超声波扫描电镜原理
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超声波显微镜
频率范围: 5–2000MHz 分辨率范围: 0.3-100μm 应用领域：电子工业等
超声波的传播方式
超声波与电磁波不同，是一种机械波，其传播的方式是通过介质中分子的振动进行 的，因此超声波的传播情况和介质具有非常大的关系，通常来说，介质的密度越大 超声波传播的速度越快，衰减也越低，在稀薄的空气中，超声波无法传播。
超声波根据其介质分子的振动方向和传播方向的不同，分为纵波和横波二种。
纵波
声波在纵向方向的传播, 出现在液体，气体和固体内
剪切波
声波在横向方向上的部分, 只出现在固体内
瑞利波
在物体表面上传播的声波, 只出现在固体内
兰姆波
声波沿薄形界面的传播, 只出现在固体内
北京：沈芳 13810819436 fay_shen@126.com, www.questar.com.cn
Questar China Limited
科视达(中国)有限公司
超声波扫描显微镜特点及原理介绍
超声波仪器的分类
声纳
频率范围： 》500KHz 分辨率范围： m－cm 应用领域：航海测绘等
B-超
频率范围： 1 MHz 分辨率范围：cm－mm 应用领域ห้องสมุดไป่ตู้医疗诊断等
超声波探伤
频率范围: 100 KHz–15MHz 分辨率范围： 0.01- 5 mm 应用领域：工业探伤等
超声波显微镜和 X-光检测技术的比较
X-光检测适用于检测内部的结构性情况，比如 IC 集成电路内部的金线分布等，但并 不能检测芯片与基底之间粘接层的缺陷，超声波扫描显微镜主要适用与检测这些粘接层或其 他界面之前的缺陷。
科视达（中国）有限公司，中国大陆地区独家代理 北京：沈芳 13810819436 fay_shen@126.com, www.questar.com.cn
z 纵向(Z)方向具有高检测分辨本领对于 Z 方向的缺陷分辨率可以达到 nm 级水平(指 缺陷厚度)；
z 材料的力学性能检测 由于材料密度决定了声阻抗，因此可以通过高频超声检测得到材料密度的分布，从而推导出 应力场，裂纹变化趋势等材料的力学性能；
主要用途
z 材料的密度及晶格组织分布 z 材料内部的裂纹 z 材料内部分层缺陷，夹杂物等 z 材料的杂质颗粒，夹杂物，沉淀物等 z 材料的空洞，气泡，间隙等
Questar China Limited
科视达(中国)有限公司
所有介质具有不同的声阻抗，声阻抗参数代表了超声波在其介质中的传播能力， 材料的声阻抗 Z 和材料的密度 ρ 以及超声波的传播速度 v 成正比: Z = ρ · v
超声波检测的特点
z 无损检测 可做非破坏性的缺陷检测，是目前最常用的无损检测手段之一；
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频率范围: 5–2000MHz 分辨率范围: 0.3-100μm 应用领域：电子工业等
超声波的传播方式
超声波与电磁波不同，是一种机械波，其传播的方式是通过介质中分子的振动进行 的，因此超声波的传播情况和介质具有非常大的关系，通常来说，介质的密度越大 超声波传播的速度越快，衰减也越低，在稀薄的空气中，超声波无法传播。
超声波根据其介质分子的振动方向和传播方向的不同，分为纵波和横波二种。
纵波
声波在纵向方向的传播, 出现在液体，气体和固体内
剪切波
声波在横向方向上的部分, 只出现在固体内
瑞利波
在物体表面上传播的声波, 只出现在固体内
兰姆波
声波沿薄形界面的传播, 只出现在固体内
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超声波扫描显微镜特点及原理介绍
超声波仪器的分类
声纳
频率范围： 》500KHz 分辨率范围： m－cm 应用领域：航海测绘等
B-超
频率范围： 1 MHz 分辨率范围：cm－mm 应用领域ห้องสมุดไป่ตู้医疗诊断等
超声波探伤
频率范围: 100 KHz–15MHz 分辨率范围： 0.01- 5 mm 应用领域：工业探伤等
超声波显微镜和 X-光检测技术的比较
X-光检测适用于检测内部的结构性情况，比如 IC 集成电路内部的金线分布等，但并 不能检测芯片与基底之间粘接层的缺陷，超声波扫描显微镜主要适用与检测这些粘接层或其 他界面之前的缺陷。
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z 纵向(Z)方向具有高检测分辨本领对于 Z 方向的缺陷分辨率可以达到 nm 级水平(指 缺陷厚度)；
z 材料的力学性能检测 由于材料密度决定了声阻抗，因此可以通过高频超声检测得到材料密度的分布，从而推导出 应力场，裂纹变化趋势等材料的力学性能；
主要用途
z 材料的密度及晶格组织分布 z 材料内部的裂纹 z 材料内部分层缺陷，夹杂物等 z 材料的杂质颗粒，夹杂物，沉淀物等 z 材料的空洞，气泡，间隙等
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所有介质具有不同的声阻抗，声阻抗参数代表了超声波在其介质中的传播能力， 材料的声阻抗 Z 和材料的密度 ρ 以及超声波的传播速度 v 成正比: Z = ρ · v
超声波检测的特点
z 无损检测 可做非破坏性的缺陷检测，是目前最常用的无损检测手段之一；
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