ATHM 磁悬浮分子泵安装注意事项培训

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ATHM系列磁悬浮分子泵安装注意事项培训

Alcatel 磁悬浮

分子泵

磁悬浮复合型分子泵从 400 l /s 到 2300 l /s

TH 400M ATH 1300M ATH 1600M ATH 2300M

温度传感器

吹扫气体马达

分子牵引级定子转子支撑轴承水冷系统

径向磁性轴承

排气轴向磁性轴承

横截面

Signal

processing

V0Rotor

V0 - V0 - Vp

Vp Vp

›Alcatel 采用ACTIDYNE ®磁力轴承(S 2M 专利)，对转子进行五轴控制。

›

位置传感器可获得各个轴向上的偏移量，根据该偏移量，控制器改变该轴向上的磁力轴承电流，从而使转子重新回到合理的位置。

护分子泵的轴

承，电机等不

受到工艺气体

的侵蚀。

较大的工艺，沉积物容易累

积在靠排气口端从而造成泵

的损坏。

›内置加热带可以帮助泵运行

在较高温度（最高75摄氏

度），从而避免沉积物的累

积；

›加热带由控制器进行温度控

制，ATHMT型分子泵已随

泵携带冷却水阀

›分子泵转速的调节–待机转速（Standby）

-ATHM磁悬浮分子泵的转速可以调节运行在最低待机转速与额定转速之间，这样可以根据客户的工艺情况（如运行在较高压力下）使泵

运行在最优状态；

-对于分子泵进气口压力< 0.1 mbar的情况，分子泵转速可以调节在以下范围：

最低转速–15000 rpm

最高转速–34000 rpm（ATH1300M/MT）；

39000 rpm（ATH1600M/MT）；

31000 rpm（ATH2300M/MT）。

›磁悬浮分子泵的安装要求

-磁悬浮分子泵运行时所具备的动能非常高，泵出现机械故障或发生意外时，没有正确安装的泵完全可能

由于动能传递到泵体而使得泵脱

离设备从而造成事故！！

-当泵在运行过程中转子突然卡死时，

转子的动能将被传递到泵体和设备

上。

-通过模拟分子泵损坏时的最坏状况

（转子在全速时碎成两半），可以

知道三种顺时负载的状况：

›轴向载荷

-转子可能弹出分子泵进气口，从而影响到进口阀门或系统中的其他部件。如果该部件离分子泵进口很近且有较高的硬度，则系统将承受较高的

轴向载荷；›弯矩

-转子将会对泵体产生径向的力，而该径向力则最终造成对整个系统产生一定的弯矩；›扭矩

-

转子在减速过程中将产生一定的扭矩，并最终传递给系统。

›最大轴向载荷与最大弯矩基本上发生在同一时间，而最大扭矩则一般会延迟几毫秒之后才发生。

›ATH1300M–ATH2300M最大轴向载荷，弯矩以及扭矩一览。

›

因此，在安装分子泵，紧固螺栓时必须考虑到最大载荷，根据要求来紧固螺栓！›

应当使用扭矩扳手根据要求的数值（N .m ）来紧固螺栓！！-

扭矩太小：螺栓太松（安全

隐患）

-

扭矩太大：可能损坏螺栓

›我们强烈建议分子泵进口采用ISO-F或CF-F法兰。

›我们之所以不推荐使用ISO-K法兰，是因为：

-法兰上并没有任何标识（ISO-F法兰上有螺孔）告诉用户在安装分子泵时

应当用多少个钩头螺钉来紧固；

-紧固钩头螺钉时并不如紧固螺栓（ISO-F法兰）那样简单；

-ISO-K法兰不能够防止当分子泵发生突发事故时扭矩所造成的泵的旋转；

这将可能造成进气管道以及氮气吹扫管路的损坏，从而可能造成对人的伤

害。

›如果设备法兰的设计不能够承受分子泵突发事故时产生的最大载荷，则需要为分子泵增加一个支架（分子泵底部的6个M10螺纹孔可用于这种情况）

›设备的机架应足够牢固以吸收分子泵

突发事故时转子的动能，因此需要考

虑以下因素：

-最大载荷

-法兰的尺寸

-螺栓的数量以及质量

-分子泵的进气口和设备腔体之间不应

使用转接法兰或弯头

进气口：安装进气滤网，然后将泵安装到设备上或安装分子泵进气口阀门。›

进气滤网的安装：-

将进气滤网(2)放置在分子泵进口腔体的沟槽中(1)；

-将金属环(3)也放置到分子泵进口

腔体的沟槽中并将之前放入的进

气滤网压紧。