LED各种长晶方法优缺点比较分析

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缺点
1) 一般要用坩埚作容器,导致熔体有不同程 度的污染。 2) 当熔体中含有易挥发物时,则存在控制组 分的困难。
提拉法(CZ)
热交换法
泡生法(KY)
1) 由于可以把原料密封在坩埚里,减少了挥发造成的泄漏和污 染,使晶体的成分容易控制。 2) 操作简单,可以生长大尺寸的晶体。可生长的晶体品种也很 多,且易实现程序化生长。
1) 由于晶体在整个生长过程中直接与坩埚接 触,往往会在晶体中引入较大的内应力和较 多的杂质 2) 在晶体生长过程中难于直接观察,生长周 期也比较长 3) 如何使籽晶在高温区既不完全熔融,又必 须使它有部分熔融以进行完全生长,是一个 比较难控制的技术问题 1.对环境要求高,如不能很好控制,造成晶 体很多杂质。 2.热应力分部不均匀,晶体容易裂。
LED各种长晶方法优缺点比较分析 LED各种长晶方法优缺点比较分析
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蓝宝石晶体不同工艺优缺点比较
蓝宝石生长方法 优点
1) 在生长过程中,可以直接观察晶体的生长状况,这为控制晶 体外形提供了有利条件 2) 晶体在熔体的自内表面处生长,而不与坩埚相接触,能够显 著减小晶体的应力并防止坩埚壁上的寄生成核 3) 可以方便地使用定向籽晶的和“缩颈”工艺,得到不同取向 的单晶体,降低晶体中的位错密度,减少镶嵌结构,提高晶体的 完整性 1) 扰 2) 3) 4) 5) 固/液界面位于坩埚内,且没有拉伸的动作,不易受到外力干 由改变坩埚的外形就能改变晶体的形状 能够分别控制熔区及固化区之温度梯度 可减少浮力对流之影响 易于生长大尺寸晶体 1) 不适于生长强烈腐蚀坩埚的材料 2) 生产过程会引入较大内应力
1.晶体缺陷比较大,底部籽晶生长情况不便于观察
火焰法 坩埚下降法
可进行原材料烧结,可以保证密度是4 的晶体,生产成本低。 相对气泡少
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