直线时栅传感器全误差模型与误差修正方法研究

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为可能。
关键词：直线时栅；全误差模型；组合校准；误差修正中图分类号：Ｔ２２６Ｐ１．文献标识码：Ａ文章编号：１０－７７２１）８０７０００９８（０２０－８－３９
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２１０２年第３ｌ卷第８期
传感器与微系统（ｒｎｄｃｒａｄＭｃｏｙｔｅｈｏｇｅ）ＴａｓｕｅｎｉｒｓｍＴｃｎｌｉｓｓｅｏ
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直线时栅传感器全误差模型与误差修正方法研究
高忠华，陈锡侯，杨继森，彭东林
误差的全误差模型基础上，提出了一种组合校准的方法，利用傅里叶谐波分析和材料线膨胀原理对直线时栅的各种误差进行修正，修正后的精度可达 ±０５ｔ／．ｍｍ。实验证明：ｒ该方法解决了直线测量中误差难以分离的问题，同时解决了计算机连续自动采样问题，提高了标定效率，使该方法广泛地应用于生产实践成
Ｔｅｈｏｏｙ，ｆｉ３０９，ｉａ）ｃｎｌｇＨｅｅ０ｏＣｈｎ２
Ａｂｓｒｃｔａｔ：Ａｏｃｍｂｉｄｃｌｂａｉｎｍｅｈｄｉｒｓｎｔｄ，ｏｉｒｖｈｅｓｒｎｒｃｓｏｆｌｎｅｒｔｍｅｇａｉｇｎｅａｉｒｔｏｔｏｓｐｅｅｅｔｍｐｏｅｔｅｍａｕｉｇｐｅｉｉｎｏｉａｉｒｔｎ
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ｃｉｒｔｎｅｃｅｃｓｇｅｔｎａｃｄａｄｉｉｐｓｉｌｏｕｅｔｉｔｏｉｅｙｉｈｒｄｃｉｎｐａｔｅｌａｂａｉｆｉｎｙｉｒａｌｅｈｎｅ，ｎｔｓｏｓｂｅｔｓｈｓｍｅｈｄｗｄｌｎｔｅｐｏｕｔｒｃｉ．ｏｉｙｏｃＫｅｒｓｌｅｍｅｇａｉｇ；ｔｔｌｅｒｒｍｏｅ；ｃｍｂｎｄｃｉｒｔｎ；ｅｒｒｃｒｅｔｎｙｗｏｄ：ｉａｔｒｔｎｒｉｎｏａｒｏｄｌｏｉｅａｂａｉｌｏｒｏｒｃｉｏｏ
（．庆理工大学机械检测技术与装备教育部工程研究中心，庆４０５；１重重００４２合肥工业大学仪器科学与光电工程学院，徽合肥２００）．安３位移传感器的测量精度，在建立该传感器周期误差、阿贝误差、热膨胀