洁净实验室空调系统

为了使洁净室内保持所需要的温度湿度、风速、压力和洁净度等参数，最常用的方法是向室内不断送入一定量经过处理的空气，以消除洁净室内外各种热湿干扰及尘埃污染。

为获得送入洁净室具有一定状态的空气，就需要一整套设备对空气进行处理，并不断送入室内，又不断从室内排出一部分来，这一整套设备就构成了洁净空调系统。通过阅读本文如果还有问题没有解决，请及时咨询博森科技官方客服。

基本构成

1、加热或冷却、加湿或去湿以及净化设备;

2、将处理后的空气送入各洁净室并使之循环的空气输送设备及其管路;

3、向系统提供热量、冷量、热源、冷源及其管路系统。

洁净空调系统一般分为三大类

1、集中式洁净空调系统：在系统内单个或多个洁净室所需的净化空调设备都集中在

机房内，用送风管道将洁净空气配给各个洁净室。

2、分散式洁净空调系统：在系统内各个洁净室单独设置净化设备或净化空调设备。

3、半集中式洁净空调系统：在这种系统中，既有集中的净化空调机房，又有分散在

各洁净室内的空气处理设备。是一种集中处理和局部处理相结合的形式。

100级净化空调系统, 人们一般按系统内各洁净室的洁净度来命名系统，如称之为

1000级净化空调系统等。有时也按系统的末级过滤器的性质来区分，分高效空气净化系

统，亚高效空气净化系统和中效空气净化系统。

洁净室空调系统的特点

洁净室(Clean Room)，亦称为无尘室或清净室，就是指为保持"室内要求的洁净度等

级”采用高效空气过滤器 HEPA(High Efficiency Particulate Air) ULPA （Ultra Low Penetration Air ） 等尽力创造的室内空间。洁净室按用途分类（可分为两 大类） :工业洁净室——以无生命微粒的控制为对象。主要控制空气尘埃微粒对工作对象的

污染，内部一般保持正压状态。 它适用于精密机械工业、电子工业（半导体、集成电路 等）宇航工业、高纯度化学工业、原子能工业、光磁产品工业（光盘、胶片、磁带生产）

LCD （液晶玻璃）、电脑硬盘、电脑磁头生产等多行业

,按照美国联邦标准 Fed?STD? 209B ，规定的室内空气洁净度以粒径等于及大于 0.5呵的悬浮尘粒浓度为基准，按每 ft3 空气中尘粒数分为100〜100 , 000级；生物洁净室，主要控制有生命微粒（细菌）与无

生命微粒（尘埃）对工作对象的污染。又可分为 :一般生物洁净室，主要控制微生物（细

菌）对象的污染。同时其内部材料要能经受各种灭菌剂侵蚀，内部一般保证正压。生物学 安全洁净室：主要控制工作对象的有生命微粒对外界和人的污染。内部要保持与大气的负 压。

首先，洁净室的洁净度往往受到气流的影响，换言之，即人、机器隔间、建筑结构等 所产生的尘埃之移动、扩散受到气流的支配。洁净室系利用 尘埃的收集率达 99.97~99.99995% 之多，因此经过此过滤器过滤的空气可说十分干净。 然而洁净室内除了人以外，尚有机器等之发尘源，这些发生的尘埃一旦扩散，即无法保持 洁净空间，因此必须利用气流将发生的尘埃迅速排出室外。洁净室内的气流是左右洁净室 性能的重要因素，一般洁净室的气流速度是选 0.25~0.5m/s 之间，此气流速度属微风区 域，易受人、机器等的动作而干扰趋于混乱、虽提高风速可抑制此一扰乱之影响而保持洁 净度、但因风速的提高，将影响运转成本的增加，所以应在满足要求的洁净度水准之时， 能以最适当的风速供应，以达到适当的风速供应以达到经济性效果。另一方面欲达到洁净 室洁净度之稳定效果，均一气流之保持亦为一重要因素，均一气流若无法保持，表示风速 有异，特别是在壁面，气流会延着壁面发生涡流作用，此时要实现高洁净度事实上很困 难。垂直层流式方向要保持均一气流必须：

（a ）吹出面的风速不可有速度上的差异;

或超高效空气过滤器 HEPA 、ULPA 过滤空气，其

(b) 地板回风板吸入面之风速不可有速度上的差异。速度过低或过高 均有涡流之现象发生，而 0.5m/s 之速度，气流则较均一，目前一般洁净室，其风速均取

在 0.25~0.5m/s 之间。 影响洁净室的气流因素很多，如制程设备、人员、洁

净室组装材、照明器具等，同时对于生产设备上方气流的分流点，亦应列入考虑因 素。 一般操作台或生产设备等表面的气流分流点，应设于洁净室空间与隔墙板间距 之处，如此可使作业人员工作时，气流可从制程区内部流向作业区，而将微尘带走；若分 流点配置在制程区前方，将成为不当的气流分流，此时大部份的气流将流至制程区之后， 作业员操作所引起的尘埃将被带到设备后面，工作台因而将受到污染，良率也势必降低。

洁净室内的工作桌等障碍物，在相接处均会有涡流现象发生，相对地在其附近之洁净度将 会较差，在工作桌面钻上回风孔，将使涡流现象减少最低；组装材料之选择是否恰当、设 备布局是否完善，亦为气流是否成为涡流现象之重要因素。此外，由于实验基地内人员从 事的是比较繁重的脑力劳动——研究。所以，为了保证他们的实验效率和实验质量，新风 量水平应该取的比较合适，而不能仅仅从节能的角度去考虑而忽略了使用者的健康在设计 和设备选型时，应注意空调得末端装置和空气的输送管道的噪音控制。

关于系统方案的考虑因素

对于某一特定建筑，排除满足不了基本要求的系统外，一般还有几种系统形式可供选 择。通常不可能有绝对最好的系统，只可能是几项主要指标是最优或较优的系统。需要考 虑的指标也有很多，也只能择其重要的或比较重要的指标进行考虑。通常需要考虑的指标 有：经济性指标——初投资和运行费用或其综合费用；功能性指标——满足对室内温度、 湿度或其他参数的控制要求的程度；能耗指标——能耗实际上已反映在运行费用中，但有 时为其他费用所掩盖，而节能是我们的基本国策，应当优先选择节能型系统；系统与建筑 的协调性——如系统与装修、系统与建筑空间和平面之间的协调；其他，如维护管理方便 性，噪声等。在选择系统之前，还必须了解建筑和空调房间的特点与要求；如冷负荷密 度，冷负荷中的潜热部分比例，负荷变化特点，房间的污染物状况，建筑特点，室内装修 要求，工作时段，业主要求和其他特殊要求等。系统的选择实质上是寻求系统与建筑最优

(0.2m/s ， 0.7m/s) 2/3