压力容器氦质谱检漏法介绍

被检件漏孔

检漏方法介绍

压力容器氦质谱检漏法介绍

一、概述

检漏的目的是确定被检件漏孔的位置和漏率，这些目的是通过采用一些标准的检漏方法实现的。采用什么方法要视被检件的结构、检漏的经济效益及检漏系统的性质来决定。根据不同的检漏目的，基本上有吸入法、喷吹法、背压法、真空箱法等几种常用检漏方法：

1、吸入法——确定漏孔位置

又称吸枪检漏，如图1-5，将专用吸

枪联接在仪器检漏口上，被检件则充入规

定压力的氦气（纯氦气或一定比例含氦的混合气）。检漏时，让吸枪沿可疑漏孔处慢慢移动，若被检件有漏孔，氦气自漏孔漏出，被吸枪吸入送至仪器的质谱管而被检测。

吸入法检漏灵敏度相对喷吹法要低，但是其检漏口真空主要是由吸枪流量决定的，所以不受被检件容积的限制，适合检测大的容器。

2、喷吹法——确定漏孔位置

该方法是将被检件接在检漏仪的检漏口，用仪器的真空系统对其抽真空并达到真空衔接与质谱管沟通，然后用喷枪向可疑漏孔喷吹氦气。当有漏孔存在时，氦气就通过漏孔进入质谱管被检测。下图是喷吹法原理示意图。

喷吹法检漏的灵敏度高，质谱管不

吸枪检漏仪

装有氦气的

压力容器

装有氦气的压力容器

喷枪

被检件

漏孔

检

漏

仪

易受污染，但是检大容器时可能有真空抽不下来的情况，可能要加辅助真空设备。

3、 背压法——测总漏率

电子元器件进行气密性检测时常

用背压法。检漏前用专用加压容器向被

检件压入氦气（由压力和时间控制压入

的量），然后取出被检件，吹去表面吸

附氦后放入专用检漏罐中，再将检漏罐

联接到检漏仪的检漏口上，对检漏罐抽

真空，实施检漏。若器件有漏，则通过

该漏孔压人的氦气又释放出来进入检

漏罐，最终到达质谱管。用这种方法测

得的漏率也是总漏率。图1－7为背压

法检漏示意图。

4、 真空箱法

真空箱法是一

种比较复杂的方法。检漏时先将工件如上图放入真空箱中，关闭V1、V2，打开V3使用真空箱预抽系统对真空箱抽真空，如果可以在规定时间内抽到规定的真空度，说明被检工件没有大漏，反之有大漏则需要将工件拿下来检大漏。如果真空可以抽下来则关闭V3，然后打开V2使用工件预抽系统对工件被检件

真空

箱预

抽系统 检漏仪 氦气

检漏仪

抽真空，当工件真空抽到一定值后，关闭V2打开V1对工件内部充氦。充氦完成后关闭V1，打开V3和检漏仪对工件检漏。如果工件有漏，则工件内部的氦气通过漏孔进入真空箱，被检漏仪检测出来。如果超标还需要将工件取出用其他方法再检。

二、 压力容器检漏方法

由于待检漏的压力容器工作状态为正压，因此可采用吸入法检漏。为节约氦气成本，可向容器内充入一定浓度和压力的氦氮混合气，然后用检漏仪的吸枪对容器的可疑漏点进行吸入法检漏。

1、 充氦

由于要充入的气体为氦氮混合气，如果没有已混合好的氦氮混合气，可先向压力容器内充入一定量的氦气，然后再充氮气到规定压力即可（如需充入1.5MPa30%氦氮混合气，则可先充入0.45MPa 氦气，再充入氮气至1.5MPa ）。

2、 检漏

混合气体充注完成后，用检漏仪的吸枪沿可疑漏孔处慢慢移动，检漏仪显示氦信号，若漏率超过设定值，检漏仪报警。

被检件

真空箱预

抽系统 检漏仪 氦气