原子力显微镜——AFM
原子力显微镜(afm)的基本构成
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原子力显微镜(afm)的基本构成原子力显微镜(Atomic Force Microscope,简称AFM)是一种用来观察物质表面形貌的高精密显微镜。
它采用原子力探针技术,可以在几个纳米至几个微米的尺度范围内进行观测,并能提供非常高分辨率的表面形貌信息。
AFM的基本构成包括机械支撑系统、探针系统和控制系统。
下面将分别介绍其构成要素。
1.机械支撑系统:机械支撑系统是AFM的重要组成部分,用于稳定和保持探针与样品之间的相对位置。
它通常由几个关键部件组成:-扫描装置:扫描装置用于水平移动样品或探针,以实现对样品表面的扫描。
扫描装置由X、Y、Z三个方向上的驱动器组成,可实现物理、电机或压电驱动。
-压电陶瓷:压电陶瓷在AFM中用于控制探针的位置和微小位移。
当施加电压时,压电陶瓷会发生形变,从而移动探针的位置。
-悬臂杆:悬臂杆作为一种机械支撑装置,用于支撑和稳定探针的位置。
悬臂杆通常由弹性材料制成,如硅或硅质材料。
2.探针系统:探针系统是AFM的核心部件,用于接触和测量样品表面的形貌。
探针系统通常由两个主要组件组成:-探针:探针是AFM中与样品直接接触并进行测量的部分。
它通常由硅制成,并在其一侧附着探针尖端。
探针尖端具有非常小的尺寸,在几纳米至几十纳米之间。
-接收器:接收器用于接收探针与样品之间的相互作用力。
它通常由光学或电子传感器组成,可测量探针的位移,并将其转换为电信号。
3.控制系统:控制系统用于控制和测量AFM的各种参数,以提供准确的表面形貌信息。
它通常由几个关键组件组成:-仪器控制器:仪器控制器用于控制AFM的各种操作,如扫描速度、力量控制等。
它具有一个用户界面,可以通过操作界面进行参数设置和图像显示。
-数据采集卡:数据采集卡用于接收和记录探针接触样品时的力信号,并将其转换为数字信号。
这些数据可以被后续分析软件用于生成图像和数据处理。
-反馈系统:反馈系统用于监测和控制探针与样品之间的相互作用力。
它通过比较实际测量力和设定的参考力,并调整探针位置和扫描速度,以保持探针与样品之间的相对位置不变。
原子力显微镜杨氏模量测试标准
![原子力显微镜杨氏模量测试标准](https://img.taocdn.com/s3/m/7c326628cd7931b765ce0508763231126edb77d5.png)
原子力显微镜杨氏模量测试标准一、引言原子力显微镜(AFM)是一种基于扫描探针技术的显微镜,它是近年来发展起来的一种高分辨率成像技术,可以同时获取样品表面的形貌和物理性质。
其中,杨氏模量是描述材料弹性性质的重要参数之一,因此,通过AFM对样品表面进行杨氏模量测试,可以在完整保留样品表面的形貌和结构的同时,精确地分析出样品的弹性性能,这在材料科学、生物医学、纳米技术等领域具有重要的应用价值。
二、杨氏模量的相关知识杨氏模量是材料力学中一个重要的弹性参数,表示材料受力时的变形程度。
其定义为单位横向应力下单位纵向应变的比值,即材料弹性模量的一个特征值。
其公式如下:E=σ/ε其中,E表示杨氏模量,σ表示单位应力,ε表示单位应变。
单位应力和单位应变可以是拉伸、压缩、剪切等不同形式的应力和应变。
三、AFM杨氏模量测试标准参考内容在对样品进行AFM杨氏模量测试时,需要遵循一定的标准操作流程和评价标准,具体参考内容如下:1. 样品制备样品应需具有一定的平整度和干燥度,避免在测试过程中出现大幅度的表面振动和凸起部分的松散、变形等问题。
在样品制备过程中,应避免使用带有有机溶剂的清洗液等会影响杨氏模量测试的物质。
2. 试验参数设置在进行AFM杨氏模量测试时,应根据样品的具体情况设置以下试验参数:载荷量、扫描速度、扫描区域、扫描模式、扫描方向等。
同时,应保证探针和样品间距离合适,避免干扰和伤害样品表面。
3. 数据处理与分析在进行AFM杨氏模量测试后,可以通过图像处理软件对获得的数据进行分析。
其中,常用的处理方法包括拟合分析、干涉对比等。
经过处理后,可以得到样品各区域的杨氏模量数值和变化趋势,进一步分析其弹性特征和力学性质。
4. 评价标准在进行AFM杨氏模量测试后,需要根据不同领域和应用的需要,对样品的弹性性能进行评价。
其中,常用的评价指标包括最小值、最大值、平均值、标准差等。
同时,应根据实验数据的质量和精度,对各项指标给出相应的可接受范围和误差范围。
原子力显微镜法
![原子力显微镜法](https://img.taocdn.com/s3/m/9cb86c6de3bd960590c69ec3d5bbfd0a7956d5c4.png)
原子力显微镜法原子力显微镜(Atomic Force Microscopy,简称AFM)是一种高分辨率的表面形貌和力学特性测量技术。
它通过在探针和样品表面之间施加微小的力量,利用谐振频率变化的检测原理获得样品表面的拓扑信息,从而实现纳米尺度的观测和测量。
本文将介绍 AFM 的基本原理、操作流程及其在纳米科学与纳米技术领域的应用。
一、基本原理原子力显微镜是基于探针与样品表面之间相互作用力的测量原理工作的。
探针端通过弹性变形受到样品表面的力作用,且力与距离成反比。
AFM以原子尺度的分辨率测量表面形貌,使用悬臂梁弹簧探针,通过测量力传感器的弯曲程度得到样品表面的高低起伏。
由于探针尖端可以被加工成非常尖锐的形状,所以可以实现纳米级别的表面成像。
二、操作流程1. 样品准备:将待测样品表面进行清洗和处理,确保表面干净平整。
2. 探针安装:选择合适的探针并安装在原子力显微镜仪器上。
3. 探针校准:使用标定样品或试样进行探针的校准调整,以确保测量结果的准确性。
4. 调整参数:根据样品的特性和需要测量的参数,进行原子力显微镜的工作参数设置。
5. 表面成像:将样品放置在仪器台面上,通过控制探针的移动和扫描模式,实现对样品表面的成像。
6. 数据分析:对得到的图像进行处理和分析,提取所需的拓扑和力学信息。
三、应用领域原子力显微镜法在纳米科学与纳米技术领域有着广泛的应用。
1. 表面形貌分析:原子力显微镜可以实现对材料表面的纳米级别形貌观测,如纳米颗粒、纳米线、纳米薄膜等的形貌表征。
2. 纳米力学性质研究:通过在原子力显微镜中加入力曲线扫描模式,可以测量材料的力学性质,如硬度、弹性模量等。
3. 表面化学成分分析:结合原子力显微镜与其他表征手段,如扫描电子显微镜、能谱分析等,可以实现对样品表面化学成分的分析。
4. 生物医学应用:原子力显微镜可实现对生物分子及细胞的高分辨率成像和测量,对生物医学研究具有重要意义。
5. 纳米加工与纳米制造:利用原子力显微镜的扫描控制功能,可以进行纳米级别的构筑、雕刻和操控,用于纳米加工技术和纳米器件制造。
原子力显微镜(AFM)
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16
±3 nm
±2 nm
AFM images (5 µm × 5 µm) of film (5 %) Ru-PVK (a) and (5 %)RuPBD (b).
17
3.3 其他扫描探针显微技术
STM、AFM是众多扫描探针显微技术中的一部分。大多数商品化的仪器均为模块 化结构,只需在标配的镜体上更换或增添少量的硬件就可实现功能的增加或转换。 3.3.1 磁力显微技术 磁力显微技术可对样品表面磁力的空间变化成像。MFM的针尖上镀有铁磁性 薄膜,系统工作在非接触模式,检测由随针-样品间隙变化的磁场引起的悬臂共 振频率的变化,它可得到磁性材料中自发产生和受控写入的磁畴结构。
但由于范德华引力较弱,接触模式分辨率较低。
15
3 轻敲成像模式
同非接触模式相似,在针尖扫描过程中,微悬臂也是震荡 的,其振幅比非接触模式更大,同时针尖在震荡时间断地 与样品接触。 在微悬臂震荡过程中,由于针尖间断式地与样品接触,因 此其振幅不断改变。 反馈系统根据检测到这个变化的振幅,不断调整针尖与样 品间距,以便控制微悬臂振幅,进而控制针尖在样品表面 上力的恒定,从而获得原子力显微图像。 优点:分辨率高,可应用于柔性、易碎和粘附性样品。
第一篇 第三章 SPM
3.2 原子力显微镜(AFM)
Atomic Force Microscope
从扫描隧道显微镜的工作原理可知,其工作时必须实时 通过检测针尖和样品间隧道电流变化实现样品结构成 像,因此它只能用于观察导体或半导体材料的表面结 构,不能实现对绝缘体表面形貌的观察。 为了测量绝缘体样品的表面结构,1986年,G.Binning 在扫描隧道显微镜的基础上发明了原子力显微镜。
21
1
对微弱力敏 感的悬臂 力检测器
原子力显微镜(afm)的基本构成
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原子力显微镜(afm)的基本构成原子力显微镜(Atomic Force Microscope,简称AFM)是一种测量样品表面形貌和力学性质的仪器。
它是在20世纪80年代末发展起来的一种非接触式表面探测技术。
AFM可以在几个纳米至亚纳米尺度范围内进行表面测量,可用于对样品的形貌、磁性、电导率等性质进行研究。
下面将介绍AFM的基本构成。
1.扫描压电陶瓷动力系统:该系统由扫描器和压电陶瓷驱动器组成。
扫描器通常由三个方向的压电陶瓷构成,通过改变瓷片的形变来实现样品表面的扫描。
压电陶瓷驱动器则负责产生电压信号,控制扫描器的移动。
这个系统的精度决定了扫描和测量的精度。
2.悬臂梁/探针:AFM的探测部分由一个非常尖锐的探针组成。
探针的尖端通常是金或硅制成,其尺寸可以从几纳米到亚纳米。
悬臂梁/探针连接到悬臂支撑系统,其作用是传递扫描过程中对样品表面的力信号。
3.光学探测系统:AFM使用光学技术来获取样品的形貌信息。
光学系统通常包括激光光源、光学透镜和位移检测器。
激光光源发出一束光束,照射到悬臂梁上,并反射到位移检测器上。
位移检测器测量悬臂的挠度,并将其转换为电信号。
4.反馈系统与力曲线:AFM通过一个反馈系统来实现对扫描过程中的力信号的控制。
反馈系统会监测探针受到的力,将其与设定的力进行比较并进行调整,以保持恒定的力作用在探针上。
此外,反馈系统还会记录力曲线,即探针所受到的力与其在样品表面扫描位置之间的关系。
5.控制和数据分析系统:AFM的控制系统通过电脑来实现。
该系统控制扫描器的移动和力信号的获取,并根据获取的数据进行分析和处理。
用户可以通过电脑软件来控制AFM仪器的各种参数,并进行样品表面的三维成像、力谱分析等。
除了以上基本构成外,AFM还可以根据研究需求配备不同的显微镜头,以扩展其应用范围。
常见的显微镜头包括原子力显微镜(Atomic Force Microscope,简称AFM)、磁力显微镜(Magnetic Force Microscope,简称MFM)、电导率显微镜(Conductive Atomic Force Microscope,简称C-AFM)等。
原子力显微镜
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原子力显微镜原子力显微镜(Atomic Force Microscope,简称AFM)是一种高分辨率的显微镜技术,通过探针与样品表面的相互作用,可以获取纳米级的表面形貌和力学性质信息。
本文将介绍原子力显微镜的原理、应用以及未来的发展前景。
一、原理原子力显微镜的工作原理基于触针与样品表面的相互作用力,通过探测器对这种相互作用力进行检测和测量。
主要包括力探头、支撑结构、扫描部件、力传感器等多个部分。
当力探头接近样品表面时,表面原子与力探头上的原子之间会发生排斥或吸引的作用力,力探头被弯曲,力的大小和方向与样品表面的形貌和力学性质有关,通过探测器的测量,可以得到样品表面精细的拓扑信息。
二、应用领域原子力显微镜在材料科学、生物科学、纳米技术等领域有着广泛的应用。
1. 材料科学原子力显微镜可以用于材料的表面结构和形貌研究。
通过观察样品表面的凹凸不平、纳米级的颗粒分布等可以得到材料的表面形貌信息。
同时,还可以通过测量样品表面的硬度和弹性模量来评估材料的力学性质。
2. 生物科学生物领域中,原子力显微镜可以用于观察和研究生物分子的结构和相互作用。
通过将生物样品固定在一个稳定的平台上,可以观察到生物分子的三维结构,从而研究其功能和性质。
此外,原子力显微镜还可以用于细胞力学性质的研究,例如细胞的刚度、粘附性等。
3. 纳米技术在纳米技术领域,原子力显微镜扮演着重要的角色。
可以利用原子力显微镜来观察纳米颗粒的形貌、尺寸和分布,对纳米结构进行表征和分析。
此外,原子力显微镜还可以用于纳米加工、纳米操纵等方面的研究。
三、未来发展前景原子力显微镜作为一种重要的纳米级表征工具,其发展前景非常广阔。
1. 提高分辨率随着技术的不断发展,原子力显微镜的分辨率得到了大幅度的提高。
未来,我们可以预期原子力显微镜的分辨率将越来越高,可以观察到更加微小的结构和表面特征。
2. 多种模式的结合目前已经存在多种不同的原子力显微镜工作模式,例如接触模式、非接触模式、谐振模式等。
原子力显微镜AFM
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四、对样品的要求
原子力显微镜研究对象可以是有机固体、聚合物以及生物大分子等,样品的载体选择范围 很大,包括云母片、玻璃片、石墨、抛光硅片、二氧化硅和某些生物膜等,其中最常用的是 新剥离的云母片,主要原因是其非常平整且容易处理。而抛光硅片最好要用浓硫酸与 30%双 氧水的7∶3 混合液在90 ℃下煮1h。利用电性能测试时需要导电性能良好的载体,如石墨或 镀有金属的基片。
非接触模式(Non-Contact Mode): 优点:没有力作用于样品表面。
缺点:由于针尖与样品分离,横向分辨率低;为了避免接触吸附层而导致针尖胶粘,其扫描 速度低于Tapping Mode和Contact Mode AFM。通常仅用于非常怕水的样品,吸附液层必须 薄,如果太厚,针尖会陷入液层,引起反馈不稳,刮擦样品。由于上述缺点, oncontact Mode的使用受到限制。
如图所示,二极管激光器(Laser Diode)发出的激光束经 过光学系统聚焦在微悬臂(Cantilever)背面,并从微悬臂 背面反射到由光电二极管构成的光斑位置检测器 ( Detector )。在样品扫描时,由于样品表面的原子与微 悬臂探针尖端的原子间的相互作用力,微悬臂将随样品表 面形貌而弯曲起伏,反射光束也将随之偏移,因而,通过 光电二极管检测光斑位置的变化,就能获得被测样品表面 形貌的信息。
一、仪器结构
在原子力显微镜(Atomic Force Microscopy, AFM)的系统中,可分成三个部分:力检测部 分、位置检测部分、反馈系统。
1.1力检测部分
在原子力显微镜(AFM)的系统中,所要检测 的力是原子与原子之间的范德华力。所以在本 系统中是使用微小悬臂(cantilever )来检测 原子之间力的变化量。微悬臂通常由一个一般 100~500μ m长和大约500nm~5μ m厚的硅片 或氮化硅片制成。微悬臂顶端有一个尖锐针尖, 用来检测样品-针尖间的相互作用力。这微小 悬臂有一定的规格,例如:长度、宽度、弹性 系数以及针尖的形状,而这些规格的选择是依 照样品的特性,以及操作模式的不同,而选择 不同类型的探针。
afm原子力显微镜简介
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量样品的尺寸参数
•2.工作原理
•
•在原子力显微镜的系统中, 是 利用微小探针与待测物之间交 互作用力, 来呈现待测物的表面 之物理特性。
2.工作原理
• 将一个对力极为敏感的微悬臂的一端固定, 另一端固定针尖 • 当针尖在样品表面扫描时, 因针尖尖端原子与样品表面原子
• 1.偏移图(错位信号图)
•
在接触模式下, 通过记录反
射激光束在PSPD上的即时信号与预
设信号之间的电压差而成像。
5.辅助图像
• 2.振幅图
•
在接触模式下, 给微悬臂加上一个小振幅、
低频率的简谐振动后(力调制技术), 通过记录微
悬臂振幅的变化而成像。
• 3. 相图
•
是与振幅图相类
似, 在轻敲模式下, 通
6.AFM应用
• 观测生物样品
• λ-DNA
• 霍乱菌
6.AFM应用
• 表面信息统计分析
7.AFM的缺陷
• 1.较小的扫描范围, 100μm到 10nm, 容易将局部的、特殊的 结果当作整体的结果而分析, 以及使实验结果缺乏重现性。
• 2.极其高的分辨率, 使得在样 品制备过程中产生的或者是从 背景噪音中产生的极小赝像都 能够被检测、观察到, 产生赝 像。
afm原子力显微镜简介
主要内容
• 1.概述 • 2.工作原理 • 3.仪器介绍 • 4.成像模式 • 5.辅助图像 • 6.AFM应用 • 7.AFM的缺陷
1.概述
• AFM (Atomic Force Microscope)原子力 显微镜 以原子间力为理论基础的显微镜, 从STM(扫描隧道显, 振
afm原理
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afm原理
AFM(Atomic Force Microscopy,原子力显微镜)是一种高分辨
率的成像技术,可以在纳米尺度下观察样品表面的形貌、力学性质和表面电荷分布。
其基本工作原理是通过纳米尺度的探针与样品表面之间相互作用,获得样品表面的形貌信息。
在AFM中,探针通常由一根弹性的探针尖端构成,使用弹性
振幅调制技术进行操作。
探针与样品表面之间的相互作用力可以通过探针的振幅变化来测量。
当探针与样品表面相互作用时,在探针尖端位置上会产生微小的变形,该变形可通过激光或电信号检测到。
AFM的工作原理基于弹性力与探测力之间的相互作用。
探测
力可以通过探针的振幅变化来测量,从而获得样品表面的拓扑信息。
当探针尖端与样品表面的相互作用力增加时,探针的振幅呈现减小的趋势。
相反,当相互作用力减弱时,探针的振幅呈现增加的趋势。
通过测量这些振幅变化,可以生成样品表面的拓扑图像。
除了形貌信息,AFM还可以测量样品表面力学性质。
通过测
量探针在样品表面的弹性变形,可以推断样品的硬度、弹性模量等力学性质。
此外,AFM还可用于测量样品表面的电荷分布,通过将探针
调制成了一种电容器,利用样品表面和探针之间的物理电容效应来测量样品表面的电荷状态。
通过这种方式,可以获得样品表面的电荷分布图像。
总的来说,AFM利用探针与样品表面之间的相互作用来获取样品表面的形貌、力学性质和电荷分布等信息。
这种显微技术广泛应用于物理学、化学、材料科学等各个领域的研究中,为研究微观结构和性质提供了一种强大的工具。
原子力显微镜AFM
![原子力显微镜AFM](https://img.taocdn.com/s3/m/985c91390b4c2e3f57276357.png)
图2.4 接触模式工作原理
空间分辨率
试样环境 图像形式 试样损伤 力学性质
原子级0.1nm
大气环境、液相、 真空 二维、三维图像 几乎无 局部微区力学 性能
3~6nm
高真空 二维图像
对电子束敏感 对电子束敏感 物质有损伤 物质有损伤
无 无
• 1.2 AFM主要功能
• 高空间分辨率描述物质表面微观结构;
• 能够用于表征固体物质表面局部微小区域的力学
和物理性质,例如定量测定粗糙度、弹性模量、硬 度、黏弹性质等; • 原子分子搬迁,应用AFM针尖在纳米尺寸对材 料表面作微机械加工、表面改性或改变大分子取向
和信息技术中的高密度存储技术等。
2. AFM的工作原理及工作模式
2.1 AFM的结构和工作原理
作用力F与形变△z之 间的关系: F=k · △z k: 微悬臂的弹性常数 △z:微悬臂发生的微 小弹性变形
图2.8 轻敲模式原理图
a. 高度像
b. 相位像
其是通过检测驱动微悬臂 振动的信号与微悬臂实际振 动的相位角之差的变化来成 像。
图2.7 相位成像原理 示意图
(a)
(b)
图2.8 一种有机薄膜的高度像(a)与相位像(b)
相位像对不同颗粒及其边界具有更强的反差,并可在纳 米尺度上提供试样表面组分、摩擦、黏弹性及其他性质的 分析。
表2.1 接触模式与轻敲模式的比较 接触模式 轻敲模式
AFM原子力显微镜
![AFM原子力显微镜](https://img.taocdn.com/s3/m/6bba53fbaeaad1f346933f7b.png)
AFM全称Atomic Force Microscope,即原子力显微镜,它是继扫描隧道显微镜(Scanning Tunneling Microscope)之后发明的一种具有原子级高分辨的新型仪器,可以在大气和液体环境下对各种材料和样品进行纳米区域的物理性质包括形貌进行探测,或者直接进行纳米操纵;现已广泛应用于半导体、纳米功能材料、生物、化工、食品、医药研究和科研院所各种纳米相关学科的研究实验等领域中,成为纳米科学研究的基本工具。
AFM是由G.Binning在STM的基础上于1986年发明的表面观测仪器。
AFM=Atomic Force Microscope(原子力显微镜)。
原子力显微镜与扫描隧道显微镜相比,由于能观测非导电样品,因此具有更为广泛的适用性。
当前在科学研究和工业界广泛使用的扫描力显微镜(Scanning Force Microscope),其基础就是原子力显微镜。
原理:当原子间距离减小到一定程度以后,原子间的作用力将迅速上升。
因此,由显微探针受力的大小就可以直接换算出样品表面的高度,从而获得样品表面形貌的信息。
分类﹕(1) 接触式﹕利用探针和待测物表面之原子力交互作用(一定要接触),此作用力(原子间的排斥力)很小,但由于接触面积很小,因此过大的作用力仍会损坏样品,尤其对软性材质,不过较大的作用力可得较佳分辨率,所以选择较适当的作用力便十分的重要。
由于排斥力对距离非常敏感,所以较易得到原子分辨率。
(2) 非接触式﹕为了解决接触式之AFM 可能破坏样品的缺点,便有非接触式之AFM 被发展出来,这是利用原子间的长距离吸引力来运作,由于探针和样品没有接触,因此样品没有被破坏的问题,不过此力对距离的变化非常小,所以必须使用调变技术来增加讯号对噪声比。
在空气中由于样品表面水模的影响,其分辨率一般只有50nm,而在超高真空中可得原子分辨率。
(3) 轻敲式﹕将非接触式AFM 改良,将探针和样品表面距离拉近,增大振福,使探针再振荡至波谷时接触样品由于样品的表面高低起伏,使的振幅改变,再利用接触式的回馈控制方式,便能取得高度影像。
原子力显微镜单分子力谱
![原子力显微镜单分子力谱](https://img.taocdn.com/s3/m/633ea94bdf80d4d8d15abe23482fb4daa58d1de6.png)
原子力显微镜单分子力谱
原子力显微镜(AFM)是一种高分辨率的显微镜,它可以用来观
察物质表面的原子级别的结构。
AFM的工作原理是利用微小的力传
感器来测量样品表面的力,从而生成高分辨率的图像。
单分子力谱
是利用AFM技术来研究单个分子的力学性质和力学行为的一种方法。
在单分子力谱实验中,AFM的探针被用来施加力于单个分子,
并测量分子的力学响应。
通过在不同位置施加力并测量分子的反应,可以获得关于分子力学性质的详细信息。
这种技术对于研究生物分
子(如蛋白质和DNA)的力学性质以及纳米材料的力学性质具有重
要意义。
单分子力谱可以提供关于分子之间相互作用、弹性性质和断裂
强度的信息。
通过在不同条件下进行实验,比如在不同的溶液中或
者在不同的温度下,可以揭示分子的力学性质如何受到外界环境的
影响。
除了研究基本的力学性质,单分子力谱还可以用于研究药物的
设计和生物医学应用。
通过测量药物分子与靶标分子之间的相互作
用力,可以帮助科学家设计更有效的药物分子。
此外,对细胞和蛋
白质的力学性质的研究也有助于理解生物学过程和疾病的发生机制。
总的来说,原子力显微镜单分子力谱技术在材料科学、生物医
学和纳米技术领域具有广泛的应用前景,可以帮助科学家深入了解
分子和纳米结构的力学性质,为新材料的设计和生物医学研究提供
重要的信息。
原子力显微镜
![原子力显微镜](https://img.taocdn.com/s3/m/19d77f2f58fb770bf78a55a0.png)
原子力显微镜(AFM)
AFM的发展历史
• 1938年,德国工程师Max Knoll和Ernst Ruska制 造出了世界上第一台透射电子显微镜(TEM) • 1952年,英国工程师Charles Oatley制造出了第 一台扫描电子显微镜(SEM)
至此,电子显微镜的分辨率达到纳米级。
AFM的发展历史
AFM分辨率:横向0.15nm,纵向0.05nm。
STM 分辨率:横向0.1nm,纵向0.01nm
AFM的原理
•
原子力显微镜的基本原理是:将一个对微弱力 极敏感的微悬臂一端固定,另一端有一微小的针 尖,针尖与样品表面轻轻接触,由于针尖尖端原 子与样品表面原子间存在极微弱的作用力(主要 是范德华力),通过在扫描时控制这种力的恒定, 带有针尖的微悬臂将对应于针尖与样品表面原子 间作用力的等位面而在垂直于样品的表面方向起 伏运动。利用光学检测法或隧道电流检测法,可 测得微悬臂对应于扫描各点的位置变化,从而可 以获得样品表面形貌的信息。
非接触模式( non - contact mode) 敲击模式( tapping mode)
接触式工作模式
在接触模式中,探针的针尖部分保持与样品表面接触,其 主要作用力是库仑排斥力。 微悬臂探针压在样品表面,探针尖端和样品做柔软性的 “实际接触”,当针尖轻轻扫过样品表面时,接触的力量 引起悬臂弯曲,进而得到样品的表面图形。
原子力显微镜工作环境
消除了针尖和样品之间的毛细现象,因此减少了针尖对样 品的总作用力.液相AFM的应用十分广阔,它包括生物体 系、腐蚀或任一液固界面的研究. (4)电化学环境:正如超高真空系统一样,电化学系统为 AFM提供了另一种控制环境.电化学AFM是在原有AFM基础 上添加了电解池、双恒电位仪和相应的应用软件.电化学 AFM可以现场研究电极的性质.包括化学和电化学过程诱 导的吸附、腐蚀以及有机和生物分子在电极表面的沉积和 形态变化等。
原子力显微镜
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在系统检测成像全过程中, 探针和被测样品间的距离始终 保持在纳米量级,距离太大不 能获得样品表面的信息,距离 太小会损伤探针和被测样品。 反馈回路在工作过程中,由探 针得到探针-样品相互作用的强 度,来改变加在样品扫描器的 伸缩,调节探针和被测样品间 的距离,反过来控制探针- 样 品 相互作用的强度,实现反馈控 制。反馈控制是本系统的核心 工作机制。
首先双手调节底座手动粗调旋钮(旋钮向左头部向下,反 之向上)观察激光在针尖和样品表面上的光斑,当调节到 两束光点重合在一起时, 应停止手动趋进,然后在马达控制面板上点击“自动趋 进”。(注意:调节时不要使前后端太倾斜,应使马达控 制的一端稍高,否则应退针,并调节底座手动粗调旋钮再 重复以上步骤)。 (7)样品扫描。设置扫描范围X,Y和Z轴范围,若样品不 清晰,调节各参数,使图像达到最佳效果。
试样的厚度,包括试样台的厚度,最大为10 mm。如果 试样过重,有时会影响扫描仪的动作,不要放过重的试样。 试样的大小以不大于试样台的大小(直径20 mm)为大致 的标准。稍微大一点也没问题。但是,最大值约为40 mm。 如果未固定好就进行测量可能产生移位,需固定好后再测 定。
九、应用举例
采用OP 处理 对ITO薄膜进行表面改性,通过AFM、X射线光电 子能谱和四探针等测试手段对薄膜样品进行表征,研究了OP处理 对ITO表面性质的影响。实验结果表明 OP处理有效去除了I T O 表面的污染物,优化了ITO表面的化学组分,降低了ITO表面的粗 糙度和方块电阻,改善了ITO的表面形态。
工作原理图
以激光检测原子力显微镜AFM
二极管激光器发出的激光束经过
光学系统聚焦在微悬臂背面,并从
微悬臂背面反射到由光电二极管构 成的光斑位置检测器。在样品扫描 时,由于样品表面的原子与微悬臂 探针尖端的原子间的相互作用力,
AFM原子力显微镜操作步骤
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AFM原子力显微镜操作步骤AFM(Atomic Force Microscope),即原子力显微镜,是一种能够进行纳米尺度观测和测量的仪器。
其操作步骤可以分为以下几个主要部分:1.准备工作:a.确保实验室环境干净,安全且具备所需的温湿度条件。
b.打开AFM设备,在计算机上启动控制软件。
c.检查AFM设备的仪器和探头是否完好,并确保其正确安装。
2.样品处理:a.准备待测样品并将其固定在适当的基板上。
样品类型可以是固体、溶液或生物体。
b.在样品表面上选择并纳米尺度的扫描区域。
3.控制软件设置:a.在计算机上打开AFM控制软件,并选择适当的实验模式和参数设置。
b.确定所需的扫描范围和扫描方向,并设置扫描速度和采样率等参数。
4.探针校准:a.在探针针尖上涂覆一层导电性材料,例如金属。
b.将探头放置在AFM装置上,并进行力常数和质量标定等预处理步骤。
5.调整样品高度:a.使用显微镜透视系统观察样品表面,通过样品位置调整器上的粗调按钮将探头向样品移近,直到探头与样品表面接触。
b.利用AFM控制软件中的Z轴控制器进行微调,并观察探头与样品表面的接触力变化。
6.开始扫描:a.使用AFM控制软件中的扫描按钮启动扫描过程。
b.观察和监控扫描过程中的实时图像,并调整扫描参数以获得清晰的图像。
c.根据需要,可以选择不同的测量模式和扫描范围,例如原子分辨率扫描或表面形貌测量。
7.数据分析:a.在完成扫描后,保存所得到的数据图像。
b.利用AFM控制软件提供的分析工具对图像进行数据处理和图像重建等操作。
c. 使用其他图像处理软件,如ImageJ或MATLAB,对数据进行进一步分析和图像处理。
8.整理和存档:a.将测量结果整理成报告或记录,并保存在计算机或其他存储介质上。
b.清理和整理实验设备,确保其安全可靠,并在完成后关闭AFM控制软件。
总之,AFM的操作步骤涉及样品处理、控制软件设置、探针校准、调整样品高度、开始扫描、数据分析以及整理和存档等环节。
原子力显微镜-仪器百科
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一、原子力显微镜简介原子力显微镜(Atomic Force Microscope,AFM),一种可用来研究包括导体、半导体和绝缘体在内的固体材料表面结构的分析仪器。
它的横向分辨率可达0.15m,而纵向分辨率可达0.05m,AFM最大的特点是可以测量表面原子之间的力,AFM可测量的最小力的量级为10-14-10-16N。
AFM还可以测量表面的弹性,塑性、硬度、黏着力等性质,AFM还可以在真空,大气或溶液下工作,也具有仪器结构简单的特点,在材料研究中获得了广泛的研究。
它与其他显微镜相比有明显不同,它用一个微小的探针来”摸索”微观世界,AFM超越了光和电子波长对显微镜分辨率的限制,在立体三维上观察物质的形貌,并能获得探与样品相互作用的信息,典型AFM的侧向分辨率(x,y)可达到2nm,垂直分辩牢(方间)小于0。
1mmAFM具有操作客易、样品准备简单、操作环境不受限制、分辨率高等优点。
二、原子力显微镜的基本原理AFM中为检测出表面力而精细加工的感知杠杆使用了一端支撑的微小弹簧板。
在感知杠杆的尖端有半径几十纳米、非常尖的小探针,感知杠杆从试件表面受到探针的作用力变形。
感知杠杆的弹性系数K 一般为已知,通过用隧道电流或激光束偏移,来检测感知杠杆在Z方向上的微小位移△Z,可知作用在探针一表面之的局力(F=K△Z)。
一边测定该力,一边对试样进行机械的二维扫描,就能得到试样表面力的二维像。
为保持力的信号稳定,一边控制试样Z方向的位置,一边扫描试样,记录各点的移动量,就可以得到三维的精细形貌像。
图1当探针尖和试件表面的距离缩小到纳米数量级时,探针尖端原子和试件表面原子间的相互作用力就显示出来,由于原子间距离缩小产生相互作用,造成原子间的高度势垒降低,使系统的总能量降低,于是二者之间产生吸引力(范德华力),如果两原子间距离继续减小接近到原子直径量级时,由于两原子间的电子云的不相容性,两原子间的相互作用为排斥力(库仑力),原子力显微镜就是通过检测探针尖和试件表面原子间的相互作用力而进行测量的。
原子力显微镜(AFM)
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原子力显微镜的特点
原子力显微镜同样具有原子级的分辨 率。由于原子力显微镜既可以观察导 体,也可以观察非导体,从而弥补了 STM的不足
单原子操纵和纳米加工
STM的针尖不仅可以成像,还可以用于操纵表面上的原子 或分子
最简单的方法是将针尖下移,使针尖顶部的原子和表面上 的原子的“电子云”重叠,有的电子为共享,会产生一种 与化学键相似的力。在一些场合下,这种力足以操纵表面 上的原子
➢ 当距离>0.6nm时,STM针尖和样品表面之间的化学相互作用 在单原子操纵过程中不起主导作用,这样,原子的操纵则取决 于针尖和样品表面之间的纯电场或电流效应
单原子操纵的三个部分
➢ 单原子的移动(displacement) ➢ 单原子的提取(extraction) ➢ 单原子的放置(deposition)
在现代超大规模集成电路芯片的光刻生产加工中,目前 广泛应用于实际生产、精度最高的是深紫外光光刻技术。 它加工的最小线宽为130nm,其理论极限是100nm
最小线宽决定了集成电路中晶体管尺寸的大小。因此, 发展100nm以下的刻蚀技术是未来更大规模集成电路 加工的基础
AFM与STM在纳米技术加工方面都具有很强的应用背 景。AFM不受材料种类的限制,在各种材料的加工中得 到了更广泛的应用
氧化硅纳米细线的加工
用多壁碳纳米管针 尖在Si的氢钝化表面 上加工 出的SiO2纳
米结构
SiO2纳米细线构成 的微小的单词
“nanotube”和 “nanopencile”
10nm线宽在石墨表面刻写的字符 Chinese Academy of Sciencer
为了更有效地操纵表面上的原子,通常在针尖和表面之间 加上一定的能量,如电场激励、电流激励、光子激励等能 量方式
原子力显微镜(AFM)
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由於AFM具有原子級的解析度,是各種薄膜粗糙度檢測,及微觀表面結構研究 各種薄膜粗糙度檢測, 各種薄膜粗糙度檢測 的重要工具,並且也很適合與掃描電子顯微鏡相搭配,成為從mm至nm尺度的 的重要工具 表面分析儀器;而AFM亦可在液體環境中操作,更可用來觀測材料表面在化學 觀測材料表面在化學 表面分析儀器 反應過程中的變化,以及生物活體的動態行為 生物活體的動態行為,可廣泛應用於生物科技及醫學 反應過程中的變化 生物活體的動態行為 科技上。另外就是AFM亦可應用於奈米結構之製作與加工 應用於奈米結構之製作與加工,目前已有多種可行 應用於奈米結構之製作與加工 方法,應用於超高密度記憶裝置及次微米電子元件的製作 應用於超高密度記憶裝置及次微米電子元件的製作。 應用於超高密度記憶裝置及次微米電子元件的製作
AFM的操作模式可大略分為以下三種:(1)接觸式:在接觸式操作下,探針與樣品問 的操作模式可大略分為以下三種: 接觸式 在接觸式操作下, 接觸式: 的操作模式可大略分為以下三種 的作用力是原子間的排斥力, 的作用力是原子間的排斥力,這是最早被發展出來的操作模式,由於排斥力對距離 非常敏感,所以接觸式AFM較容易得到原子解析度。在一般的接觸式量測中,探針 與樣品問的作用力很小,約為10-6至10-10N (Newton),但由於接觸面積極小,因此過 大的作用力仍會損壞樣品表面,但較大的的作用力通常可得到較佳的解析度。因此 選擇適當的的作用力,接觸式的操作模式是十分重要的。(2)非接觸式:為了解決接 非接觸式: 非接觸式 觸式AFM可能損壞樣品的缺點,便有非接觸式AFM發展出來,這是利用原子間的長 可能損壞樣品的缺點,便有非接觸式 發展出來, 觸式 可能損壞樣品的缺點 發展出來 距離吸引力『凡德瓦爾力』來運作。 距離吸引力『凡德瓦爾力』來運作。凡德瓦爾力對距離的變化非常小,因此必須使 用調變技術來增強訊號對雜訊比,便能得到等作用力圖像,這也就是樣品的高度影 像。一般非接觸式AFM只有約50nm(10-9m)的解析度,不過在真空環境下操作,其解 析度可達原子級的解析度,是AFM中解析度最佳的操作模式。(3)輕敲式:第三種輕 輕敲式: 輕敲式 敲式AFM則是將非接觸式加以改良,其原理係將探針與樣品距離加近,然後增大振 則是將非接觸式加以改良,其原理係將探針與樣品距離加近, 敲式 則是將非接觸式加以改良 幅,使探針在振盪至波谷時接觸樣品,由於樣品的表面高低起伏,使得振幅改變, 使探針在振盪至波谷時接觸樣品, 再利用類似非接觸式的迴饋控制方式,便能取得高度影像。
扫描探针显微技术之二—原子力显微镜(AFM)技术
![扫描探针显微技术之二—原子力显微镜(AFM)技术](https://img.taocdn.com/s3/m/e16190657275a417866fb84ae45c3b3567ecddce.png)
生物多样性研 究:通过FM技 术研究生物多 样性如微生物、 植物、动物等
其他领域的应用
生物医学 领域:研 究细胞、 组织、器 官的结构 和功能
材料科学 领域:研 究材料的 微观结构 和性能
纳米技术 领域:研 究纳米材 料的合成、 结构和性 能
环境科学 领域:研 究污染物 的形态和 分布
考古学领 域:研究 文物的微 观结构和 历史背景
原子力显微镜(FM) 技术
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02
原子力显微镜 (FM)技术概述
03
原子力显微镜 (FM)技术特点
04
原子力显微镜 (FM)技术应用 实例
05
原子力显微镜 (FM)技术发展 趋势和挑战
01 添加章节标题
02
原子力显微镜(FM)技 术概述
原子力显微镜(FM)定义
03
原子力显微镜(FM)技 术特点
高分辨率和高灵敏度
高分辨率:可以观察到纳 米级别的结构细节
高灵敏度:可以检测到非 常微小的力变化
非破坏性:不会对样品造 成破坏
多功能性:可以应用于多 种样品和环境
实时性:可以实时观察样 品的变化过程
操作简便:操作简单易于 上手
可在液相和气相中进行检测
液相检测:可在液体环境中进行检测适用于生物样品、化学样品等
提高自动化 程度:通过 改进软件和 硬件提高原 子力显微镜 的自动化程 度
拓展应用领 域:通过改 进原子力显 微镜的性能 和应用技术 拓展其在生 物、材料、 环境等领域 的应用
技术挑战和解决方案
技术挑战:分辨率和 灵敏度限制
解决方案:开发新型 探针和扫描技术
技术挑战:样品制备 和表面处理
解决方案:优化样品 制备和表面处理方法
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位置检测部分: 位置检测部分: 在原子力显微镜(AFM)的系统中,当针尖与 在原子力显微镜(AFM)的系统中,当针尖与 样品之间有了交互作用之后,会使得悬臂 (cantilever)摆动,所以当激光照射在 cantilever)摆动,所以当激光照射在 cantilever的末端时,其反射光的位置也会因为 cantilever的末端时,其反射光的位置也会因为 cantilever摆动而有所改变,这就造成偏移量的 cantilever摆动而有所改变,这就造成偏移量的 产生。在整个系统中是依靠激光光斑位置检测器 将偏移量记录下并转换成电的信号,以供控制器 作信号处理。
1983年,IBM公司苏黎世实验室的两位科学 1983年,IBM公司苏黎世实验室的两位科学 家Gerd Binnig和Heinrich Rohrer发明了 Binnig和 Rohrer发明了 扫描隧道显微镜(STM) 扫描隧道显微镜(STM) 应用电子的“隧道效应” 应用电子的“隧道效应”这一原理,对导 体或半导体进行观测
敲击模式的优越性: 敲击模式尽管没有接触模式的分辨率高,但 是敲击模式在一定程度上减小样品对针尖 的粘滞现象,因为针尖与样品表面接触时, 利用其振幅来克服针尖利用其振幅来克服针尖-样品间的粘附力。 并且由于敲击模式作用力是垂直的,表面 材料受横向摩擦力和剪切力的影响都比较 小,减小扫描过程中针尖对样品的损坏。 所以对于较软以及粘附性较大的样品,尽 量选用敲击模式。
Leeuwenhoek磨制的单片显微镜的放大倍数 Leeuwenhoek磨制的单片显微镜的放大倍数 将近300倍 将近300倍
高级显微镜
1938年,德国工程师Max Knoll和 1938年,德国工程师Max Knoll和Ernst Ruska制造出了世界上第一台透射电子显微 Ruska制造出了世界上第一台透射电子显微 镜(TEM) 镜(TEM) 1952年,英国工程师Charles Oatley制造 1952年,英国工程师Charles Oatley制造 出了第一台扫描电子显微镜(SEM) 出了第一台扫描电子显微镜(SEM) 至此,电子显微镜的分辨率达到纳米级
受样品因素限制较大(不可避免) 针尖易磨钝& 针尖易磨钝&受污染(磨损无法修复;污染 清洗困难) 针尖— 针尖—样品间作用力较小
硬件架构: 在原子力显微镜(Atomic Force Microscopy,AFM) 的系统中,可分成三个部分:力检测部分、位置检 测部分、反馈系统。
力检测部分: 力检测部分: 在原子力显微镜(AFM)的系统中,所要检测 在原子力显微镜(AFM)的系统中,所要检测 的力是原子与原子之间的范德华力。所以在本系 统中是使用微小悬臂(cantilever)来检测原子 统中是使用微小悬臂(cantilever)来检测原子 之间力的变化量。这微小悬臂有一定的规格,例 如:长度、宽度、弹性系数以及针尖的形状,而 这些规格的选择是依照样品的特性,以及操作模 式的不同,而选择不同类型的探针。
原子力显微镜
小组成员: 陈曦 90513108 刘聃 90513115 苏炳男 90513123 张志豹 90513118
AFM的发明与发展 AFM的发明与发展
显微镜的发展
光学显微镜
高级显微镜
光学显微镜
16世纪末,荷兰的眼镜商Zaccharias 16世纪末,荷兰的眼镜商Zaccharias Janssen, 第一台复合式显微镜,倍数太低
1985年,IBM公司的Binning和Stanford大 1985年,IBM公司的Binning和Stanford大 学的Quate研发出了原子力显微镜(AFM), 学的Quate研发出了原子力显微镜(AFM), 弥补了STM的不足 弥补了STM的不足
原 理
原 子 间 范 德 华 力
图1、原子与原子之间的交互作用力因为彼 此之间的距离的不同而有所不同, 此之间的距离的不同而有所不同,其之间 的能量表示也会不同。 的能量表示也会不同。
反馈系统: 反馈系统: 在原子力显微镜(AFM)的系统中,将 在原子力显微镜(AFM)的系统中,将 信号经由激光检测器取入之后,在反馈系 统中会将此信号当作反馈信号,作为内部 的调整信号,并驱使通常由压电陶瓷管制 作的扫描器做适当的移动,以保持样品与 针尖保持合适的作用力。
原子力显微镜(AFM)便是结合以上三个部分来将 原子力显微镜(AFM)便是结合以上三个部分来将 样品的表面特性呈现出来的:在原子力显微镜 (AFM)的系统中,使用微小悬臂(cantilever) AFM)的系统中,使用微小悬臂(cantilever) 来感测针尖与样品之间的交互作用,测得作用力。 这作用力会使cantilever摆动,再利用激光将光照 这作用力会使cantilever摆动,再利用激光将光照 射在cantilever的末端,当摆动形成时,会使反射 射在cantilever的末端,当摆动形成时,会使反射 光的位置改变而造成偏移量,此时激光检测器会记 录此偏移量,也会把此时的信号给反馈系统,以利 于系统做适当的调整,最后再将样品的表面特性以 影像的方式给呈现出来。
STM就是运用了“隧道效应” STM就是运用了“隧道效应”这一原理,如 图:
探针与样品之间的缝隙就相当于一个势垒, 电子的隧道效应使其可以穿过这个缝隙, 形成电流,并且电流对探针与样品之间的 距离十分敏感,因此通过电流强度就可以 知道到探针与样品之间的距离
STM的原理是电子的“隧道效应” STM的原理是电子的“隧道效应”,所以只 能测导体和部分半导体
隧道效应: 经典物理学认为,物体越过势垒,有一阈值能量;粒子能 量小于此能量则不能越过,大于此能量则可以越过。例如 骑自行车过小坡,先用力骑,如果坡很低,不蹬自行车也 能靠惯性过去。如果坡很高,不蹬自行车,车到一半就停 住,然后退回去。 量子力学则认为,即使粒子能量小于阈值能量,很多粒子 冲向势垒,一部分粒子反弹,还会有一些粒子能过去,好 像有一个隧道,故名隧道效应(quantum tunneling)。 像有一个隧道,故名隧道效应(quantum tunneling)。 可见,宏观上的确定性在微观上往往就具有不确定性。虽 然在通常的情况下,隧道效应并不影响经典的宏观效应, 因为隧穿几率极小,但在某些特丁的条件下宏观的隧道效 应也会出现。
在生物医学研究中,最常用的一种模式是 敲击模式(tapping AFM): 敲击模式(tapping AFM): 在敲击模式中,一种恒定的驱使力使探针悬 臂以一定的频率振动。当针尖刚接触样品 时,悬臂振幅会减少到某一数值。在扫描 过程中,反馈回路维持悬臂振幅在这一数 值恒定,也就是说作用在样品上的力恒定, 通过记录压电陶瓷管的移动得到样品表面足多种不同样品的要求,用于多 种系统的成像 量子点 生物分子 多聚体 单体的自组装
沉积于云母片上的抗体分子的 AFM成 像。空气中,室温。由于抗 体分子沉积于支持物的方向不同, 而表现出几种形态。
原子力显微镜对金的观测 烟草花叶病毒扫描图
AFM的缺点 AFM的缺点
在原子力显微镜的系统中,是利用微小探 针与待测物之间交互作用力,来呈现待测 物的表面之物理特性。所以在原子力显微 镜中也利用斥力与吸引力的方式发展出两 种操作模式: (1)利用原子斥力的变化而产生表面 轮廓为接触式原子力显微镜(contact 轮廓为接触式原子力显微镜(contact AFM),探针与试片的距离约数个Å AFM),探针与试片的距离约数个Å。 (2)利用原子吸引力的变化而产生表 面轮廓为非接触式原子力显微镜(non面轮廓为非接触式原子力显微镜(noncontact AFM),探针与试片的距离约数十 AFM),探针与试片的距离约数十 到数百Å 到数百Å。