SU8200场发射扫描电镜技术说明文件模板

SU8200场发射扫描电镜技术说明文件

一、二次电子分辨率：

0.8 nm (加速电压 15 kV，工作距离4 mm)

1.1 nm (着陆电压 1 kV，工作距离1.5 mm)(减速模式)

以上分辨率的测试都是基于日立电镜的分辨率测试标样（蒸金磁带样品，蒸金碳样品）

二、放大倍率：

低倍模式：⨯20 到⨯2k

高倍模式：⨯100 到⨯1000k

三、电子光学：

1.电子枪：

冷场发射电子枪（带有柔性flash功能）

2.加速电压: 0.5 到 30 kV

着陆电压: 0.01到 2 kV

3.透镜系统

三级电磁透镜系统

4.物镜光阑

四孔可调光阑(内置加热自清洁功能)

5.扫描线圈

二级电磁式偏转线圈（高倍模式）

一级电磁式偏转线圈（低倍模式）

6.消像散器

八级电磁系统（X，Y）

7.探测器：

低位（Lower）、高位（Upper）、和顶位（Top）三种探测器进行二次电子/背散射电子的接收能谱系统 (选配)

8.束闸

电磁型

9.电位移：

±12 μm (工作距离8 mm)

注意：工作距离改变时，电位移范围会改变

四、样品室和样品台：

1.样品台控制：

五轴马达台

2.可移动范围和样品尺寸：

3.可安装样品高度

4.换样

预抽室

5.样品台控制：

图形界面控制

自动样品更换位置定位功能

样品台移动轨迹存储功能

优中心旋转功能

图片导航功能

五、显示系统

1.用户界面

电脑显示器上的图形用户界面

2.电脑

操作系统：微软Windows 7 专业版（32位）

操作台：鼠标、键盘、旋钮板、样品台控制方法（标配轨迹球，或选配操纵杆）3.显示器

24.1寸液晶显示器或同等配置的显示器（屏幕：1,920×1,200像素）

4.扫描模式：

二维图像显示

选区模式

点分析模式

平均浓度分析模式

图像显示模式

大屏显示模式 (1280 ⨯ 960)

单屏显示模式 (800 ⨯ 600)

双屏同时显示模式 (800 ⨯ 600)

四屏同时显示模式 (640 ⨯ 480)

选区显示模式（图像调整时使用）

5.电子光学对中：

电子束对中

光阑对中

像散对中

低倍对中

6.扫描模式

积分扫描

快扫

慢扫

缩小区域扫

高清捕图

积分捕图

荷电抑制扫描(CS扫描)

7.扫描速度

TV：两级扫描速度（Rapid1～Rapid2）

快扫：两级扫描速度（Fast1～Fast2）

慢扫：七级扫描速度（Slow1～Slow7）

CS扫描：七级扫描速度（CSS1～CSS7）

选区扫描

8.自动调节功能：

ABCC (自动亮度/对比度调节)，自动聚焦

9.信号和图像处理功能：

通过积分，图像的信噪比提高

桢积分（最大积分数量：1,024）（TV和快扫模式）

彩色图像显示

两种颜色混合图像显示（实时）

伪彩图像显示（保存图像）

存储图像处理

∙渐变转换

∙Gamma 调节

∙多重滤波处理

10.图像存储：

图像存储尺寸：640 ⨯ 480，800 ⨯ 600，1,280 ⨯ 960，2,560 ⨯ 1,920，5,120 ⨯ 3,840像素保存格式：BMP,TIFF(8位),JPEG

11.图像打印

自由布局打印功能

12.保存数据图像的处理

图像管理和处理(SEM Data Manager) ：

∙图片数据库管理

∙缩略图显示

∙多种图片处理功能

13.其他功能：

束闸功能（图像冻结时）

光栅旋转/倾斜补偿

测量功能 (实时图像或存储图像)

参数显示 (照片号、加速电压、放大倍率、微标尺、工作距离、日期、时间)

参数条被底：透明、黑色

数据输入和标注（圆，矩形，箭头，尺寸线）

14.外部设备接口：

USB 接口

网卡接口

15.X射线分析功能扫描模式：

●点扫描

●面扫描

●DBC接口（选配）

六、真空系统

1.真空控制：

完全自动气动阀系统

2.真空泵：

离子泵： 60 L/s ⨯ 1, 20 L/s ⨯ 2

磁悬浮分子泵： 300 L/min ⨯ 1（主抽气）

机械泵

＊为减轻污染，推荐使用干泵

3.真空量规：

全量程量规，皮拉宁规两个（控制真空系统），潘宁规一个

4.真空度：

电子枪：﹤10-8 Pa

样品室：﹤10-4 Pa

5.样品交换室：

六寸预抽室

七、保护措施

断电保护、断水保护、漏气保护

八、循环水

冷却水循环

流速：1.0～1.5 L/min （冷却物镜）

水压：50～100 kPa

水温：10 to 20 ︒C （10分钟内最大可变化0.5度）

九、防污染措施

液氮冷阱

十、SU8200系列扫描电镜（SU8220,SU8230,SU8240）