半导体测试技术习题
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下图中的半导体样品包含两层膜。宽度20微米，长度分别为200和100微米，厚度分别为2和1微米，电阻率分别为10和2欧姆.米。请计算AB两种膜的方块电阻即两点间的电阻？
对于厚度为t的薄层材料而言，薄层的方块电阻ρρss和薄层材料的电阻率ρ之间的关系为：
ρ=ρρss.tt
所以，两种膜的方块电阻分别为：
ρρss1=ρρ1tt1=10Ω.cccc2μμcc=5×104Ω/□
ρρss2=ρρ22=2Ω.cccc=2×104Ω/□
因为假定两种膜之间没有接触电阻，且A、B点都是理想欧姆接触，所以等效电路图如下：
其中，
RR1=ρρ1LL1−LL2SS1=10Ω.cccc×(200−100)μμcc
2μμcc×20μμcc=2.5×105ΩRR2=ρρ2LL2SS2=2Ω.cccc×100μμcc
1μμcc×20μμcc=1×105Ω
RR3=ρρ1LL2SS1=10Ω.cccc×100μμcc
2μμcc×20μμcc=2.5×105Ω
所以A、B两点间的电阻：
R=RR1+RR2RR323=2.5×105+1×105×2.5×105
55≈3.21×105Ω