5代线玻璃基板标准
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机械特性
密度
<2.55
g/cm(20℃)
杨氏模量
>7000
Kgf/mm2
剪切模数
>2600
Kgf/mm2
光学特性
透射率
>90%
波长400~800nm
折射率指数变化率
<0.003
Nd line at 587.6nm
电学特性
介电常数
>5
1MHZ,RT
传导损耗因数
<0.2
%,1MHZ,RT
3、成品的外观指标
项目
规格
备注
厚度
0.7（0.63）±0.05mm
厚度偏差
≤30μm
尺寸偏差
±0.5mm
直角度
±L/1000
翘曲度
≤500μm
全幅
≤300μm
300mm×400mm
波纹度
≤0.06μm
0.8~8mm波长
波纹度
≤0.33μm
8~25mm波长
内部缺陷
≥100μm不可见
5klux光照强度卤素灯
表现缺陷
A面，不可见
W（mm）×L（mm）×T（mm）
1100×1300×0.7
长度-拉引方向
mm
1300~1360
板宽
mm
1100
厚度
mm
0.7
面积
m2
1.43
重量
kg
~2.513
2、玻璃物理特性
项目
规格
单位
热稳定性
热膨胀系数
32~38.5
10-7/℃（33~380℃）
软化点
>920
℃
退火点
>700
℃
应变点
>640
℃
掉片
切割掉片
肉眼或自动检查仪
400×500μm
Bevel Chip
肉眼或自动检查仪
400×1500μm
划伤
A面划伤
肉眼或自动检查仪
从5000（卤素灯）LUX中看出不允许
B面划伤
肉眼或自动检查仪
从1500（荧光灯）LUX中看出不允许
污染物
A面污染物
肉眼或自动检查仪
从5000（卤素灯）LUX中看出不允许
直角度
直角度测量仪
≤1/1000mm（Glass最终长度）
直线性
直角规
≤1.2mm
平均厚度
厚度测量仪
0.7±0.02mm
最大/最小厚度
0.7±0.04mm
翘曲
翘曲测量仪
≤0.5mm
（2）外观品质
项目
判定基准
规格
内含物（气泡）
肉眼或自动检查仪
≤100μm
白金、结石
肉眼或自动检查仪
≤100μm但是突出时不允许
32~38.5
10-7/℃（33~380℃）
热膨胀仪
软化点
950±10
℃
软化点测试仪
退火点
>700
℃
退火应变点测试仪
应变点
>640
℃
退火应变点测试仪
机械特性
密度
<2.55
g/cm(20℃)
密度仪
杨氏模量
>7000
Kgf/mm2
万能测试仪
剪切模数
>2600
Kgf/mm2
万能测试仪
光学特性
透射率
>90%
波长400~800nm
光透过率测量仪
折射率指数变化率
<0.003
Nd line at 587.6nm
折射仪
B面污染物
肉眼或自动检查仪
从1500（荧光灯）LUX中看出不允许
ADG
A面ADG
肉眼或自动检查仪
从5000（卤素灯）LUX中看出不允许
B面ADG
肉眼或自动检查仪
从1500（荧光灯）LUX中看出不允许
玻璃表面＞1μm颗粒
颗粒检查仪
≤0.075ea/cm2
（3）产品理化性能
项目
规格
单位
判断基准
热稳定性
热膨胀系数
5代线玻璃基板基本标准及参数
1、玻璃基板数据
项目
单位
密度
Kg/m3(20℃)
<2550
素板数据
规格尺寸
W（mm）×L（mm）×T（mm）
1160×1340×0.7
长度-拉引方向
mm
1340~1360
板宽
mm
1140~1160
厚度
mm
0.63~0.7
面积
m2
1.554
重量
kg
~2.730
基板数据
规格尺寸
10klux卤素灯
B面，不可见
1.5klux荧光灯
粗糙度
＜0.02μm
＜0.8nm波长
再热收缩率
＜20ppm
400℃恒温一小时
4、质量指标测量方法
（1）尺寸品质
项目
判定基准
规格
尺寸
产品尺寸
卡尺（1/100）
1100.00±0.5/1300±0.5mm
标记角
放大镜
5.00±0.5mm
切割角
放大镜
1.5±0.5mmቤተ መጻሕፍቲ ባይዱ
密度
<2.55
g/cm(20℃)
杨氏模量
>7000
Kgf/mm2
剪切模数
>2600
Kgf/mm2
光学特性
透射率
>90%
波长400~800nm
折射率指数变化率
<0.003
Nd line at 587.6nm
电学特性
介电常数
>5
1MHZ,RT
传导损耗因数
<0.2
%,1MHZ,RT
3、成品的外观指标
项目
规格
备注
厚度
0.7（0.63）±0.05mm
厚度偏差
≤30μm
尺寸偏差
±0.5mm
直角度
±L/1000
翘曲度
≤500μm
全幅
≤300μm
300mm×400mm
波纹度
≤0.06μm
0.8~8mm波长
波纹度
≤0.33μm
8~25mm波长
内部缺陷
≥100μm不可见
5klux光照强度卤素灯
表现缺陷
A面，不可见
W（mm）×L（mm）×T（mm）
1100×1300×0.7
长度-拉引方向
mm
1300~1360
板宽
mm
1100
厚度
mm
0.7
面积
m2
1.43
重量
kg
~2.513
2、玻璃物理特性
项目
规格
单位
热稳定性
热膨胀系数
32~38.5
10-7/℃（33~380℃）
软化点
>920
℃
退火点
>700
℃
应变点
>640
℃
掉片
切割掉片
肉眼或自动检查仪
400×500μm
Bevel Chip
肉眼或自动检查仪
400×1500μm
划伤
A面划伤
肉眼或自动检查仪
从5000（卤素灯）LUX中看出不允许
B面划伤
肉眼或自动检查仪
从1500（荧光灯）LUX中看出不允许
污染物
A面污染物
肉眼或自动检查仪
从5000（卤素灯）LUX中看出不允许
直角度
直角度测量仪
≤1/1000mm（Glass最终长度）
直线性
直角规
≤1.2mm
平均厚度
厚度测量仪
0.7±0.02mm
最大/最小厚度
0.7±0.04mm
翘曲
翘曲测量仪
≤0.5mm
（2）外观品质
项目
判定基准
规格
内含物（气泡）
肉眼或自动检查仪
≤100μm
白金、结石
肉眼或自动检查仪
≤100μm但是突出时不允许
32~38.5
10-7/℃（33~380℃）
热膨胀仪
软化点
950±10
℃
软化点测试仪
退火点
>700
℃
退火应变点测试仪
应变点
>640
℃
退火应变点测试仪
机械特性
密度
<2.55
g/cm(20℃)
密度仪
杨氏模量
>7000
Kgf/mm2
万能测试仪
剪切模数
>2600
Kgf/mm2
万能测试仪
光学特性
透射率
>90%
波长400~800nm
光透过率测量仪
折射率指数变化率
<0.003
Nd line at 587.6nm
折射仪
B面污染物
肉眼或自动检查仪
从1500（荧光灯）LUX中看出不允许
ADG
A面ADG
肉眼或自动检查仪
从5000（卤素灯）LUX中看出不允许
B面ADG
肉眼或自动检查仪
从1500（荧光灯）LUX中看出不允许
玻璃表面＞1μm颗粒
颗粒检查仪
≤0.075ea/cm2
（3）产品理化性能
项目
规格
单位
判断基准
热稳定性
热膨胀系数
5代线玻璃基板基本标准及参数
1、玻璃基板数据
项目
单位
密度
Kg/m3(20℃)
<2550
素板数据
规格尺寸
W（mm）×L（mm）×T（mm）
1160×1340×0.7
长度-拉引方向
mm
1340~1360
板宽
mm
1140~1160
厚度
mm
0.63~0.7
面积
m2
1.554
重量
kg
~2.730
基板数据
规格尺寸
10klux卤素灯
B面，不可见
1.5klux荧光灯
粗糙度
＜0.02μm
＜0.8nm波长
再热收缩率
＜20ppm
400℃恒温一小时
4、质量指标测量方法
（1）尺寸品质
项目
判定基准
规格
尺寸
产品尺寸
卡尺（1/100）
1100.00±0.5/1300±0.5mm
标记角
放大镜
5.00±0.5mm
切割角
放大镜
1.5±0.5mmቤተ መጻሕፍቲ ባይዱ