扫描电镜安装条件

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场发射扫描电镜招标文件

场发射扫描电镜招标文件

一、招标公告1. 招标编号:[招标编号]2. 招标项目名称:场发射扫描电镜采购项目3. 招标内容:场发射扫描电镜及相关配件、软件等4. 招标人:[招标人名称]5. 招标代理机构:[招标代理机构名称]6. 招标方式:公开招标7. 招标地点:[招标地点]8. 招标时间:[招标时间]二、项目背景随着我国科学技术的快速发展,场发射扫描电镜在材料科学、生物医学、地质勘探等领域得到了广泛应用。

为满足科研需求,提高科研水平,我单位拟采购一台高性能场发射扫描电镜。

三、招标范围1. 场发射扫描电镜主机及配件2. 场发射扫描电镜相关软件3. 场发射扫描电镜安装、调试及售后服务四、招标要求1. 招标人要求投标人具备场发射扫描电镜生产、销售及售后服务能力。

2. 投标人须为场发射扫描电镜制造商或授权代理商。

3. 投标人须提供场发射扫描电镜产品合格证、质量保证书等相关证明材料。

4. 投标人须具备良好的信誉和售后服务体系。

5. 投标人须承诺在合同期内提供完善的售后服务,包括但不限于:设备安装、调试、维修、保养等。

6. 投标人须按照招标文件要求,提供详细的技术方案和报价。

五、招标文件内容1. 投标人须知2. 招标文件3. 投标人资格要求4. 投标文件编制要求5. 投标文件递交要求6. 开标、评标及定标办法7. 合同签订及履约要求8. 其他需要说明的事项六、投标文件编制要求1. 投标文件应按照招标文件要求编制,包括但不限于以下内容:(1)投标函(2)法定代表人身份证明或授权委托书(3)投标人资格证明文件(4)场发射扫描电镜产品相关证明材料(5)技术方案及报价(6)售后服务承诺2. 投标文件应装订整齐,封面、目录、页码清晰,字体规范。

3. 投标文件份数:正本1份,副本[副本份数]份。

4. 投标文件递交截止时间:[递交截止时间]七、开标、评标及定标办法1. 开标时间:[开标时间]2. 开标地点:[开标地点]3. 评标委员会由招标人代表、技术专家、经济专家等组成,负责对投标文件进行评审。

JJG 010-1996 分析型扫描电子显微镜检定规程

JJG 010-1996 分析型扫描电子显微镜检定规程

分析型扫描电子显微镜检定规程1.分析型扫描电子显微镜检定规程的说明编号JJG(教委)010-1996名称(中文)分析型扫描电子显微镜检定规程(英文) Verification regulation for analytical scanning electron microscope 归口单位国家教育委员会起草单位国家教育委员会主要起草人万德锐林承毅批准日期 1997年1月22日实施日期 1997年4月1日替代规程号无适用范围本规程适用于新安装、使用中和维修后的各种分析型扫描电子显微镜(以下称扫描电镜)的检定。

外观要求主要技术要求 1.2. 安装条件3. 检定环境4. 检定用标样及设备5. 检定项目是否分级无检定周期(年) 3附录数目 2出版单位科学技术文献出版社检定用标准物质相关技术文件备注2.分析型扫描电子显微镜检定规程的摘要2 范围本规程适用于新安装、使用中和维修后的各种分析型扫描电子显微镜(以下称扫描电镜)的检定。

2.1原理经过电子光学系统聚焦的电子束在样品表面扫描,受照射的部位便激发出二次电子、背散射电子、特征X射线等多种物理信号。

这些信号经检测、放大后,用来调制阴极射线管的亮度,即可观察到样品的图像。

通过对特征X射线的检测、校正和计算,便可对样品进行元素成分的定性和定量分析。

2.2构成分析型扫描电镜是由常规的扫描电镜和X射线能量色散谱仪两部分组合而成。

它既能观察样品的微观形貌和结构,又能分析样品微区的元素成分。

扫描电镜,由电子光学系统、信号检测和放大系统、扫描系统、图像显示和记录系统、电源系统以及真空冷却系统等部分组成。

扫描电镜按其电子枪类型和分辨率等性能分为热发射普通型、热发射精密型和场发射精密型三个等级(表1)。

X射线能量色散谱仪,简称X射线能谱仪,由半导体探测器、前置放大器、主放大器、脉冲堆积排除器、模拟数字转换器、多道分析器、计算机以及显示器和打印机等组成。

因此,分析型扫描电子显微镜是在常规扫描电镜的基础上增加了X射线的检测、放大、显示、记录、校正和计算等装置。

扫描电镜使用说明书

扫描电镜使用说明书

扫描电镜使用说明书一、产品概述扫描电镜(Scanning Electron Microscope,SEM)是一种高分辨率的显微镜,能够通过扫描样品表面并检测扫描电子束的反射电子,从而获取样品的形貌和元素成分信息。

本说明书将详细介绍扫描电镜的使用方法和注意事项。

二、安全操作1. 在使用扫描电镜之前,请确保机器的电源已经正确接入地线,避免触电事故的发生。

2. 在打开扫描电镜之前,先检查样品台和操作盖是否已经安装好并正确固定。

3. 使用扫描电镜时,应该配戴好相关的防护眼镜和手套,确保个人安全。

4. 禁止将未经处理的有毒或易燃物质放入扫描电镜中进行观察。

三、仪器操作流程1. 打开电源开关,等待仪器自检完成,并确保控制面板上的指示灯正常。

2. 使用适当的工具调整样品台的位置和角度,使样品处于扫描电子束正下方。

3. 将待观察的样品放置到样品台上,并使用夹具或胶带固定,避免因振动而影响图像质量。

4. 根据样品特性和需要,选择合适的放大倍数和扫描模式,并进行相关设置。

5. 确保样品台和探针头之间的距离适当,并调整探针电子的聚焦和对准。

6. 点击开始扫描按钮,此时电子束将开始扫描样品表面,并生成相应的图像。

7. 观察并分析样品表面的形貌,使用相关软件进行图像处理和测量。

8. 在观察结束后,关闭电源开关,并进行必要的清洁和维护。

四、注意事项1. 在操作过程中,应该避免触摸样品表面,以免影响图像质量。

2. 在调整参数时,应该谨慎操作,避免产生误操作,导致损坏仪器或样品。

3. 镜头和样品台需要保持干净,可使用专门的清洁剂和软布进行清洁。

4. 扫描电镜不适合长时间连续工作,应该注意适当间隔,避免过热或损坏。

5. 扫描电镜需要定期进行保养和维护,以保证其正常工作。

6. 使用扫描电镜时应该有足够的耐心和耐心,避免急躁操作和粗心大意。

五、故障排除1. 若扫描电镜出现异常现象,如图像模糊、偏移等,可先通过重新校准参数来尝试解决问题。

扫描电镜操作注意事项

扫描电镜操作注意事项

扫描电镜操作注意事项
操作扫描电镜时需要注意以下几点:
1. 安全操作:戴上安全镜、手套和实验室服。

确保操作过程中没有任何危险物质泄漏或飞溅。

2. 仪器准备:确保仪器处于适当的状态。

检查电子束的对准情况,确保电镜的真空度符合要求。

3. 样品制备:样品制备对于扫描电镜至关重要。

样品必须表面平整、洁净,并且尽量避免气泡、杂质或其他可能干扰扫描电镜成像的情况。

通常需要使用特殊的样品制备技术,如金属溅射、冷冻干燥等。

4. 样品安装:将样品小心地安装在样品台上,确保样品在电镜扫描过程中固定不动,同时避免不必要的振动。

5. 电镜参数设置:根据实际需要,设置合适的电子束加速电压、放大倍数、对比度等参数。

根据样品性质,选择合适的扫描模式(如透射电镜、反射电镜等)和扫描速度。

6. 电磁干扰:保持实验环境的电磁干扰最小化。

尽量避免其他电器设备在扫描电镜附近操作,以减少电磁干扰对成像质量的影响。

7. 操作规范:遵循操作手册的操作步骤,并进行必要的校准和调试。

在操作中要小心移动任何操作部件,以防止意外损坏。

8. 操作结束:操作完成后,关闭电镜并清理工作区。

彻底清洁和保存样品,确保下次使用时样品的完整性。

以上是扫描电镜操作时需要注意的一些事项,操作时应严格按照操作手册和实验室操作规程进行操作。

如果对操作程序不熟悉或者遇到困难,应及时寻求相关专业人员的帮助和指导。

扫描电镜安装条件

扫描电镜安装条件

扫描电镜安装条件
S-3400N安装要求
1 实验室温度及湿度
(1)室温 : 15 to 30?C 温差⼩于5?C
(2)湿度 : ⼩于70% .
2 电源要求
(1)独⽴供电,交流 220 V,误差⼩于±10%,50Hz
(2)实验室交流配电盒为空⽓开关
(3)交流配电盒与电镜距离⼩于10 ⽶ (主电缆长度为10 ⽶)
推荐从配电室单独接线,空开为30A、20A、20A,其中30A为电镜主机专⽤,不可连接其他⽤电设备(例如空调、制样设备);其余相位可接其它⽤电设备
3独⽴地线
为电镜单独制作地线,不可连接其他设备,接地电阻⼩于100欧姆
4空间磁场
1 mG = 100 nT
推荐电镜远离⽕花电弧、变电设备、⾼频设备等强磁设备,例如电焊机、⽆线电台、变压器等设备
5地⾯振动
S-3400N II 型 (X, Y)⽅向S-3400N II 型 (Z)⽅向
推荐安装位置远离公路、铁路、地铁、电梯等震动源
6安装尺⼨
(1)最⼩安装尺⼨ 2.5 m ? 2.2 m
如有能谱或其它附属设备,需要和供应商联系,加⼤安装尺⼨
(2)运输必须尺⼨0.85 m (W) ? 1.7 m (H)
(3)安装在⼀楼,⽆地下室
推荐实验室内作隔断,宽度不⼩于1.5⽶,安装机械泵、空压机、变压器等设备,减少噪声,提⾼操作环境的舒适性
单位毫⽶
图1、实验室布置图
推荐电镜主机和电器柜距离墙壁⾄少保留800mm维修空间。

扫描电镜检测国际标准

扫描电镜检测国际标准

扫描电镜检测国际标准扫描电镜(Scanning Electron Microscope,SEM)是一种常用的表面形貌和成分分析仪器,广泛应用于材料科学、生物科学、化学科学等领域。

扫描电镜检测国际标准是指对扫描电镜的性能、操作规范以及检测结果的要求和规定。

本文将介绍扫描电镜检测国际标准的相关内容。

首先,扫描电镜检测国际标准主要包括以下几个方面的内容:仪器性能指标、操作规范、样品制备要求以及结果评定等。

一、仪器性能指标扫描电镜的性能指标主要包括分辨率、放大倍数、加速电压、探针电流、成像方式等。

分辨率是指扫描电镜对样品表面微细结构的分辨能力,一般以纳米级别为标准。

放大倍数是指扫描电镜对样品进行放大的倍数,一般要求在数千倍至数十万倍之间。

加速电压和探针电流是指扫描电镜的工作电压和探针束的电流大小,不同的样品和分析目的需要选择不同的参数。

成像方式是指扫描电镜的成像模式,常见的有二次电子成像(SEI)和反射电子成像(BEI)等。

二、操作规范扫描电镜的操作规范主要包括仪器的开机与关机步骤、样品的安装与卸载方法、参数设置与调整等。

在使用扫描电镜之前,需要确保仪器处于正常工作状态,并进行相关的预热和真空泵抽气等操作。

样品安装时需要注意避免污染和损坏,同时要根据不同的样品类型和分析目的进行参数设置和调整,以获得最佳的成像效果。

三、样品制备要求样品制备是扫描电镜检测中非常重要的一步,对于不同类型的样品需要采取不同的制备方法。

常见的样品制备方法包括金属涂覆、冷冻切片、离子切割等。

金属涂覆是为了提高样品的导电性和减少电荷积累而进行的处理,冷冻切片是为了观察生物样品内部结构而进行的处理,离子切割则是为了获得样品横截面而进行的处理。

在样品制备过程中需要注意避免污染和损坏,并根据不同的制备方法进行相应的操作。

四、结果评定扫描电镜检测结果的评定主要包括图像质量评价和成分分析评价两个方面。

图像质量评价是指对扫描电镜图像的清晰度、对比度、噪声等进行评估,以确定图像是否满足分析要求。

扫描电镜知识汇总

扫描电镜知识汇总

扫描电镜(SEM)超全知识汇总真空技术扫描电子显微镜,是自上世纪60年代作为商用电镜面世以来迅速发展起来的一种新型的电子光学仪器,被广泛地应用于化学、生物、医学、冶金、材料、半导体制造、微电路检查等各个研究领域和工业部门。

如图1所示,是扫描电子显微镜的外观图。

▲图1. 扫描电子显微镜特点制样简单、放大倍数可调范围宽、图像的分辨率高、景深大、保真度高、有真实的三维效应等,对于导电材料,可直接放入样品室进行分析,对于导电性差或绝缘的样品则需要喷镀导电层。

基本结构从结构上看,如图2所示,扫描电镜主要由七大系统组成,即电子光学系统、信号探测处理和显示系统、图像记录系统、样品室、真空系统、冷却循环水系统、电源供给系统。

电磁透镜:热发射电子需要电磁透镜来成束,所以在用热发射电子枪的扫描电镜上,电磁透镜必不可少。

通常会装配两组:汇聚透镜和物镜,汇聚透镜仅仅用于汇聚电子束,与成象会焦无关;物镜负责将电子束的焦点汇聚到样品表面。

扫描线圈的作用是使电子束偏转,并在样品表面作有规则的扫动,电子束在样品上的扫描动作和显像管上的扫描动作保持严格同步,因为它们是由同一扫描发生器控制的。

样品室内除放置样品外,还安置信号探测器。

2、信号探测处理和显示系统电子经过一系列电磁透镜成束后,打到样品上与样品相互作用,会产生二次电子、背散射电子、俄歇电子以及X射线等一系列信号。

所以需要不同的探测器譬如二次电子探测器、X射线能谱分析仪等来区分这些信号以获得所需要的信息。

虽然X射线信号不能用于成象,但习惯上,仍然将X射线分析系统划分到成象系统中。

有些探测器造价昂贵,比如Robinsons式背散射电子探测器,这时,可以使用二次电子探测器代替,但需要设定一个偏压电场以筛除二次电子。

3、真空系统真空系统主要包括真空泵和真空柱两部分。

真空柱是一个密封的柱形容器。

真空泵用来在真空柱内产生真空。

有机械泵、油扩散泵以及涡轮分子泵三大类,机械泵加油扩散泵的组合可以满足配置钨灯丝枪的扫描电镜的真空要求,但对于装置了场致发射枪或六硼化镧及六硼化铈枪的扫描电镜,则需要机械泵加涡轮分子泵的组合。

扫描电镜操作手册

扫描电镜操作手册

扫描电镜操作手册扫描电镜操作手册一、目的本操作手册旨在为使用扫描电镜(Scanning Electron Microscope,简称SEM)的用户提供操作步骤和指南,以确保仪器的正确使用和延长其使用寿命。

二、操作步骤1、准备样品:根据SEM的要求,准备需要观察的样品。

确保样品具有足够的稳定性和导电性。

2、打开仪器:按顺序打开SEM的电源开关,并确保仪器稳定运行。

3、选择工作模式:根据样品的特性选择适当的工作模式(如高分辨率、低分辨率等)。

4、调整工作参数:根据需要,手动设置电子束加速电压、扫描速率、扫描分辨率等参数。

5、安装样品:将样品固定在样品台上,确保其稳定不动。

6、聚焦和校准:通过操作台面上的按钮或软件界面,调整电子束的聚焦位置和校准参数,确保图像的清晰度和准确性。

7、观察和记录:启动扫描过程,观察样品的微观结构,并使用计算机软件记录观察到的图像。

8、调整和优化:根据需要,对扫描参数进行调整和优化,以获得更好的图像质量。

9、关闭仪器:在完成观察后,按顺序关闭SEM的电源开关,并确保仪器完全停止运行。

三、注意事项1、在操作SEM之前,请务必阅读并了解仪器的操作手册和安全规范。

2、确保SEM的工作环境干燥、清洁,并避免强磁场、振动的干扰。

3、在安装和移动样品时,请避免与仪器碰撞,以免损坏设备。

4、在操作过程中,请勿将身体任何部位置于仪器内部,以防意外伤害。

5、若遇到任何操作问题,请及时联系专业人员进行处理。

四、维护与保养为了保持SEM的性能和延长其使用寿命,建议定期进行以下维护与保养工作:1、清洁真空系统:定期清洗或更换真空系统的组件,以确保仪器在高真空状态下运行。

2、检查电子枪:定期检查电子枪及其组件,确保其正常工作。

如需要,请更换老化的组件。

3、校准和调整:定期进行仪器的校准和调整,以保证图像的准确性和清晰度。

4、更换消耗品:根据需要,更换老化的真空泵油、过滤器等消耗品。

5、软件更新:定期更新SEM的软件系统,以确保其兼容性和稳定性。

扫描电镜操作规程

扫描电镜操作规程

扫描电镜操作规程扫描电镜(Scanning Electron Microscope,SEM)是一种将电子束聚焦在样品表面,通过扫描方式来获得样品高分辨率3D表面形貌和成分信息的仪器。

为了确保SEM操作的有效性和安全性,以下是SEM操作规程。

一、设备准备:1.认真阅读并了解SEM操作说明和安全规范。

2.检查SEM主机和附件是否处于正常工作状态,包括真空度、电源和冷却系统。

3.确保SEM试样台和样品夹具是干净的,无油污和灰尘。

二、样品处理:1.样品制备前,需要了解样品性质和要求,选择合适的样品制备方法。

2.对于生物样品,应优先使用冷冻切片等方法固定样品形态,以避免形变。

3. 样品尺寸应适合SEM观察,常规样品尺寸为10mm×10mm。

三、真空系统操作:1.打开SEM干净室门前,请先关闭室门内的LED灯进行暗室操作。

2.打开真空系统电源,并调节抽真空系统排气阀门,观察真空度是否达到工作要求。

若真空泄漏现象,请通知维修人员。

3.室外样品台安装完成后,请确保样品台和附件干净,并将样品固定到样品夹具上。

4.朝样品夹具上的固体样品均匀喷涂金属薄层来提高导电性。

四、SEM主机操作:1.打开SEM主机电源开关,仪器会进行自检程序,确认系统启动正常后才能进行操作。

2.将SEM控制软件打开,并加载上一次使用的配置文件,确认加热丝和工作功能正常。

3.调节电子枪电流和加速电压,以达到最佳分辨率和清晰度。

4.运用选择二级电子或回散二级电子来实现图像形成,根据具体需求调整像素率和扫描速度。

五、SEM样品观察:1.在获得清晰的样品图像之前,调整样品和悬臂梁的位置,以保证电子束准确的投射到样品表面。

2.调节电子束扫描范围、分辨率和时间,以获得高质量的SEM图像。

六、SEM样品操作结束:1.操作完成后,关闭SEM主机电源开关和控制软件。

2.关闭系统真空排气阀门,并观察真空泵的运行情况,确保真空度恢复正常。

3.清理和保养SEM主机和附件,如清除样品夹具上的残留物。

A包场发射扫描电镜技术要求.

A包场发射扫描电镜技术要求.

A包:场发射扫描电镜技术要求1.运行环境:房间温度:15~25℃相对湿度:小于60%电源:单相,220V±10%,50/60Hz地线:独立地线2.技术指标2.1 设备组成场发射扫描电子显微镜、能谱仪、离子溅射仪。

2.2场发射扫描电子显微镜2.2.1主机组成:包括真空系统、电子光学系统、各种检测器、自动变压器(若需要)、冷却循环水系统、稳压电源、不间断电源,计算机,标准工具及附件。

2.2.2 技术参数电子枪:场发射电子枪分辨率:1.2nm及以上加速电压:0.5~30kV放大倍率: 20~800k及以上,粗、细调模式连续可调真空系统:(无油)机械泵、分子泵、离子泵三级真空,样品室真空<10-4Pa探测器:二次电子检测器(包括低位、高位)背散射电子检测器CCD 摄像机附件接口:在样品室上提供5个以上附件接口,可同时接X射线能谱仪、波谱仪、EBSD、背散射电子探测器等。

其它:设备必须具有低真空、环扫、着落电子减速模式等功能中的一种。

2.2.3 样品室和样品台:样品台驱动: 3轴马达驱动及以上移动范围:X:0~50mm;Y:0~50mm;Z:0~30mm;T:-3~70°以上;R:360°连续最大样品尺寸:100mm及以上样品置换时间(抽真空时间):不大于7分钟2.2.4计算机E7400/2G/250G/256M/22LCD*2/DVD-RW操作系统:Microsoft Windows XP外界接口:串行、并行、SCSI、USB 2.0接口、网络。

全功能电镜控制操作软件、图像分析软件打印机:HP2015dn2.2.5 图像采集、储存扫描速度:快扫描等于或优于25桢/秒慢扫描全屏模式下慢扫描速度可选,扫描速度0~80秒及以上图像储存:最大像素≥2560×1920图像文件格式:BMP,JPEG,TIFF数据记录:加速电压,标尺或放大倍率,时间,采集的信号电子图像移动:≥±12μm2.2.6 保护具有断电、漏电、真空保护2.2.7标准附件及工具标准随机附件及工具1套灯丝2~4根(以满足10年电镜工作的要求)更换光阑1套导电双面铜碳胶带各10盒2.3 能谱仪2.3.1 组成:主机、计算机、打印机2.3.2 技术指标:制冷方式:电制冷探头面积≥30mm2分辨率优于135eV分析元素范围:4Be~92U及以上最大计数率:≥300000cps可实现点、线、面方式扫描自动元素标定,无标样定量分析2.3.3 计算机E7400/2G/250G/256M/22LCD/DVD-RW操作系统:Microsoft Windows XP外界接口:串行、并行、SCSI、USB 2.0接口、网络。

国检检测扫描电镜操作规程

国检检测扫描电镜操作规程

国检检测电子扫描显微镜操作规程一.启动系统1、开启设备总电源开关2、启动主机后面板上的电镜电源开关MAIN ELB。

3、在主机前面板上的EV AC真空控制面板上将钥匙转动到START位置,然后放手,系统开启。

4、等待计算机进入操作界面,按确定键启动软件。

二、安装样品1、在控制面板上按AIR按钮,系统开始放气。

2、等到放气结束电脑显示可更换样品时,带上清洁手套,测量安装在样品托上的整个样品的高度,然后打开样品室,将安装有样品的样品托放入样品室。

3、关上样品室,按EV AC键1~2秒,设备开始抽真空,约两分钟后可开始观察样品。

三、样品扫描1、待控制面板显示抽真空结束时,按操作软件左上角的ON按钮,开始加载加速电压。

2、加速电压加载完毕后,可开始扫描操作。

四、更换样品1、按操作软件左上角的OFF按钮,开始卸载加速电压。

2、按HOME键,将样品调整至最初位置。

3、按AIR键按1~2秒,样品室开始放气,待放气完毕即可开始更换样品。

五、关闭设备1、关闭设备前,要保持样品室是真空状态。

2、直接点击操作软件右上角的关闭键,关闭软件。

3、关闭电脑4、将前控制面板上的钥匙旋转至OFF位置。

5、关闭主机后面板上的电镜电源开关MAIN ELB。

6、关闭设备总电源开关六、注意事项1、样品在放入样品室之前必须要干燥、清洁。

2、更换样品须带上清洁手套,不允许用赤裸的手握样品或样品托。

3、开关机顺序和更换样品顺序都必须按照规定步骤进行。

4、测量样品高度时,误差不得超过4mm,否则会导致镜头损坏。

七、维护保养1、一个星期对空压机进行排水,以保证空压机的性能。

2、一个星期检查压力计、压力开关和安全阀一次。

3、一个月对螺栓、螺钉、螺母的进行拧紧一次。

扫描电镜

扫描电镜

扫描电子显微镜之--(环境真空)含水样品观察原理为了使得扫描电子显微镜直接观察含水样品,例如活的生物、细胞,湿润的矿物,泥土等,希望能够保持含水量不变,从而观察到保持样品含水时候的自然状态。

样品不经过任何处理,直接固定在样品室内进行观察。

较低的真空,在电子轰击下,样品室中气体以等离子态存在,因此可以轻松消除非导电样品的荷电问题。

对于“干燥”的非导电样品,自然可以比较轻松观察,但对于含水分的样品,就必须“较真儿”了。

众所周知,在常压和一定温度、湿度条件下含水量一定的样品,如果温度升高,或者压力减小,水分会丢失。

对于大多数生物组织,失去水分,其形态会发生变化,甚至完全扭曲。

失去水分的原因是水分汽化,液相转变为气相。

在0摄氏度以下,液相变成固相的冰,冰直接升华成气相。

含水样品的观察就是基于在不同温度下液相(固相)气相,保持一定含水量的饱和压力,在传统扫描电镜的基础上实现的。

主要改进技术包括:普通扫描电镜改进成为环境扫描电镜费用很高。

1、电子枪室和样品分析室之间采用多级压差光阑,在保证电子枪室的高真空情况下,实现样品分析室的饱和压力真空度。

2、在样品一定温度下,向样品分析室充入水蒸气,只要保证样品分析室的真空度正好和这个温度条件下的水蒸气饱和压力相等,样品的含水量就不会增多,也不会减少,而是保持动态平衡。

通过饱和压力曲线可知,降低温度可以在更低的真空度(更高的气压)下实现水分保持不变。

但降低温度,需要增加低温样品台。

在常温下,如25°C,样品室的气体压力要求在1500Pa以上才可以实现水分饱和平衡。

3、改进二次电子探测器:从电子光学角度来看,很低的真空下,电子束被气体散射损失很多初级电子,好比一个陨石从太空进入大气层,着陆的时候,体积已经变得很小了。

电子光学系统的性能是相对固定的,按照传统的探测技术,根据图像反差原理,信噪比相对会变得非常糟糕,样品发射有效信号锐减很多,相应的分辨率也会降低很多。

环境扫描电镜

环境扫描电镜

气体二次电子探头(GSED)
安装有探测器的印制电路板 能够很好地区别 SE-I、SE-II 和 SE-III 、 BSE 环境条件下真实的二次电子成象 样品室压力范围: 1-10 (20) Torr 观察视场: 125x 以上 低束流下良好的灵敏度 对光和热不敏感 清洗方便
新型气体二次电子探头 LF GSED

实际上,电子束几乎没有展 宽,只是束流损失。
入射电子束与样品 相互作用产生的二次电 子逸出样品表面,在环 境二次电子探测器所加 的几百伏正电压的作用 下加速向上运动;这些 加速运动的二次电子与 气体分子碰撞,使其电 离,产生正离子和电子 (称为环境二次电子); 这个电子加速和气体电 离过程反复进行,导致 原始二次电子信号的成 比例的级联放大。而受 样品表面荷电吸引向下 运动的正离子可以消除 荷电。
Bad quality

微生物
甲藻
小麦白粉菌
NaCl溶解-结晶过程
3.6 Torr 4.1 Torr 5.3 Torr
5.8 Torr
5.9 Torr
5.6 Torr
加热台
三、二次电子探测器
环境二次电子探测器 ESD
气体二次电子探测器 GSED
环境二次电子探测器:
直径大约1cm的圆锥; 放在物镜极靴的底部,与电子束同心,通过物镜、 压差光阑的电子束,再穿过环境二次电子探测器 到达样品; 在环境二次电子探测器上加有几百伏的正电压, 以吸引样品表面逸出的二次电子。
未散射的电子
仍保持原来的轨迹,聚焦在样品 表面
散射的电子
散射后电子改变运动轨迹,使电 子束有一定程度的展宽
电子束的束斑尺寸由散射的电子使束斑展宽的程度 决定,电子束的束流为散射的电子、未散射的电子 的总和。

简述扫描电镜操作流程

简述扫描电镜操作流程

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扫描电镜实验报告(二)2024

扫描电镜实验报告(二)2024

扫描电镜实验报告(二)引言概述:扫描电镜是一种重要的仪器,通过其高分辨率和表面拓扑信息的获取能力,广泛应用于材料科学、生物学、化学等领域。

本文将对扫描电镜实验进行详细说明,介绍实验步骤、仪器原理、实验结果以及相应的数据分析。

通过本次实验,我们旨在更深入地了解扫描电镜的工作原理和应用。

一、实验步骤:1. 准备样品:选取合适的样品,并进行制备,包括固定、去除水分等操作。

2. 样品外壳制备:涂覆导电材料在样品上,以提供导电路径。

3. 仪器准备:打开扫描电镜仪器,进行预热和真空泵抽真空操作。

4. 样品安装:将样品放入样品台中,调整位置并锁紧。

5. 参数设置:根据样品需求,设置扫描电镜的加速电压、缩放倍数等参数。

二、仪器原理:1. 发射电子源:介绍扫描电镜中使用的电子源,如热电子发射阴极、场致发射阴极等。

2. 电子与样品的相互作用:讲解电子与样品的相互作用机理,如散射、透射等。

3. 信号检测系统:介绍扫描电镜中用于检测信号的系统,如二次电子信号和反射电子信号的检测。

4. 图像生成与分析:说明电子图像的生成原理,以及对图像进行分析和处理的方法。

5. 分辨率和深度:详细解释扫描电镜的分辨率和深度概念,并阐述影响其性能的因素。

三、实验结果:1. 微观结构观察:对不同样品在扫描电镜下的观察结果进行描述和评估。

2. 成像质量分析:对获得的扫描电镜图像进行质量评估,包括分辨率、对比度等方面。

3. 表面形貌分析:通过扫描电镜观察样品表面形貌差异,并对不同样品的表面特征进行对比和分析。

4. 基元分析:利用能谱仪等辅助手段,对样品中的元素进行分析和定性识别。

5. 深度分析:通过透射电子显微镜等方法,对材料的内部结构和深度信息进行研究。

四、数据分析及讨论:1. 数据统计:对实验结果进行数据整理和统计,包括样本数量、实验数据的准确性等。

2. 结果解读:对实验结果进行解读和分析,发现其中的规律和特点,并与已有的理论知识进行对比。

SEM扫描电镜操作规程

SEM扫描电镜操作规程

SEM扫描电镜操作规程1.准备工作在操作SEM之前,需要进行以下准备工作:-检查SEM设备的状态,确保设备正常运行。

-检查设备所需的辅助设备(如真空泵、电荷耦合器件等)是否处于正常工作状态。

-检查SEM的样品台是否干净,并根据需要进行清洁。

-准备好所需的SEM样品,确保样品质量符合要求。

2.SEM样品的处理SEM样品处理可以采用不同的方法,具体操作如下:-根据需要,可以采用不同的样品处理方法,如金属表面的腐蚀、材料的抛光或切片等。

-准备样品时,应尽量避免使用导电性差的材料,或者使用导电涂层来增加样品的导电性。

-在样品准备过程中,应注意不要引入尘埃或污染物,以免对SEM观察产生干扰。

3.SEM的真空和电子束的调节SEM操作需要在真空环境下进行,保持真空状态非常重要。

具体操作如下:-打开真空泵,将SEM系统的压力降低到所需的范围。

-启动SEM系统,让系统进入正常工作状态。

-调节加速电压和电子束的聚焦,以获得所需的分辨率和对比度。

4.SEM扫描参数的设置-运行SEM的控制软件,并登录到系统。

-在软件界面上,设置加速电压、扫描速度、扫描区域等参数,以获得所需的SEM图像。

-确定SEM图像的亮度和对比度调节数值,并根据需要进行调整。

5.SEM的样品安装和定位将样品安装到SEM样品台上,并进行定位。

具体操作如下:-将样品放置在样品台上,并将样品台插入SEM系统中。

-使用样品台的移动功能将样品定位到所需的区域。

-在需要的区域上对样品进行缩放和调整,以获得所需的SEM图像。

6.SEM图像的获取和分析通过SEM可以获取高分辨率的图像,并可以对图像进行分析和处理。

具体操作如下:-在SEM软件中,点击开始扫描按钮,开始获取SEM图像。

-SEM图像获取后,可以使用软件提供的工具对图像进行测量、粒度分析等操作。

-根据需要,可以对图像进行处理,如调整亮度和对比度,进行图像增强等。

7.SEM的维护和保养SEM是一种精密仪器,需要进行定期的维护和保养,以确保其正常工作。

扫描电镜操作手册

扫描电镜操作手册

扫描电镜操作手册一、前言扫描电镜(Scanning Electron Microscope,SEM)是一种采用电子束来形成高分辨率图像的仪器。

它可以通过扫描样品表面并检测反射电子的方式,将样品的微观形貌和表面结构进行观察和分析。

本操作手册将向您介绍扫描电镜的基本原理和操作步骤,以及一些常见的技巧和注意事项。

二、扫描电镜的基本原理扫描电镜的基本原理是利用高能电子束与样品相互作用产生的各种信号来获取样品表面形貌的信息。

当电子束扫描到样品表面时,会产生次级电子、反射电子、散射电子等不同的信号。

这些信号被探测器接收并转换成电压信号,再通过信号处理系统转换成图像。

三、扫描电镜的操作步骤1. 准备工作在操作扫描电镜之前,需要进行一些准备工作。

首先,打开电镜主机,并确保它与电源连接。

其次,检查样品架是否干净,并将待观察的样品放置在样品架上。

注意,样品表面应干净且不含有尘埃和油污等杂质。

2. 开机和预热按下电源按钮,等待电镜主机启动。

在启动过程中,电子枪和样品室会开始预热。

预热时间一般为15-20分钟,以确保电子枪和样品室达到稳定的工作温度。

3. 样品安装当电镜主机预热完成后,打开样品室的门,并将准备好的样品放置在样品架上。

然后,仔细关闭样品室门,并确保它完全密封。

4. 参数调整根据样品的性质和需求,进行相应的参数调整。

主要包括加速电压、放大倍数、扫描速度等参数的选择和调整。

调整参数时,应根据所需的观察效果进行实时调整和反馈。

5. 图像观察和采集在参数调整完成后,可以开始观察和采集图像。

选择观察区域并调整对焦,然后点击图像采集按钮进行图像保存。

在观察和采集图像时,注意保持样品和电子束之间的距离适当,以避免样品受到过度辐照。

6. 关机和清理在使用完毕后,进行关机和清理工作。

首先,将加速电压调至最低,然后按下关机按钮。

等待电镜主机完全关闭后,进行样品架的清理和样品的取出。

清理时,使用压缩空气吹扫样品架和电子束光路,以去除附着在上面的灰尘和杂质。

热发射扫描电镜技术规格与要求

热发射扫描电镜技术规格与要求

热发射扫描电镜技术规格及要求1、设备组成、布置方式及用途说明1.1设备名称:热发射扫描电镜1.2数量:一套1.3场发射扫描电镜主要由以下部分组成:①主机:热场发射扫描电镜②附件:电制冷能谱(EDS)与EBSD一体化系统;离子束镀膜仪;精密切割机;半自动研磨/抛光机;振动抛光机。

1.4推荐布置方式:开放式布置。

1.5.电镜主要用于材料的微观形貌观察,要求该设备可以直接对导电(金属材料、半导体材料)和不导电的材料(陶瓷、塑料、玻璃等)进行观察,以满足研究近似原始状态下相关样品的观察和分析需求;配上能谱仪,可对材料的微区成分进行定性和定量分析及元素线扫描和面分布分析;配上EBSD,可通过实时采集背散射电子以及标定背散射电子衍射花样,快速获取逐点的晶体学结构信息,分析研究材料的晶体取向、微观织构及其相关的材料性能等。

1.6.能通过程序控制实现自动化检测。

2、技术指标要求2.1.场发射扫描电镜FESEM场发射扫描电镜作为最关键部件,要求选用国际知名品牌产品。

投标文件应对所选用场发射显微镜品牌、特色及技术指标给予详细描述。

1 性能参数1.1 分辨率二次电子像(SE)15KV1nm1KV1.6nm分析模式(EDS或EBSD分析)15KV3nm背散射电子像(BSE)30KV1.5nm1.7. 放大倍数30-800,000×放大倍数误差≤3%调节自动放大倍数修正功能,放大倍数预设功能;连续可调1.3加速电压2.2.-30KV调节连续可调1.4探针电流(束流范围) 4pA-100nA稳定度优于0.2%/h调节连续可调1.5成像模式二次电子像;背散射电子像调节模式二次电子和背散射电子成像系统可以任意比率混合,自动调节和手动调节亮度、对比度 2电子光学系统2.1电子枪(灯丝)标书需详细描述本产品的电子光学系统特点具有自动对中和启动电子枪功能;在显示器中显示全部发射器参数的状态信息;灯丝寿命优于两年。

2.2透镜控制系统需在标书上详细说明透镜控制系统;实现了大小样品的高分辨率。

扫描电镜安全操作规程

扫描电镜安全操作规程

扫描电镜安全操作规程一、设备安全操作环境要求:环境温度: 17℃—24℃相对湿度: < 80%场地磁场: 同步:<3x10-7T异步:<1x10-7T振动:对于主动式电磁减振: <10um/s 低于30HZ<20um/s 高于30HZ噪声: 小于60dBC海拔: 低于3000m二、设备硬件主要由UPS 、氮气瓶、真空泵、电镜主机部分组成1. 电镜用电安全:a) 只有工程师才能对电镜的主电源,UPS 电源线和UPS 开关进行维修操作。

b) 用户负责熟悉设备保养和安装。

电镜工作所需要的高电压是有危险性的。

2. 电镜使用UPS 时:a) 开机:首先确认市电是否正常,电池开关处于闭合状态。

按面板上的开关键(3—5秒)后放开,待UPS 内部自检完毕开机。

换样品时卸至标准气压UPS 供电电镜主机供电 电脑开启真空泵开启 氮气瓶 更换样品换好样品后抽真空 软件控制真空状态b)关机:首先确认电源负载设备断掉。

按面板上的开关键(3—5秒),此时UPS处于旁路状态。

依次关闭蓄电池组开关及市电开关。

3.电镜使用氮气时:a)使用时不可将钢瓶内的气体全部用完,一定要保留0.05MPa以上的残留压力。

b)使用时要把钢瓶牢牢固定,以免摇动或翻到。

c)开关气门阀要慢慢地操作,切不可过急地或强行用力把它拧开,防止压力过大造成损伤。

4.电镜使用nXDS10i完全无油干式涡旋泵时:a)注意防止液体侵入;b)注意防止灰尘堆积;c)注意环境不当的温度波动。

5.电镜样品室开关操作:a)样品室内标准气压时可以直接开启;b)样品室内真空状态需要先开启氮气瓶准备通入氮气,在软件内选择卸压,设备允许时进行开仓操作。

012扫描电子显微镜操作规程

012扫描电子显微镜操作规程

012扫描电子显微镜操作规程扫描电子显微镜(SEM)是一种非常强大的显微镜,可以提供高分辨率的表面图像。

为了确保SEM的正确操作和保持仪器的性能,以下是SEM 的操作规程:1.准备工作-首先,检查SEM仪器,确保所有部件都正常工作,并且真空系统正常工作。

-打开SEM软件,并设置所需的参数,例如加速电压、工作距离、探测器类型等。

-准备样品,确保样品是干燥的,卫星,引线等应该被裁剪掉,以免影响SEM的像质。

2.开始操作-打开真空系统,等待真空度达到所需的数值。

-将样品安装在样品台上,并用导电胶或导电碳粉将样品固定在样品台上。

-将样品台放入SEM仪器,然后封闭仪器的门,开始真空抽气。

-在真空达到所需数值后,调整加速电压和工作距离,直到获得清晰的图像。

-调整探测器和信号放大器以获得最佳的信号对噪声比。

-通过移动样品台或调整光斑位置来选择不同的观察区域。

3.结束操作-在使用完SEM后,关闭真空系统,并将所有参数恢复到默认设置。

-将样品台从SEM仪器中取出,并将样品从样品台上取下。

-清洁样品台和SEM仪器,确保仪器干净并存放在适当的位置上。

-记录SEM操作的所有参数和图像,以备后续分析和比较。

4.安全注意事项-在使用SEM时,应穿戴适当的个人防护装备,如实验服、手套和护目镜。

-不要在不了解SEM仪器操作规程的情况下使用SEM,以免造成设备损坏或人身伤害。

-在使用SEM时,不要将手指或其他物体放入SEM仪器中,以免危及人身安全。

总之,正确操作SEM仪器是非常重要的,不仅可以确保SEM仪器的正常运行,还可以获得高质量的表面图像。

遵循以上SEM操作规程并注意安全事项,可以提高SEM操作的效率和安全性。

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S-3400N安装要求
1 实验室温度及湿度
(1)室温 : 15 to 30︒C 温差小于5︒C
(2)湿度 : 小于70% .
2 电源要求
(1)独立供电,交流 220 V,误差小于±10%,50Hz
(2)实验室交流配电盒为空气开关
(3)交流配电盒与电镜距离小于10 米 (主电缆长度为10 米)
推荐从配电室单独接线,空开为30A、20A、20A,其中30A为电镜主机专用,不可连接其他用电设备(例如空调、制样设备);其余相位可接其它用电设备
3独立地线
为电镜单独制作地线,不可连接其他设备,接地电阻小于100欧姆
4空间磁场
1 mG = 100 nT
推荐电镜远离火花电弧、变电设备、高频设备等强磁设备,例如电焊机、无线电台、变压器等设备
5地面振动
S-3400N II 型 (X, Y)方向S-3400N II 型 (Z)方向
推荐安装位置远离公路、铁路、地铁、电梯等震动源
6安装尺寸
(1)最小安装尺寸 2.5 m ⨯ 2.2 m
如有能谱或其它附属设备,需要和供应商联系,加大安装尺寸
(2)运输必须尺寸0.85 m (W) ⨯ 1.7 m (H)
(3)安装在一楼,无地下室
推荐实验室内作隔断,宽度不小于1.5米,安装机械泵、空压机、变压器等设备,减少噪声,提高操作环境的舒适性
单位毫米
图1、实验室布置图
推荐电镜主机和电器柜距离墙壁至少保留800mm维修空间。

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