各种光学干涉仪
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马赫—泽德全光纤干涉仪
• 作为一个工程实用的传感器，最好采用全光纤干涉仪。 • 图表示马赫—泽德全光纤干涉仪的基本结构，以这个基本结构为基础
还有很多变形结构。它的两个臂都使用光纤，且光的分路与合路也都 是用3 dB光纤耦合器。 • 其优点是体积小，且机械性能稳定。当然，重要的是要解决好光纤耦 合器的工艺和稳定性问题。
2. 马赫－泽德(曾德尔)干涉仪
• 图是马赫—泽德干涉仪的原理图。
马赫——曾德干涉仪的基本原理：利用分振幅 法产生双光束干涉。
• 这种干涉仪也能探测小至10-14m的位移。
• 它与迈克尔逊干涉仪有一些相同之处。同 样，从激光器输出的光束先分后合。
• 两束光由可动反射镜的位移引起相位差， 并在光探测器上产生干涉。
与迈克尔逊干涉仪之区别
1、它没有或很少有光返回到 激光器，返回到激光器的 光会造成激光器的不稳定 噪声，对干涉测量不利。
第二个输出信号
2、由图可以看到，从分束器 2向上还有另外两束光， 一束是上面水平光束的反 射部分，另一束是垂直光 束的透射部分。
如果需要，也可以用这两束 光的干涉光强获得第二个 输出信号。这在一些应用 上是很方便的。
马赫—泽德全光纤干涉仪
• 作为一个工程实用的传感器，最好采用全光纤干涉仪。 • 图表示马赫—泽德全光纤干涉仪的基本结构，以这个基本结构为基础
还有很多变形结构。它的两个臂都使用光纤，且光的分路与合路也都 是用3 dB光纤耦合器。 • 其优点是体积小，且机械性能稳定。当然，重要的是要解决好光纤耦 合器的工艺和稳定性问题。
2. 马赫－泽德(曾德尔)干涉仪
• 图是马赫—泽德干涉仪的原理图。
马赫——曾德干涉仪的基本原理：利用分振幅 法产生双光束干涉。
• 这种干涉仪也能探测小至10-14m的位移。
• 它与迈克尔逊干涉仪有一些相同之处。同 样，从激光器输出的光束先分后合。
• 两束光由可动反射镜的位移引起相位差， 并在光探测器上产生干涉。
与迈克尔逊干涉仪之区别
1、它没有或很少有光返回到 激光器，返回到激光器的 光会造成激光器的不稳定 噪声，对干涉测量不利。
第二个输出信号
2、由图可以看到，从分束器 2向上还有另外两束光， 一束是上面水平光束的反 射部分，另一束是垂直光 束的透射部分。
如果需要，也可以用这两束 光的干涉光强获得第二个 输出信号。这在一些应用 上是很方便的。