电真空无氧铜零件无污染电镀工艺

２００４年全国电子电镀学术研讨会论文集
电真空无氧铜零件无污染电镀工艺
何家康
（中国振华（集团）科技股份有限公司宇光分公司５５００１８）
［摘要］介绍一种电真空器件无氧铜零件无荇染电镀镍、电镀银工艺。

本工艺的实施是一种清洁电镀生产。

Ｃ关键词】无氧铜零件电镀工艺
１前言
无氧铜材料在真空电子器件中用量较大，部分无
氧铜零件需要电镀，一般采用电镀镍或电镀银，电镀
镍的作用：便于钎焊，使零件之间用焊料在真空炉或
氢炉焊接成为组件；电镀银的作用：增加外附件的导
电性能。

在以前的电镀工艺中，铜零件的电镀镍、电镀银
在前处理和电镀基本上要产生酸洗黄烟、氰化物废
水，对环境污染比较大。

为了解决环境污染的问题，
我们在原来的工艺上进行大量试验，使电镀生产过程
无污染。

’１
２工艺流程
…
２．１无氧铜零件电镀镍工艺流程：
１）超声波化学除油
常温化学除油剂２０—４５昏／Ｌ
温度：４０—４５℃
时间：３～５ｍｉｎ
２）热水洗
温度：４５—５０℃
时阔：８—１５ｓ
３）冷水洗
４）活化（抛光）
工业级（９８％）Ｈ２ｓ０。

工业级ＮａＮ０３
工业级ＨＣｌ
聚乙二醇（Ｍ≥１００００）
温度：２５—４０℃
时间：０．５～２ｍ抽
５）冷水洗
６）电镀镍
ＮｉＳ０。

・７ｌ｛２０
Ｎａ，Ｓ０４４５０ｍＬ／Ｌ
９５９／Ｌ
５ｍＬ／Ｌ
Ｏ．５一ｌｇ／Ｌ
１５０～２５０∥Ｌ
８０～１００∥Ｌ
ＮａｃｌｌＯ一１５∥Ｌ
Ｈ３８０３３５—４５９／Ｌ
ＤＨ：５—５．５
电流密度：Ｏ．５～１．ＯＡ／ｄｍ２
温度：室温
时问：４０～６０ｍｉｎ（视镀层厚度而定）
有阴极移动装置效果更好。

７）回收（纯净水）
８）冷水洗
９）脱水
采用无水乙醇进行脱水
１０）烘干
无氟铜零件电镀银工艺流程：
１）超声波化学除油
常温化学除油剂３０—５０９／Ｌ
温度：４０～４５气
时问：３—５ｍｉｎ
２）热水洗
温度：４５—５０℃
时间：８—１５ｓ
３）冷水洗
４）活化（抛光）
工业级（９８％）Ｈ２Ｓ０４
工业级ＮａＮ０３
工业级Ｈｃｌ
聚乙二醇（Ｍ≥１００００）
温度：２５—４０℃
时间：Ｏ．５～２ｍｉｎ
５）冷水洗
６）预镀银
ＡｇＮ０，
ｃｓ（ＮＨ：）２
ｐＨ：４
温度：窒温
４５０ｍ∥Ｌ
９５９／Ｌ
５ｍＬ／Ｌ
０．５～１∥Ｌ
１５～２５９／Ｌ
２００一２２０ｇ／Ｌ
电真空无氧铜零件无污染电镀工艺３０１
时间：３０～６０ｓ品。

７）冷水洗使用方法：直接将零件浸入“电子油”中浸泡ｏ．５８）纯水洗～ｌｍｉｎ，然后取出。

９）电镀银１７）凉干
ＡｇＮＯｓ４５—５０９／Ｌ在空气中自然干燥，时间约３．５ｍｉｎ。

Ｎａ，Ｓ，０，・５Ｈ，０２３０～２８０Ｅ／Ｉ，
Ｋ，；，ａ，。

４０，４５ｇ／ｉ３防止污染的措施
ＮＨ。

Ａｃ２５—３５昏／Ｌ电镀的污染源主要有以下几方面：
ｃＨｓＮ，ｓｏ．６～ｏ．８∥Ｌ１）废气：主要为酸雾和碱雾，来自电镀的前处理，ｐＨ：５—６即除油与酸洗，有时电镀过程中也会产生有害气体。

电流密度：
一
０．１～Ｏ．３Ａ／ｄｍ２在本文介绍的工艺中，我们采用了无废气排放工艺配温度：室温方；
时间：１５—３０血ｎ（视镀层厚度而定）２）废水：一般排放废水中含有大量的重金属离子ｌＯ）回收（纯净水）和氰化物，我们在电镀槽、电解钝化槽后级增加回收１１）冷水洗槽，同时，电镀银采用无氰配方，使排放的废水含重金１２）电解钝化属离子浓度很低，稍加处理很容易达标排放。

Ｋ２ｃｒ２０７１０９／Ｌ
Ｋ２Ｃ０３８９／Ｌ
阳极：不锈钢板
ｐＨ：ｌＯ一１ｌ
电流密度：Ｏ．５一１．０Ａ／ｄｍ２温度：室温
时间：２～５ｍｉｎ
１３）回收（冷水）
１４）冷水洗
１５）干燥（压缩空气吹干）
１６）涂保护剂
目前，国内生产的银镀层电接触表面润滑保护剂比较多，可以选用“电子油”等操作简单，不易燃的产４结束语
由于本文介绍的工艺采用无黄烟的活化配方以及无氰化物的电镀银配方，对生产、环境没有污染。

经过几年的生产应用，效果良好，取得了较好的经济效益和社会效益。

参考文献
１《电镀手册》，张允诚等主编，国防工艺出版社，１９９７年第２版
２《电镀工艺手册》，曾华粱等主编，机械工业出版社，２０００年第２版
电真空无氧铜零件无污染电镀工艺
作者：何家康
作者单位：中国振华(集团)科技股份有限公司宇光分公司,550018本文链接：/Conference_6055495.aspx。