纳米加工平台
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一、科研条件
纳米加工技术平台
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
集器件工艺加工、工艺测试、器件封装、 集器件工艺加工、工艺测试、器件封装、可 靠性实验和分析于一体的多功能平台； 靠性实验和分析于一体的多功能平台； 全方位开放,同时服务科学研究和企业研发的 全方位开放,同时服务科学研究和企业研发的 和企业研发 平台； 平台； 小片到 兼容，微米到纳米加工能力。 小片到6吋兼容，微米到纳米加工能力。
一、科研条件
纳米加工技术平台
高深宽比刻蚀III-V族材料 族材料 高深宽比刻蚀
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
一、科研条件
纳米加工技术平台
倒装焊技术
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
一、科研条件
纳米加工技术平台
超净实验室－4000m 超净实验室－4000m2
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
光刻设备 薄膜沉积设备 刻蚀设备 封装设备 测试设备
一、科研条件
纳米加工技术平台
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
巧妙利用电子束直写的加工特点， 巧妙利用电子束直写的加工特点，成功的将电极精 准的引致bottom up生长的纳米线两端 bottom- 生长的纳米线两端， 准的引致bottom-up生长的纳米线两端，解决了的 纳米线电极难以引出的问题。 纳米线电极难以引出的问题。 （纳米结构的DNA生物传感器<国家自然基金>）
一、科研条件
纳米加工技术平台
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
磁性随机存储器（973项目）——中科院物理所 磁性随机存储器（973项目）——中科院物理所 项目
线宽30nm，套刻误差小于10nm
一、科研条件
纳米加工技术平台
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
D=60nm Space=100nm
PMMA 30nm光栅
PMMA 10nm 孔
zep520纳米点阵
拼接误差控制在10nm 10nm以内 10nm
一、科研条件
纳米加工技术平台
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
南京大学超导电子学实验室 超导单光子探测器
重大科学研究计划：“量子信息基本逻辑单元和关键器件的研究”
纳米加工技术平台
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
集器件工艺加工、工艺测试、器件封装、 集器件工艺加工、工艺测试、器件封装、可 靠性实验和分析于一体的多功能平台； 靠性实验和分析于一体的多功能平台； 全方位开放,同时服务科学研究和企业研发的 全方位开放,同时服务科学研究和企业研发的 和企业研发 平台； 平台； 小片到 兼容，微米到纳米加工能力。 小片到6吋兼容，微米到纳米加工能力。
一、科研条件
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高深宽比刻蚀III-V族材料 族材料 高深宽比刻蚀
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
一、科研条件
纳米加工技术平台
倒装焊技术
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
一、科研条件
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超净实验室－4000m 超净实验室－4000m2
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
光刻设备 薄膜沉积设备 刻蚀设备 封装设备 测试设备
一、科研条件
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巧妙利用电子束直写的加工特点， 巧妙利用电子束直写的加工特点，成功的将电极精 准的引致bottom up生长的纳米线两端 bottom- 生长的纳米线两端， 准的引致bottom-up生长的纳米线两端，解决了的 纳米线电极难以引出的问题。 纳米线电极难以引出的问题。 （纳米结构的DNA生物传感器<国家自然基金>）
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磁性随机存储器（973项目）——中科院物理所 磁性随机存储器（973项目）——中科院物理所 项目
线宽30nm，套刻误差小于10nm
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D=60nm Space=100nm
PMMA 30nm光栅
PMMA 10nm 孔
zep520纳米点阵
拼接误差控制在10nm 10nm以内 10nm
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中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
南京大学超导电子学实验室 超导单光子探测器
重大科学研究计划：“量子信息基本逻辑单元和关键器件的研究”