MEMS加速度传感器的距离测量性能分析

合集下载
  1. 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性,平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
  2. 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
  3. 3、如文档侵犯您的权益,请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间:9:00-18:30)。
帕 ∞ 鞠 ∞ ∞ ∞ 相 ∞ ∞ 1 I
一O
o ? coEet caia ytms ME )2 —8Jn 2 1 , nMir lc oMehncl se ( MS ,42 a .0 0 On r S p g() 8 4 1Wa ca, o gKo g aes: 8 4 9 , nh iH n n .
个 加 个 单
当前随着 微 电子 技术的进 一步发 展 , MS ( ME 微机 电技 术)加速度 传感器因其高性价比被广泛应用 于娱乐和工业应 用中 。如当前很多手机中, 利用加速度传感器来 开发游戏 , 最
有 代 表 性 的 是 Ih n 手 机 Ⅲ Poe 。再 如任 天 堂 的 W/游 戏 『 利 用 I 2 ] ,
me t s dd t ci n o f lsa d a t iisof a l v ngu i g 3 a i n - e e e to f al n ci te d i l i sn - x s ba v yi M EM S a c l r m ee , 0 6 J P y . Co f S r3 , 0 9 c e e o tr 2 0 . h s: n . e . 4 1 5 .
4 9和 4 6 间, 4 5之 并非一个常数 。 主要原因就 是来 自于噪声 。 如 果用此测量值来计算距离或者倾斜角 ,将会 出现 比较大的误
差 。尤 其 是 距 离测 量 , 我们 将 做 进 一 步 分 析 。
图 5给出 , 利用 Ka n滤波器后得 到的加速度 、 l ma 速度 和
3 0—

和 w 服从高斯分布 。
卡 尔 曼滤 波算 法包 括 两 个 阶段 : 预测 和 更 新 。在 预 测 阶
考虑到噪声对加速度测量值的影响 ,对加速度传感器输
出采用卡尔曼滤波器算法。 图 3描述 了加速度传 感器 x轴经
过修正后 的加速度传感器测量值 。其 中带毛刺 的是滤波前 的 加速度传感器输 出值 , 而平滑 曲线是滤波后 的加速度输 出值 。 可 以看出经过滤波处理 ,加速度 传感器输出值与实际更相符
F= k x () 1
其 中 F 为状态转移模型 , B 为控制 模型 , U 为控 制输入 ,
其 中 X是距离, k是弹簧弹性范 围内固有系数 。因而根据 测 量的距 离长度 和已知物体质量及弹簧 系数 ,就 可 以获得加
速 度 a的值 。
w 为噪声信息 。 如果没有控制输入 , 这一项即为 0 基于公 B 。
3 卡 尔曼 滤 波 算 法 .
当前 , 用于加速 度传 感噪声处理有多种滤波算法 , 比如 卡 尔曼滤波算法 、 扩展卡尔曼滤波、 互补滤波算法等 。其 中, 卡尔 曼滤波算法因为其优 良的特征和实时更新特征被广泛应用。此 处 以卡尔曼滤波算法为例来说明滤波算法处理噪声的效果。
图 1 ME MS加 速 度工 作 原 理
测 量 的位 移 。由 图中 可 以看 出 , 速 度 变 化 比滤 波前 要 平 稳 得 加
多。基于加速度得 到的速度和位移值也 比滤波前有 明显的改 善 。但基于二次积分后 , 得到的距离为都不到 2 0厘米, 要远远 小于 实际距离 5 0厘米 。主要原因在于, 虽然滤波算法 可 以消 除部分噪音 的影响 , 但只是局 部, 能完全消除 。另一方面 , 不 4H 0 z的采样 率也影响着积分精确度 。 经过大量 的实验 ,发现利用加速度传感来测量位移存在
着较 大误差 , 即使采 用滤波算法 , 虽然测 量精度有所提 高 , 但
测量准确度仍然不高。

5 D Leabharlann Baidu
1 O ∞
1∞ 5
图 2 MEMS加 速 度 传 感 器 测 量值

I .


_ _
V 1_ 一 Y _

\ 。
_

首先介绍卡尔曼滤波算法 的工作原理 。在状态 n 状态 变 ,
量 X 可 以根 据 前 一 状 态 X一来 更新 : 。
x l nnw F 十 u十 B () 5
ME S加速 度 传 感 器 类 似 于 图 1 示 的 弹 簧 ,其 中 F是 M 所
外 力, 是质量, 是加速度 。又根据 Hok定理 有 m a o
[】 r, . eme, ; es, . t1 C mbn dME et l e— 6 Mez P; i r K. i M e. . o ie MS i ra n R W s a, n i s
s t o M U p lc to s 0 0 I o sf rI a p ia i n ,2 1 EEE r nt r a i n lCo f r n e 23 d I e n t a n e e c o
a a g+ = n + () 4
其 中 a是线性加速度 值 , g是来 自重力的加速 度 , n是 噪
声 。其 中 重 力 加速 度 可 以通 过 物 体 当 前状 态 得 到 , 因而 根 据 加
21 工 作 原 理 .
速度传感器测量值 , 以获得有噪声 的系统加速度 ( n 。利 可 a+ ) 用此值计算的距离存在较大 的误差 , 后面我们将进一步分析。
1 a








1 ∞
图 4 滤 波 前加 速 度 、 度 和 距 离 速
图 3 ×轴 加 速 度 数 据 处 理

31一

' . -
基 项 金 目
[] 得 志 , 文 元 , 华锋 等 . 于微 加 速 度 传 感 器 的 无 线 鼠 标 的设 3黄 陈 杨 基
K (一 l 一) Hln I 一)I R ‘ Pn1 1H ( T( n 1-+ 。 n P I  ̄ () 8
4 位移 估 计 . 2
现在我们来看加速 度传感器实际测量效果 。测试系统采 用 II R S低功耗无线节点, 点应用 Tn o . 节 i s x操作 系统, y 2 运行 Zg e/ E 0 . . ibe E E8 21 4传输采 集的 3 加速度数据 。数据采样 I 5 轴 () 9
4 数 据 分析 .
率为 4 H 。传感 节点沿着一条直线运动 ,移 动距 离为 1 0z 0厘 米。但基于公式 () 2 和公式 () 在对加速度传感器输出值二次 3,
积分后,可以看出 ,实际距离与测量距离 之问存在较大的误
差。
此处根据卡尔曼滤波算法 ,可 以得到我们 需要的实 际加
式 () 5 状态变量 , 测量值 Y 表示 为:
y nv H + n () 6
其 中 H 为测量 模型 , 噪声。通 常模型 中噪声信 息 v v为
作 者 简 介 : 陈建 新 , , 苏 南 通人 , 士 ( )讲 师 。 主要 研 究 方 向 : 穿戴 无 线 传 感 网络 , 联 网技 术 。 男 江 博 后 , 可 物
差太 大 。
0 -
41 测量值 . 图 2中给 出在静止状 态下 的 ME MS加速度 传感器 x轴 的测量值 。此处测量值直接从传感器输 出, 有做零点修正 。 没 测量 时传感器位于水平面上 ,此 时对应 的加速度值应 该是一
个常数 , 即为 0 。 g 实际上, 由图中可 以发现 , 测量得到的值位于

De in Au o t n Co f r n eACM w r , sg t ma i n e e c o Ne Yo k NY, A, 0 . US 2 01
[]M N a , rni E H T y M nmaa n W eh G r 5 N y n Facs a , Ma i rna dK H S a , a-
由图 4可 以看 出, 在运动结束之前, 加速度 由正到负进行 变化 , 然后又 由负到正变化 , 最后 归零 。而速度理论 上应 该 由 小到大 , 然后 由大回到 0 。实际测试结果可 以发现 , 回零之 在 前, 速度变为负值再回零 。这与理论分析结果存在差异 , 主要 " 原因是测试过程 中噪声信号 的影 响, 通过积分累积 , 使速 度出 现 了负值 。另一方面 , 位移变化也与实际测量 有较大误差 , 此 处测量值几乎 为零 , 而实际移动距离为 5 0厘米 。因而测量误
合。
段, 有两个变量: 状态变量和估计方差 。状态变量即由公式 () 5
得到, 计方差为: 估
PnI ・)F n1l 一) Q ( n 1 (一 1 = n + () 7
其中 为 F 的转 置。估计方差和状态变量在更新阶段进 行更新。在更新阶段, 利用最小均方错误估计 , 以得到最佳 可 卡尔曼增益为 :
喁 一 l
O 一 暑 I 1 - 1

计 [] 感 器与 微 系统 ,0 62 () 0 5 . J_ 传 2 0 ,51: - 3 5
【] Su g a e; —on 4 en be L e Jo Na Jmso a;i Gi m; e k CheKm,H. rk, A.; t ; a e J D .
加速度 工作原理 ,并分析其直接 用于位移测量 的可行性 , 为 ME MS加 速 度 传 感 器 的广 泛 应 用 以做 参 考 。
2 .MEMS加 速 度 传 感器
v- la t = d V
J 0 rt
() 2 () 3
SS jv t = d
』 U
其中 v和 v 分别是 t 。 时刻速度和初始速度 , 和 S是 t S 。 时 刻 的距离和初始距离, a是加速度测量值 。注 意到公式 () 通 2, 常测量 过程 中 a不是 常数 , 是一个变值 , 际应用 中, 实 只能通 过积分来计算速度和 当前位移 。 在实际应用中, 由于噪声存在 , 实际的加速度测量值包括 :
(o 1)
基于新 的测量值和卡尔曼增益 , 状态 更新 为: {n I )殳nJ 一)K y Hn( n1) : n= ( n1 殳nI -) ( +
从而得到 : Pnl )(KHn ( n1 ( n=I ・ ) nl -) P 速 度 的值 。
Two-i e s o l o ii n d t c t n s se wih MEM S a c l r m e - m n i na sto ee io y tm t d p c ee o - - t rf rM OUS a pl a i ns DAC ’ r c e igs fte38ha n a e o E p i t c o O1P o e dn h t n u l o
基 金 项 目 :国家 9 3项 目 ,物 联 网的 基 础 理 论 与 实 践 研 究 ” 课 题 3 物 联 网混 杂 信 息融 合 与决 策研 究 ” 项 目编 号 : 0 1 3 2 0 ; 京 邮 7 “ 子 “ , 2 1CB 0 9 3 南
电大 学 引进 人 才项 目, 目编 号 : 项 NY2 7 2 。 0 0 1
轴 加速 度 传 感 器 , 互 垂 直 放 置 得 到 。 相 22 距 离 测 量 . 根据 牛 顿 第 二 定 理 , 于 加 速 度 测 量 值 , 以得 到 速 度 和 基 可
距离:
rt
三轴加速度传感器配合摄像头 , 来确定肢体 的位 置, 从而开发 出老少 皆宜的一系列 交互式游戏 , 如打乒 乓球 、 网球 、 拳击等 健身游戏 。除此 以外 , 人机 交互 、 在 机器人姿态控制 、 年 老 人康复医疗[ 叫等领域也有加速 度传感器 的应用 。 然而 由于 ME MS加 速度传感器主要是 国外 开发的产品 , 国内工业和学术领域应用还相对较少 ,部分研究者和工作 人 员对其特性和应用还 不是很清 楚。因而本文主要介绍 ME MS
相关文档
最新文档