大聚焦深度或低倍率模式工具列組成像 凹凸像3D 像高解析模式 標準模式 立體影像Ⅲ、開關機程序 （A ） 開機程序(1) 打開冷卻循環水槽。
材料实验技术扫描电子显微镜使用方法详述
材料实验技术扫描电子显微镜使用方法详述材料实验技术-扫描电子显微镜使用方法详述引言：材料实验技术的不断发展与进步，为实验研究工作提供了广阔的空间和更为精细的方法。
其中，扫描电子显微镜（Scanning Electron Microscope，SEM）是一种重要的观测仪器，被广泛应用于材料科学领域。
本文将详述扫描电子显微镜的使用方法，从样品准备到操作过程的若干关键步骤，以期帮助读者更好地掌握这一实验工具。
一、样品准备：在使用扫描电子显微镜之前，首先需要进行样品准备。
通常，样品应具备以下条件：1. 平整表面：样品表面应尽量光滑、平整，以便在显微镜中获得更清晰的图像。
2. 干燥：样品应完全干燥，以防在观测过程中产生电磁干扰或损坏显微镜零部件。
3. 导电：样品应具备一定的导电性，以便在显微镜中形成导电层。
对于非导电性材料，可以通过涂覆一层金属或碳薄膜来增加导电性。
4. 适当尺寸：样品的尺寸应适合显微镜的观测区域，以确保获得全面和清晰的图像。
二、显微镜操作：1. 打开显微镜：首先，将显微镜电源连接到稳定的电源插座，并打开主电源开关。
稍等片刻，直到仪器完全启动并进入工作状态。
2. 设置加速电压：根据实际需要，选择合适的加速电压。
较低的电压适用于低分辨率的观测，而较高的电压则适用于高分辨率的观测。
注意，在改变加速电压时，需要进行较长时间的倍频和/mag对齐过程。
3. 调整亮度和对比度：通过调节亮度和对比度控制旋钮，使图像明亮且清晰可见。
此时，可以通过目镜观察到显微镜中样品的粗略外观。
4. 焦距调整：使用焦距调节旋钮，使样品的某个特定区域清晰可见。
这一步骤需要耐心和细致的操作，以确保图像的高清晰度。
5. 选择观察模式：根据需要，选择不同的观察模式。
扫描电子显微镜常见的模式有二次电子（SE）和反射电子（BSE）。
二次电子模式适用于表面形貌的观察，而反射电子模式适用于化学成分的分析。
6. 开始观察：将样品插入显微镜，并对样品进行定位和调节。
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電子槍接物孔徑SE偵測器S-3000N外觀圖目 錄Ⅰ、操作面板功能介紹 (2)Ⅱ、操作視窗介紹 (3)Ⅲ、開關機程序 (6)(A)開機程序 (6)(B)關機程序 (7)Ⅳ、樣品的置換 (8)(A)放置樣品於樣品座上 (8)(B)樣品的置入 (8)(C)高真空模式設定 (10)(D)低真空模式設定 (11)Ⅴ、影像的觀察 (12)(A)加速電壓的設定 (12)(B)影像亮度、對比調整 (13)(C)焦距調整 (13)(D)觀察區域的選擇 (14)(E)像差的調整 (14)(F)拍照攝影 (15)Ⅵ、決定影像品質的因素 (16)(A)高真空模式下 (16)(B)低真空模式下 (17)Ⅶ、準位（Alignment）調整 (18)Ⅷ、燈絲電流調整設定與電子槍的軸調整 (19)Ⅰ、操作面板功能介紹號碼轉鈕功能（1）X IMAGE SHIFT/ K1 MULTI-FUNCTIONS（X影像移動/K1多功能鈕）X方向影像移動K1多功能影像調整（2）Y IMAGE SHIFT/ K2 MULTI-FUNCTIONS（Y影像移動/K2多功能鈕）Y方向影像移動K2多功能影像調整（3）X STIGMATOR/ALIGNMENT（X像差調整鈕/軸調整）X方向影像像差調整電子束軸調整（4）Y STIGMATOR/ALIGNMENT（Y像差調整鈕/軸調整）Y方向影像像差調整電子束軸調整（5）MAGNIFICATION（倍率鈕）影像縮小放大（6）CONTRAST（對比鈕）影像對比度調整（7）BRIGHTNESS（明暗度鈕）影像明暗度調整（8）FOCUS（聚焦鈕）影像焦距調整Ⅱ、操作視窗介紹目錄列 工具列加速電壓設定掃描速度模式選擇 自動明亮對比調整自動聚焦調整自動像差調整影像掃描/凍結影像調整視窗放大倍率顯示功能選擇列 分析模式選擇影像擷取電子式影像位移波形顯示真空程度顯示影像掃描視窗 狀態列粗調設在”50”微調設在”0”高解析度、高倍率模式 大聚焦深度或低倍率模式工具列組成像 凹凸像3D 像高解析模式 標準模式 立體影像Ⅲ、開關機程序 （A ） 開機程序(1) 打開冷卻循環水槽。
＊ 確認水流量設定在1至1.5公升/分鐘的流量，水流量計在電子槍體之左側。
（2）打開NFB(在配電盤上)主電源開關。
(3) 打開EVAC POWER 真空系統電源開關，打開後RP 會開始運轉，真空操作面板上的LOW 指示燈及WAIT 指示燈會亮。
(4) 將真空控制板上的EVAC/AIR 按鍵，押至EVAC 位置。
＊溫機大概約20分鐘左右，WAIT 燈會熄滅，自動真空系統啟動，再等3分鐘之後，LOW 指示燈熄滅，抽至高真空時HIGH 的指示燈會亮。
(5) 將操作系統的電源開關DISPLAY POWER 開關打開。
冷卻循環水槽EV AC POWERI ONEVAC POWER真空系統電源開關真空操作面板(6) PC 進入Windows 2000 (profession. Workstation Version)版之操作系統。
(7) 然後出現訊息指示＂Press Ctrl+Alt+Delete to log on＂出現在螢幕上，即按下Ctrl、Alt 和Delete 鍵在鍵盤上同時按下。
(8) 上步驟(7)做完之後，下一步會進入 user name 及Password，輸入正確的使用者名稱及密碼註冊後，隨及進入操作畫面。
使用者名稱：PC-SEM 密 碼：沒有設定user name 和password 設完成後將OK 按下即可進入。
（B） 關機程序加速電壓開關真空操作面板EVAC POWER真空系統電源開關（1） 當有加速電壓Vacc ON 時，將HV按下，把加速電壓關掉。
（2）拉下File 視窗，選擇Exit ，結束S-3000N應用軟體(也可押右上角關閉)。
(3) 然後按照一般電腦的軟體關機程序(在start 視窗中，選擇 shut Down (U)會出現“Shut down the computer＂的訊息時選YES)之後會出現 “It is now safe to turn off your computer＂的訊息在螢幕上。
(4) 真空控制面板選擇EVAC 之位置，將真空抽至high(綠燈亮) 狀態。
(5)先關掉DISPLAY 開關後，再關EVAC 開關。
＊關機前請確認樣品已取出，及恢復高真空狀態。
(6) 關閉NFB(在配電盤上)主電源開關。
(7)等待約30分鐘，冷卻diffusion 泵浦，再關閉冷卻循環水。
EV AC POWERI ONⅣ、樣品的置換（A ） 放置樣品於樣品座上樣品準備樣品支撐座（1） 將樣品利用碳膠帶固定於樣品鋁台上。
（2） 將樣品鋁台安置於樣品支撐座上。
＊將固定環轉緊以避免樣品鋁台鬆動。
（3）利用標準樣品高度計量器檢查樣品高度。
正常影像標準樣品高度計量器（B ）樣品的置入（1）當加速電壓在打開時，請確認HV是否關掉，若無將HV OFF。
（2）在真空控制板上EVAC/AIR 按鍵，按下至AIR，此時LOW 的指示燈亮，真空室內進入空氣，樣品室將會破真空。
加速電壓關閉(3) 一段時間後就可以拉出樣品座。
＊在拉出樣品座前，請確認每一個樣 品座旋鈕的位置：X=30mm Y=20mm T=0∘ Z=EX R=as desired(4) 把做好的樣品，放入樣品座的凹槽中。
(5) 把樣品座推回 Chamber 中，然後按下EV AC/ AIR 的EV AC 設定。
＊如果背向電子偵測器已放入，請確認Z 軸(工作距離)設定在15~35mm ，T 軸在0度，再推回樣品座。
(6) 等待大約3~4分鐘，抽到HIGH 高真空指示燈亮起。
(7) 真空達到時，真空計狀態會變成藍色，在工具列中HV 鍵會出現，並可被選擇加速電壓設定RT Y XZ樣品座樣品座的凹槽真空計狀態（C）高真空模式設定（樣品為導電物質或表面有鍍金，可做高解析影像）高真空模式可觀察二次電子（SE）影像與反射電子影像（BSE）。
BSE反射電子偵測器放入BSE偵測器位置BSE偵測器拉出位置（1） 當只觀察二次電子影像時，請拉出反射電子偵測器，因反射電子偵測器會限制樣品移動距離。
＊ 拉出反射電子偵測器時請小心，拉出直到止滑卡榫卡進偵測器為止。
（2）觀察背向電子影像時，放入BSE反射電子偵測器。
鬆開固定旋鈕，拉起止動桿，小心放入BSE偵測器。
＊放入BSE反射電子偵測器前，請確認工作距離為15~35mm之間，頃斜角度0∘，主要是保護BSE反射電子偵測器，避免碰撞危害。
＊完全放入BSE偵測器，觀察的是組成像（composition image ）和凹凸像（topographic image）；如果只放入一半，觀察的是3D像。
此時請固定固定旋鈕，在觀察凹凸像時，請把工作距離為15~35mm之間。
（3）在Vacuum Mode 視窗中選擇SEM（High Vacuum Mode）高真空模式。
（4）在Signal Setup視窗中，選擇影像的訊號來源偵測器、雙倍率的右邊、線分析和指定訊號源。
＊如果要看二次電子影像，請確認Post HV後段加速電壓要打開。
Signal Setup視窗（D）低真空模式設定（樣品為非導體或無經過表面處理，可以避免電荷累積）在低真空模式只能觀察BSE反射電子影像，二次電子偵測器是無法使用的。
vacuum mode 視窗低真空調整值目前真空值（1）在Vacuum Mode 視窗中，設定為低真空模式（VP-SEM）並調整為適當的真空值。
在真空控制面板上N-SEM指示燈會亮起。
＊實際真空值調整與設定一致，大約需要兩分鐘。
（2）放入BSE反射電子偵測器。
＊放入BSE反射電子偵測器前，請確認工作距離為15~35mm之間，頃斜角度0∘，主要是保護BSE反射電子偵測器，避免碰撞危害。
（3）用完時，請將BSE反射電子偵測器拉出，並將真空設定選擇Highvacuum Mode。
Ⅴ、影像的觀察（A ） 加速電壓的設定（1）按下 HV 按鍵，打開加速電壓。
(再押一下為關閉加速電壓)＊ 紅色為ON ，沒有顏色為OFF ，其加速電壓值與電流值會顯示在旁。
（2）依照樣品種類、分析目的及解析度要求更改電壓設定值。
在HV Control 視窗中，拉下Vacc.下拉視窗設定加速電壓。
（3）請確認加速電壓與放射電流值顯示。
加速電壓開啟電壓與電流值顯示視窗HV Control 視窗加速電壓與放射電流值顯示視窗（B） 影像亮度、對比調整自動調整視窗操作面板手動焦距調整（1） 自動：按下 ABC 自動調整，調整影像會凍結而螢幕上出現“ABC mode in process” 的訊息，當蜂鳴聲響起時，螢幕又回復到掃描影像時，自動調整完成，此時影像所呈現的對比與亮度，就是自動調整後的結果。
＊如果一次仍無法達到最佳狀況，可以再選ABC數次。
如果要更改ABC的設定，可在ImageSetup功能中進行。
＊如果ABC一直無法達到理想效果，可能是因為樣品表面太平滑，此時請利用手動來調整。
（2） 手動：使用BRIGHTNESS &CONTRAST調整旋鈕，調整影像適當的亮度與對比。
＊可利用選擇波形顯示，螢幕會出現訊號波形，請將波形的最高與最低的地方，調整到上下各兩條間帶之中即可，此時就是最佳的明暗與對比（1） 自動：壓 AFCC 自動調整啟動，進行期間影像會被凍結，螢幕上會出現”A.F.C. Mode InProcess” 的訊息，當結束後會有蜂鳴聲提醒使用者，且自動調整後影像會回到掃描狀態。
＊ 自動焦距調整有時會因樣品狀態平滑缺乏對比而失敗，請改用手動操作。
＊ 如果自動聚焦功能不理想，請先做孔徑準位與燈絲準位的調整（2） 手動：一邊使用聚焦調整旋鈕，一邊觀察影像調整的結果。
自動明亮對比調整電子式影像掃描位移（D） 觀察區域的選擇：操作面板倍率顯示視窗（E） 像差的調整自動調整視窗操作面板（1） 首先把放大倍率放到最低，然後用樣品座上的X、Y、Z、R 旋鈕找到欲觀察的區域，然後逐次加放大倍率，直到最適當為止。
（2） 當在放大倍率時(幾千倍或更高)，這時可使用電子式影像掃描位移IMAGE SHIFT，此時可使用電子式影像掃描位移旋鈕X、Y 。
＊ 電子式影像掃描位移在工作距離15mm時，大約可做最大有+/-20μm X,Y 方向的位移，如需更多請使用樣品座上的旋鈕來調整。
（1） 自動：壓ASF像差自動調整啟動，進行期間影像會被動凍結，而螢幕上出現”A.S.F Mode In Process” 的訊息，當結束後會有蜂鳴聲提醒使用者，且自動調整後的影像會回到掃描狀態顯示。
＊ 自動像差調整，有時會因樣品表面狀態平滑缺乏對比而失敗，請改用手動操作。
＊ 在進行像差調整前，聚焦一定要先做好，否則結果是不正確的。