API激光干涉仪的镭射使用校验操作方式
激光干涉仪检定规程草
激光干涉仪检定规程1范围本规程适用于激光干涉仪地首次检定、后续检定.2引用文献本规程引用下列文献：JJF 1001 — 1998《通用计量术语及定义》JJF 1059—1999《测量不确定度评定与表示》JJF1094—2002《测量仪器特性评定》JJG xxxx-2005 <633nm激光波长检定规程〉（编号待批）JJG xxxx-2005〈激光小角度测量仪检定规程〉（编号待批）JJG 860-1994压力传感器检定规程使用本规程时，应注意使用上述引用文献地现行有效版本.3术语激光干涉仪非线性：指激光干涉仪为了获得高分辨力，在对干涉条纹进行相位细分时引起地测长误差.4概述激光干涉仪是以激光波长为测量标准，进行位移，直线度，角度等儿何量测量地高精度、多功能计量仪器.它利用两束频率相同并具有固定位相差地激光束，或两束有微小固定频率差地激光束，一束作为参考光束，另一束作为测量光束，进行干涉测量地仪器.工业激光干涉仪主要用于机床、加工中心、三坐标机等设备地检测，主要包括激光头，电箱（其中包括数据传输卡），光学组件，计算机，环境参数传感器、测量软件等.5计量性能要求5.1激光真空波长测量不确定度激光真空波长地测量不确定度应优于6 xlO-3（k二2）.5.2位移示值误差5.2. 1标准空气条件下地位移测量地最大示值误差应优于±（0. 03+0. 5X10-6L） pm.5. 2. 2使用空气参数补偿单元地位移测量最大示值误差应优于±（0. 03+1. 5x10^）^. 5. 3环境参数示值误差5. 3. 1空气温度测量地最大示值误差应优于土0. 55°C.5. 3. 2空气压力测量地最大示值误差应优于±240Pa.5. 3. 3空气湿度测量地最大示值误差应优于±30%RH・5. 3. 4材料温度测量地最大示值误差应优于土0. 1°C.5.4角度分度误差5.4. 1小角度地最大零起分度误差应优于：二级：± (0.2+0. 2%) ”.三级：± (0. 2+0.6%) ” .5. 4. 2转台地最大分度间隔误差应优于±1".5.5直线度测量示值误差5. 5. 1短直线度测量地最大示值误差应优于土( 1%X R+0. 5pm+0. .5.5.2长直线度测量地最大示值误差应优于土(2. 5%xR+5pm +0. 015M*un).式中R:测量读数，测量时直线度干涉镜与直线度反射镜之间地距离(单位M)5.6非线性分辨率优于2nm地激光干涉仪地非线性应优于0.02pm6通用技术要求6.1外观6.1」仪器表面应有清晰地制造厂名或商标、型号、出厂编号，并且标志应固定可靠.6.1.2激光干涉仪地必要附件应齐全6.1.3激光干涉仪地各工作表面不应有影响使用地锈蚀、碰伤、明显地划痕以及影响测量地其它缺陷.光学部件地表面不应有水迹、油迹、灰尘、擦伤、霉点和麻点等，胶合面不应有脱胶现象，镀膜面应无脱膜腐蚀现象.6.2仪器各部分相互作用6.2.1各紧固部分应牢固可靠，各调整部分应灵活平稳，无卡滞和松动现象.6.2.2激光头与分光镜组以及反射镜组之间地相互位置应调整方便，安置后应保持不变. 6.2. 3计算机与激光干涉仪系统地连接可靠，线路通畅.6.3预热时间激光干涉仪开启后20分钟内应进入稳定状态.7计量器具控制计量器具控制包括首次检定、后续检定.7.1检定工程激光干涉仪地检定工程见表17.2检定条件7.2. 1检定前仪器应在规定地温度下恒温时间不得少于4小时.7. 2. 2检定环境要求位移测量：温度（20±l）°C. 直线度测量：温度（20+0. 5）°C. 非线性测量：温度（20±0.5）比.气压传感器测量：温度（20±3）弋.湿度传感器测量：温度（20±5）°C.衷1检定工程和检定设备一览表2.表中“ + ”表示必须检泄；"一”表示可以不检7. 3检定方法7. 3.1外观和相互作用U力观察和手动实验.7. 3. 2仪器预热时间激光干涉仪电源开启到激光头进入稳定工作状态地时间间隔为仪器预热时间.使用钟表计时器记录仪器地预热时间.7. 3. 3激光波长测量不确定度激光波长检定根据“JJG xxxx-2005 633nm激光波长检定规程（编号待批）”进行.7. 3. 4线性位移示值误差使用测长不确定度0. Upm/m （k=2）地激光比长仪或标准激光干涉仪（以下简称标准激光干涉仪）作为标准器对被测激光干涉仪进行检测.•调整测量光路，使被测激光干涉仪与标准激光干涉仪地光轴重合，同时与测量时地移动轴平行或重合.使用气压p=101.324kPa,温度t=20°C,湿度f=50%地标准空气参数，分别置入标准激光干涉仪和被测激光干涉仪中进行位移测量•测量地最大示值误差应符合 5.2.1地规定.使用两至三组非标准空气参数，分别置入标准激光干涉仪和被测激光干涉仪中进行位移测量.测量结果地最大示值误差应符合5.2.2地规定标准激光干涉仪和被测激光干涉仪在使用各自配套地空气参数传感器进行激光空气波长修正地条件下进行位移测量.测量结果地最大示值误差应符合5.2.2地规定.•每项测量进行两至三次.每个测程中，标准激光干射仪得到数据Li, L2....... L；被测激光干涉仪得到数据11, 12, ......k被测干涉仪地示值误差Ai=li-Li.7. 3. 5环境参数传感器示值误差7. 3. 5. 1空气、材料温度传感器示值误差•将被测激光干涉仪地空气、材料温度传感器与二等标准钳电阻温度计一同放入均匀性0. 01°C地恒温槽.•控制恒温槽地温度从5弋到40°C,每5°c-个点进行测量.•测量时应在温度波动小于0. 01°C/2分钟地条件下，记录被测传感器和标准温度计地示值.•被测传感器地最大示值误差应符合5. 3.1和5. 3. 4地规定.7. 3. 5. 2气压传感器示值误差气压传感器检测参照“JJG 860-1994压力传感器检定规程”，测量地最大示值误差应符合5. 3. 2地规定.7. 3. 5. 3湿度传感器示值误差使用标准湿度计和被测激光干涉仪同时测量空气湿度，被测量最大示值误差应符合5. 3. 3地规定.7. 3.6角度分度误差7. 3. 6. 1小角度附件地零起分度误差小角度附件地零起分度误差地检定参照“JJG xxx-2005激光小角度测量仪检定规程”.7. 3.6.2回转台分度误差将转台安置在多齿分度台面上，调至偏心量不大于10pm：将反射镜组安置在转台上，调整分光镜组与激光头至正常工作状态.按照激光干涉仪转台地测量程序进行测量，测量间隔约为10°.数据处理由测量程序完成.测量结果应符合5. 4地规定.7. 3. 7直线度示值误差使用测量不确定度优于1.0v/m(22)地激光干涉仪作为标准，检测激光干涉仪地直线度误差.将被测激光干涉仪地直线度干涉镜固定在被测激光干涉仪测量光路上地一个微动工作台上，工作台地微动方向垂直于被测激光干涉仪光轴.•标准激光干涉仪地光路位于被测激光干涉仪光路地平面内并垂直于被测激光干涉仪光轴.•标准激光干涉仪地线性位移测量镜固定在被测激光干涉仪直线度干涉镜所固定地同一微动工作台上.•微调微动工作台地位置，记录标准激光干涉仪测量地位移值和被测激光干涉仪地直线度测量值.•测量范圉小于±2. 5mm.•测量结果应符合5. 5规定地要求.7. 3. 8激光干涉仪非线性用拍频激光干涉仪测量被测激光干涉仪地非线性.•将被测激光干涉仪放在拍频激光干涉仪测量光路地延长线上•将被测激光干涉仪地线性位移测量反射镜放置在驱动拍频激光干涉仪角反射镜移动地同一微动工作台上.•驱动微动工作台移动，同时记录拍频激光干涉仪和被测激光干涉仪所测量地位移值dfi 和d：.•测量范围应大于0. 63pm.•非线性地计算根据测量数据，利用最小二乘法将数组df’和在拟合成以dfi为x坐标以di 为纵坐标多项式曲线.并根据曲线地幅度得到被测激光干涉仪地非线性.7.4检定结果处理经检定符合本规程要求地发给检定证书，并给出检定条件，检定结论，有效期，测量结果及其扩展不确定度.检定结果不符合本规程要求地发给检定结果通知书，并给出检定条件，测量结果及其扩展不确定度.7.5检定周期激光波长检定周期二年，干涉仪地检定周期二年，环境参数传感器检定周期二年.。
API公司激光干涉仪介绍资料
d1 -d2 L 平行光入射时 L 非平行光入射时
y -x 透镜 -y PSD光电位置 敏感检测器 x
测量结果输出
偏摆角
俯仰角
滚动角
五、API XD干涉仪独有技术
API XD干涉仪独有技术 — 滚动角测量
采用双电子水平仪技术
+电子水平仪
API XD干涉仪独有技术 — 水平转台测量
测量转台的分度精度
机床单一直线轴几何误差(示意)
直线度误差 (XX及YY方向) (偏摆角) (俯仰角)
(滚动角) 线性定位误差(定位精度, 重复定位精度, 反向间隙)
API公司 XD系列激光干涉仪
线性定位误差
(定位精度, 重复定位精度, 反向间隙)
一维测量系统 XD – 1D
标准型&精密型
直线度误差 数控直线轴
(XX及YY方向)
线性定位误差测量
API XD干涉仪的测量方法:
一次安装也可同时测量其它五个参数;
可利用电脑中的直线度实时显示,
数字化精确去除余弦差，测量准确; 两点调光，对光迅速.
传统干涉仪因对光不准易产生余弦差 (导致测量值小于实际值)
线性定位误差测量
测量结果输出
二、直线度测量
直线度测量— 旧的方法
通过经分光镜分出的两束光经直线度反射镜返回干涉镜后产生的光程差与固定角 度的比值计算出的（如下图），属非1:1的测量 测量时绝不允许断光, 不能用于导轨的安装调节, 只能用于最终评价 分光时的角度决定了测量直线度的精度，分角越大灵敏度越好，但对于分角越大 所测得距离就会越短，所以测直线度时分为短距离镜组(0.1 - 4 m)和长距离镜 (1 - 30 m)，且分光角度和反射镜的平面度随环境温度变形影响测量精度; 测量直线度时调整光路的要求是非常苛刻的，一定要保证分出的两条光路与直线 度反射镜两镜面垂直且还要保证光束准直，直线度镜组间有严格的匹配关系，即 使横向和纵向反射镜间也绝不允许互换使用，这样就使得镜组复杂繁多，给日常 维护带来极大的不便
激光干涉仪如何校准数控机床
激光干涉仪是一种以波长作为标准对被测长度进行测量的仪器。
激光干涉仪是20世纪60年代末期问世的一种新型的测量设备，由美国HP公司研制成功并于1970年投入市场，随即受到了相关行业特别是机床制造业的重视，其主要在：线形、角度、垂直度、直线度、平面度等方面上应用。
随着激光干涉仪测量技术的不断提高，测量软件的不断开发其测量范围越来越广泛，特别是在测量数控机床位置精度方面用途最为广泛，本文以某国产激光干涉仪为例详细讲述如何对数控机床进行线性测量。
◆数控机床检测的必要性首先,新机床出厂前都要进行定位精度和重复定位精度以及反向间隙的检测,现在大多使用激光干涉仪进行.其次,机床使用一段时间后,由于丝杠的磨损和其它原因,精度会逐渐丧失,这时需要使用激光干涉仪进行精度的再校准.最后,激光干涉仪还可以进行其它项目的检测,例如直线度,垂直度,角度等。
◆激光干涉仪工作原理一个角锥反射镜紧紧固定在分光镜上，形成固定长度参考光束。
另一个角锥反射镜相对于分光镜移动，形成变化长度测量光束。
从激光头射出的激光光束(1)具有单一频率，标称波长为0.633µm，长期波长稳定性（真空中）优于0.05ppm。
当此光束到达偏振分光镜时，被分成两束光—反射光束(2)和透射光束(3)。
这两束光被传送到各自的角锥反射镜中，然后反射回分光镜中，在嵌于激光头中的探测器中形成干涉光束。
如果两光程差不变化，探测器将在相长干涉和相消干涉的两端之间的某个位置观察到一个稳定的信号。
如果两光程差发生变化，每次光路变化时探测器都能观察到相长干涉和相消干涉两端之间的信号变化。
这些变化（条纹）被数出来，用于计算两光程差的变化。
测量的长度等于条纹数乘以激光波长的一半。
应当注意到，激光波长将取决于光束经过的空气的折射率。
由于空气折射率会随着气温、压力和相对湿度的变化而变化，用于计算测量值的波长值可能需要对这些环境参数的变化进行补偿。
在实践中，对于技术指标中的测量精度，只有线性位移（定位精度）测量需要进行此类补偿，在这种情况下两束光的光程差变化可能非常大。
激光干涉仪检测与调整过程讲解
激光干涉仪检测与调整过程7.1 检测前工作7.1.1 检测前应该设置什么参数、检测程序怎么生成？一、目标位置：当选择目标位置以进行机床轴的校准时，目标位置通常应横跨该轴的工作区域。
下面我们以目标为从0到450MM，并使间隔为30MM为间距如图所示：在软件中如下设置目标：选择目标点中的等距定义目标，如下图所示图1 →图2接着弹出如图2的窗口接着我们在内部设置数据如图三所示图3到这里的时候我们将目标点设置完毕，接下来我们要上生成。
二、生成检测程序：激光干涉仪在检测的时候时按照我们在第一步设定的目标点运动的，即从0到450MM每30MM为一个点，因此机床在运动的时候必须和软件设置的一致，所以我们必须生成检测程序。
程序的生成方法图下：选择定义工具栏下的零件程序下的产生按键，如下图所示：图1 →图2在弹出的窗口中输入文件名，并且选择程的序存放路径按保存，会弹出下图：图1 →图2在图1中需要我们选择的为：数控系统的型号。
我们针对我们当前检测机床的数控系统型号作正确的选择，接着弹出图2的窗口，这个窗口要求我们填写与程序相关的数据，我们如下图所示填写：程序号：0001轴名为：Y运行次数为：3选择方向为：双向暂停周期为：4秒越程为：4.0000毫米零件程序类型：线性进给量：1500 ；轴方式为：普通名词解释：程序号：该程序的序号轴名：待校准轴的名称这里记住是大写运行次数：我们希望该程序运行多少次选择方向：在轴上行走的方向时一来一回的间隔点还是只去这样走回时不走暂停周期：等待软件记录数据的时间，这里要根据电脑的性能作调整越程：这里是为了消除方向间隙而设置的，一般选择默认，也可以自行设置零件程序类型：选择运行的方式，因为我们是走直线的所以我们选择线性进给量：机床运动的速度到这里的时候我们已经完成了程序的生成，我们使用文本格式打开文件可以看到程序如下：一定能用得上，所以我们统一使用以下修改过的程序作为标准：机床，但它在系统中的适应度比较强。
激光干涉仪使用技巧讲解.doc
厨ｆ静堂鸯溅斌技术）２００７亭第弘誊第｛Ｏ麓激光干预仪使用技巧ＰｒｅｃｉｓｅＧ口洫ｔｏＶｓｉｎｅａＬａｓｅｒＩｎｔｅｒｆｅｒｏｍｅｔｅｒ魏纯（广州市计最检测技术研究院，广东广州５１００３０）瓣萎：本文谈论了激光予涉仪在使用巾的准直等技礴，用户在实质使用中增添葺芒件以及保护巾邋蓟的同舔。
燕键词：激光平涉仪；准直ｌ前言高性能激光干预仪拥有迅速、高正确丈量的长处，是校准数字机床、坐标丈量机及其余定位装置精度及线性指标最常用的标准仪器，弦者所在单位使用的是英国ＲＥＮＩＳＨＡＷ公闭生产的ＭＬｌ０激光干预仪，拥有性能稳固，使罱方便等特色。
经过较长时闯使用，作者以为丈量人员除了要考虑环境、温度、原理等影响丈量的惯例要素外，掌握一些激光干预仪的使用技巧会使丈量互作事半功倍。
２原理介绍ＭＬｌ０激光干预仪是依据光学千涉基来源理设计磊成酌。
从ＭＬｌ０激光器射出的激光束有单调频次，其标称波长隽０．６３３ｐＬＩｎ，且其长久波长稳固健（真空状态）要高于０．１ｐｐｍ。
当此光束到达偏振分光镜时，会被分为两道光束一一道反射光糯一道透射光。
这两道光射向其反光镜，而后透过分光镜反射圈去，在激秃顶内的探测器形成一道干预光束。
若光程差没有任俺变讫，探测器会在樵长性秘楣潢性于涉的两极找到稳固的信号。
若光程差的确有变化，探测器会在每一次光程改变时，在相长性和相消性干预的弼极找到改动的信号。
这些变化（援格）会被计算并用来丈量两个光程闻的差别变化。
丈量的光程就是栅格数乘以光束大概一半的波长。
值褥注意的是，激光束的波长取决于所经过敖空气折射率。
因为空气折射率会跟着温度、压力和相对湿度而变化，用来计算测蹩值的波长值可能需要加以李｝偿，以配合这魍环境参数豹改变。
实质上就丈量正确度而言，此类赔偿在进行线性位移（定位精度）丈量，特别是量程较大时，特别重要。
３激光干预仪使用技巧３．１Ｚ轴激光光路迅速准直方法用激光干预仪进行线性丈量时，不论是数字机床、仍是坐标测燮枫，ｚ轴丈量酵激光光路的礁童榻对Ｘ、Ｙ轴准直来说，要困难的多。
光纤激光干涉仪的操作要点
光纤激光干涉仪的操作要点光纤激光干涉仪是一种重要的精密测量仪器，常用于科研实验室以及工业生产中的各种精密测量、质量控制等方面。
它以其高精度、高灵敏度和便捷的操作性能，成为科技领域中不可或缺的工具之一。
本文将介绍光纤激光干涉仪的操作要点，以帮助读者更好地掌握和使用这一仪器。
首先，使用光纤激光干涉仪前，我们需要准备一些必要的设备和材料。
首先是激光器，它是光纤激光干涉仪的核心部件，负责产生稳定的激光光源。
其次是光纤，光纤用于传输激光信号，要选择质量好、损耗低的光纤。
此外，我们还需要干涉仪的控制器、光路调整平台、光电探测器等设备。
在操作光纤激光干涉仪时，首先需要将激光器与光纤相连接。
将激光器输出端的激光束通过适当的光学元件，如准直器和偏振分束器，输入到光纤中。
在连接过程中要注意保证光纤的插入深度适中，避免损坏激光器和光纤。
接下来，我们需要调整光纤激光干涉仪的光路。
首先，调整光纤的位置和角度，使激光能够顺利通过干涉仪的各个光学元件。
可以使用光路调整平台来微调光纤的位置，确保激光光束尽可能平行且垂直于光学元件表面。
调整完光纤的位置后，我们需要调整干涉仪的两个光路长度，即参考光路和待测光路。
光纤激光干涉仪利用干涉现象实现精密测量，其中的关键就是保证两个光路的光程差恒定。
为了实现这一点，我们可以使用干涉仪的控制器，通过微调反射镜或位移平台来改变光路的长度，使得光纤激光干涉仪处于干涉峰值状态。
在进行实际测量之前，我们还需要对光纤激光干涉仪进行校准。
校准目的是消除系统误差，提高测量的准确性和可靠性。
光纤激光干涉仪的校准方法多种多样，可以根据不同需求选择合适的方法。
例如，可以使用标准光源对干涉仪进行校准，或者使用已知长度的参比杆进行比对校准。
校准完成后，我们可以进行实际的测量工作。
光纤激光干涉仪在科学研究和工业应用中有着广泛的用途，如长度测量、表面形貌测量等。
在进行测量时，要注意保持实验环境的稳定，避免外界干扰对测量结果的影响。
干涉仪器的使用方法和标准
干涉仪器的使用方法和标准
一、功能介绍：用于检查研磨后镜片面形精度（牛顿环、局部误差），
检查范围≤∮75，放大比例：１：１
二、精度描述：标准板精度为λ/ 20
三、操作规程
a)确认校验有效期：看干涉仪的标识校验有效期是否超过，若
超过有效期，则先向校验员提出校验后再使用。
b)开电源：打开变压器（２２０Ｖ变为１１０Ｖ），此时激光
干涉仪电源驱动器进入对激光管驱动工作。
c)电源驱动激光管约15分钟左右，干涉仪专用电源稳定后指
示灯亮，进入稳定状态。
d)清理台面，将待检品、不良、良品按标示区域整理准备检测
镜片。
e)擦拭干净放置镜片的检测治具，戴好手指套、口罩。
f)放置镜片到载物台或载物台的治具上，将对焦/成像开关切
换到对焦，在目视视场中可见三个光点，调节载物台的旋
扭，让屏幕上可移动按扭中较亮点与原视场点重合；再将
对焦/成像开关切换至成像。
g)调整载物台旋扭，读取需要数据，最好是将干涉条纹调到
3-5条相对数据比校准确。
四、保管保养
a)仪器玻璃表面严禁用手触摸，可用镜头纸或脱脂棉蘸酒精清
擦。
b) 清洁毛巾不能沾水，放置场地需保持干燥、清洁。
c) 若需在2H以内需使用则不需关闭电源，但需关闭显示器的
电源；若需超2H再使用则需关闭电源。
开电源：打开变压器（２２０Ｖ变为１１０Ｖ），此时
五、注意事项
a)放置干涉仪桌子与墙壁不能接触，干涉仪及干涉仪桌子不能受外力震动，否则会影响检测精度。
b)室内需恒温在１℃以内，否则会影响检测精度。
激光干涉仪使用手册8.24
激光干涉仪使用手册目录第一单元 激光干涉仪的应用第一节 激光干涉仪的光路第二节 激光干涉仪的基本使用方法第二单元 FANUC 0iMC系统有关螺距误差补偿的参数第一节数控系统的相关操作画面提示第二节与数控机床轴限位相关的参数的应用第三节与螺距误差补偿相关的参数的应用第三单元 检测机床螺距误差的运行程序第一节检测加工中心X轴螺距误差的运行程序第二节检测加工中心Y轴螺距误差的运行程序第三节检测加工中心Z轴螺距误差的运行程序第四节机床预热程序第五节测得反向间隙的运行程序第六节二次检测的机床运行程序第四单元 Agilent5529激光干涉仪测量零部件的组装及运用 第一节 Agilent5529激光干涉仪测量零部件介绍第二节 Agilent5529激光干涉仪测量零部件的组装第三节干涉镜和反射镜的组装及光束的调节方法第五单元 Agilent5529/5530检测软件的应用第一节 Agilent5529/5530检测软件的界面介绍第二节 Agilent5529/5530检测软件的案例第六单元 VMC650加工中心螺距误差补偿案例第一单元激光干涉仪的应用提示：因Agilent5529/5530激光干涉仪为双频检测，所以本单元节重点介绍双频检测的原理1.什么是激光干涉仪？激光干涉仪(laser interferometer)以激光波长为已知长度利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度测量.工具激光干涉仪有单频的和双频的两种。
激光具有高强度、高度方向性、空间同调性、窄带宽和高度单色性等优点。
目前常用来测量长度的干涉仪，主要是以迈克尔逊干涉仪为主，并以稳频氦氖激光为光源，构成一个具有干涉作用的测量系统。
激光干涉仪可配合各种折射镜、反射镜等来作线性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等测量工作，并可作为精密工具机或测量仪器的校正工作。
2.什么是干涉？干涉(interference)为两波重叠时组成新合成波的现象。
激光干涉仪的镭射使用校验操作方式讲解
API激光干涉仪直线轴使用校验操作方法二、FANUC Oi系列 CNC数控系统定位精度误差补偿2.1螺距误差及反向间隙补偿参数介绍:直线轴的数控精度补偿必须设定的参数有:(1No.1320 各轴的正向软限位。
(2No.1321各轴的负向软限位。
(3No.1800#4 切削进给和快速进给是否分别进行反向间隙补偿,0:否、1:是。
(4No.1851 各轴的切削进给反向间隙补偿量,单位μm。
(5No.1852 各轴的快速进给反向间隙补偿量,单位μm。
(6No.3620 各轴参考点的螺距误差补偿号码,范围:0~1023。
(7No.3621各轴负方向最远端的螺距误差补偿号码,范围:0~1023。
(8No.3622各轴正方向最远端的螺距误差补偿号码,范围:0~1023。
(9No.3623各轴螺距误差补偿倍率,范围:0~100。
①注释:存在不规律现象,视设备出厂设置倍率为一倍,除去被厂商锁定的情况,下文会针对常见数设备倍率的选择做出解释。
(10No.3624 各轴螺距误差补偿点的间距,即螺距,范围:0~99999999.(11No.8135#0 NPE 使用存储型螺距误差补偿,此参数可以屏蔽螺距误差功能2.2补偿前的准备工作:(1查看上述所介绍的参数,用以确定机台螺距误差补偿的地址及所需测量的各轴的行程、螺距(数据采样的位置间隔,通过所需测量的行程与螺距来确定所需要采样的点数。
(2导入测试时使用的自动采样数据程式,需要对机床进行预热,使机床达到正常使用的热平衡状态。
②注释:不同螺距,不同行程的机台自动数据采样程式时是存在区别的,但大同小异,下文会通过实例进行阐述。
(3确定伺服电机位置环增益XYZ各轴是否相同(参数1825,βi系列电机一般情况下3000左右,αi系列电机一般5000左右。
(4对激光干涉进行预热。
激光干涉在进行预热状态时,激光会不间断的闪烁。
通过RJ45网络通讯协议,与PC链接好后,PC此时会显示未就绪来提示,当激光干涉预热完成后,激光停止闪烁,PC页面提示路径错误,此时激光干涉仪预热完成。
激光干涉仪对光操作指南讲解
激光干涉仪对光操作指南6.1 使用前的工作6.1.1 为什么要对光？对光的目的是为了让检测的光线能准确返回激光干涉仪上，让激光干涉仪得到最强的反馈信息，以便计算实际的行程数值。
6.1.2 影像线性测量精度的因素包括哪些？①、死程误差死程误差是在线性测量过程中与环境因素改变有关的误差，这时已采用 EC10 自动补偿功能。
在正常状况下，死程误差并不大，而且只会发生在定标后以及测量过程中的环境改变。
路径 L2的激光测量死程误差与两个光学元件间的距离有关，此时系统定标为 L1，请参阅图 1。
若干涉镜及反射镜之间没有动作，且激光束四周的环境状况有所改变，整个路径(L I + L2)的波长（空气中）都会改变，但激光测量系统只会对 L2距离进行补偿。
因此，死程测量误差会由于光束路径 L1没有获得补偿而产生。
图 1 - 死程误差不过，若当设定定标时固定和移动镜组彼此邻接，死程误差就可忽略不计。
如下图 2 所示。
图 2 - 死程误差可不计时的正确设置如果可能，定标激光器时使镜组互相靠近。
若定标激光器时镜组彼此相隔不到 10 mm，则正常状况下的死程误差就可忽略。
机床几何显示当移动镜组位于轴的零点位置，这两个镜组彼此分得最开，此时可用预置功能来避免与定标激光干涉镜系统有关的潜在死程误差。
②、余弦误差激光束路径与运动轴之间存在的任何未准直都会造成测得的距离和实际的运动距离之间有差异，如图 1 所示。
图 1 - 余弦误差.此未准直误差通常被称为余弦误差。
此误差的大小与激光束和运动轴间的未准直角度有关，如图 1 中的。
当激光测量系统与运动轴未准直时，余弦误差会使得测量的距离比实际距离要短。
随着角度未准直的增加，误差也跟着显著增加，如下表所示：角度( mm/metre) 角度（弧分）误差( ppm)0.451.001.403.204.50 10.001.533.434.8710.8715.3935.390.10.51.05.010.050.0要使余弦误差达到最小，测量激光束必须准直，并与运动轴平行。
激光干涉仪使用技巧讲解
激光干涉仪使用技巧讲解激光干涉仪是一种在科学和工业中常用的精密测量仪器，广泛应用于光学、电子、机械等领域。
随着技术的不断发展，激光干涉仪的测量精度和稳定性不断提高，但在实际使用中仍然需要注意一些技巧才能获得较好的测量效果。
一、使用前准备在使用激光干涉仪之前，需要进行一些必要的准备工作：1.检查仪器在使用前，应检查仪器是否完好无损，各部件是否牢固，电路是否连接正确，激光是否正常发出等。
如果存在问题，应及时修理或更换。
2.校准仪器在进行精密测量之前，需要对激光干涉仪进行校准。
一般需要校准的包括：•激光输出功率•干涉仪干涉条纹数目•干涉仪光程差校准的目的是保证测量结果的准确性。
3.环境准备为了保证测量的准确性，需要将测量环境尽可能的控制在稳定状态，避免振动、温度变化等干扰。
二、使用技巧在进行实际测量时，需要注意以下几点：1.避免干扰激光干涉仪对环境干扰比较敏感，因此需要避免一些潜在的干扰源，如：•光源的影响•地震、微震等地面振动•温度变化等如果遇到上述干扰，应及时采取措施进行处理。
2.保持仪器稳定在进行测量时，需要保持激光干涉仪的稳定性，避免因振动、移动等因素导致测量误差。
可以采用以下措施：•固定仪器底座•采用抗震支架或振动隔离器•保持室内空气流通3.控制测量误差在使用激光干涉仪进行精密测量时，需要注意控制误差，包括：•误差源的分析和消除•测量数据的处理和分析•测量过程中的观察和记录通过对误差的控制，可以获得更加准确可靠的测量结果。
三、注意事项在使用激光干涉仪时，还需要注意以下事项：1.安全问题激光干涉仪使用的是激光光源，需要注意安全问题。
在使用时应佩戴适当的个人防护装备，防止激光对眼睛等部位造成伤害。
2.红外光问题部分激光干涉仪使用的是红外光源，需要注意该光源对照相机等摄像设备的影响，避免损坏这些设备。
3.维护问题激光干涉仪使用后应及时进行维护和保养，包括：•清洁仪器外壳•更换磨损的部件•校准仪器通过维护和保养，可以延长仪器的使用寿命，保证测量的准确性。
雷尼绍XL80激光干涉仪操作手册.概要
镭射干涉仪操作手册手册内容一.RENISHAW 公司简介 1二.镭射干涉仪原理 2(1)波的速度 3(2)干涉量测原理 3(3)镭射干涉仪 4(4)镭射干涉仪一般量测项目 4三.注意事项 5四.镭射干涉仪防止误差及保养 5(1)镭射干涉仪防止误差 5(2)镭射干涉仪保养方法 6五.安全及注意事项 6六.镭射光原理及特性7七.镭射硬件介绍8八.镭射架设流程图15九.定位量测原理及操作16(1)线性定位量测原理16(2)量测方式17十.镭射易发生之人为架设误差20(1)死径误差20(2)余弦误差21(3)阿倍平移误差21 十一.镭射操作之步骤22(1)软件安装之步骤22(2)执行量测软件22(3)定位量测硬件架设之操作23(4)镜组架设前之注意事项24(5)镜组架设之步骤24 十二.定位量测之程序范例29 十三.定位量测之软件操作步骤30 热漂移量测38 快速功能键44 十四.动态软件量测之操作45(1)动态量测硬件之架设45(2)执行量测之软件46(3)位移与时间48(4)速度与时间49(5)加速度与时间50 十五.角度量设之操作52(1)注意事项52(2)镜组架设的种类53(3)镜组架测之步骤54(4)角度量测之软件操作步骤57 十六.RX10旋转轴之量测62(1)说明62(2)硬件配件之介绍62(3)硬件操作之步骤64(4)软件操作之步骤67 十七.直度量测之操作75(1)直度之分类75(2)直度量测之硬件架设75(3)镜组架设之步骤75(4)直度软件之操作步骤80 十八.Z轴直度镜组织架设方法85 十九.垂直度量测之操作89(1)垂直度镜组架设之步骤89(2)软件操作之步骤95 二十.平面度量测之原理与操作101(1)硬设备101(2)操作之原理102(3)镜组架设之步骤102(4)软件操作之步骤110RENISHAW 公司简介RENISHAW为一家英国公司,产品营销全世界,主要产品有三次元量床之测头、测针、BALLBAR循圆测试仪、镭射干涉仪････････等等及产品经NPL(英国国家标准)认证为ISO 9001之合格厂商RENISHAW公司为机器设备制造商提供量测检验系统的仪器,提供各种用于机器精度检定的量测设备进而改善机器的精度RENISHAW XL80 高性能镭射干涉仪是机床、三次元坐标量床及其它定位装置精度校准用的高性能仪器,由于最新电子技术的应用,使其镭射波长非常稳定并保持了低成本高效率的工作流程RENISHAW 产品介绍：镭射干涉仪量测系统循圆测试仪器(BALLBAR)量测系统三次元测头测针系列黏贴式光学尺系列镭射干涉仪量测原理MICHELSON E0 干涉原理两个频率振幅波长相同的镭射光波因相位变化而发生不同程度的干涉a.相长干涉(建设性干涉)b.相消干涉(破坏性干涉)相长干涉相消干涉1.波的速度V＝fλ 若f，λ const . 则V const2.干涉量测原理3.镭射干涉仪：一般镭射干涉仪均为氦氖镭射,其镭射光为红色波长0.6329μm长期稳定误差0.05ppm以下(10个波长相差0.5个波)其优点：a.测量范围大b.简化以往光学仪器结构c.测量速度快缺点：易受大气环境影响因波长常会随温度、气压、湿度而变化(因镭射光以空气为传递介质)4.镭射干涉仪一般量测项目：(一)定位精度、距离量测、重复性(二)速度、加速度、动态量测(三)角度量测：a.垂直方向角度(pitch)b.水平方向角度(yaw)(四)真直度量测：a.垂直方向b.水平方向(五)直角度量测(六)平面度量测(七)平行度量测(八)旋转角度量测注意事项：(1)三脚架置于待测物适当位置,地基稳固不可摇晃及避免人员和机器碰触的地方(2)三脚架之水平气泡调至中央位置固定(3)信号线之插头,红点表示向上,各线接头缺口部份确实吻合方可插入(4)各电源线、信号线连接或拔除时,各仪器需均在OFF状态,否则会对仪器造成伤害(5)给予稳定独立电源,确实不漏电环境中使用(6)短距离量测(50mm内)亦产生余弦误差,先校直度再作定位(6)对焦时避免反射回来的镭射光打在镭射光射出口处(7)镭射先热机稳定后,再做镭射量测(8)操作中确认XC80(环境补偿系统)是监控中,每7秒各侦测一项,以42秒为一次循环(9)镭射干涉仪设备存放地点尽量保持干燥镭射干涉仪防止误差及保养1﹒镭射干涉仪防止误差(1)量测周围环境应尽量避免太阳光直接照射或突然流动的风产生扰流现象(2)装设干涉镜及反射镜在被测机台上时,必须牢固,否则机台移动会造成不可预期的量测误差(3)环境侦测感应器与材料温度感应器是否作动,必须于量测前确实检查,以免造成不必要的误差(4)要获得最佳精度并减少误差,建议遵守下列规定：a﹒在校验环境条件中执行量测b﹒激光束需作确实校直c﹒需注意量测时的周围条件d﹒牢固地装设镜组(3)在量测执行中不可因其它因素而中断,量测必须一次完成检验,若发生量测中断情形,必须重新执行检验2﹒镭射干涉仪保养方法(1)使用时应防止碰撞及震动(2)工作完毕应循操作方法反顺序逐一拆卸并且擦拭干净置回仪器盒内(3)金属平台在使用完后应擦拭干净(4)干涉镜及反射镜片应使用光学镜片专用擦拭纸做圆形回转擦拭(注意严禁使用酒精或具有挥化性及腐蚀性之清洁液擦拭,请干擦,因镜面有镀一层蓝色薄墨,而激光束是靠此薄墨产生折射与反射,如果使用具有挥化性或腐蚀性之清洁液会将此薄墨破坏,如果镜面没有薄墨折射率既减弱而影响光强,且无法再镀上此薄墨,请注意小心使用)(5)应小心搬运尤其对镜片类应有适当防护与防震,暂不用时以干净东西覆盖安全注意事项1.镭射光属二级镭射,建议勿长时间直视镭射光2.镭射预热时可将镭射光闸暂时关闭,镜组对焦时再予以打开3.对焦时尽量避免反射之镭射光打在镭射头的镭射发射出口处,以免镭射造成不良影响4.架设镜组前,先将机器欲测轴全行程来回移动,观察机器移动空间并决定镜组架设位置,当镜组架设至机台后,使用手动慢速移动机器确定移动空间无其它干涉物后,机器才可改为自动移动5.架设或操作镭射干涉仪时,闲杂人等避免靠近,以免拌到电源线或传输线6.确认电压伏特是否正确,并且所使用的电力来源尽量能够独立,并加稳压器.镭射光原理及特性1.光的相关原理光为一种无质量的微粒子(牛顿)光为一种电磁波(马克士威尔)光具有粒子与波动的性质2.光的特性方向性直线性波动性3.波的基本物理量频率f、周期T、振幅A、波长λ、其中波长是长度单位4.何谓镭射光对某种元素施予能量,使其原来稳定的基态(低能阶)变为不稳定的激态(高能阶),元素会由激态(高能阶)释放出能量后变回原来的基态(低能阶) 再释放能量的过程中会产生一种光,我们谓之镭射光5.镭射光之特性A.高单频性：光的频率即是色,高纯频率即是高单色,一般可见光包含红、澄、黄、绿、蓝、靛、紫、频率纯度较低B.高方向性：镭射光配合聚光镜的发散角度非常小,而一般光线其扩散角度都非常大C.高亮度性：其光线亮度比一般光线亮度大数倍(视镭射而定)硬件介绍XL80 镭射头XC80 环境补偿系统8XC80 环境补偿系统插槽示意图夹持器组线性定位量测镜组角度量测镜组Z轴直度量测镜组及附件垂直度量测镜平坦度量测镜组旋转轴量测系统镭射头微调平台重负荷三脚架镭射架设联机流程图1﹒镭射架设及量测流程表15定位量测原理及操作1﹒线性定位量测原理：(一)架设方式：干涉镜不动,移动反射镜反射镜不动,移动干涉镜(二)何谓线性定位精度：CNC机器执行时,程序之坐标点未必是机器的坐标点,程序坐标点为理想值,机器坐标点为实际值,两者之间差为机器的定位精度(三)线性定位误差原因：误差原因可能是导程误差、控制器误差、机器几何误差及震动等原因(四)线性定位量测的目的：量测出机台可能因零件和组装所造成的误差,可利用机器参数补偿或重新组装改进机器加工机精度,确保机器加工的质量(五)镭射干涉仪定位量测发生误差的原因：a﹒空气、温度、湿度、气压等影响b﹒待测物之热膨胀系数c﹒电子误差d﹒死径误差(图一)e﹒阿倍(ABBE)误差(图二)f﹒余弦(COS)误差(图三)g﹒震动误差h﹒镜组热膨胀飘移镭射干涉仪量测数据是以数值方式显示,并没有一般量测时有人为读值判定所产生的误差162﹒量测方式a﹒线性(linear)方式---单向---2次b﹒线性(linear)方式---双向---2次17C﹒朝圣(pilgrim)方式---单向---2次d﹒朝圣(pilgrim)方式---双向---2次18 e﹒钟摆(pendulum)方式---单向---2次f﹒钟摆(pendulum)方式---单向---2次镭射架设易发生之误差1﹒死径误差(如图一所示)˙死径误差是一种与使用XC80 自动补偿的线性量测过程中的环境因子变化有关的误差。
激光干涉仪如何校准数控机床
激光干涉仪就是一种以波长作为标准对被测长度进行测量的仪器。
激光干涉仪就是20世纪60年代末期问世的一种新型的测量设备,由美国HP公司研制成功并于1970年投入市场,随即受到了相关行业特别就是机床制造业的重视,其主要在:线形、角度、垂直度、直线度、平面度等方面上应用。
随着激光干涉仪测量技术的不断提高,测量软件的不断开发其测量范围越来越广泛,特别就是在测量数控机床位置精度方面用途最为广泛,本文以某国产激光干涉仪为例详细讲述如何对数控机床进行线性测量。
◆数控机床检测的必要性首先,新机床出厂前都要进行定位精度与重复定位精度以及反向间隙的检测,现在大多使用激光干涉仪进行、其次,机床使用一段时间后,由于丝杠的磨损与其它原因,精度会逐渐丧失,这时需要使用激光干涉仪进行精度的再校准、最后,激光干涉仪还可以进行其它项目的检测,例如直线度,垂直度,角度等。
◆激光干涉仪工作原理一个角锥反射镜紧紧固定在分光镜上,形成固定长度参考光束。
另一个角锥反射镜相对于分光镜移动,形成变化长度测量光束。
从激光头射出的激光光束(1)具有单一频率,标称波长为0、633µm,长期波长稳定性(真空中)优于0、05ppm。
当此光束到达偏振分光镜时,被分成两束光—反射光束(2)与透射光束(3)。
这两束光被传送到各自的角锥反射镜中,然后反射回分光镜中,在嵌于激光头中的探测器中形成干涉光束。
如果两光程差不变化,探测器将在相长干涉与相消干涉的两端之间的某个位置观察到一个稳定的信号。
如果两光程差发生变化,每次光路变化时探测器都能观察到相长干涉与相消干涉两端之间的信号变化。
这些变化(条纹)被数出来,用于计算两光程差的变化。
测量的长度等于条纹数乘以激光波长的一半。
应当注意到,激光波长将取决于光束经过的空气的折射率。
由于空气折射率会随着气温、压力与相对湿度的变化而变化,用于计算测量值的波长值可能需要对这些环境参数的变化进行补偿。
在实践中,对于技术指标中的测量精度,只有线性位移(定位精度)测量需要进行此类补偿,在这种情况下两束光的光程差变化可能非常大。
激光平面干涉仪说明书讲解
一、用途激光平面干涉仪是一种使用方便的光学精密计量仪器，主要用于精密测量光学平面度。
仪器配有激光光源（波长为632.8nm）。
对于干涉条纹可目视、测量读数。
工作时对防震要求一般。
该仪器可应用与光学车间、实验室、计量室。
如需配购相关的必要附件，可精密测量光学平面的微小楔角、光学材料折射率n的均匀性，光学镀膜面或金属块规表面的平面度，90度棱镜的直角误差及角锥棱镜单角和综合误差。
二、主要数据1. 第一标准平面（A面）,不镀膜。
工作直径：D1=φ146mm不平度小于0.02um2.第二标准平面（B面），不镀膜。
工作直径：D2=φ140mm不平度小于0.03um3.准直系统：孔径F/2.8，工作直径：D0=φ146mm焦距：f=400mm4.测微目镜：焦距f=16.7mm，放大倍数β=15X，视场角2W=40°，成像物镜：1.D=4.5 II.D=7 III.D=10F=15 f=23 f=375.工作波长：632.8nm6.干涉室尺寸：深260X宽300X190mm。
7.光源规格：激光ZN18（He-Ne）。
8.仪器的外形尺寸：长X宽X高 350X400X720mm9.仪器重量：100公斤图一第一标准平面（A面）精度照片图二第二标准平面（B面）三、工作原理本仪器工作基于双光束等厚干涉原理。
根据近代光学的研究结果，光兼有波动与颗粒两重特性。
光的干涉现象是光的波动性的特性。
因此，介绍本节内容时，仅在光的波动性的范围内讨论，例如，把“光”称为“光波”，“平行光”称为“平面光”。
波长为的单色光经过仪器有关的光学系统后成为平面波M。
（如图三所示），经仪器的标准平面P1和被检系统P2反射为平面波M1和 M2。
M1、M2即为两相干光波，重叠后即产生等厚干涉条纹。
等厚干涉原理能够产生干涉的光束，叫相干光。
相干光必须满足三个条件：1.震动方向必须一致，2.频率相等：3.光束必须相遇，且在相遇点处的相位差在整个时间内为一常量。
API激光干涉仪操作步骤
API激光干涉仪使用介绍(一)硬件的安装连接及调光A.安装步骤首先将激光干涉仪放置于所需测量机器的工作平台，让激光照射的方向大致与所测轴运动方向平行。
打开激光干涉仪下面的磁力座开关（如平台非铁件，需安装一铁板以便磁力座更好的吸附）。
将机器所测量轴移动至近处软限位位置。
将1D/3D反射镜镜面朝向干涉仪方向并安装在机器运动状态下稳定不会晃动的零部件上。
（反射镜与干涉仪均可作为运动测量） 激光干涉仪与反射镜安装完毕后，检测测量轴在做全程运动时能有效的接收激光照射且不会碰到反射镜及机器的任意部件。
B.硬件连接注意事项在做硬件连接前请将电源开关置于关闭状态气象站接口（weather）在连接前请务必注意方向性，拔出时请捏住根部弹簧接口拔出，对野蛮插拔导致接口损坏，API不予保修 电源线接口（DC IN 12V）有螺旋扣，在连接时需注意。
在安装好激光干涉仪后将水平与垂直方向的旋钮调整至中间位置，以确保在光路调整过程中两个方向均有可调节的余量。
气象站材料温度传感器和空气温度传感器以及大气压力传感器请放置于机器的工作台面上。
C.光路调节步骤1.将反射镜前面的旋转盖进行旋转，让旋转盖上的白点置于下方2.移动机器测量轴将干涉仪（或反射镜）移动至两者最近端3.借助机器的控制手柄或手轮移动其他两个轴，让激光干涉仪的光线照射在反射镜的白点位置，如无控制手柄可借助的情况下请调节反射镜处的磁力座或十字插接件上的连接杆进行移动调节4.移动机器测量轴将干涉仪（或反射镜）移动至两者最远端5.如果激光照射在白点水平位置距离偏差过大致使调节旋钮超越可调范围，请松开激光干涉仪下方的磁力座开关，移动干涉仪适量角度确保激光照射在白点垂直线上6.此时调节激光干涉仪主机右侧及下方的调节旋钮，使激光光线照射在反射镜白点的中心位置7.重复2、3、4、6步骤，来回往返数次，让激光全程照射在反射镜白点中心，此刻初次调光完成，将反射镜前端的旋转盖进行90度或-90度旋转致使白点置于左右两侧8.打开软件主界面，线性光强窗口条幅深绿色，数值100%（机器测量轴全程运动时），1D的配置的激光干涉仪即可有效的测量线性精度9.3D配置的激光干涉仪相对于1D配置的激光干涉仪拥有的测量线性精度功能的同时，还增加了XX(水平方向)和YY（垂直方向）的直线度测量。
激光干涉仪操作规程(3篇)
一、前言激光干涉仪是一种高精度的测量仪器，广泛应用于光学、精密测量、微电子、机械加工等领域。
本规程旨在规范激光干涉仪的操作流程，确保测量结果的准确性和仪器的安全使用。
二、操作前准备1. 仪器检查（1）检查仪器外观，确保无损坏。
（2）检查电源线、数据线、连接器等配件是否完好。
（3）检查仪器内部，确保无异物。
2. 环境准备（1）确保操作环境安静、无振动。
（2）保持室内温度、湿度适宜，避免温度、湿度突变。
（3）确保操作区域无尘埃、油污等污染物。
3. 软件准备（1）打开激光干涉仪配套的软件，检查软件版本是否与仪器版本相匹配。
（2）确保软件已安装所有必要的驱动程序。
三、操作步骤1. 开机（1）接通电源，打开仪器电源开关。
（2）启动软件，进入操作界面。
2. 参数设置（1）根据测量需求，设置测量参数，如测量距离、测量速度、分辨率等。
（2）根据实际情况，调整光路参数，如光束方向、光束宽度等。
（1）将待测物体放置在测量平台上，确保物体表面平整、干净。
（2）调整测量平台，使待测物体与测量光路对齐。
（3）点击软件中的“开始测量”按钮，开始测量过程。
（4）测量过程中，保持仪器稳定，避免人为振动。
（5）测量完成后，点击“停止测量”按钮，保存测量数据。
4. 数据处理（1）查看测量结果，分析数据，判断测量是否准确。
（2）如有异常，重新进行测量，直至结果满足要求。
（3）将测量数据导出，以便后续分析、处理。
5. 关机（1）关闭软件，断开仪器电源。
（2）整理操作区域，清理污染物。
四、注意事项1. 操作过程中，严禁触摸仪器内部元件，以免损坏。
2. 测量过程中，避免强光照射仪器，以免影响测量结果。
3. 严禁将仪器置于高温、潮湿、腐蚀性气体等恶劣环境下。
4. 严禁将仪器置于振动较大的环境中。
5. 严禁使用非原装配件，以免影响仪器性能。
6. 定期对仪器进行清洁、保养，确保仪器正常运行。
五、维护与保养1. 定期检查仪器外观，确保无损坏。
2. 检查电源线、数据线、连接器等配件，确保完好。
激光干涉仪的镭射使用校验操作方式
M99
返回程序
O0002
子程序名
G91
采用增量方式进给
G0X-25.
负方向移动25毫米，此为螺距
G4X4.
暂停4秒
M99
返回程序
O0003
子程序名
G91
采用增量方式进给
G0X25.
正方向移动25毫米，此为螺距
G4X4.
暂停4秒
M99
返回程序
③注释:程序说明
程序中有关小数点部分，可视情况选择加与不加，请查看参数 3401＃0。
图 2.2 干涉仪预热完成 此时即可架设干涉仪镜组，当光线路径满足要求后，即完成了整个准备过程,此 时计算机界面如图 2.3（此设备为三维测量装置）。
5 SUNTONG 2015.08
图 2.3 预热完成状态 4. XD Laser V6.1 系统的使用及常用参数介绍 1）XD Laser V6.1 系统的安装 每台激光干涉仪都会带有一个优盘，在优盘里都会有安装程序、使用说明书及次 台设备的检验参数。 拷贝到 PC 中安装应用程序即可。 2) 3D 激光干涉仪的主要参数设置 图 2.3 为工作页面即主屏幕，我们单击 XD 会弹出测量设置对话框如图 2.4
API 激光干涉仪直线轴使用校验操作方法
二、FANUC Oi 系列 CNC 数控系统定位精度误差补偿
2.1 螺距误差及反向间隙补偿参数介绍：
直线轴的数控精度补偿必须设定的参数有：
（1） No.1320 各轴的正向软限位。
（2） No.1321 各轴的负向软限位。
（3） No.1800＃4 切削进给和快速进给是否分别进行反向间隙补偿，0：否、
1：是。
（4） No.1851 各轴的切削进给反向间隙补偿量，单位μ m。
数字激光干涉仪使用说明
1.0目的及适用范围1.1目的:为了更好地让员工使用数字激光干涉仪测量晶体的波前畸变、平行度、平面度、均匀性。
1.2适用范围：本说明适用于数字激光干涉仪的使用。
2.0 术语波前畸变平行度平面度3.0 内容的：3.1仪器用途：晶体波面测试（波前畸变）、激光棒测试、角度测试（平行差）3.2环境要求：激光干涉仪工作环境必须在20℃±2℃范围内，以免影响检验及测量精度。
对抗震要求较高，必须放置在有防震垫的工作台上。
3.3工作原理：由激光器发射出来的氦氖激光光束通过通过准直系统再经过参照镜，光束投射到被测物的两个通光面上，这两个面会有光反射回激光干涉仪形成干涉图案，再通过一个分光器后被CCD相机记录。
4.0 仪器使用方法4.1 开机打开电源前必须确认各部位电源线以连接好，按下干涉仪控制电源，两个指示灯亮（电源指示灯、稳频指示灯），面板指示灯开始来回摆动，这是激光器在预热（大约需要十五分钟左右），然后打开显示器和主机的电源。
4.2 程序启动4.2.1 双击桌面上的“移像干涉（psi ）’’图标4.2.2 点击开始后输入用户名、密码，若未予留用户名，可直接确认 4.2.3 程序启动后出现如下主界面：此时，移动鼠标点击第一行第五个图标（文件夹），建一个数据文件子目录，在D 盘(或E 盘)建立文件夹，便于测试结果和资料的储存。
建好文件夹后点击第一行“干涉图采样”图标后，第二行“采集图像”窗口就被激活，出现界面如下图4.2.4 实时显示 点击“实时显示”，显示器上出现动态图像。
在此阶段如果不出现干涉条纹可以按下调整/测试切换健显示出调光路图象。
调整干涉仪上下左右两个调整螺杆使干涉的两个面的光点位于十字分划中心并重合。
4.3 测试4.3.1待测元件放置将工件放置在两维调整平台上调平 4.3.2 调整切换开关，回到测试（干涉图）光路，调整左右与上下两个调整螺杆，使得视场中看到的条纹少于六条（三至四条最好） 4.3.3 参数设置单击界面左上角的“参数设置”图标，此时将弹出以下界面。
矿产
矿产资源开发利用方案编写内容要求及审查大纲
矿产资源开发利用方案编写内容要求及《矿产资源开发利用方案》审查大纲一、概述
㈠矿区位置、隶属关系和企业性质。
如为改扩建矿山, 应说明矿山现状、
特点及存在的主要问题。
㈡编制依据
(1简述项目前期工作进展情况及与有关方面对项目的意向性协议情况。
(2 列出开发利用方案编制所依据的主要基础性资料的名称。
如经储量管理部门认定的矿区地质勘探报告、选矿试验报告、加工利用试验报告、工程地质初评资料、矿区水文资料和供水资料等。
对改、扩建矿山应有生产实际资料, 如矿山总平面现状图、矿床开拓系统图、采场现状图和主要采选设备清单等。
二、矿产品需求现状和预测
㈠该矿产在国内需求情况和市场供应情况
1、矿产品现状及加工利用趋向。
2、国内近、远期的需求量及主要销向预测。
㈡产品价格分析
1、国内矿产品价格现状。
2、矿产品价格稳定性及变化趋势。
三、矿产资源概况
㈠矿区总体概况
1、矿区总体规划情况。
2、矿区矿产资源概况。
3、该设计与矿区总体开发的关系。
㈡该设计项目的资源概况
1、矿床地质及构造特征。
2、矿床开采技术条件及水文地质条件。
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矿产资源开发利用方案编写内容要求及审查大纲
矿产资源开发利用方案编写内容要求及《矿产资源开发利用方案》审查大纲一、概述
㈠矿区位置、隶属关系和企业性质。
如为改扩建矿山, 应说明矿山现状、
特点及存在的主要问题。
㈡编制依据
(1简述项目前期工作进展情况及与有关方面对项目的意向性协议情况。
(2 列出开发利用方案编制所依据的主要基础性资料的名称。
如经储量管理部门认定的矿区地质勘探报告、选矿试验报告、加工利用试验报告、工程地质初评资料、矿区水文资料和供水资料等。
对改、扩建矿山应有生产实际资料, 如矿山总平面现状图、矿床开拓系统图、采场现状图和主要采选设备清单等。
二、矿产品需求现状和预测
㈠该矿产在国内需求情况和市场供应情况
1、矿产品现状及加工利用趋向。
2、国内近、远期的需求量及主要销向预测。
㈡产品价格分析
1、国内矿产品价格现状。
2、矿产品价格稳定性及变化趋势。
三、矿产资源概况
㈠矿区总体概况
1、矿区总体规划情况。
2、矿区矿产资源概况。
3、该设计与矿区总体开发的关系。
㈡该设计项目的资源概况
1、矿床地质及构造特征。
2、矿床开采技术条件及水文地质条件。