洁净度等级 【标准】
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VDI 2083(1990)
JAOA(1989)
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M3
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3,530
5
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A+B
4,000
3
5
10,000
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M4
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M5
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353,000
7
10,0ห้องสมุดไป่ตู้0
C
400,000
5
7
1,000,000
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M6
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3,530,000
8
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D
4,000,000
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M7
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10级
ISO Class5
100,000
23,700
10,200
3,520
832
29
100级
ISO Class6
1,000,000
237,000
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35,200
8,320
293
1000级
ISO Class7
352,000
83,200
2,930
10000级
ISO Class8
3,520,000
832,000
29,300
100000级
ISO Class9
35,200,000
8,320,000
293,000
各国洁净度等级近似对照表：
个/M≥
ISO
US
US
EEC
FRANCE
GERMANY
JAPAN
14644-1(1999)
209E(1992)
209D(1988)
cGMP(1989)
AFNOR(1981)
ISO14644-1（国际标准）
空气洁净
度等级(N)
大于或等于所标粒径的粒子最大浓度限值（个/每立方米空气粒子）
类似于
传统级别
ISO Class1
10
2
ISO Class2
100
24
10
4
ISO Class3
1,000
237
102
35
8
1级
ISO Class4
10,000
2,370
1,020
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C
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ISO Class5
100,000
23,700
10,200
3,520
832
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100级
ISO Class6
1,000,000
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ISO Class7
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ISO Class8
3,520,000
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29,300
100000级
ISO Class9
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293,000
各国洁净度等级近似对照表：
个/M≥
ISO
US
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FRANCE
GERMANY
JAPAN
14644-1(1999)
209E(1992)
209D(1988)
cGMP(1989)
AFNOR(1981)
ISO14644-1（国际标准）
空气洁净
度等级(N)
大于或等于所标粒径的粒子最大浓度限值（个/每立方米空气粒子）
类似于
传统级别
ISO Class1
10
2
ISO Class2
100
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ISO Class3
1,000
237
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ISO Class4
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