精密和超精密加工技术的复习题
精密和超精密加工试题库
1、精密和超精密加工目前包含的三个领域：超精密切削、精密和超精密磨削研磨和精密特种加工2、超精密切削时积屑瘤的生成规律：1）在低速切削时，h0值比较稳定；在中速时值不稳定。
2）在进给量f很小时，h0较大3）在背吃刀量a p<25um时，h0变化不大；在a p>25um时，h0将随a p的值增大而增大。
3、超精密切削时积屑瘤对切削过程的影响：积屑瘤高时切削力大，积屑瘤小时切削力小。
4、超精密切削时积屑瘤对加工表面粗糙度的影响：积屑瘤高度大，表面粗糙度大；积屑瘤小时表面粗糙度小。
5、超精密切削时极限最小切削厚度：超精密切削实际达到的最小切削厚度，是1nm。
6、超精密切削对刀具的要求：1）极高的硬度、极高的耐磨性和极高的弹性模量，以保证刀具有很长的寿命和很高的尺寸耐用度。
2）切削刃钝圆能磨得极其锋锐，切削刃钝圆半径r n值极小，能实现超薄切削厚度。
3）切削刃无缺陷，切削时刃形将复印在加工表面上，能得到超光滑的镜面。
4）和工件的抗粘接性好，化学亲和性小，摩擦因数低，能得到极好的加工表面完整性。
7、为什么单晶金刚石被公认为理想的、不能替代的超精密切削的刀具材料。
天然金刚石有着一系列优异的特性，如硬度极高，耐磨性和强度高，导热性能好，和有色金属摩擦系数低，能磨出极其锋锐的切削刃等。
8、单晶金刚石有（100）、（110）、（111）三个主要晶面。
9、金刚石有人工目测定向、X射线定向和激光定向三种方法。
10、单晶金刚石的前面应选用（100）晶面。
11、试述金刚石刀具的固定方法包括机械夹固、用粉末冶金法固定和使用粘结或钎焊固定。
12、好磨难磨方向：习惯上把高磨削率方向成为“好磨方向”，把低磨削率方向称为“难磨方向”。
13、金刚石刀具适合加工铝合金、无氧铜、黄铜、非电解镍等有色金属和某些非金属材料。
14、单晶金刚石的破损机理主要产生于（111）晶面的解理。
15、单晶金刚石的磨损机理主要属机械磨损，其磨损的本质是微观解理的积累。
精密与特种加工安徽工程大学考试复习题
精密与超精密加工1什么是精密与超精密加工？目前在工业发达国家中，一般工厂能稳定掌握的加工精度是1微米。
与此相应，通常将加工精度在0.1~1微米、加工表面粗糙度Ra 在0.02~0.1微米之间的加工方法称为精密加工；而将加工精度高于0.1微米、加工表面粗糙度Ra 小于0.01微米的加工方法称为超精密加工。
2积屑瘤对切削力的影响规律；能够画出积屑瘤的模型；会解释积屑瘤产生规律的原因 规律：积屑瘤高时切削力大，积屑瘤小时切削力也小，和普通切削钢时的规律正好相反。
普通切削切钢时，积屑瘤可增加刀具的前角，故积屑瘤增大可使切削力下降，但是超精密切削时积屑瘤增大反而使切削力增大； 模型如图；产生原因：1）积屑瘤前端R 大约2～3μm ，实际切削力由积屑瘤刃口半径R 起作用，切削力明显增加 。
2）积屑瘤与切削层和已加工表面间的摩擦力增大，切削力增大。
3）实际切削厚度超过名义值，切削厚度增加 ，切削力增加。
3会画金刚石晶体三个面的原子分布图、面网距、面网密度的计算。
100晶面 110晶面 111晶面面积=面积=面积=原子数4x1/4+1=2 原子数 4x1/4+2x1/2+2=4 原子数3x1/6+3x1/2=2 面网密度 面网密度 面网密度面网距 面网距 面网距22D 2D 2/32D 2/2D 22/4D 223/4)2/3/(2D D4理解掌握我国采用哪个晶面作为前后刀面；为什么？应考虑因素：刀具耐磨性好；刀刃微观强度高，不易产生微观崩刃；刀具和被加工材料间摩擦系数低，使切削变形小，加工表面质量高；制造研磨容易。
选用（100）晶面的原因：（111）不适合作前后面。
推荐采用（100）晶面作金刚石刀具的前后面，理由如下：1)（100）晶面的耐磨性高于（110）晶面；2 )（100）晶面的微观破损强度高于（110）晶面，（100）晶面受载荷时的破损机率比（110）晶面低很多；3 ) （100）晶面和有色金属之间的摩擦系数要低于（110）晶面的摩擦系数。
精密及超精密加工技术复习思考题
精密及超精密加工技术复习思考题1.简述研磨抛光的机制。
答：研磨和抛光是加工硬脆非金属材料的主要方法之一。
研磨的过程是通过介于工件和研具之间的磨料及切削液，在工件和研具间产生机械摩擦或机械化学作用去除余量，使工件达到所需要的加工精度和表面质量。
硬脆材料的研磨与金属的研磨不同，它是通过磨料在外力的作用下，使工件表面产生微小龟裂，并逐渐扩张和崩碎，从母体材料上脱离而进行加工的。
但是随着加工去除单位的减小，加工机理也不同。
开始粗粒度磨料研磨时，主要是脆性破坏。
改用细微磨料(W5以下)时，研磨则是以塑性破坏为主。
一般用硬质研具的加工方法称为研磨，用软质材料作研具的称为抛光。
2.陶瓷、玻璃、硅晶片等硬脆性材料和金属等延展性材料的研磨抛光加工机制有何不用？答：陶瓷和玻璃用超精密研磨与抛光，它的机理是以磨料的机械作用为主去除材料。
硅晶片用液中研磨与抛光，它是浸在含有磨料的工作液中进行的，以磨料的机械作用为主，加上液体的冷却与分散磨料的作用，被加工工件是浮动的，在液中运动进行。
研磨液是过滤水或蒸馏水。
研磨工具采用合成树脂或锡等软质材料。
金属等延展性材料严密抛光时不产生裂纹，但是切削不连续，采用的研磨磨具不同。
3.在实际研磨抛光中，通常认为技术人员的经验非常重要，为什么？答：一般来说手动抛光机之技术，多半都有是依照操作人员个人的操作经验与习惯而养成的抛光动作，往往都是因人而异，所以在手动抛光机的操作技术上，无法清楚的归纳具体的操场作技术，所以说通常认为技术人员的经验非常重要。
4.解释研磨、抛光、EEM和CMP的加工原理。
答：研磨加工原理：利用工件与研具相对运动，通过研磨剂作用而获得高质量、高精度的加工。
抛光加工原理：抛光是在较软质或有弹性变形特性只研磨布上，而只以塑性变形去除微小量的材料表面，使镜面加工变形少。
EEM加工原理：它的加工原理是高速旋转的树脂球对工件产生一定的压力和气流，并在它们之间加上含有磨料的工作液，使树脂球冲击或擦过工件表面进行加工。
精密加工简答题
Part1 精密加工1.制造技术的发展的两个主要方向是什么？答：精密和超精密加工技术：追求加工上的精度和表面质量的极限；自动化智能制造技术：追求自动化技术的极限：包括了产品设计、制造和管理的自动化。
2.精密和超精密加工技术有何特点？答：(1) 精密加工和超精密加工技术的内涵具有相对性，具体数值随时间的推移而变化，界限是相对的；(2) 超精密加工具有不普及性、保密性；(3) 超精密加工属于尖端技术，是国际竞争取得成功的关键；(4) 超精密加工与测量技术密切相关。
3.为什么研磨、抛光等工艺属于“进化加工”？答：此类工艺均采用游离磨料对零件进行加工，加工所用工装设备要求相对较低，加工后表面质量与机床精度没有直接关系，因此可以用此类加工工艺获得很高的加工质量。
4.精密和超精密加工现在包括哪些领域？答：精密和超精密加工目前包含三个领域：1)超精密切削和磨削加工：2)精密和超精特种加工：3)复合超精密加工技术：传统加工和特种加工的复合，如机械化学抛光、精密电解磨削、精密超声珩磨等5.金刚石刀具又哪些优异性能？答：1)硬度最高，（莫氏硬度10，显微硬度为6000~10000HV）；2)非常耐磨，其相对耐磨性约为钢的9000倍；3)有较大的热容量和良好的导热性，线膨胀系数很小，熔点高于3550℃；4)和有色金属间的摩擦系数低；5)不溶于酸和碱，但能溶于硝酸钠、硝酸钾等盐溶液；在800℃以上的高温下，能与铁或者铁合金反应和溶解；6)可以研磨出极锋利的刃口，没有其他材料可以磨到如此锋利且能长期切削而磨损很小。
6.金刚石刀具磨损或破损的标志？金刚石刀具破损的主要原因是？答：加工质量是否下降超差，粗糙度是否超过规定值。
微小振动引起的微观解理，造成微小崩刃7.什么是刀具锋锐度？表示锋锐度指标是什么？答：刃口锋锐度是指：刀具刃口的锋利程度指标：切削刃钝圆半径ρ的大小。
8.解释金刚石刀具设计时，通常选择100晶面做刀面，而不选择110和111晶面的理由？答：1)100：（100）耐磨性优于（110）；（100）晶面的微观破损强度高于（110）晶面，（100）晶面受载荷时的破损机率比（110）晶面低很多；也更容易磨出高质量的刃口（精磨时不容易微观崩刃，反而容易减小研磨时间--尽管粗磨时费时，效率低些）；（100）晶面和有色金属之间的摩擦系数要低于（110）晶面的摩擦系数。
精密和超精密加工技术考试资料
精密和超精密加工技术考试资料当刃口半径为某值时，切下的最小切削厚度min和Fy|Fx的比值和刀具材料的摩擦系数。
按加工精度划分一般加工、精密加工、超精密加工（细微加工、超细微加工、光整加工、精整加工）三个阶段机密制造的主要研究领域精密切削、精密磨削和研磨、特种精密加工、细微加工。
金刚石车刀地固定方法机械加固，用粉末冶金法固定，使用粘结或钎焊固定金刚石。
一次性使用不重磨的精密金刚石刀具，将金刚石钎焊在硬质合金片上。
普通磨具中磨料的含量用组织表示，超硬磨具中磨料的含量用浓度表示。
超硬磨具中磨料的含量用浓度表示。
成形磨削、沟槽磨削、宽接触面平面磨削选用高质量浓度；半精磨精磨选用细粒度，中质量浓度；高精度、低表面粗糙度值的精密磨削和超精密磨削选用细粒度，低质量浓度。
常见的制造涂覆磨具的方法有重力落砂法涂敷法、静电植砂法砂轮的修整用量有修整导程、修整深度、修整次数、光修次数磨削用量砂轮速度、工件速度、工件纵向进给量、横向进给量（吃刀量）、横向进给次数、光磨（无火花磨削）常见的砂带修整方法有滚压法对磨法预磨法砂带磨削的除尘液体摩擦轴承根据润滑模的形成原理不同分为液体动压润滑轴承液体静压润滑轴承主轴的驱动方式电动机通过带传动驱动、电动机通过柔性联轴器驱动、采用内装式同轴电动机驱动超精密机床的总体布局1)主轴箱位置固定，刀架装在十字形滑板上2）T形布局3）R－θ布局4）立式结构布局床身和导轨的材料优质耐磨铸铁、花岗岩、人造花岗岩按两导轨面间的摩擦性质分类空气或液体静压导轨、流体动压导轨。
按中间滚动体的不同而分为：滚珠导轨、滚柱导轨、滚针导轨及滚动轴承导轨等。
滑动导轨分两大类——凸形和凹形数控机床的伺服系统按其功能可分为：进给伺服系统和主轴伺服系统。
进给伺服系统通常由伺服驱动装置、伺服电机、机械传动机构及执行部件组成。
常见的微量进给装置的应用有实现微量进给；实现超薄切削；在线误差补偿；用于切削加工非轴对称特殊型面固结磨料：将磨料或微粉与结合剂粘合在一起，形成一定的形状并具有一定强度，再采烧结、粘接、涂敷等方法形成砂轮、砂条、油石、砂带等磨具。
精密和超精密加工
1、精密和超精密加工的三大领域：超精密切削、精密和超精密磨削研磨、精密特种加工。
2、金刚石刀具进行超精密切削时，适合加工铝合金、无氧铜、黄铜、非电解镍等有色金属和某些非金属材料。
3、最硬的刀具是天然单晶金刚石刀具。
金刚石刀具的的寿命用切削路程的长度计算。
4、超精密切削实际能达到的最小切削厚度和金刚石刀具的锋锐度、使用的超精密机床的性能状态、切削时的环境条件等直接相关。
5、影响超精密切削极限最小切削厚度最大的参数是切削刃钝圆半径r n。
6、金刚石晶体有3个主要晶面，即（100）、（110）、（111），（100）晶面的摩擦因数曲线有4个波峰和波谷，（110）晶面有2个波峰和波谷，（111）晶面有3个波峰和波谷。
以摩擦因数低的波谷比较，（100）晶面的摩擦因数最低，（111）晶面次之，（110）晶面最高。
比较同一晶面的摩擦因数值变化，（100）晶面的摩擦因数差别最大，（110）次之，（111）晶面最小。
7、实际金刚石晶体的（111）晶面的硬度和耐磨性最高。
推荐金刚石刀具的前面应选（100）晶面。
8、（110）晶面的磨削率最高，最容易磨；（100）晶面的磨削率次之，（111）晶面磨削率最低，最不容易磨。
9、金刚石的3个主要晶面磨削（研磨）方向不同时，磨削率相差很大。
现在习惯上把高磨削率方向称为“好磨方向”，把低磨削率方向称为“难磨方向”。
10、金刚石磨损本质是微观解离的积累；破损主要产生于（111）晶面的解离。
11、金刚石晶体定向方法：人工目测定向、X射线晶体定向、激光晶体定向。
其中激光晶体定向最常用。
12、金刚石的固定方法有：机械夹固、用粉末冶金法固定、使用粘结或钎焊固定。
13、精密磨削机理包括：微刃的微切削作用，微刃的等高切削作用，微刃的滑挤、摩擦、抛光作用。
14、超硬磨料砂轮修整的方法有：车削法、磨削法、滚压挤轧法、喷射法、电加工法、超声波振动修整法。
电解在线修锐法（ELID—electrolytic in—process dressing），原理是利用电化学腐蚀作用蚀出金属结合剂。
精密和超精密加工技术期末考试题及答案
1、八面体的单晶金刚石的晶体结构包括晶轴、晶面、面网密度和面网距。
晶面：通过原子中心的平面，即晶体中各种方位上的原子面。
晶轴：与晶面垂直的轴面网密度（致密度） :面网单位面积上的原子数面网距：晶体面网之间的距离用解理现象解释晶体的好磨难磨方向：解理现象是某些晶体特有的现象，晶体受到定向的机械力作用时，沿平行于某个平面平整的劈开的现象。
解理发生的原因主要是因为111）面的宽的面间距是金刚石晶体中所有晶面间距中的最大的一个，并且其中的连接共价键数最少，只需击破一个价键就可使其劈开。
金刚石的解理现象即沿解理面（111）平整的劈开两半，且金刚石的破碎和磨损都和解理现象直接有关。
金刚石的耐磨性可用相对磨削率来表示，对于金刚石研磨时，各晶面均有“好磨”和“难磨”方向。
高磨削率方向称为“好磨方向”，低磨削率方向称为“难磨方向”。
2、高速切削应用场合，由哪些特点决定的？应用场合：1）航空航天：由于有大量薄壁、细筋的大型轻合金整体构件加工，高速切削，随切削速度提高，切削力可减少30%以上，可以减少工件变形。
铝合金整体结构件的高速切削，不再铆接，省去了装配工作；薄壁件加工等。
2）模具业：高速切削可加工硬度HRC45～65的淬硬钢铁件，如高速切削加工淬硬后的模具可减少甚至取代放电加工和磨削加工，满足加工质量的要求，加快产品开发周期，大大降低制造成本。
3）汽车工业：采用高速数控机床和高速加工中心组成高速柔性生产线，实现多品种、中小批量的高效生产，高速切削使加工时间减少，切削效率提高3～5倍。
加工成本可降低20％-40％。
4）仪器仪表：精密光学零件加工。
转速的提高，使切削系统的工作频率远离机床的低阶固有频率，加工中鳞刺、积屑瘤、加工硬化、残余应力等也受到抑制。
因此，高速切削加工可大大降低加工表面粗糙度，加工表面质量可提高1～2等级。
有利于减少加工零件的内应力和热变形，也提高了加工精度。
这题有个简单的答案由于高速切削加工具有高生产效率，减少切削力，提高加工精度和表面质量，降低生产成本并且可加工高硬材料等许多优点，已在汽车和摩托车制造业、模具业、轴承业、航空航天业、机床业、工程机械、石墨电极等行业中广泛应用。
精密和超精密加工技术
1、通常将加工精度在0.1-1um、加工表面粗糙度R在0.02-0.1um之间的加工方法称为精密加工。
而将加工精度高于0.1um、加工表面粗糙度R小于0.01um的加工方法称为超精密加工。
2、提高加工精度的原因：提高制造精度后可提高产品的性能和质量，提高其稳定性和可靠性；促进产品的小型化；增强零件的互换性，提高装配生产率，并促进自动化装配。
3、精密和超精密加工目前包含三个领域：超精密切削；精密和超精密磨削研磨‘精密特种加工。
4、金刚石刀具的超精密切削加工技术，主要应用于两个方面：单件的大型超精密零件的切削加工和大量生产的中小型零件的超精密切削加工技术。
5、金刚石刀具有两个比较重要的问题：晶面的选择；切削刃钝圆半径。
6、超稳定环境条件主要是指恒温、防振、超净和恒湿五个方面的条件。
7、我国应开展超精密加工技术基础的研究，其主要内容包括以下四个方面：1）超精密切削、磨削的基本理论和工艺。
2）超精密设备的关键技术、精度、动特性和热稳定性。
3）超精密加工的精度检测、在线检测和误差补偿。
4）超精密加工的环境条件。
5）超精密加工的材料。
8、超精密切削实际选择的切削速度，经常是根据所使用的超精密机床的动特性和切削系统的动特性选取，即选择振动最小的转速。
9、超精密切削实际能达到的最小切削厚度和金刚石刀具的锋锐度、使用的超精密机床的性能状态、切削时的环境等都直接有关。
10、为实现超精密切削，刀具应具有如下性能：1）极高的硬度、极高的耐磨性和极高的弹性模量，以保证刀具有很长的寿命和很高的尺寸耐用度。
2）切削刃钝圆能磨得极其锋锐，切削刃钝圆半径r值极小，能实现超薄切削厚度。
3）切削刃无缺陷，切削时刃形将复印在加工表面上，能得到超光滑的镜面。
4）和工件材料的抗粘结性好、化学亲和性小、摩擦因素低，能得到极好的加工表面完整性。
11、SPDT——金刚石刀具切削和超精密切削。
12、晶体受到定向的机械力作用时，可以沿平行于某个平面平整地劈开的现象称为解理现象。
精密与特种加工简答题及答案
1．实现超精密切削加工对刀具性能的要求是：（极高的硬度和耐磨性）、（刃口及其锋利）、刀刃无缺陷、与工件材料的抗粘接性好，摩擦系数低。
2．精密和超精密加工机床主轴轴承的常用形式有（液体静压轴承）和（空气静压轴承）。
3．金刚石晶体的激光定向原理是利用金刚石在不同结晶方向上（因晶体结构不同而对激光放射形成不同的衍射图像）进行的。
4．电火花加工蚀除金属材料的微观物理过程可分为（介质电离击穿）、（介质热分解、电极材料熔化、气化）、（蚀除物抛出）和（间隙介质电离）四个阶段。
5．超精密加工机床的关键部件主要有：（精密主轴部件）、（导轨部件）和（进给驱动系统）等。
6．电火花加工粗加工时工件常接（负）极，精加工时工件常接（正）极；线切割加工时工件接（正）极；电解加工时工件接（正）极；电解磨削时工件接（正）极；电镀时工件接（负）极。
7.电子束加工是在（真空）条件下，利用（聚焦后能量密度极高、速度极高的电子）对工件进行加工的方法。
8．精密和超精密磨料加工分为（固结磨料）加工和（游离磨料）加工两大类。
9．电火花型腔加工时使用最广泛的工具电极材料是：（纯铜）和（石墨）。
10．影响电火花加工精度的主要因素有：（放电间隙的大小）及其一致性、（工具电极的损耗）及其稳定性和（二次放电现象）。
11．超精密机床主轴的驱动方式主要有电动机通过带传动驱动、（电动机通过柔性联轴器驱动）和（采用内装式同轴电动机驱动）三种。
12．超精密加工中超稳定的加工环境条件主要指（恒温）、（恒湿）、（防振）和（超净）四个方面的条件。
13．目前金刚石刀具主要用于（铝、铜及其合金等软金属）材料的精密与超精密加工，而对于（黑色金属）材料的精密与超精密加工，则主要应用精密和超精密磨料加工。
14．电火花加工按工件和工具电极相对运动的关系可分为：电火花（穿孔成形加工）、电火花（线切割加工）、电火花（磨削加工）、电火花（展成加工）、电火花表面强化和刻字等类型。
15．若工件为铁，工具为铜，在NaCl电解液中进行电解加工时，阳极溶解生成（Fe(OH)2 ），阴极生成（H2 ），电解液内最终生成物是Fe（OH）3 。
精密加工和超精密加工技术期末复习资料
考试复习题库一、填空题（本大题共10小题，每小题2分，共20分）请在每小题的空格中填上正确答案。
错填、不填均无分。
1、精密和超精密加工目前包含的三个领域：（超精密切削）、（精密和超精密磨削研磨）和（精密特种加工）。
2、金刚石晶体的激光定向原理是利用金刚石在不同的（结晶方向）上因晶体结构不同而对激光放射形成不同的（衍射图像）进行的。
3、金刚石刀具在超精密切削时所产生的积屑瘤，将影响加工零件的（表面质量）和（尺寸精度）。
4、目前金刚石刀具主要用于（铝、铜及其合金等软金属）材料的精密与超精密加工，而对于（黑色金属、硬脆）材料的精密与超精密加工，则主要应用精密和超精密磨料加工。
5、金刚石刀具在超精密切削时所产生的积屑瘤，将影响加工零件的（表面质量）和（尺寸精度）。
6、金刚石有（人工目测定向）、（X射线定向）和（激光定向）三种方法。
7、由于金刚石的脆性，在保证获得较小的加工表面粗糙度前提下，为增加切削刃的强度，应采用（较大）的刀具楔角β，故刀具的前角和后角都取得（较小）。
8、金刚石刀具适合加工（铝合金）、无氧铜、黄铜、（非电解镍）等有色金属和某些非金属材料。
9、单晶金刚石有（100 ）、（110 ）、（111 ）三个主要晶面。
10、研磨金刚石晶体时，（110 ）晶面摩擦因数最大，（100 ）晶面次之，（111 ）晶面最小。
11、在高磨削率方向上，（110 ）晶面的磨削率最高，最容易磨；（100 ）晶面的磨削率次之，（111 ）晶面磨削率最低，最不容易磨。
12、单晶金刚石的（破损）机理主要产生于（111 ）晶面的解理。
13、单晶金刚石的磨损机理主要属（机械磨损），其磨损的本质是（微观解理）的积累。
14、超硬磨料在当前是指（金刚石）和（立方氮化硼）以及它们为主要成分的复合材料。
15、用普通磨料砂轮或砂块与超硬磨料砂轮对磨进行修整的（磨削法）是目前最为广泛采用的（修整方法）。
16、精密和超精密磨料加工分为（固结磨料）加工和（游离磨料）加工两大类。
精密与超精密加工技术精密与超精密加工技术部分习题
P15 1~51.评价加工精度的指标。
加工精度是加工后零件表面的实际尺寸、形状、位置三种几何参数与图纸要求的理想几何参数的符合程度。
尺寸精度:指加工后零件的实际尺寸与零件尺寸的公差带中心的相符合程度。
形状精度:指加工后的零件表面的实际几何形状与理想的几何形状的相符合程度。
位置精度:指加工后零件有关表面之间的实际位置精度差别。
相互关系:通常在设计机器零件及规定零件加工精度时，应注意将形状误差控制在位置公差内，位置误差又应小于尺寸公差。
即精密零件或零件重要表面，其形状精度要求应高于位置精度要求，位置精度要求应高于尺寸精度要求。
2.举例说明提高零部件精度的实际意义。
（找不到）3.切削加工和激光加工的单位工件去除能耗哪个更大？为什么？激光加工能耗10^6J/mm，而切削加工能耗为1~10J/mm，故激光加工能耗更多因为激光加工需要将光能转化为热能使零件表面金属气化从而加工零件而切削加工则将零件表面金属挤压出来，能耗较少。
4.超精密加工设备的性能特征有哪些？（找不到）5.SSS (super smooth surface )控制模块和OMR－FF（Optimum Machine response－Feed Forward)控制模块的作用和特点。
SSS (super smooth surface )控制在较大领域进行形状识别，以实现最优速度控制。
SSS控制模块不仅能在任何陡峭或拐角处加工出光滑面，而且可以将加工时间缩短约50%。
在数控加工设备上开发出OMR-FF，可以直接从加工的机械部分补偿CNC指令误差，不仅可以加工出光滑表面，而且可以提高加工的形状精度。
P23 1~41.目前，零部件表面功能特性主要是追求表面粗糙度的改善还是表面结构形状的优化和控制？答：零部件表面功能特性主要是追求表面按结构形状的优化和控制，可以产生新的功能特性，使得工作系统具有更高的性能，更小的结构尺寸和更低的能量消耗。
2. 零部件表面的微结构空间几何形状分为规则和不规则的，解释各种特点。
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精密和超精密加工课程第一次作业评分标准作业题：1.什么是精密加工和超精密加工技术？研究它有何重要意义？（6分）2.精密加工和超精密加工包括哪些内容？（4分）1.什么是精密加工和超精密加工技术？（3分）答：精密加工：是指在一定吋期，加工精度和表面质量达到较高程度的精密加工技术（加工工艺）。
（1分）具体地说，是指加工精度在1〜0.1pm,粗糙度在RaO.lpm以下（一般Ra0.02〜0.1pm）的加工方法。
（0.5・1分）超精密加工：是指在一定吋期，加工精度和表面质量达到最高程度的精密加工技术（加工工艺）。
（1分）具体地说，是指加丄精度在0.1〜0.01 Jim,粗糙度小于RaO.Olgm （RaO.Ol〜RaO.OOlpm）的加工方法。
（0.5-1分）研究它有何重要意义？（3分）答：＞机械工业是国民经济发展的基础，为其他行业提供技术装备；而技术装备的水平和质量影响各行业生产技术的水平。
（1分）＞国家要振兴机械装备制造业，先进制造技术是振兴机械装备制造业的重要组成部分。
（1分）＞精密和超精密加工技术又是先进制造技术中最具冇实质性的重要组成部分，是先进制造技术的基础和关键。
（1分）如按“精密和超精密加工技术的地位和作用”回答，也可给3分：＞国家制造业水平的重要标志之一（1分）＞先进制造技术的基础和关键（1分）＞当代的精密工程是现代制造技术的前沿，也是明天制造技术的基础（1分）2.精密加工和超精密加工包括哪些内容？（4分）答：＞切削、磨削加工：精密切削和磨削、超精密切削与磨削。
（2分）＞（精密和超精密）特种加工：（它是指一些利用热、声、光、电、磁、原了、化学等能源的物理的，化学的非传统加工方法。
）（1分）特种加工包括a.电物理加工，b.电化学加工，c.物理加工，d.化淫加工，e. 复合加工。
（1分）精密和超精密加工课程第二次作业评分标准作业题：1.金刚右刀具超精密切削的切削速度应如何选择？（4分）2.超精密切削时极限最小切削厚度是多少？（2分）3.单晶金刚石有哪几个主要晶面？晶面选择对切削变形和加工表面质量的“Dmin小- 一J(F?+F〉2)(1 + “2)（2分）影响如何？（4分）1.金刚石刀具超精密切削的切削速度应如何选择？（4分）答：根据所使用的超精密机床和切削系统的动特性选取，即选择振动最小的转速（切削速度）。
精密和超精密加工技术复习题
精密和超精密加工技术复习题精密和超精密加工技术第一章1.从机械制造技术发展看，过去和现在达到怎样的精度可被称为精密和超精密加工。
答：通常将加工精度在0.1-lμm，加工表面粗糙度在Ra 0.02-0.1μm之间的加工方法称为精密加工。
而将加工精度高于0.1μm，加工表面粗糙度小于Ra 0.01μm的加工方法称为超精密加工。
2、现代机械工业之所以要至于提高加工精度，其主要原因在于：提高制造精度后可提高产品的性能和质量，提高其稳定性和可靠性；促进产品的小型化；增强零件的互换性，提高装配生产率，并促进自动化装配。
3.精密和超精密加工现在包括哪些领域。
答：精密和超精密加工目前包含三个领域：1)超精密切削，如超精密金刚石刀具切削，可加工各种镜面。
它成功地解决了高精度陀螺仪，激光反射镜和某些大型反射镜的加工。
2)精密和超精密磨削研磨。
例如解决了大规模集成电路基片的加工和高精度硬磁盘等的加工。
3)精密特种加工。
如电子束，离子束加工。
使美国超大规模集成电路线宽达到0.1μm。
4、金刚石刀具的超精密切削加工技术，主要应用于两个方面：单件的大型超精密零件的切削加工和大量生产的中小型零件的超精密切削加工技术。
5、金刚石刀具有两个比较重要的问题：一是晶面的选择，二是切削刃钝圆半径r。
6、超稳定环境条件主要是指恒温、防振、超净和恒湿。
相应发展起恒温技术、防振技术、净化技术。
7、我目要发展精密和超精密加工技术，应重点发展哪些方面的内容。
答：根据我国的当前实际情况，参考国外的发展趋势，我国应开展超精密加工技术基础的研究，其主要内容包括以下几个方面：1)超精密切削磨削的基本理论和工艺；2)超精密设备的精度，动特性和热稳定性；3)超精密加工精度检测及在线检测和误差补偿；4)超精密加工的环境条件；5)超精密加工的材料。
第二章8、金刚石刀具超精密切削的切削速度应如何选择?答：超精密切削实际选择的切削速度，经常是根据所使用的超精密机床的动特性和切削系统的动特性选取，即选择振动最小的转速，因为在该转速时表面粗糙度最小，加工质量最高，获得高质量的加工表面是超精密切削的首要问题。
精密与超精密加工试题和答案
1）精密和超精密加工的精度范围分别为多少？超精密加工包括哪些领域？2）答：精密与超精密加工的精度随着科学技术的发展不断提高, 以目前的加工能力而言, 精密加工的精度范围是0.1~1μm, 加工表面精度Ra在0.02~0.1μm之间。
超精密加工的精度高于0.1μm, 加工表面精度Ra小于0.01μm。
3）超精密加工领域:4）超精密切削,5）超精密磨削,6）超精密研磨和抛光。
超精密切削对刀具有什么要求？天然单晶金刚石、人造单晶金刚石、人造聚晶金刚石和立方氮化硼刀具是否适用于超精密切削？答: 超精密切削对刀具的要求:1) 刀具刃口锋锐度ρ刀具刃口能磨得极其锋锐, 刃口圆弧半径ρ极小, 能实现超薄切削厚度, 减小切削表面弹性恢复和表面变质层。
ρ与切削刃的加工方位有关, 普通刀具5~30μm, 金刚石刀具<10nm；从物理学的观点, 刃口半径ρ有一极限。
2) 切削刃的粗糙度。
切削时切削刃的粗糙度将决定加工表面的粗糙度。
普通刀刃的粗糙度Ry0.3~5 μm, 金刚石刀具刀刃的粗糙度Ry0.1~0.2 μm, 特殊情况Ry1nm, 很难。
3) 极高的硬度、极高的耐磨性和极高的弹性模量, 保证长的刀具寿命。
4) 刀刃无缺陷, 足够的强度, 耐崩刃性能。
5) 化学亲和性小、与工件材料的抗粘结性好、摩擦系数低, 能得到极好的加工表面完整性。
单晶金刚石硬度极高。
自然界最硬的材料, 比硬质合金的硬度高5~6倍。
摩擦系数低。
除黑色金属外, 与其它物质的亲和力小。
能磨出极锋锐的刀刃。
最小刃口半径1~5nm。
耐磨性好。
比硬质合金高50~100倍。
导热性能好, 热膨胀系数小, 刀具热变形小。
因此, 天然单晶金刚石被一致公认为理想的、不能代替的超精密切削刀具。
人造单晶金刚石已经开始用于超精密切削, 但是价格仍然很昂贵。
金刚石刀具不适宜切黑色金属, 很脆, 要避免振动而且价格昂贵, 刃磨困难。
人造聚晶金刚石无法磨出极锋锐的切削刃, 切削刃钝圆半径ρ很难达到<1μm, 它只能用于有色金属和非金属的精切, 很难达到超精密镜面切削。
精密和超精密加工技术的复习题
一、名词解释1.金刚石晶体的解理现象：金刚石晶体受到定向的机械力作用时，可以沿平行于（111）平面平整地劈开的现象，称为解理现象。
2.精密磨削：是指加工精度为1~0.1μm，表面粗糙度达到Ra0.2~0.025μm的磨削方法，又称为小粗糙度磨削。
3.超精密磨削：是指加工精度达到或高于0.1μm，表面粗糙度小于R a0.025μm的一种亚微米级的加工方法，并正向纳米级发展。
4.在线检测：工件在加工过程中的同时进行检测，称之为在线检测。
5.空气洁净度：是指空气中含尘埃量多少的程度。
6.恒温精度：是指相对于平均温度所允许的偏差值。
7.恒温基数：是指空气的平均温度。
二、填空题1.精密和超精密加工包含三个领域：超精密切削、精密和超精密磨削研磨、精密特种加工。
2.金刚石刀具有两个比较重要的问题：一是晶面的选择，再就是金刚石刀具的研磨质量——切削刃钝圆半径r n。
3.隧道扫描显微镜是目前世界上精度最高的测量仪，可用于测量金属和半导体零件表面的原子分布的外貌。
4.最新的研究证实，在扫描隧道显微镜下可移动原子，实现精密工程的最终目标——原子级精密加工。
5.超精密切削实际选择的切削速度，经常是根据所使用的超精密机床的动特性和切削系统的动特性选取，即选择振动最小的转速。
6.超精密切削实际能达到的最小切削厚度和金刚石刀具的锋锐度、使用的超精密机床的性能状态、切削时的环境条件等都直接有关。
7.金刚石刀具的磨损，主要属机械磨损，其磨损本质是微观解理的积累。
8.对金刚石刀具来说，切削刃处的解理破损是磨损和破损的主要形式，故切削刃的微观强度是刀具设计选择晶面的主要依据。
9.金刚石晶体定向方法有：人工目测定向、X射线晶体定向、激光晶体定向。
10.精密磨削机理可归纳为：微刃的微切削作用；微刃的等高切削作用；微刃的滑挤、摩擦、抛光作用。
11.超精密磨削时有微切削作用、塑性流动和弹性破坏作用，同时还有滑擦作用。
12.从加工机理来看，砂带磨削兼有磨削、研磨和抛光的综合作用。
精密与超精密加工复习题
一、概念题1、什么是精密加工和超精密加工？答：目前，在发达国家中一般工厂能够稳定掌握的精度是1 μm，与此对应，通常将加工精度在0.1~1 μm，加工表面粗糙度在Ｒa=0.025~0.1μm之间的加工方法称为精密加工，而将加工精度高于0.1 μm，加工表面粗糙度小于0.025μm之间的加工方法称为超精密加工。
当代的精密加工主要指精密和超精密切削加工、精密和超精密研磨/抛光加工、精密特种加工。
2、什么是精密和超精密砂轮磨削？答：精密砂轮磨削是利用精细修整的粒度为60＃~80#的砂轮进行磨削，其加工精度可达1μm，表面粗糙度可达Ra0.025 μm。
超精密砂轮磨削是利用经过仔细修整的粒度为W40~W5的砂轮进行磨削，其加工精度可达0.1μm，表面粗糙度可达Ra0.025~ Ra0.008μm。
3、什么是纳米技术？答：纳米技术指在0.1nm~100nm的材料、设计、制造、测量、控制和产品的技术。
主要包括纳米级精度和表面形貌的测量；纳米级表层物理、化学、力学性能的检测；纳米精度的加工和纳米级表层的加工－原子和分子的去除、搬迁和重组；纳米材料；纳米级传感器和控制技术；纳米级微型和超微型机械；微型和超微型机电系统；纳米生物学等。
二、填空题1、精密和超精密机床的质量，取决于关键部件的质量。
各国都非常重视这个问题，关键部件和技术主要有：精密主轴部件、床身和精密导轨部件、进给驱动系统、微量进给系统、机床的稳定性和减振隔振、减少热变形和恒温控制等。
2、机床主轴的驱动方式主要有下面三种:电机通过带传动驱动；电机通过柔性联轴器驱动机床主轴；采用内装式同轴电动机驱动机床主轴。
3、目前超精密机床绝大多数用于加工反射镜等盘形零件，因此一般都没有后顶尖。
超精密机床的总体布局：主轴箱位置固定，刀架装在十字形滑板上；T形布局；R-θ布局；立式布局。
4、目前，超精密机床中使用滚珠丝杠副驱动时，都使用双频激光联测系统作为进给量的检测和反馈，故丝杠累积误差稍大，问题并不严重。
精密和超精密加工技术_期末复习资料
第一章1.一般工厂能稳定掌握的加工精度是1μm。
通常将加工精度在0.1—1μm，表面粗糙度在0.02—0.1μm之间的加工方法称为精密加工；而将加工精度高于0.1μm，表面粗糙度小于0.01μm之间的加工方法称为超精密加工。
2.20世纪五十年代精密加工能达到的精度水平3-5um，超精密加工达到的精度是1um。
到20世纪70年代后期，精密加工达到的精度水平是1um，超精密加工达到的精度是0.1um，而现在精密加工达到的精度水平是0.1um，超精密加工达到的精度已是0.01-0.001um3.精密加工和超精密加工目前包含三个领域：①超精密切削，如超精密金刚石切削。
②精密和超精密磨削研磨，如解决大规模集成电路基片的加工。
③精密特种加工，如电子束、离子束加工。
P44.实现超精密切削加工，不仅需要超精密的机床设备和刀具，也需要超稳定的环境条件，还需要运用计算机技术进行实时检测，反馈补偿。
5.金刚石刀具的超精密切削加工技术，主要应用于两个方面：单件的大型超精密零件的切削加工何大量生产的中小型零件的超精密切削加工技术。
P56.金刚石刀具有两个比较重要的问题：①晶面的选择。
②金刚石刀具的研磨质量。
7.最小切削厚度：能稳定切削的最小有效切削厚度。
1nm8.工件材料对超精密切削有重要影响。
主要原因：①表面出现不纯物，造成不规则的空穴和划伤。
②结晶的晶界出现阶梯。
③加工工件有残留变形和残留应力。
④对金刚石刀具的亲和性、产生粘接现象等。
⑤由于晶体材料的各项异性，影响切削变形和加工表面质量P79.超精密加工研究的主要内容包括：①超精密切削、磨削的基本理论和工艺。
②超精密设备的关键技术、精度、动特性和热稳定性。
③超精密加工的精度检测、在线检测和误差补偿。
④超精密加工的环境条件。
⑤超精密加工的材料。
P9第二章1.现在超精密切削是使用精密的单晶天然金刚石刀具加工有色金属和非金属，可以直接切出超光滑的加工表面。
P102.超精密切削实际选择的切削速度，通常根据所选使用的超精密机床的动态特性和切削系统的动态特性选取，即选择震动最小的转速。
机械制造工艺学复习题2
复习题一、选择题二、简答题1、精密和超精密加工现在包括哪些领域。
答：精密和超精密加工目前包含三个领域:1)超精密切削，如超精密金刚石刀具切削,可加工各种镜面。
它成功地解决了高精度陀螺仪，激光反射镜和某些大型反射镜的加工。
2）精密和超精密磨削研磨。
例如解决了大规模集成电路基片的加工和高精度硬磁盘等的加工。
3)精密特种加工。
如电子束,离子束加工。
使超大规模集成电路线宽达到0.1μm。
2、超精密切削对刀具有哪些要求？为什么单晶金刚石是被公认为理想的、不能代替的超精密切削的刀具材料?答：为实现超精密切削.刀具应具有如下性能。
1)极高的硬度、极高的耐磨性和极高的弹性模量。
以保证刀具有很长的寿命和很高的尺寸耐用度。
2）刃口能磨得极其锋锐，刃口半径值极小，能实现超薄切削厚度。
3）刀刃无缺陷，切削时刃形将复印在加工表面上,能得到超光滑的镜面。
4)和工件材料的抗粘结性好、化学亲和性小、摩擦系数低，能得到极好的加工表面完整性。
天然单晶金刚石有着一系列优异的特件。
如硬度极高、耐磨性和强度高、导热性能好、和有色金属摩擦系数低，能磨出极锋锐的刀刃等。
因此虽然它的价格昂贵，仍被一致公认为理想的、不能代替的超精密切削刀具材料.3、超精密磨削的含义是什么？镜面磨削的含义是什么？答：超精密磨削是最高加工精度、最低表面粗糙度的砂轮磨削方法。
一般是指加工精度达到或者高于0。
1μm，加工表面粗糙度小于Ra 0。
025μm，是一种亚微米级的加工方法.镜面磨削一般是指加工表面粗糙度达到Ra 0.02-0。
01μm，表面光泽如镜的磨削方法。
4、机床的几何误差指的是什么？以车床为例说明机床几何误差对零件的加工精度会产生怎样的影响？答案：机床的几何误差主要是指机床的主轴回转误差、导轨误差和传动链误差.以车床为例，其主轴回转误差将影响工件的圆度；导轨误差将影响工件端面、台阶面与轴线的垂直度，圆柱度；传动链误差将影响工件端面、台阶面与轴线的垂直度和螺距误差。
精密和超精密加工复习整理资料
1.精密和超精密加工目前包含的三个领域：超精密切削、精密和超精密磨削研磨和精密特种加工2.超精密加工中超稳定的加工环境条件主要指（恒温）、（恒湿）、（防振）和（超净）四个方面的条件。
3.电火花型腔加工的工艺方法有：（单电极平动法）、（多电极更换法）、（分解电极法）、简单电极数控创成法等。
4.超精密加工机床的总体布局形式主要有以下几种：（T形布局）、（十字形布局）、（R-θ布局）、（立式结构布局）等。
5.实现超精密加工的技术支撑条件主要包括：（超精密加工机理与工艺方法）、（超精密加工机床设备）、（超精密加工工具）、（精密测量和误差补偿）、高质量的工件材料、超稳定的加工环境条件等。
6.激光加工设备主要包括电源、（激光器）、（光学系统）、（机械系统）、控制系统、冷却系统等部分。
7.精密和超精密加工机床主轴轴承的常用形式有（液体静压轴承）和（空气静压轴承）。
8.金刚石晶体的激光定向原理是利用金刚石在不同结晶方向上（因晶体结构不同而对激光反射形成不同的衍射图像）进行的。
9.电火花加工蚀除金属材料的微观物理过程可分为（介质电离击穿）、（介质热分解、电极材料熔化、气化）、（蚀除物抛出）和（间隙介质消电离）四个阶段。
10.超精密加工机床的关键部件主要有：（精密主轴部件）、（导轨部件）和（进给驱动系统）等。
11.三束加工是指电子束、离子束和激光束。
12.所谓空气洁净度是指空气中含尘埃量多少的程度。
13.工业生产中常见的噪声主要有空气动力噪声、机械噪声和电磁噪声。
14.纳米级加工精度包含：纳米级尺寸精度、纳米级几何形状精度、纳米级表面质量。
15.超精密切削时积屑瘤的生成规律：1）在低速切削时，h0值比较稳定；在中速时值不稳定。
2）在进给量f很小时，h0较大3）在背吃刀量a p<25um时，h0变化不大；在a p>25um时，h0将随a p的值增大而增大。
16.超精密切削时积屑瘤对切削过程的影响：积屑瘤高时切削力大，积屑瘤小时切削力小。
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一、名词解释1.金刚石晶体的解理现象：金刚石晶体受到定向的机械力作用时，可以沿平行于（111）平面平整地劈开的现象，称为解理现象。
2.精密磨削：是指加工精度为1~0.1μm，表面粗糙度达到Ra0.2~0.025μm的磨削方法，又称为小粗糙度磨削。
3.超精密磨削：是指加工精度达到或高于0.1μm，表面粗糙度小于R a0.025μm的一种亚微米级的加工方法，并正向纳米级发展。
4.在线检测：工件在加工过程中的同时进行检测，称之为在线检测。
5.空气洁净度：是指空气中含尘埃量多少的程度。
6.恒温精度：是指相对于平均温度所允许的偏差值。
7.恒温基数：是指空气的平均温度。
二、填空题1.精密和超精密加工包含三个领域：超精密切削、精密和超精密磨削研磨、精密特种加工。
2.金刚石刀具有两个比较重要的问题：一是晶面的选择，再就是金刚石刀具的研磨质量——切削刃钝圆半径r n。
3.隧道扫描显微镜是目前世界上精度最高的测量仪，可用于测量金属和半导体零件表面的原子分布的外貌。
4.最新的研究证实，在扫描隧道显微镜下可移动原子，实现精密工程的最终目标——原子级精密加工。
5.超精密切削实际选择的切削速度，经常是根据所使用的超精密机床的动特性和切削系统的动特性选取，即选择振动最小的转速。
6.超精密切削实际能达到的最小切削厚度和金刚石刀具的锋锐度、使用的超精密机床的性能状态、切削时的环境条件等都直接有关。
7.金刚石刀具的磨损，主要属机械磨损，其磨损本质是微观解理的积累。
8.对金刚石刀具来说，切削刃处的解理破损是磨损和破损的主要形式，故切削刃的微观强度是刀具设计选择晶面的主要依据。
9.金刚石晶体定向方法有：人工目测定向、X射线晶体定向、激光晶体定向。
10.精密磨削机理可归纳为：微刃的微切削作用；微刃的等高切削作用；微刃的滑挤、摩擦、抛光作用。
11.超精密磨削时有微切削作用、塑性流动和弹性破坏作用，同时还有滑擦作用。
12.从加工机理来看，砂带磨削兼有磨削、研磨和抛光的综合作用。
13.砂带磨床上的关键部件是砂带头架；在砂带磨削头架中，最重要而关键的零件是接触轮。
14.花岗岩是超精密机床的床身和导轨的热门材料，这是因为花岗岩比铸铁长期尺寸稳定性好，热膨胀系数低，对振动的衰减能力强，硬度高、耐磨并不会生锈等。
15.微细加工技术是指制造微小尺寸零件的生产加工技术。
16.微细切削时，为保证工件尺寸精度要求，其最后一次的表面切除层厚度必须小于尺寸精度值。
17.洁净室实现空气净化的基本要求是发尘量要小、及时排除尘埃、供给洁净的空气。
三、判断题（以下判断题都是正确的）1.用金刚石刀具进行超精密切削，用于加工铝合金、无氧铜、黄铜、非电解镍等有色金属和某些非金属材料。
（如果说用于加工黑色、铜铁材料进行超精密切削是错误的）2.超精密切削时，切削速度并不受刀具寿命的制约。
（也就是说与速度无关）3.在超精密切削的前提下，积屑瘤高时切削力大，积屑瘤小时切削力也小。
4.加工表面粗糙度是直接和积屑瘤的高度有关。
5.在使用切削液前提下，切削速度已和加工表面粗糙度无关。
6.金刚石晶体的破损，主要产生于（111）晶面的解理。
（金刚石刀具的磨损与金刚石晶体的破损两者都是产生于微观解理是正确的）7.金刚石刀具选择前面和后面的最佳晶面，应该把不易产生解理破损作为重要的考虑因素。
8.在保证获得较小的加工表面粗糙度前提下，为增加切削刃的强度，应采取较大的刀具楔角β，故刀具的前角和后角都取得较小。
9.（100）晶面的耐磨性明显高于（110）晶面。
10.对于黑色金属、硬脆材料等，用精密和超精密磨料加工在当前是最主要的精密加工手段。
（如果说用金刚石切削加工是错误的）11.精密磨削时的砂轮修整，一般修整时，修整器应安装在低于砂轮中心0.5~1.5mm处，并向上倾斜10°~15°。
12.在加工硬质合金及非金属硬脆材料时，金刚石砂轮的金属切除率优于立方氮化硼砂轮，但在加工耐热钢、钛合金、磨具钢等时，立方氮化硼砂轮远高于金刚石砂轮。
（谁加工谁就效率高）13.超硬磨料砂轮的整形和修锐一般是分为先后两步进行。
（普通磨料砂轮合为一步进行）14.在开式砂带磨削前提下，磨削质量高，磨削效果好，但效率不如闭式砂带磨削。
15.电致伸缩传感器无论是正电压或负电压，传感器的伸长量是相同的；压电伸缩传感器是正电压时伸长，负电压时缩短。
16.零件加工精度靠所用的机床来保证，这是所谓的“蜕化”原则；在精度比工件要求较低的机床上利用误差补偿技术，提高加工精度，使加工精度比机床原有精度高，这是“进化”原则。
17.金属材料的研磨，其特点之一是没有裂纹。
18.目前，抛光加工中材料的去除单位已在纳米甚至是亚纳米级。
19.电子束加工时利用电子束的高能量密度进行钻孔、切槽、光刻等工作。
20.一般情况下，相对湿度应控制在35%到45%之间。
21.纳米级加工的物理实质就是要切断原子间的结合，实现原子或分子的去除。
四、单项选择题1.隧道扫描显微镜的分辨率是0.01nm。
2.（100）面网的最小单元为正方形。
3.在高磨削率方向上，（110）晶面的磨削率最高，最容易磨；（111）晶面磨削率最低，最不容易磨。
4.研磨金刚石晶体时，（110）晶面摩擦因数最大，（111）晶面最小。
5.当作用应力相同时，（110）面破损机率最大。
6.（110）晶面的激光衍射光像呈二叶形。
7.金刚石刀具一般不采用主切削刃和副切削刃相交为一点的尖锐的刀尖。
8.超硬磨料在当前是指金刚石和立方氮化硼以及以它们为主要成分的复合材料。
9.精密和超精密加工中所用的涂覆磨具多用于涂敷法制作。
10.在磨削钢件及铸铁件时，采用刚玉磨料较好。
11.修锐是去除磨粒间结合剂，使磨粒突出结合剂一定高度。
12.在超硬磨料砂轮修整中，磨削法是目前最为广泛采用的修整方法。
13.金刚石砂轮磨削时常用油性液和水溶性液为磨削液，如磨削硬质合金时普遍采用煤油。
14.立方氮化硼砂轮磨削时采用油性液为磨削液，一般不用水溶性液。
15.当工件直径较大并且重量较重时，超精密机床多采用立式结构布局。
16.现在用的微量进给装置的六种结构形式中，电致伸缩式微量进给机构比较成熟适用。
17.离子束加工的一个特点是不引起机械应力和损伤。
18.光刻加工技术主要是针对集成电路制作中得到高精度微细线条所构成的高密度微细复杂图形。
19.恒温精度一般分为0.2级、0.5级、1级、和2级等四个等级。
分别代表恒温精度为±0.2℃、±0.5℃、±1℃和±2℃。
五、简答题（问题老师都没有给）1.为什么单晶金刚石是被公认为理想的、不能代替的超精密切削的刀具材料？答：天然单晶金刚石有着一系列优异的特点。
如硬度极高、耐磨性和强度高、导热性能好、喝有色金属摩擦系数低，能磨出极锋锐的刀刃等。
因此虽然它的价格昂贵，仍被一致公认为理想的、不能代替的超精密切削的刀具材料。
2.如何根据金刚石微观破损强度来选择金刚石刀具的晶面？答：当作用应力相同时，（110）面破损的机率最大，（111）面次之，（100）面产生破损的机率最小。
即在外力作用下，（110）吗最易破损，（111）面次之，（100）面最不容易破损。
这在设计金刚石刀具，选择前面和后面的晶面时，必须首先给予考虑。
根据上面的分析可知，从增加刀刃的微观强度考虑，应选用微观强度最高的（100）晶面作为金刚石刀具的前面和后面。
3.精密主轴部件通常采用什么轴承？各自的优缺点？答：精密主轴部件通常采用液体静压轴承主轴和空气静压轴承主轴。
液体静压轴承优点：回转精度很高，转动平稳，无振动。
缺点：液体静压轴承的油温升高，要控制恒温较难，影响主轴精度；静压油回油时将空气带入油源，形成微小气泡悬浮在油中，不易排出，因此将降低液体静压轴承的刚度和动特性。
空气静压轴承优点：有很多的回转精度，在高速转动时温升甚小，造成的热变形误差很小。
缺点：刚度低，只能承受较小的载荷。
4.简述精度和超精度机床使用的床身和导轨的材料？精密和超精密机床采用哪些导轨？答：材料为：优质耐磨铸铁、花岗岩、人造花岗岩导轨有：滚动导轨、液体静压导轨、气浮导轨、空气静压导轨。
5.试述误差补偿的概念？答：误差补偿广义含义：误差修正、抵消、均化、“钝化”、分离等都是误差补偿的各种形式或方法，误差修正、误差校正通常是误差补偿的同义词，这是从误差补偿这一术语的广义角度来论述的。
误差补偿狭义含义：应该是指对一定尺寸、形状、位置相关程度的补足。
6.简述脆性材料抛光机理？答：抛光是以磨粒的微小塑性切削生成切削为主体而进行的。
在材料切除过程中会由于局部高温、高压而使工件与磨粒、加工液及抛光盘之间存在着直接的化学作用，并在工件表面产生反应生成物。
由于这些作用的重迭，以及抛光液、磨粒及抛光盘的力学作用，使工件表面的生成物不断被除去而使表面平滑化。
7.研磨抛光加工液由哪些部分组成？其作用？对加工液有哪些要求？答：研磨抛光加工液由基液、磨粒、添加剂三部分组成。
作用是供给磨粒、排屑、冷却和润滑。
对加工液的要求：1）能有效地散热，以避免研具和工件表面热变形。
2）粘性低，以提高磨料的流动性；3）不会污染工件；4）化学物理性能稳定，不因放置或温升而分解变质；5）能较好地分散磨粒。