IC行业特种气体简介
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➢维护客户（评估更多的产品；客户的口碑是最好 的广告） ➢自我总结、加强学习、提升自我
2020/2/19
谢谢！
交流时间
2020/2/19
➢ 离子注入
BF3 SF6 Xe （ 红磷、黄磷、金属砒霜 ）
➢ PR（印刷）
F2 He Kr Ne
➢ 扩散
H2 POCl3
➢ DRY
He CF4 C4F8 C5F8 CHF3 CH2F2 Cl2 HBr BCl3 SF6 CO
➢ CVD
TEOS TEB TEPO PH3 ClF3 SiH2Cl2 NF3 SiH4 NH3 He N2O WF6 C2F6 TiCl4 CH4
1
1%CH3SiH3/H2
1
1%AsH3/H2(11.8MPa)
1
国内6寸以上芯片客户不完全统计
所在区域 长三角
珠三角 京津唐及陕西
华中 西北 2020/2/19 东北
名称 台积电（中国）
中芯国际 华力微电子 上海先进半导体
华宏NEC 宏力半导体 无锡海力士 无锡华润上华
苏州和舰
深圳深爱半导体 深圳方正微电子 深圳中芯国际 天津中芯国际
2020/2/19
特气在IC行业里面的应用
电子特气广泛应用于IC行业的如下工艺： ➢薄膜沉积； ➢刻蚀； ➢掺杂； ➢钝化； ➢清洗； ➢或用作载气、保护气氛等等。
2020/2/19
特气在IC体制造中的应用-工艺
Material Preparation: -Epitaxial Growth (Optional)
25
C4F8
24
ClF3 (40kg)
18
SDS3 BF3 (330g)
15
Xe
14
Ar(3.4L)
13
Kr+F2+Ne
12
20ppmB2H6/H2 (5N)
ቤተ መጻሕፍቲ ባይዱ
12
10%CH4+Ar
9
PH3 (Phosphine)
8
AsH3 (Arsine)
8
Ar(1L)
8
CO2(10L)
8
C4F6 GAS
5
AsH3 SDS3,5N5 2.5L
2020/2/19
特气在IC制造中的应用-用量
感官认识： 一个八寸的芯片厂 每年气体的使用金 额约为5千万元人民 币。
2020/2/19
品名
年用量 （瓶）
NF3
628
C2F6
551
SiH4(12Kg)
458
NH3
263
N2
258
HCL(47L)
251
He+SiH4 20%
198
N2O
180
N2+SiH4 20%
-Plasma -Wet Etching
Final Text Ship to Customer
LPCVD Metal CVD
PECVD SACVD APCVD
EPI
2020/2/19
Other Processing: -Ion Implant -Diffusion
-CMP
特气使用
Dry Etch
特气在IC制造中的应用-原理
147
He
81
CO2(30kg)
77
1.25%Kr+Ne
73
SF6
66
CO
66
CF4
62
BF3(3.4L)
59
WF6
51
BF3(1L)
51
Cl2
43
4%N2/H2
42
BCl3
36
SiHCL3(TCS,41Kg)
35
HBr
32
N2（6N）
31
SiH2Cl2
30
C3F8
30
He+PH3 1%
25
CHF3
固态
气态,可被排出腔体
• 掺杂: (如 Implant/DOPOS) PH3+H2混气等 • 刻蚀: 刻蚀气体
SiO2+CF4*→SiF4↑+CO↑+CO2↑
固态
气态,可被排出硅片及腔体
主要应用： 反应 载气 腔体清洁 掺杂 刻蚀
2020/2/19
特气在IC制造中的应用-分类
➢ 大宗气体
N2 O2 Ar
Photolithography
-Resist Coat -Bake
-Exposure
Wafer-Probe Test (Front end or back end)
Assembly
Deposit or Grow Film
-Oxidation -Metallization -CVD
Etch Film
IC行业特种气体简介
主讲部门：华特销售部 主讲部门负责人：张均华 主讲人：李渊
IC的定义
IC即集成电路，是采用半导体制作工艺 ，在一块较小的单晶硅片上制作上许多晶 体管及电阻器、电容器等元器件，并按照 多层布线或遂道布线的方法将元器件组合 成完整的电子电路。
IC行业通常包括设计、制造及封装三大 块。与我们气体相关主要是其制造模块， 另外封装模块也涉及很少的一部分。
• CVD Deposition:
反应气
SiH4+N2(Carrier gas)+NH3 plasma & heat SixNy + H2 + N2 + other volatiles
载气
• CVD Chamber clean
清洁气体
NF3+ SixNy plasma SiF4+N2+other volatile
华特气体在芯片行业的竞争力
➢ 国内本土厂商:承担国家02专项项目（C2F6、CHF3）。 ➢ 产品种类齐全：C2F6、CF4、SF6、CHF3、C3F8、C4F8
、NO（3N）、NH3、C02、CO（4N）、SiH4等。 ➢ 良好的品牌效应（已经供应的客户）
中芯国际（8寸、12寸）
➢ 性价比高，确实降低客户的成本 ➢20快20/2/捷19 的物流配送（交货期短、应急反映迅速）
如何开发芯片行业客户
个人经验，与大家探讨。 ➢要有信心，相信自己的产品；心态很重要 ➢熟悉自己的产品（规格、用户、市场行情） ➢如何开拓客户
信息收集（统计相关区域内的所有IC厂商） 信息处理（筛选具有价值的客户） 找到相关联系人（关键人：每个公司的情况不一样） 与客户沟通（了解客户的使其用情况；成本、性价比、交货期等；邮件、电话、展 会、拜访）
已报价
已发样品 已发样品
芯片厂商对客户要求
➢ 合法 ➢ 安全 ➢ 可靠的质量管理体系 ➢ 有效的质量监控手段 ➢ 稳定有效的管理团对 ➢ 强大的技术研发实力 ➢ 物流能力 ➢ 专用危险品仓储场所
2020/2/19
芯片厂商对特气评价流程
➢ 供应厂商的资质 ➢ 气体规格的确认/比较 ➢ 控片/实验片上基础数据的确认 ➢ 小量产品的实验评价 ➢ 中量产品的实验评价 ➢ 大量产品的实验评价 ➢ 品质管理体系的审核 ➢ 量产审查通过 ➢ 成为合格供应商
5
Ar+O2 1%
5
Xe(30L)
4
ND3 (2N 29.5L)
4
CH3F GAS
4
PH3 SAGE, B49/4.711KG,ATMI
3
50ppm PH3/H2
3
He(10L,5N,Purge Gas)
2
CH2F2
2
C5F8
2
SiF4(SDS)
1
300ppm B2H6/H2(9.81MPa)
1
1.5%GeH4/H2
2020/2/19
IC行业有竞争力的气体公司和产品
➢ 氟碳化合物（C2F6、CF4、SF6等C1-C4产品） 日本企业（昭和、住友以及大阳日酸） 绿菱气体（CF4、C2F6、CHF3等） 黎明化工院（SF6、C2F6等）
➢ N02:林德气体 ➢ NF3和WF6:718所 ➢ 硅烷：AP
2020/2/19
北京中芯国际 西安三星
武汉中芯国际 长沙创芯 南车
成都德州仪器 中航微电子 重庆渝芯 大连因特尔
规模 8寸 8寸 12寸 8寸 8寸 8寸 12寸 8寸、6寸 8寸
6寸 6寸 12寸 8寸 8寸 12寸 12寸 6寸 6寸 8寸 8寸 8寸 12寸
备注 已在供应 正在评估 初试已经通过 已在供应
已在供应 正在评估
2020/2/19
谢谢！
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➢ 离子注入
BF3 SF6 Xe （ 红磷、黄磷、金属砒霜 ）
➢ PR（印刷）
F2 He Kr Ne
➢ 扩散
H2 POCl3
➢ DRY
He CF4 C4F8 C5F8 CHF3 CH2F2 Cl2 HBr BCl3 SF6 CO
➢ CVD
TEOS TEB TEPO PH3 ClF3 SiH2Cl2 NF3 SiH4 NH3 He N2O WF6 C2F6 TiCl4 CH4
1
1%CH3SiH3/H2
1
1%AsH3/H2(11.8MPa)
1
国内6寸以上芯片客户不完全统计
所在区域 长三角
珠三角 京津唐及陕西
华中 西北 2020/2/19 东北
名称 台积电（中国）
中芯国际 华力微电子 上海先进半导体
华宏NEC 宏力半导体 无锡海力士 无锡华润上华
苏州和舰
深圳深爱半导体 深圳方正微电子 深圳中芯国际 天津中芯国际
2020/2/19
特气在IC行业里面的应用
电子特气广泛应用于IC行业的如下工艺： ➢薄膜沉积； ➢刻蚀； ➢掺杂； ➢钝化； ➢清洗； ➢或用作载气、保护气氛等等。
2020/2/19
特气在IC体制造中的应用-工艺
Material Preparation: -Epitaxial Growth (Optional)
25
C4F8
24
ClF3 (40kg)
18
SDS3 BF3 (330g)
15
Xe
14
Ar(3.4L)
13
Kr+F2+Ne
12
20ppmB2H6/H2 (5N)
ቤተ መጻሕፍቲ ባይዱ
12
10%CH4+Ar
9
PH3 (Phosphine)
8
AsH3 (Arsine)
8
Ar(1L)
8
CO2(10L)
8
C4F6 GAS
5
AsH3 SDS3,5N5 2.5L
2020/2/19
特气在IC制造中的应用-用量
感官认识： 一个八寸的芯片厂 每年气体的使用金 额约为5千万元人民 币。
2020/2/19
品名
年用量 （瓶）
NF3
628
C2F6
551
SiH4(12Kg)
458
NH3
263
N2
258
HCL(47L)
251
He+SiH4 20%
198
N2O
180
N2+SiH4 20%
-Plasma -Wet Etching
Final Text Ship to Customer
LPCVD Metal CVD
PECVD SACVD APCVD
EPI
2020/2/19
Other Processing: -Ion Implant -Diffusion
-CMP
特气使用
Dry Etch
特气在IC制造中的应用-原理
147
He
81
CO2(30kg)
77
1.25%Kr+Ne
73
SF6
66
CO
66
CF4
62
BF3(3.4L)
59
WF6
51
BF3(1L)
51
Cl2
43
4%N2/H2
42
BCl3
36
SiHCL3(TCS,41Kg)
35
HBr
32
N2（6N）
31
SiH2Cl2
30
C3F8
30
He+PH3 1%
25
CHF3
固态
气态,可被排出腔体
• 掺杂: (如 Implant/DOPOS) PH3+H2混气等 • 刻蚀: 刻蚀气体
SiO2+CF4*→SiF4↑+CO↑+CO2↑
固态
气态,可被排出硅片及腔体
主要应用： 反应 载气 腔体清洁 掺杂 刻蚀
2020/2/19
特气在IC制造中的应用-分类
➢ 大宗气体
N2 O2 Ar
Photolithography
-Resist Coat -Bake
-Exposure
Wafer-Probe Test (Front end or back end)
Assembly
Deposit or Grow Film
-Oxidation -Metallization -CVD
Etch Film
IC行业特种气体简介
主讲部门：华特销售部 主讲部门负责人：张均华 主讲人：李渊
IC的定义
IC即集成电路，是采用半导体制作工艺 ，在一块较小的单晶硅片上制作上许多晶 体管及电阻器、电容器等元器件，并按照 多层布线或遂道布线的方法将元器件组合 成完整的电子电路。
IC行业通常包括设计、制造及封装三大 块。与我们气体相关主要是其制造模块， 另外封装模块也涉及很少的一部分。
• CVD Deposition:
反应气
SiH4+N2(Carrier gas)+NH3 plasma & heat SixNy + H2 + N2 + other volatiles
载气
• CVD Chamber clean
清洁气体
NF3+ SixNy plasma SiF4+N2+other volatile
华特气体在芯片行业的竞争力
➢ 国内本土厂商:承担国家02专项项目（C2F6、CHF3）。 ➢ 产品种类齐全：C2F6、CF4、SF6、CHF3、C3F8、C4F8
、NO（3N）、NH3、C02、CO（4N）、SiH4等。 ➢ 良好的品牌效应（已经供应的客户）
中芯国际（8寸、12寸）
➢ 性价比高，确实降低客户的成本 ➢20快20/2/捷19 的物流配送（交货期短、应急反映迅速）
如何开发芯片行业客户
个人经验，与大家探讨。 ➢要有信心，相信自己的产品；心态很重要 ➢熟悉自己的产品（规格、用户、市场行情） ➢如何开拓客户
信息收集（统计相关区域内的所有IC厂商） 信息处理（筛选具有价值的客户） 找到相关联系人（关键人：每个公司的情况不一样） 与客户沟通（了解客户的使其用情况；成本、性价比、交货期等；邮件、电话、展 会、拜访）
已报价
已发样品 已发样品
芯片厂商对客户要求
➢ 合法 ➢ 安全 ➢ 可靠的质量管理体系 ➢ 有效的质量监控手段 ➢ 稳定有效的管理团对 ➢ 强大的技术研发实力 ➢ 物流能力 ➢ 专用危险品仓储场所
2020/2/19
芯片厂商对特气评价流程
➢ 供应厂商的资质 ➢ 气体规格的确认/比较 ➢ 控片/实验片上基础数据的确认 ➢ 小量产品的实验评价 ➢ 中量产品的实验评价 ➢ 大量产品的实验评价 ➢ 品质管理体系的审核 ➢ 量产审查通过 ➢ 成为合格供应商
5
Ar+O2 1%
5
Xe(30L)
4
ND3 (2N 29.5L)
4
CH3F GAS
4
PH3 SAGE, B49/4.711KG,ATMI
3
50ppm PH3/H2
3
He(10L,5N,Purge Gas)
2
CH2F2
2
C5F8
2
SiF4(SDS)
1
300ppm B2H6/H2(9.81MPa)
1
1.5%GeH4/H2
2020/2/19
IC行业有竞争力的气体公司和产品
➢ 氟碳化合物（C2F6、CF4、SF6等C1-C4产品） 日本企业（昭和、住友以及大阳日酸） 绿菱气体（CF4、C2F6、CHF3等） 黎明化工院（SF6、C2F6等）
➢ N02:林德气体 ➢ NF3和WF6:718所 ➢ 硅烷：AP
2020/2/19
北京中芯国际 西安三星
武汉中芯国际 长沙创芯 南车
成都德州仪器 中航微电子 重庆渝芯 大连因特尔
规模 8寸 8寸 12寸 8寸 8寸 8寸 12寸 8寸、6寸 8寸
6寸 6寸 12寸 8寸 8寸 12寸 12寸 6寸 6寸 8寸 8寸 8寸 12寸
备注 已在供应 正在评估 初试已经通过 已在供应
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