分子泵选型、应用和维护
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温度计，T2 G1,真空计
G2,真空计 调节阀 分子泵 前级泵
21
三、分子泵应用及选型
分子泵性能参数、意义及测试
最大入口压强 分子泵连续工作时所能承受的最高入口压强 取决于分子泵的冷却条件，对于风冷一般小于0.1Pa；对于水冷， 一般小于5Pa 最大可持续前级压强： 分子泵连续工作的最高前级压强，一般为十几帕，或几十帕。
分子泵
G 1 ,真空计
前级泵
19
三、分子泵应用及选型
分子泵性能参数、意义及测试
分子泵的压缩比 分子泵加装标准测试罩，在泵入口无气载的情况下，所测得的分 子泵出口、入口压强之比。
分子泵对大分子压 缩比比较大 对小分子压缩比比 较小
20
三、分子泵应用及选型
分子泵性能参数、意义及测试
分子泵压缩比测量装置
4
二、分子泵原理、结构
分子泵原理
分子泵是一种动量型真空获得设备，在分子流态下， 气体分子与高速运动的表面发生碰撞获得一定方向的动量， 从而使气体分子得到逐级压缩，最后被抽除。
5
二、分子泵原理、结构
分子泵结构
6
二、分子泵原理、结构
分子泵结构
按抽气特性结构分类
入 口 法 兰
动 叶 片
23
三、分子泵应用及选型
分子泵的应用
一般来讲，分子泵用来获得高，或超高真空。
广泛应用于： 1. 工业工艺过程（装饰、ITO、PVD、晶振、玻璃镀膜，照明、真空
炉排气）
2. 仪器、设备 3. 科研、军工装备 4. 半导体工业
24
三、分子泵应用及选型
25
三、分子泵应用及选型
制灯、玻璃镀膜
26
三、分子泵应用及选型
功能
防腐蚀泵
FF-160/700
15
三、分子泵应用及选型
• ` 分子泵性能参数、意义及测试
抽速：分子泵入口气体的体积流率
16
三、分子泵应用及选型
分子泵性能参数、意义及测试
T1 温度计，
抽速测量装置
调节阀
G1,DL-7 T2 温度计，
G2, DL-7
分子泵
前级泵
17
三、分子泵应用及选型
分子泵性能参数、意义及测试
KYKY分子泵型号及意义
F F - ×××/ ××× □ 特征代号（ 空、T、N、F、 Z……） 抽气速率, L/s 抽气口通径, mm 复合代号 分子泵代号
14
三、分子泵应用及选型
KYKY分子泵种类
涡轮泵 按结构分 复合泵 油润滑 润滑方式 脂润滑
F-100/110
分子泵系列
冷却方式
风冷 风水两用泵 水冷 普通泵
中科科仪分子泵产品介绍 钱 浩
内容
一．
二．
三． 四．
中科科仪分子泵发展历程 分子泵原理、结构 分子泵应用及选型 分子泵使用及维护
1
分子泵大全
2
一、中科科仪分子泵的发展历程
1977年：研制成功国内第一台立式F450涡轮分子泵，通过科 学院鉴定。 1983年：F110涡轮分子泵通过中科院鉴定，首批应用于正负 电子对撞机。 1986年：FF500复合型分子泵。 1993年：F1500涡轮分子泵，F150检漏仪用涡轮分子泵。 1999年： F3500涡轮分子泵。 2000年： FF620复合分子泵进入市场。
柔性太阳能电池设备
27
三、分子泵应用及选型
科研装备
28
生产流程
静 叶 片
转 子 圆 盘 带 螺 旋 槽 定 子 圆 盘
涡轮分子泵
涡轮级动、静叶列 复合型分子泵
出 口 法 兰
涡轮级+拖动级
按使用特点分类
入口
出口
风冷型：中小型分子泵
水冷型：中大型分子泵
防腐型：抽除腐蚀性气体
7
二、分子泵原理、结构
分子泵结构
按制造结构分类 油润滑 脂润滑 磁悬浮
8
二、分子泵原理、结构
ຫໍສະໝຸດ Baidu
3
一、中科科仪分子泵的发展历程
2001年：系列防腐蚀分子泵进入市场。
2002年： FF1200复合分子泵进入市场。
2003年：系列任意角度安装分子泵进入市场。 2004年：抗冲击（整体涡轮转子）分子泵。
2005年： FF700任意角度安装分子泵。
2006年： FD-II电源、FF1600分子泵、FF1300任意角度安装分 子泵。 2007年：FF1800脂润滑分子泵，1800磁悬浮分子泵样机。
振动小，噪音低
操作维护方便，免维护周期长 复合型分子泵在较高压强工作段仍有较大抽速
10
三、分子泵应用及选型
分子泵特点
油润滑分子泵：润滑油量小，且在前级真空段，对真空室污 染小。
脂润滑分子泵：油脂量极小，前级配干泵可获得近似无油的
清洁真空。 全磁悬浮分子泵：无须润滑，与干泵一起使用，可获得无油
分子泵结构
精密的转子制造
精密的动、静间隙配合
高精度的轴系加工 高精度轴承
精密的整机平衡
可靠的阻尼减振系统 高效的变频电机、冷却系统
9
三、分子泵应用及选型
分子泵特点
连续抽除气体 节省能源
可获得清洁的真空
对被抽气体无选择性，对各种类气体，抽速变化不大 起停机时间短
22
三、分子泵应用及选型
分子泵性能参数、意义及测试
其他技术参数
出入口法兰形式、规格 入口法兰分LF和CF两种，大小有110、160、200、250和 400四种； 出口法兰为KF，大小有25、40、50和100四种 建议前级泵规格 对于110/150L/s泵，建议采用2~4L前级 对于500~1000L/s泵，建议采用6~12L前级 对于 >1000L/s泵，建议采用>12L前级 冷却条件 风冷 环境温度<32℃ 水冷 环境温度32℃以上，水温≤25℃
的清洁真空环境。
11
三、分子泵应用及选型
复合型分子泵的特点 在1Pa左右的高压强工作段，与 同类型的涡轮分子泵比较，有较大的 抽速，有利于某些工艺过程。 前级耐压能力提高，可配某些类 型的干泵，如膜片泵，可缩小前级泵
的规格，节省投资。
12
三、分子泵应用及选型
复合分子泵典型的抽速曲线
13
三、分子泵应用及选型
分子泵的极限压强 ISO5302标准中称最低工作压强 分子泵加装标准测试罩，经48小时烘烤，降温48小时后，所测得的 压强值。
一般说来，分子泵的极限压强范围为： 10-4Pa~10-9Pa
18
三、分子泵应用及选型
分子泵性能参数、意义及测试
极限压强测量装置
温度计， T2
极限压强与入口法兰形式、 前级泵种类等有关
G2,真空计 调节阀 分子泵 前级泵
21
三、分子泵应用及选型
分子泵性能参数、意义及测试
最大入口压强 分子泵连续工作时所能承受的最高入口压强 取决于分子泵的冷却条件，对于风冷一般小于0.1Pa；对于水冷， 一般小于5Pa 最大可持续前级压强： 分子泵连续工作的最高前级压强，一般为十几帕，或几十帕。
分子泵
G 1 ,真空计
前级泵
19
三、分子泵应用及选型
分子泵性能参数、意义及测试
分子泵的压缩比 分子泵加装标准测试罩，在泵入口无气载的情况下，所测得的分 子泵出口、入口压强之比。
分子泵对大分子压 缩比比较大 对小分子压缩比比 较小
20
三、分子泵应用及选型
分子泵性能参数、意义及测试
分子泵压缩比测量装置
4
二、分子泵原理、结构
分子泵原理
分子泵是一种动量型真空获得设备，在分子流态下， 气体分子与高速运动的表面发生碰撞获得一定方向的动量， 从而使气体分子得到逐级压缩，最后被抽除。
5
二、分子泵原理、结构
分子泵结构
6
二、分子泵原理、结构
分子泵结构
按抽气特性结构分类
入 口 法 兰
动 叶 片
23
三、分子泵应用及选型
分子泵的应用
一般来讲，分子泵用来获得高，或超高真空。
广泛应用于： 1. 工业工艺过程（装饰、ITO、PVD、晶振、玻璃镀膜，照明、真空
炉排气）
2. 仪器、设备 3. 科研、军工装备 4. 半导体工业
24
三、分子泵应用及选型
25
三、分子泵应用及选型
制灯、玻璃镀膜
26
三、分子泵应用及选型
功能
防腐蚀泵
FF-160/700
15
三、分子泵应用及选型
• ` 分子泵性能参数、意义及测试
抽速：分子泵入口气体的体积流率
16
三、分子泵应用及选型
分子泵性能参数、意义及测试
T1 温度计，
抽速测量装置
调节阀
G1,DL-7 T2 温度计，
G2, DL-7
分子泵
前级泵
17
三、分子泵应用及选型
分子泵性能参数、意义及测试
KYKY分子泵型号及意义
F F - ×××/ ××× □ 特征代号（ 空、T、N、F、 Z……） 抽气速率, L/s 抽气口通径, mm 复合代号 分子泵代号
14
三、分子泵应用及选型
KYKY分子泵种类
涡轮泵 按结构分 复合泵 油润滑 润滑方式 脂润滑
F-100/110
分子泵系列
冷却方式
风冷 风水两用泵 水冷 普通泵
中科科仪分子泵产品介绍 钱 浩
内容
一．
二．
三． 四．
中科科仪分子泵发展历程 分子泵原理、结构 分子泵应用及选型 分子泵使用及维护
1
分子泵大全
2
一、中科科仪分子泵的发展历程
1977年：研制成功国内第一台立式F450涡轮分子泵，通过科 学院鉴定。 1983年：F110涡轮分子泵通过中科院鉴定，首批应用于正负 电子对撞机。 1986年：FF500复合型分子泵。 1993年：F1500涡轮分子泵，F150检漏仪用涡轮分子泵。 1999年： F3500涡轮分子泵。 2000年： FF620复合分子泵进入市场。
柔性太阳能电池设备
27
三、分子泵应用及选型
科研装备
28
生产流程
静 叶 片
转 子 圆 盘 带 螺 旋 槽 定 子 圆 盘
涡轮分子泵
涡轮级动、静叶列 复合型分子泵
出 口 法 兰
涡轮级+拖动级
按使用特点分类
入口
出口
风冷型：中小型分子泵
水冷型：中大型分子泵
防腐型：抽除腐蚀性气体
7
二、分子泵原理、结构
分子泵结构
按制造结构分类 油润滑 脂润滑 磁悬浮
8
二、分子泵原理、结构
ຫໍສະໝຸດ Baidu
3
一、中科科仪分子泵的发展历程
2001年：系列防腐蚀分子泵进入市场。
2002年： FF1200复合分子泵进入市场。
2003年：系列任意角度安装分子泵进入市场。 2004年：抗冲击（整体涡轮转子）分子泵。
2005年： FF700任意角度安装分子泵。
2006年： FD-II电源、FF1600分子泵、FF1300任意角度安装分 子泵。 2007年：FF1800脂润滑分子泵，1800磁悬浮分子泵样机。
振动小，噪音低
操作维护方便，免维护周期长 复合型分子泵在较高压强工作段仍有较大抽速
10
三、分子泵应用及选型
分子泵特点
油润滑分子泵：润滑油量小，且在前级真空段，对真空室污 染小。
脂润滑分子泵：油脂量极小，前级配干泵可获得近似无油的
清洁真空。 全磁悬浮分子泵：无须润滑，与干泵一起使用，可获得无油
分子泵结构
精密的转子制造
精密的动、静间隙配合
高精度的轴系加工 高精度轴承
精密的整机平衡
可靠的阻尼减振系统 高效的变频电机、冷却系统
9
三、分子泵应用及选型
分子泵特点
连续抽除气体 节省能源
可获得清洁的真空
对被抽气体无选择性，对各种类气体，抽速变化不大 起停机时间短
22
三、分子泵应用及选型
分子泵性能参数、意义及测试
其他技术参数
出入口法兰形式、规格 入口法兰分LF和CF两种，大小有110、160、200、250和 400四种； 出口法兰为KF，大小有25、40、50和100四种 建议前级泵规格 对于110/150L/s泵，建议采用2~4L前级 对于500~1000L/s泵，建议采用6~12L前级 对于 >1000L/s泵，建议采用>12L前级 冷却条件 风冷 环境温度<32℃ 水冷 环境温度32℃以上，水温≤25℃
的清洁真空环境。
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三、分子泵应用及选型
复合型分子泵的特点 在1Pa左右的高压强工作段，与 同类型的涡轮分子泵比较，有较大的 抽速，有利于某些工艺过程。 前级耐压能力提高，可配某些类 型的干泵，如膜片泵，可缩小前级泵
的规格，节省投资。
12
三、分子泵应用及选型
复合分子泵典型的抽速曲线
13
三、分子泵应用及选型
分子泵的极限压强 ISO5302标准中称最低工作压强 分子泵加装标准测试罩，经48小时烘烤，降温48小时后，所测得的 压强值。
一般说来，分子泵的极限压强范围为： 10-4Pa~10-9Pa
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三、分子泵应用及选型
分子泵性能参数、意义及测试
极限压强测量装置
温度计， T2
极限压强与入口法兰形式、 前级泵种类等有关