透射电镜的基本原理及使用
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3、找到样品,并选中一目标为参照
4、将IMAGE WOBBLER打至ON,此时看到样品会有一定的晃动,调节FOCUS旋钮(有大中小三个,一般只用到中和小)至图像清晰没有重影。
五、聚光镜对中调节
1、关灯丝后,拨出样品,拨出光栏,开灯丝,缩小光斑,检查是否在中心位置,
2、在SCAN模式,SPOT SIZE 1档情况下,将COND ALIGNMENT打到ON,然后下面一WOBBLER键打到X,以调节光斑重合,同样的方法进行Y轴对中调节,调节完毕之后打到中间OFF档。
3、将IMAGE WOBBLER键打到ON,调节IMAGE WOBBLER A、B旋钮至重合。
六、电流中心调节(此步调节有一定的难度)
1、插入样品,插入光栏,找到一样品做为参照物,调节时放大倍数小于5万倍
2、用目镜观察,聚焦,找准参照物,用FOCUS调焦至最清晰
3、快速反复转动FOCUS旋钮(以最清晰位置为中心前后旋转),此时观察参照物样品的情况,如有放大缩小的情况(看到样品是以某点为中心在旋转)那就是正常的,若是样品有左右或者上下移动的现象,就需要调节ALIGNMENT的大旋钮,TILT钮直至正常。
图1放射电子显微镜基本结构原理图
(注:除上述部分外,电镜还包括必须的冷却和真空系统)
图2电镜和光镜原理对比图
应用举例:
JEM-100CXⅡ透射电镜操作说明
一、开机程序
1、首先打开房间空调,冷却循环水房温度21度,操作室25度
2、开启冷却水循环装置,一个独立的小的控制器,先将开关打至ON,再将按下POWER键
十、物镜像散调节(用于高倍下观察样品的调节)
1、在完成以上调节,即确认仪器对中状态良好,电压中心对中,无聚光镜像散,光栏位置正确的情况下进行物镜像散调节。
2、插入物镜光栏,在观察样品的时候调节,在高倍下(大于10万倍)找到一样品作为参照,改变焦距,观察样品边沿系统是否均匀,若有像散,则进行以下操作。
8、再重复6、7步骤,使束流不偏离中心。
三、调灯丝相(每次开机都需要检查)
1、在SCAN模式下,SPOT SIZE调到1档
2、将FILAMENT EMIISSION旋钮稍稍往回调,到看到灯丝欠饱和像,即车轮像(鱼眼像),若车轮像不对称,则进行下面调节。
3、缓慢旋转GUN ALIGNMENT:TILT(X、Y),使灯丝像对称。
2.合轴:保证机械合轴与电气合轴的精良。
3.消像散:细心消除聚光镜和物镜的像散。
4.聚焦:需一定经验,精心调正。
5.曝光:以重点观察部位密度为准,对测光结果略加补偿。
6.避免电压波动,外界磁场和震动的干扰。
7.拍摄倍率不宜太高,以刚能看清细节为界。
6、SPOT SIZE调到3档,调节CONDENSER钮聚光,得到最小最亮光斑,然后用左右ALIGNMENT:TRANS(小的)将光斑拉至最中心位置(中心位置有一黑点)。
7、SPOT SIZE调到1档,调节CONDENSER钮聚光,得到最小最亮光斑,然后用GUN ALIGNMENT:TRANS(X、Y)将光斑拉至中心位置。
七、电压中心调节Biblioteka Baidu
1、在第六步的基础上,放大倍数(大于5万倍)
2、找到一参照物,调焦至最清晰
3、HV WOBBLER置于ON,若参照物不偏离中心而四周同心振动,则电压中心良好,反之,若参照物有漂移,则用左右ALIGNMENT:TILT调节
八、光栏的调节
1、聚光镜光栏调节:判断光栏是否在中间位置,调节CONDENSER时,光斑不在中间,放大时会有很大阴影(电子束被东西挡住),移动样品时也没有改变,此时可以断定是光栏位置不正确,通过调节光栏上两个旋钮,使光栏回到中心位置。
十二、关机程序
1、放大倍数降至小于1万倍,光斑满屏。
2、退灯丝至OFF
3、退高压,可直接按下20KV按扭,再按高压键HT(灯灭)。
4、钥匙旋至OFF,等待约15分钟,面板上所有的灯都熄灭,机械泵停止工作,关冷却水装置,关稳压电源,关电源开关。
高分辨率TEM影像的拍摄要点:
1.样品制作:要求切片(或复型)样品的厚薄适宜,染色好。
3、启动稳压电源,稳定于220V;查看电源箱供电指示灯亮
4、用钥匙启动主机,从OFF档位旋到START位,松开后钥匙自动回到ON位置。仪器自动抽真空,等待约40分钟。
5、直至DP绿灯亮,HIGH绿灯亮,READY绿灯亮(若不亮的话,将LENS LIGHT打至ON档位)。
二、电子枪合轴(1-3合轴)
1、确认READY绿灯亮
2、把样品拨出,物镜光栏拨出至0档位
3、加高压:按下HT键后,依次按下40-60-80-100KV键,并注意观察束流表是否正常,每次都要等电流表显示稳定之后再进行下一步,一般调到80KV就行了。
4、加灯丝:将FILAMENT EMIISSION旋钮缓慢旋至锁定位置
5、一般在SCAN(5300倍)条件下调节,调节CONDENSER钮,得到光斑。
3、左边的样品室旋转手柄上有两种标识,一种是数字(1-6),另外间于数字中间的是一些点,当数字对正时,可以用右边的旋转手柄把相应的样品从样品室中取出。当需要打开样品室换下一批样品时,要保证所有的样品都留在样品室,这样就要让数字中间的点对正,再将右边的旋转手柄拉出。
4、当右边旋转手柄置于AIRLOCK档位时可以打开样品室,左边有一能上下扳动的把手。
3、配合调节OBJ STIGMATOR:X、Y旋钮(控制台E区)和FOCUS旋钮,消除像散。
十一、样品装卸操作
1、确认样品装卸时机器状态:放大倍数调至较小倍数,灯丝发射至OFF档。
2、右边的旋转手柄有四个档位:空档位、SET、AIRLOCK、ENG,观察样品的时候一定在SET档位,ENG档位用来换样品,当需要打开左边的样品室时,一定要放置在AIRLOCK档位,空档位只是做一个过渡。
4、然后调节FILAMENT EMIISSION旋钮至灯丝饱和(即刚好全亮,没有阴影),并锁定该位置。
四、粗对焦(该步很重要)
1、关灯丝(FILAMENT EMIISSION旋钮至OFF)后,插入样品,插入物镜光栏(2档)
2、开灯丝(FILAMENT EMIISSION旋钮至ON)后,放大光斑至满屏(以免烧坏铜网)
2、物镜光栏调节:打开FUNCTION:SADIFF(控制台D区,与SCAN一排的一个按钮),调节SA/HD DIFFRACTION:CAMERALENGTH(控制台B区)和物镜光栏上的两个旋钮,使得中间最亮点周围的一圈较暗的光斑变得对称即可。
九、聚光镜像散调节
在没有放入样品的情况下:插入聚光镜光栏(2档),SPOT SIZE调至3档,调节CONDENSER钮至光斑最小最亮,再调节COND STIGMATOR X、Y旋钮(控制台F区),使得光斑变得最圆,即完成聚光镜像散调节。
4、将IMAGE WOBBLER打至ON,此时看到样品会有一定的晃动,调节FOCUS旋钮(有大中小三个,一般只用到中和小)至图像清晰没有重影。
五、聚光镜对中调节
1、关灯丝后,拨出样品,拨出光栏,开灯丝,缩小光斑,检查是否在中心位置,
2、在SCAN模式,SPOT SIZE 1档情况下,将COND ALIGNMENT打到ON,然后下面一WOBBLER键打到X,以调节光斑重合,同样的方法进行Y轴对中调节,调节完毕之后打到中间OFF档。
3、将IMAGE WOBBLER键打到ON,调节IMAGE WOBBLER A、B旋钮至重合。
六、电流中心调节(此步调节有一定的难度)
1、插入样品,插入光栏,找到一样品做为参照物,调节时放大倍数小于5万倍
2、用目镜观察,聚焦,找准参照物,用FOCUS调焦至最清晰
3、快速反复转动FOCUS旋钮(以最清晰位置为中心前后旋转),此时观察参照物样品的情况,如有放大缩小的情况(看到样品是以某点为中心在旋转)那就是正常的,若是样品有左右或者上下移动的现象,就需要调节ALIGNMENT的大旋钮,TILT钮直至正常。
图1放射电子显微镜基本结构原理图
(注:除上述部分外,电镜还包括必须的冷却和真空系统)
图2电镜和光镜原理对比图
应用举例:
JEM-100CXⅡ透射电镜操作说明
一、开机程序
1、首先打开房间空调,冷却循环水房温度21度,操作室25度
2、开启冷却水循环装置,一个独立的小的控制器,先将开关打至ON,再将按下POWER键
十、物镜像散调节(用于高倍下观察样品的调节)
1、在完成以上调节,即确认仪器对中状态良好,电压中心对中,无聚光镜像散,光栏位置正确的情况下进行物镜像散调节。
2、插入物镜光栏,在观察样品的时候调节,在高倍下(大于10万倍)找到一样品作为参照,改变焦距,观察样品边沿系统是否均匀,若有像散,则进行以下操作。
8、再重复6、7步骤,使束流不偏离中心。
三、调灯丝相(每次开机都需要检查)
1、在SCAN模式下,SPOT SIZE调到1档
2、将FILAMENT EMIISSION旋钮稍稍往回调,到看到灯丝欠饱和像,即车轮像(鱼眼像),若车轮像不对称,则进行下面调节。
3、缓慢旋转GUN ALIGNMENT:TILT(X、Y),使灯丝像对称。
2.合轴:保证机械合轴与电气合轴的精良。
3.消像散:细心消除聚光镜和物镜的像散。
4.聚焦:需一定经验,精心调正。
5.曝光:以重点观察部位密度为准,对测光结果略加补偿。
6.避免电压波动,外界磁场和震动的干扰。
7.拍摄倍率不宜太高,以刚能看清细节为界。
6、SPOT SIZE调到3档,调节CONDENSER钮聚光,得到最小最亮光斑,然后用左右ALIGNMENT:TRANS(小的)将光斑拉至最中心位置(中心位置有一黑点)。
7、SPOT SIZE调到1档,调节CONDENSER钮聚光,得到最小最亮光斑,然后用GUN ALIGNMENT:TRANS(X、Y)将光斑拉至中心位置。
七、电压中心调节Biblioteka Baidu
1、在第六步的基础上,放大倍数(大于5万倍)
2、找到一参照物,调焦至最清晰
3、HV WOBBLER置于ON,若参照物不偏离中心而四周同心振动,则电压中心良好,反之,若参照物有漂移,则用左右ALIGNMENT:TILT调节
八、光栏的调节
1、聚光镜光栏调节:判断光栏是否在中间位置,调节CONDENSER时,光斑不在中间,放大时会有很大阴影(电子束被东西挡住),移动样品时也没有改变,此时可以断定是光栏位置不正确,通过调节光栏上两个旋钮,使光栏回到中心位置。
十二、关机程序
1、放大倍数降至小于1万倍,光斑满屏。
2、退灯丝至OFF
3、退高压,可直接按下20KV按扭,再按高压键HT(灯灭)。
4、钥匙旋至OFF,等待约15分钟,面板上所有的灯都熄灭,机械泵停止工作,关冷却水装置,关稳压电源,关电源开关。
高分辨率TEM影像的拍摄要点:
1.样品制作:要求切片(或复型)样品的厚薄适宜,染色好。
3、启动稳压电源,稳定于220V;查看电源箱供电指示灯亮
4、用钥匙启动主机,从OFF档位旋到START位,松开后钥匙自动回到ON位置。仪器自动抽真空,等待约40分钟。
5、直至DP绿灯亮,HIGH绿灯亮,READY绿灯亮(若不亮的话,将LENS LIGHT打至ON档位)。
二、电子枪合轴(1-3合轴)
1、确认READY绿灯亮
2、把样品拨出,物镜光栏拨出至0档位
3、加高压:按下HT键后,依次按下40-60-80-100KV键,并注意观察束流表是否正常,每次都要等电流表显示稳定之后再进行下一步,一般调到80KV就行了。
4、加灯丝:将FILAMENT EMIISSION旋钮缓慢旋至锁定位置
5、一般在SCAN(5300倍)条件下调节,调节CONDENSER钮,得到光斑。
3、左边的样品室旋转手柄上有两种标识,一种是数字(1-6),另外间于数字中间的是一些点,当数字对正时,可以用右边的旋转手柄把相应的样品从样品室中取出。当需要打开样品室换下一批样品时,要保证所有的样品都留在样品室,这样就要让数字中间的点对正,再将右边的旋转手柄拉出。
4、当右边旋转手柄置于AIRLOCK档位时可以打开样品室,左边有一能上下扳动的把手。
3、配合调节OBJ STIGMATOR:X、Y旋钮(控制台E区)和FOCUS旋钮,消除像散。
十一、样品装卸操作
1、确认样品装卸时机器状态:放大倍数调至较小倍数,灯丝发射至OFF档。
2、右边的旋转手柄有四个档位:空档位、SET、AIRLOCK、ENG,观察样品的时候一定在SET档位,ENG档位用来换样品,当需要打开左边的样品室时,一定要放置在AIRLOCK档位,空档位只是做一个过渡。
4、然后调节FILAMENT EMIISSION旋钮至灯丝饱和(即刚好全亮,没有阴影),并锁定该位置。
四、粗对焦(该步很重要)
1、关灯丝(FILAMENT EMIISSION旋钮至OFF)后,插入样品,插入物镜光栏(2档)
2、开灯丝(FILAMENT EMIISSION旋钮至ON)后,放大光斑至满屏(以免烧坏铜网)
2、物镜光栏调节:打开FUNCTION:SADIFF(控制台D区,与SCAN一排的一个按钮),调节SA/HD DIFFRACTION:CAMERALENGTH(控制台B区)和物镜光栏上的两个旋钮,使得中间最亮点周围的一圈较暗的光斑变得对称即可。
九、聚光镜像散调节
在没有放入样品的情况下:插入聚光镜光栏(2档),SPOT SIZE调至3档,调节CONDENSER钮至光斑最小最亮,再调节COND STIGMATOR X、Y旋钮(控制台F区),使得光斑变得最圆,即完成聚光镜像散调节。