EX2椭圆偏振测厚仪操作步骤

EX2椭圆偏振测厚仪操作步骤
By冶前增
1.打开仪器电源开关，打开电脑，点击打开软件EX3进入预热界面（若是之前已经预热过或打开仪器超过十分钟则点击取消加热直接进入测量界面）。

2.点击测量原理，了解测量的基本原理与步骤。

3.点击仪器设置，由于仪器之前已经设置好了，这一步可直接跳过。

4.点击放置样品，样品台和入射臂和检偏臂角度已设置好，直接将样品放置在样品台上且测量面朝上，将光源孔的保护膜撕下。

点击软件的开始按钮进行光强测量，选择适当的增益使得光强>10%。

5.点击软件中的测量样品按钮进入测量样品界面。

（1）.搜索P的消光区域：起偏器P旋转，初始范围0°~180°；检偏器A角度固定初始为45°，方位角扫描歩距可设置，初始为2°；设置完毕后点击开始按钮，界面中间出现光强值曲线，右侧为曲线对应原始数据，可导出保存。

待起偏器P停止旋转，点击“分析”按钮，然后保存数据。

（2）搜索A的消光区域：起偏器方位角P固定，角度设置为步骤（1）中的消光角P0，检偏器A旋转，初始范围为0°~ 90°，后面操作与步骤（1）。

下面开始进行精细测量
（3）测量P的消光点P01：起偏器P旋转，扫描范围为步骤1中消光角P0±15°，检偏器A固定，角度为步骤2中的消光角A0，后面的操作与步骤1相同。

（4）测量A的消光点A01：起偏器P固定，角度为步骤3中的消光角P01，起偏器A 旋转，扫描范围为步骤2中消光角A0±15°，后面的操作与步骤2相同。

在测量结果栏中选中此行，计算椭偏角。

（5）测量P的消光点P02：起偏器P旋转，扫描范围为（P01+90°或P01-90°，保证其结果在0°~180°之间）±15°。

检偏器A固定为180°-A01，后面的操作与步骤3相同。

（6）测量A的消光点A02：起偏器P固定，角度为步骤5中的消光角P02，起偏器A 旋转，扫描范围为（180°-A01）±15°，后面的操作与步骤4相同。

在测量结果栏中选中此行，计算椭偏角。

（7）计算样品椭偏角：选中步骤4和6所对应的椭偏角，两象限平均，得出最终样品所测的椭偏角。

选中最终得到的椭偏角点击分析按钮进入数据分析界面。

6.（1）进行项目设置：选中测量项目中的纳米薄膜：膜厚th和折射率n；样品模型已选好，无需更改，
（2）点击查表进入查表界面：点击计算界面显示相应的模型计算结果和图形；
点击查表，查表结果栏中显示相应的折射率、膜厚、MSE（理论值椭偏角和实测椭偏角的最小方差根），反复操作计算查表直至MSE达到0.001数量级。

（3）点击保存回到数据分析界面，在历史记录栏中显示当前测试结果。

导出数据一次样品测量完成。

7.关机：
（1）退出仪器的软件关闭电脑。

（2）关闭椭偏仪主机电源开关。