高速旋转平面反射镜镜面变形测量

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高速旋转平面反射镜镜面变形测量
杜佳明，邓召义，黄迪山，姜紫庆２，贾建军２
（１．上海大学机电工程与自动化学院，上海２０００７２；
２．中国科学院上海技术物理所，上海２０００８３）摘要：本文将介绍高速旋转平面反射镜镜面变形测量。平面反射镜在高速旋转时由于镜体倾斜引起的惯性力矩会使镜体产生弯曲变形，影响成像质量。利用应变电测法，通过导电滑环把镜体旋转时镜面应变片电阻变化信号连
接到应变仪。从变形与应变之间的关系，用仿真方法估计镜体等效厚度，数值积分重构镜体弯曲变形。并与有限
元计算结果进行对比，验证测量的正确性。研究表明：该方法有效可行，为旋转镜面变形测量提供一种新的思路。
关键词：平面反射镜；应变电测法；弯曲变形；重构
中图分类号：Ｖ４１６．８；ＴＨ１１５文献标志码：Ａｄｏｉ：１０．３９６９￣．ｉｓFra Baidu bibliotekｓｎ．１００３－５０１Ｘ．２０１３．０４．００９
，
ＨＵＡＮＧＤｉｓｈａｎ，ＪＩＡＮＧＺｉｑｉｎｇ，ＪＩＡＪｉａｎｊｕｎ
（１．ＳｃｈｏｏｌｏｆＭｅｃｈａｔｒｏｎｉｃＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇａｎｄＡｕｔｏｍａｔｉｏｎ，ＳｈａｎｇｈａｉＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙ，Ｓｈａｎｇｈａｉ２０００７２，Ｃｈｉｎａ，２．ＳｈａｎｇｈａｉＩｎｓｔｉｔｕｔｅｏｆＴｅｃｈｎｉｃａｌＰｈｙｓｉｃｓ，ＣｈｉｎｅｓｅＡｃａｄｅｍｙｏｆＳｃｉｅｎｃｅｓ，Ｓｈａｎｇｈａｉ２０００８３，Ｃｈｉｎａ）
ＤｅｆｏｒｍａｔｉｏｎＭｅａｓｕｒｅｍｅｎｔｏｆＲｏｔａｔｉｎｇＰｌａｎｅＲｅｌｅｆｃｔｉｖｅＭｉｒｒｏｒｗｉｔｈＨｉｇｈＳｐｅｅｄ
ＤＵＪｉａｍｉｎｇ，ＤＥＮＧＺｈａｏｙｉ。
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第４Ｏ卷第４期
２０１３年４月
光电工程
Ｏｐｔｏ — ＥｌｅｃｔｒｏｎｉｃＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ
Ｖ＿０１．４０．ＮＯ．４
Ａｐｒｉｌ，２０１３
文章编号：１００３ — ５０１Ｘ（２０１３）０４ — ００５９ — ０６