一种原子钟系统的碱金属腔体制备技术

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（．中科技大学武汉光电国家实验室，１华湖北武汉４０７；３０４
２华中科技大学机械科学与工程学院，北武汉４０７；．湖３０４
３华中科技大学微系统研究中心，北武汉４０７）．湖３０４
２．ＳｃｏｌｏｆＭｅａｎｃｌＳｉｎｃｎｄＥｎｇｎｅｒｎｇ，ｈｏｃｈｉａｃｅｅａｉｅｉＨｕａｚｈｏｎｉｖｅｓｔｆＳｃｅｅａｎＴｅｈｏｏｇｇＵｎｒｉｙｏｉｎｃｄｃｌｙ，Ｗｕｈａｎ０４，４３０７Ｃｈｉａ；ｎ
ａｄｉｃｕｄｂｓｄｆｒａｏｃｃｏｋｙｔｍ．ｎｔｏｌｅｕｅｔｍｉｌｃｓｓｓｏｅ
Ｋｅｙｗｏｒｄｓ：ＣＰａｏｃｃｏｋ；ＲｂｃｖｔＴｔｍｉｌｃａｉｙ；ｂｎｄｎｇｍａｈｎｅ；ＭＥＭＳｏｉｃｉ
０引言
１碱金属腔体制备技术
众所周知，间（率）最基本的７个物理量之一，时频是复现精度最高” 。而对于时间的精确计量在导航定位、通信、弹和卫星控制以及物理测量方面起着至关重要的导
３Ｉｓｔｔｆｉｏｙｔｍ，ａｈｎｎｖｒｉｆＳｉｃｎｅｈｏｏｙＷｕａ３０４Ｃｉａ．ｎｔｕｅｏｃｓｓｉＭｒｅＨｕｚｏｇＵｉｓｙｏｃｎｅａｄＴｃｎｌｇ，ｈ４０７，ｈｎ）ｅｔｅｎＡｓａｔｈｒｃｌｏｃｈｒｎｐｐｌｉａｐｎＣＴ）ａｏｉｃｃｓｐｅｅｔｎｈｅｏｓｆｂｔｃ：Ｔｅｐｉｉｅｆｏｅｔｏｕａｏｔｐｉｇ（Ｐｒｎｐｅｔｎｒｔｍｃｌｋｉｒｓｎｅａｄｔｅｍｔｄｏｏｄｈｒ
于原子钟系统。
关键词：ＣＴ原子钟；ｂ腔；ＰＲ键合设备；微机电系统
中图分类号：Ｔ０Ｎ３５文献标识码：Ａ文章编号：１０＿７７２１）２０７－３００９８（０１０－０４０
Ｒｂｃｖｔａｒｃｔｏｅｈｑｓｆｒａｏｉｌｃｙｔｍａｉｖｆｂｉａｉｎｔｃｎｉｕｅｏｔｍｃｃｏｋｓｓｅ
７４
传感器与微系统（ｒｓｕｅａｄＭｉｏｙｔｍＴｃｎｌｉ）Ｔａｄｃｒｎｃｓｓｅｈｏｇｅｎｒｅｏｓ
２１年第３０１Ｏ卷第２期
一
种原子钟系统的碱金属腔体制备技术
徐建，张廷凯，志银，刘甘胜
Ｘｉｎ，ＵＪａｈ．ｉ．Ｉｈｎ，ＨＮｉｋｉ２ＧＮＺｉｎ，ＬＵＳｅｇ，ｇ＇ｙ。。
Ｗｕｈａ４３０７Ｃｈｉａ；ｎ０４，ｎ
（．ｕａｆｎＬｂｒｔｒｏｔｅｃｏｉ，ｕｚｏｇＵｉｅｓｙｏｃｎｅａｄＴｃｎｌｙ１ＷｈｎＮａｏ￣ａｏａｏｙｆｒＯｐｏｌｔｎｃＨａｈｎｎｖｒｉｆｉｃｎｅｈｏｏ，ｉｅｒｓｔＳｅｇ
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摘
要：简要介绍了相干布局数囚禁（Ｐ原子钟的实现机理，构成原子钟系统的碱金属腔及其制作ＣＴ）对
方法进行论述。在对几种不同的碱金属腔制备技术对比的基础上，研制成功了原子钟腔体的专用键合设备，并成功进行了Ｒｂ腔的制作，ｂ腔测试结果表明：Ｒ腔体键合质量良好，装入的Ｒ封ｂ元素较纯净，可用
作用。目前最为精确的计时工具之一即为原子钟。而