pcb图形电镀工艺教材

合集下载
  1. 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性,平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
  2. 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
  3. 3、如文档侵犯您的权益,请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间:9:00-18:30)。

图形电镀工艺教材

一. 图形电镀简介:

在平板电镀后,板件经过干膜曝光显影后需要经过图形电镀。

图形电镀的目的在于加大线路和孔内铜厚(主要是孔铜厚度),确保其导电性能和其他物理性能。根据不同客户不同板件的性能要求,一般孔壁铜厚在0.8mil-1.2mil之间(平板层+图电层),由板件特性决定其平板层和图电层的分配。

一般来说,平板电镀层仅保证可以保护稀薄的沉铜层即可,一般在0.3mil-0.4mil左右,特殊铜厚要求和线路分布不均除外,图形层则保证在0.4-0.6mil,在保证总铜厚的基础上,如果图形分布均匀,比较厚的图形层可以节省铜球耗用和蚀刻成本,提高蚀刻速度,降低蚀刻难度。反之,如果线宽要求不严,而图形分布不均线路孤立,则可以提高平板层厚度,降低图形电镀层厚度。

图形电镀后是蚀刻流程。

二. 图形电镀基本流程:

板件经过贴膜曝光显影后形成一定的线路,图形电镀就是针对干膜没有覆盖的铜面进行选择性加厚。

图形主要流程如下(水洗视条件不同,为一道至两道):

进板—除油—水洗—微蚀—水洗—酸浸(硫酸)—电镀铜—水洗—酸浸(氟硼酸)—电镀(铅)锡—水洗—出板—退镀(蚀夹具)—水洗—进板

1 .除油:

电镀除油流程为酸性除油,主要是除去铜面表面的污物。因板件经过干膜流程后,不可避免地会在板面带上手印、灰尘、油污等,为使板面洁净,保证平板铜层和图形铜层的层间结合力,必须在电镀前加上清洁板面的流程。

采用酸性环境除油效果比碱性除油差,但避免了碱性物质对有机干膜的攻击,主要成分为硫酸和供应商提供的电镀配套药水(安美特—FR,B图电\C图电\脉冲线;罗门哈斯—LP200,B(II)线;成分均为酸性表面活性剂)。

酸性除油剂的浓度测定是通过测定计算浓硫酸(98%)浓度来相对估算(无法直接测定,而配缸和消耗都是1:1比例),因此在换缸和补充的时候要保证两者要等量添加,以保证测定浓度和实际浓度的一致性。

2. 微蚀:

除油的微蚀流程主要作用为去除表面和孔内的氧化层,并将铜层咬蚀出微观上粗糙的界面,以进一步提高图形电镀层和平板层的结合力。

微蚀体系通常有两种:双氧水体系和过硫酸钠体系。图形电镀流程一般采用过硫酸钠和硫酸,硫酸起去除氧化,保持板面润湿的作用。

基本原理:S2O82-+ Cu →Cu2++ 2SO42-

另外,微蚀药水中应该保持一定浓度的铜离子(3-15g/l),以保证微蚀速率,微蚀速率控制在0.5μm -1.5μm/min为宜。因此微蚀缸的换缸一般要保留5-10%的母液。

3. 酸浸(电镀前):

板件进入镀缸前先进入酸浸缸,可以进一步去除氧化,减轻前处理清洗不良对镀缸的污染,并保持镀缸酸浓度的稳定。

酸浸的体系主要取决于镀液的组分体系,镀铜药水是硫酸体系,酸浸缸药水就采用硫酸,镀锡(铅锡)药水是氟硼酸体系,酸浸缸药水就采用氟硼酸。酸浸浓度和镀缸酸浓度也保持一致,以减少对镀缸酸浓度的稀释作用。

4. 镀铜:

4.1 基本原理

镀铜是通过电压的作用下,使阳极的铜氧化成为铜离子,铜缸的铜离子在阴极获得电子还原成铜:

阳极:Cu - 2e →Cu2+

阴极:Cu2+ + 2e →Cu

这是镀缸里的最主要的反应,在酸度不足的情况下,还可能出现还原不完全而产生一价铜,即所谓的“铜粉”,会导致镀层粗糙或呈海绵状,这种情况应该避免在电镀过程中出现。

4.2 主要成分及作用:

镀铜缸主要成分为硫酸铜、硫酸、微量氯离子、供应商提供的镀铜添加剂。

硫酸铜是镀液中主盐,它在水溶液中电离出铜离子,铜离子在阴极上获得电子沉积出铜镀层。较高硫酸铜浓度可以提高允许电流密度,避免高电流区烧焦,硫酸铜浓度过高,则会降低镀液分散能力。一般控制在50-80g/l之间,折合成铜离子约为12-20g/l。

硫酸的主要作用是增加溶液的导电性,硫酸的浓度对镀液的分散能力和镀层的机械性能均有影响,硫酸浓度太低,镀液分散能力下降,镀层光亮度下降;硫酸浓度太高,虽然镀液分散能力较好,但镀层的延展性降低。一般控制在100-150ml/l(98%)。

氯离子主要作用是使阳极溶解均匀,镀层平滑有光泽。氯离子正常时阳极膜呈黑色,过量则变成灰白色。氯离子不足容易使镀层出现发花,光泽低,而过高的氯离子容易使阳极钝化无法继续溶解。配槽以及补加水都要纯水,不可用自来水,因为里面加有氯气或漂白粉,会带入大量的氯离子。一般控制在40-80ppm 间。通常补充氯离子采用36.5%盐酸加入。

镀铜添加剂主要有两个组分:光亮剂、整平剂(调整剂),均为商品化产品,一般是一些含S或N的有机物。添加剂的作用为加速铜的沉积,改善其晶粒排布,以提高铜层的延展性等品质。光亮剂主要作用在电镀界面上,控制铜堆积的速率以保证沉积出来的铜层均匀光滑,从而使镀层光亮。整平剂(调整剂)主要吸附在阴极表面,尤其是电流密度较高的位置(例如孔的拐角部位和板件的边缘),从而对电沉积起到抑制作用,使镀层平整。没有添加剂或添加剂不足,铜将在板件上做无规律的堆积,产生凹凸不平和烧焦的铜层,从而无法保证镀层的物理性能。添加剂的补充主要是通过自动统计的电镀安培小时数按比例添加。

4.3 电镀条件及影响

电镀铜一般有以下几个重要的因素:温度、搅拌、过滤、电流、时间

温度:对镀液性能影响很大,温度提高,会导致允许的电流密度提高,加快电极反应速度,但温度过高,会加快添加剂的分解,使添加剂的消耗增加,同时镀层光亮度降低,镀层结晶粗糙。温度太低,虽然添加剂的消耗降低,但允许电流密度降低,高电流区容易烧焦。一般控制在20-30 ℃,最佳控制22-28 ℃。

搅拌:可以消除浓差极化,使镀液提高允许电流密度。搅拌一般通过使阴极(板件)移动(摇摆)和使溶液流动(打气或喷流循环)共同进行。

1)摇摆:通过摇摆轮带动摇摆杆的运动来实现阴极板件的移动。可以促进孔内的溶液流动,也能及时被赶出出现的气泡

2)打气:通过压缩空气搅拌对镀液进行的中度到强烈的翻动,对镀铜液而言,不仅使镀液能够充分地搅拌均匀,还能提供足够的氧气,促进溶液中的Cu+氧化

相关文档
最新文档