测量系统线性分析报告

X0 0.00 0.42 9.10 12.80 23.90
(X0-Xbar)2
△
△1/2
Y回
85.45 0.232003 0.481667 -0.01486
95%下
限 -0.451
77.86 0.212584 0.461068 -0.01799 -0.435
0.02 12.65 214.80
0.013386 0.1157 -0.08273 0.045692 0.213757 -0.11032 0.563001 0.750334 -0.1931
-0.022 -0.001 -0.009 -0.023 -0.004 -0.007 0.002 -0.003 -0.014 -0.025 -0.002 -0.013 -0.012 -0.010 -0.002
-0.010
3
4
5
9.100 12.800 23.900
9.780 11.900 23.700
6
7
8
偏倚值
9
10 11
12
13 14
偏倚15均
值
15.36353 Lxx＝ 5861.681
-43.7164 α＝
0.05
1 0.000
0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000
0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000
0.000
2 0.420
0.398 0.419 0.411 0.397 0.416 0.413 0.422 0.417 0.406 0.395 0.418 0.407 0.408 0.410 0.418
0.150 -0.700 -0.600
-0.050 -0.400 0.000
0.360 -1.100 0.700
0.210 -0.500 -0.500
0.170 -0.100 0.600
0.770 -0.900 0.000
Baidu Nhomakorabea0.760 -0.900 0.000
0.190 0.000 -0.700
0.230 -0.900 0.200
MSA—线性分析报告
日期：
测量过程
Ni层厚度
产品名称
校准片、装饰圈
测量次数 15
置信度 95%
样品数量 5
操作者
量具名称 量具编号 量具精度
分析人
XDL-B测厚仪 XH-JS-CHY-001
0.001μm
Lyy＝ Lxy＝
试验
样品
基准值
1
2
3 4
5
6
原始数
7
8
据
9
10
11
12 13
14
15 1
2
3
4 5
7.960 12.000 23.600
9.250 12.100 23.300
9.050 12.400 23.900
9.460 11.700 24.600
9.310 12.300 23.400
9.270 12.700 24.500
9.870 11.900 23.900
9.860 11.900 23.900
0.570 -0.600 0.500
0.230 0.300 -1.100
0.450 -1.200 0.100
0.280 -0.500 0.500
0.257 -0.613 -0.053
最佳拟 合线公 式 tα/2S(ne-＝2) 0.453865 a＝ ＝ 1.992997 b＝
-0.00746 -0.01486
下0.限1 最
大值
-0.1
-0.2256 -0.2256
8.7931
偏倚＝0
-0.3
-0.5
-0.7
-0.9 0
5
10
15
20
25
30
结论
① 偏移 ＝0线完 全在置 信区间 内,该线 性可接 ② 经回 归系数 检验,测 量系统 可接受, 不存在 线性问
结论
③ 测量 系统存 在相同 的偏倚, 且偏倚 值为0。
9.290 12.800 23.200
9.330 11.900 24.100
9.670 12.200 24.400
9.330 13.100 22.800
9.550 11.600 24.000
9.380 12.300 24.400
0.680 -0.900 -0.200
-1.140 -0.800 -0.300
-0.187 -0.304 -0.872
95%上 限
0.421
0.399
0.022 0.083 0.486
回归系数检验 │ta│ 1.25808 │tb│ 0.19595
tα/2(n-2) 1.993
线性检验图
0.5
上限最 0小.3值
0.0457 0.0457 11.362
y = -0.0075x - 0.0149 R²= 0.053