白光干涉仪的工作原理

白光干涉仪的工作原理
测控3班姓名：陈超学号：20090106 干涉仪是一种对光在两个不同表面反射后形成的干涉条纹进行分析的仪器。

其基本原理就是通过不同光学元件形成参考光路和检测光路。

干涉仪是利用干涉原理测量光程之差从而测定有关物理量的光学仪器。

两束相干光间光程差的任何变化会非常灵敏地导致干涉条纹的移动，而某一束相干光的光程变化是由它所通过的几何路程或介质折射率的变化引起，所以通过干涉条纹的移动变化可测量几何长度或折射率的微小改变量，从而测得与此有关的其他物理量。

测量精度决定于测量光程差的精度，干涉条纹每移动一个条纹间距，光程差就改变一个波长(～10-7米)，所以干涉仪是以光波波长为单位测量光程差的，其测量精度之高是任何其他测量方法所无法比拟的。

白光干涉仪利用时间相关性非常低的白光通过分光板作为参考光和样品照射光，两路光束很容易被测量。

接着光经过反射，相互叠加干涉，记录下干涉图，同时开始高低形貌的测量，物镜在Z轴方向上不断微小的移动，在每个移动位置上都会拍照记录，收集图片用于形成整个三维形貌数据。

由于白光有低的相关性，白光干涉仪的特点就是高分辨率逐层地测量反光粗糙面。

白光干涉仪的主要功能：观察、分析、应用特点： 1 、非接触式测量：避免物件受损。

2 、三维表面测量：表面高度测量范围为1nm ---200μm。

3 、多重视野镜片：方便物镜的快速切换。

4 、纳米级分辨率：垂直分辨率可以达0.1nm。

5、高速数字信号处理器：实现测量仅需几秒钟。

6 、扫描仪：闭环控制系统。

7、工作台：气动装置、抗震、抗压。

8 、测量软件：基于windows 操作系统的用户界面，强大而快速的运算。