洁净度等级划分

表1 洁净室及洁净区选列的悬浮粒子洁净度等级

等级级别

空气中悬浮粒子洁净度以等级序数N 命名。各种被考虑粒径D 的粒子C n 的最大允许浓度用下述公式确定：

（1）

式中，

C n —大于或行于被考虑粒径的粒子最大允许浓度（pc /m 3空气）。C n 以有效数为3位四舍五入到最靠近的整数。

N —ISO 等级级别，最大不超过9。ISO 等级级别N 之间的中间数可以按0.1为最小允许递增值进行规定。

D —以微米（μm ）计的被选粒径。

0.1 —为一常数，表示以微米（μm ）计的量纲。

表1表示的是被选择的悬浮粒子洁净度等级和大于或等于表中所考虑粒径的粒子之相应浓度限值。图A.1（见附录A ）以图解形式表示出所选的等级。在有争议的情况下，从公式（1）中得到的浓度C n 应作为标准值。 命名

洁净室或洁净区的悬浮粒子洁净度的命名应包括： a ） 等级级别，以“ISO Class N ”表示： b ） 分组时的占用状态：

c ） 按分级公式（1）测定的被考虑粒径，各被考虑粒径的阈值均在0.1μm-0.5μm 的

范围内。 命名实例：

ISO Class 4：动态：被考虑粒径：0.2μm （2370pc/m3），1μm （83pc/m3） 测量浓度的被考虑粒径应得到用户和供应商双方的同意。

08

.21.010

⎪

⎭

⎫

⎝⎛⨯=D C N

n

如果测量一个以上的被考虑粒径，各较大的粒径（如D2）应至少为下一个较小粒径（如D1）的1.5倍。

即：D2≥1.5 ×D1