微型近红外光谱仪系统的设计剖析

微型近红外光谱仪系统的设计

1 微型近红外光谱仪系统相关理论

1.1 近红外光谱仪系统的工作原理

近红外光谱是由于分子振动能级的跃迁(同时伴随转动能级跃迁)而产生的。近红外分析技术是依据被检测样品中某一化学成分对近红外光谱区的吸收特性而进行定量检测的一种方法，它记录的是分子中单个化学键基频振动的倍频和合频信息，它的光谱是在700--2500 nm 范围内分子的吸收辐射。这与常规的中红外光谱定义一样，吸收辐射导致原子之间的共价键发生膨胀、伸展和振动，中红外吸收光谱中包括有C-H 键、C-C 键以及分子官能团的吸收带。然而在NIR 测量中显示的是综合波带与谐波带，它是R-H 分子团(R 是O、C、N 和S)产生的吸收频率谐波，并常常受含氢基团X-H(C-H、N-H、O-H)的倍频和合频的重叠主导，所以在近红外光谱范围内，测量的主要是含氢基团X-H 振动的倍频和合频吸收。

图1.1是近红外技术的分析过程图，左侧箭头是建模过程，右侧箭头是检测过程。

图1.1近红外技术分析过程图

1.2 近红外光谱仪光学系统基本理论

在近红外光谱分析系统中，用于测量近红外光谱的近红外光谱仪是系统的基础，而分光光学系统是光谱仪的核心。

1.2.1 色散原理

色散系统是光谱分析仪器中的重要组成部分，色散系统的选择与设计直接关系到光谱仪器的性能。按其工作原理可分为空间色散型和干涉调制型。空间色散

型包括物质色散、多缝衍射和多光束干涉；而调制型主要为傅里叶变换分光、哈达玛变换分光和光栅调制分光等，这里主要介绍衍射色散分光。

在物理光学中，可以把光波看成在空间分布的标量电磁场，由于光波的波动性质，当光波通过具有一定宽度狭缝时，会发生衍射现象。如果光波同时通过两个相邻的狭缝时，由两狭缝发出的光波将在产生干涉的同时还会受到单缝衍射的调制。由此类推，对于多缝衍射，可以认为多缝衍射光强是多光束干涉光强被单缝衍射光强调制的结果，这就是衍射光栅的工作原理。衍射光栅就是利用多缝的干涉衍射效应，对于任何装置，只要它能起到等间隔地分割波阵面的作用，都可以称为衍射光栅。

采用光栅可以使光学系统结构相对简单，有利于光谱仪器的微型化，也便于光谱仪器的集成化，并且可具有较大光谱范围。实际上，现有的大多数微小型光谱仪器均采用光栅作为系统的分光元件。

1.2.2 分光光学系统像差理论及校正

光谱仪器光学系统不仅是能量传递系统，也是光谱成像系统，各类光谱仪器的光学系统会产生种种像差，从而影响光谱成像质量，使仪器的光谱分辨率下降，并且改变谱线和谱面上的光能量分布。设计光谱仪器时必须了解光学系统像差产生的原因及其对光谱仪器质量的影响，采取适当的像差校正措施，使光学系统的残留像差值减小。光学系统在单色光下工作时，会产生球差、彗差、像散、场曲和畸变五种单色光像差，这几种像差产生的原因及影响如下：

球差是轴上物点唯一的单色光像差，如果光谱仪器光学系统存在球差，则会使光谱的谱线轮廓增宽，谱线中心光强度下降，因此球差会直接影响光谱仪器的分辨率。光谱仪器光学系统的球差的影响严重时，物体的细微结构成像会变得模糊不清。

彗差是光束失去了对称性，各条光线在高斯理想像面上的交点高度各不相同所造成的成像偏差。在光谱仪器中，彗差的宏观效果是使谱线发生单边扩散现象：谱线的一边成像明晰，而另一边如同彗尾般逐渐扩展、变暗。谱线的单边扩散会造成单根谱线的中心位置偏移Δλ，也会明显地降低相邻谱线间的分辨率。

像散的产生是由于轴外物点发出的光束通过光学系统后，将在两个不同位置形成两条方位互相垂直的短焦线。在光谱仪器中，线状入射狭缝位于子午面内，

除位于光轴上的狭缝中心点以外，从狭缝上其他各点发出的光束都是轴外光束。因此，在子午焦面处，狭缝的像将是由一系列垂直子午面的短焦线叠合而成的模糊光斑。在弧矢焦面处，狭缝各点的像是一系列垂直弧矢面的短焦线，它们彼此方向相同、互相叠合，可以形成比较清晰的谱线。为了减小像散，通常都把光谱成像面安置在弧矢焦面处。并通过适当选择光学系统结构参数、改变光阑位置等方法减小或校正像散，尽量使带光视场(0.707 全视场)的子午焦面与弧矢焦面尽可能重合而达到消像散目的。

场曲是因为光学零件工作表面是球面而造成的轴外物点像差。在光谱仪器中，细长的入射狭缝成像形成的谱线两端和中心不能同时在谱面上清晰成像，但当入射狭缝的长度比光学系统的焦距值小得多时，也就是说，光谱仪器的准直镜系统的工作视场相当小时，场曲所造成的影响通常比其他像差所造成的影响小很多。

实际放大率与理想系统放大率之差就是畸变造成的结果。畸变只影响成像放大率，对成像清晰度毫无影响。在光谱仪器中，物体是细长的入射狭缝，畸变造成的影响使谱线弯曲变形或使谱线在长度方向上略有伸缩。从数值上说，由于光学系统的视场很小，畸变量也很小，往往可以忽略不计。

当然，实际光学系统形成的图像中往往包含的是各种像差混合作用的结果。所以，在光学系统中要有针对性的消除或减小影响较大的像差。对光谱仪色散光学系统的像差校正而言，它一般包括准直系统、色散元件和聚焦系统，通常，准直系统应单独校正像差，因为其残留像差很难由聚焦系统补偿或平衡。在本设计中，由于光学系统采用的是平场凹面光栅，它是集准直、分光、成像于一体的光学元件。通过分析可知，工作在非平行光束下的凹面光栅会产生各种附加像差，其主要部分为球差、彗差和像散。只有在以平行光束射入凹面光栅的瓦茨沃斯装置中，衍射角为零时，凹面光栅才既不产生彗差，也没有像散，能够获得良好的成像质量。在其他情况下，凹面光栅会产生明显的像差，尤其是像散值很大，必须通过严格的光学设计来校正。

1.3 近红外光谱仪的接收系统

近红外的接收系统，最早采用的是单元光电转换器件，但是它需要扫描机构的配合才能获取整段光谱信号，结构复杂不利于系统的微型化和集成化。随着半导体技术的迅猛发展，各种光电阵列探测器不断涌现，它的优点是不再需要扫描

机构，能快速获取信号，而且极大的简化了系统结构，使光谱仪小型化、集成化、智能化成为可能。现在，成熟的阵列器件主要包括几种。

①CCD探测器。电荷耦合器件CCD探测器中储存着电荷，当光子照射到其

光敏面时电荷就会被释放。在积分时间结尾，剩余的电荷就会传送到缓冲器中，然后这个信号被传送到A/D转换卡。CCD探测器具有自然积分的特性因此具有非常大的动态范围，它只受暗（热）电流和AD转换卡速度的限制。CCD 探测器的优点是象元数多、灵敏度高、响应速度快，缺点是信噪比低。另外，由于受到材料性能的限制，在红外波段CCD探测器只能工作在短波红外，即800-1100nm。

②光电二极管阵列（PDA）。当信号光照射到光电二极管（PDA）上时，电

子就会被激发并输出电信号。大部分光电二极管阵列都包括读出/积分放大器一体式的集成化信号处理电路。光电二极管的优点是在近红外区灵敏度高，响应速度快；缺点是象元数较少。

③CMOS 线性成像传感器。CMOS 线性成象传感器比CCD 阵列传感器具有较低的电荷－电压转换效率，因此具有较低的光灵敏度，但是却具有较高的信噪比。CMOS 探测器的优点是信噪比高；缺点是读出速率低、灵敏度低、成本相对较高。

④InGaAs 线阵成像传感器。InGaAs 线阵成像传感器在近红外区域有着极高

的灵敏度。一般有两种InGaAs 探测器可供选择：一种是256 像素非致冷型InGaAs探测器，可用于1000-1700nm 波长区域；另一种是256 像素2 级扩展致冷型InGaAs探测器，可用于1000-2200nm 波长区域。

本论文所选用的探测器是日本滨松公司生产的InGaAs 线阵成像传感器G9203-256D，它在近红外区域具有高灵敏性和高稳定型。光电二极管阵列集成了电荷放大器、CMOS 传感器、一个移位寄存器和时钟发生器等，并采用陶瓷封装。这是一种非致冷256像元的探测器，像元大小为50×500μm，工作波长0.9－1.7μm，具有很高的信噪比，最高能达到接近10000：1。但是，由于采用的是非制冷技术，探测器对温度变化非常敏感，如图所示，可见暗电流随温度变化剧烈增长，这对电路发热量的控制提出了挑战。