空气弹簧隔振地基自动调平系统研究

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（ｏｌｅｆＭｅｏｏｙａｄＭｅｓｒｍｎｎｉｅｒｇｈｎＪｉｎＵｉｅｓｙａｇｈｕ０ＣｉａＣｌｇｏｔｌｎａｕｅｅｔＥｇｅｉ，Ｃｉａｉａｇｎｖｒｔ，Ｈｎｚｏ３，ｈｎ）ｅｒｇｎｎｌｉ１１０８
００ Leabharlann Baidu 稳定时间１ｈ达到系统设计要求．０１．２．
关键字：气弹簧：空自动调平：振地基隔
中图分类号：Ｐ７，Ｔ５５．Ｔ２２Ｂ３＋１文献标识码：Ａ文章编号：０８０１（００）１０２ — ４１０ — ８３２１０ — ０５０
０．。ｒｓｌｉｎｓ０１．ｅｏｕｔｏｉ０．０１．ｔｂｉｉａｉｎｔｍｅｓ１．Ｔｅｓｓｅ０。ｓａｌｚｔｏｉｉ２ｈｈｙｔｍｈｓａｈｅｅｔｅａｃｉｖｄｈｄｅｉｎｒｑｒｍｅｔ．ｓｇｅｕｉｅｎｓ
ＨｙｒｕｌｃｅｄａｉｓＰｎｕｍａｉｓ＆ＳａｓＮｏ．．０ｔｃｅｌ／１２０１
空气弹簧隔振地基自动调平系统研究
满楠
摘
李东升
３０１）１０８
（中国计量学院计量测试工程学院．浙江杭州
要：气弹簧隔振地基应用于超精密测量，姿态倾斜将为超精密测量引入误差。本文针对四点支撑的空气弹簧隔振地基设计自空其
Ｔｅｍａｈｍａｉｄｌｏｈｔｅｔｍｏｅｆ￣ｕｄｔｎｉｂｉｎｅｏｐｉｇｌｖｌｇｐｏｒｍｓｐｏｏｅａｍｅｔｉｈｒｃｅｓｉｓｏｃｎａｉｓｕｌａｄａｄｃｕｌｅｅｉｒｇａｉｒｐｓｄｉｄａｔｃａａｔｒｔｆｏｔｎｎｓｉｃ
动调平控制系统，立隔振地基数学模型并根据其多点耦合特性提出一种解耦调平方案。根据倾斜角度的大小．系统采用恒速调节建本区、比例脉冲区、调区三阶段调平控制方式。实验表明，自动调平系统可在１０微该２ｓ内将空气弹簧隔振地基调平．度００ｏ分辨率精．１．
ＲｅｅｒｈｆＡｉＳｒｎｉｒｔｎｓｌｔＦｕｄｔｏｕｏａｉＬｅｅｎｙｔｍｓａｃｏｒｐｉｇＶｂａｉＩｏａｉｏｏｎｏｎａｉｎＡｔｍｔｃｖｈｇＳｓｅ
ＬｉＤｏｇ－ｈｅｇｎｓｎＭａＮａｎｎ
ＫｅＷｏｄ：ａｒｐｎ；ａｔｍａｉｅｅｉｇｖｂａｉｎｓｌｔｎｏｎａｉｙｒｓｉｓｒｇｉｕｏｔｌｖｌ；ｉｒｔｉｏａｉｆｕｄｔｃｎｏｏｏ
０引言
环境振动对超精密仪器、设备的影响越来越不容
Ａｂｔａｔｓｒｃ：Ａｉｓｒｇｖｂｏｓｌｔｇｆｕｄｔｎｉａｐｉｄｔｌａｐｅｉｉｎｒｐｎｉｒｉｏａｉｎａｉｓｐｌｏｕｔ — ｒｃｓｏｍｅｓｒｍｅｔａｄｉｉｉｇｐｓｒｌｂｎｒｏｓｔｌａｉｎｏｏｅｒａｕｅｎｎｔｔｔｏｔｅｗｉｒｇｅｒｒｏｕｔ－ｓｌｎｕｌｉｒｐｅｉｉｎｒｃｓｏｍｅｓｒｍｅｔａｕｅｎ．ｄｓｎｄｅｉｅ．ｇＩｈｓｐｐｒａｕｏｔｅｅｉｇｓｓｅｆｒｓｒｎｉｒｔｎｉｏａｉｎ￣ｕｄｔｎｗｔｏｒｐｉｔｕｐ￣ｉｎｔｉａｅｎａｔｍａｉｌｖｌｙｔｍｏｐｇｖｂａｉｓｌｔｃｎｉｏｏｎａｉｉｆｕ — ｏｎｓｐｏｏｈｓ
收稿日期：０９７２２０——２
ｍｕｔｐｉｔｏｐｉ．Ｔｒｅｓｇｃｎｒｌｄｏｓｔｇｏｏｓｎｓｅｄａｊｓｅｔｐｏｏｉｎｐｌｄｕｔｅｔｎｒｍｎｌ— ｏｎｉｃｕｌｇｎｈｅ —ｔｅｏｔｅｃｎｉｉｆｎｔｔｐｅｄｔｎ，ｒｐｒｏｕｓａｊｓｎｄｔｍｉｇｉａｏｍｏｓｎｃａｕｍｔｅｍａｉｓ
ａｏｔｄａｃｒｉｇｔｈｎｌ．Ｅｐｒｎｓｓｏｈｔｔｅａｔｍａｉｌｖｌｇｓｓｅｃｎｌｖｌｇｔｅｆｕｄｔｎｉｓｗｔｒｃｓｏｓｄｐｅｃｏｄｎｏｔｅａｇｅｘｅｍｅｔｈｗｔａｈｕｏｔｅｅｉｙｔｍａｅｅｉｈｏｎａｉｎ１０ｉｐｅｉｉｎｉｉｃｎｎｏ２ｈ