四十八所扩散炉教程

题.2.源瓶阀门没有打开. 处理措施： 1.通知设备人员检查2. 换源时打开阀门，换源后 认真确认. (2).干氧流量及大氮流量报警 可能的原因：1.流量计误差大.2.气体压力不足.3.其他原因 处理措施： 在实际中如果过低及时通知设施设备工艺等人 员.
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(3).舟未前进到位报警.
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(4).源液变色，有杂质.
可能的原因：在生产或使用的过程中进入了杂质. 处理措施： 在使用过程中认真检来自百度文库，发现异常及 时处理.

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7.源瓶的异常
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8.其他
(1).温度升不上去.

可能的原因：温控，触发板或炉体有问题. 处理措施： 通知设备处理.

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(2).源回流. 可能的原因：温度或其他原因造成的源瓶内压力大
. 处理措施:倒流的源如果在阀门附近，通过打鼓泡 可以解决；少量又离阀门远的，如果打鼓泡不行， 可以拔下气管，之后按少量源泄露的方法处理. (3).源泄露. 可能的原因：1.打开阀门的顺序错误.2.其他原因. 处理措施：根据泄露的量而定，按应急预案处理
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14.严禁擦拭石英炉门及Sic桨上的Hpo3
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设备方面
该区域为控制柜侧盖 需要经常擦拭,保证无 明显污迹
该区域为控制前面板, 不允许用酒精擦洗, 防止触电
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该区域为不锈钢接偏磷 酸槽,每天清理一次,保 证无明显偏磷酸液体 存在
该区域为钢化玻璃,每 天清理一次,保证无明 显偏磷酸液体存在
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7.扩散前的硅片严禁戴乳胶手套接触(用手卡住硅片
边缘)
新的乳胶手套
新的一次性手套
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8.甩干后的片子不能在空气中暴露超过2h(洁净柜
除外);严禁用口去哈吹硅片
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9.严禁用石英制品专用工夹具以外的东西接触石英
制器 10. Sic桨不能暴露在空气中时间过长 11.扩散间旁门除洗管、领源、逃生之外严禁打开 12.净化风机保证24h常开（洁净柜、插卸片台) 13.外界进入扩散间的物品一定要处理干净
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2.方块电阻的异常.
方块电阻的异常在扩散间异常中是占很大比例,方块电阻的异常的种类、可
能的原因及解决措施如下: (1)整舟方块电阻高 可能的原因：1.大氮保护开着。2.四探针测试仪没有调整好（如电流）或 故障3. 源量过少.4.扩散温度低. 解决方法：1.关闭大氮保护.2.按要求调整或让相关人员维修3. 让员工经常 检查源瓶，按要求更换源瓶.4.调整扩散温度. (2)整舟方块电阻低 可能的原因：1.换源后没有及时降低温度.2. .四探针测试仪没有调整好.3. 工艺运行完该出舟时，因其他原因没有退舟，导致扩散后的片子长时间处 在高温的管子里.4.恒温箱缺水或各种故障导致的温度升高.5. 误用方块电阻 低的工艺号.6.二次扩散.7.扩散温度高. 解决方法：1. 换源后按要求调整温度.2. 按要求调整并定时确认.3.员工应 经常关注各个扩散管的运行状态，及时发现问题.4.添水或通知设备维修.5. 让员工按流程卡上标注的工艺运行.6. 属于员工误操作.返工.7.调整扩散温 度.
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(2)圆弧 抽风或气流的原因
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的氧（O2）参与其分解是不充分的，生成的PCl5是不易 分解的，并且对硅有腐蚀作用，破坏硅片的表面状态。 但在有外来O2存在的情况下，PCl5会进一步分解成P2O5 并放出氯气（Cl2）其反应式如下：
4PCl 5O 2P O 10Cl
5 2 2 5 2
过量O 2
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在有氧气的存在时，POCl3热分解的反应式为：

4POCl3 5O2 2PO 2 5 6Cl2
POCl3分解产生的P2O5淀积在硅片表面，P2O5与硅反应生
成SiO2和磷原子，并在硅片表面形成一层磷-硅玻璃，然 后磷原子再向硅中进行扩散 。
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二.工艺卫生
洁净度.空气洁净度，主要指洁净空气环境中的含尘浓度。空气洁净度等级，是
扩散培训
目录
一.扩散原理. 二.工艺卫生 三.异常的处理
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一.扩散原理
1.三氯氧磷简介 POCl3是目前磷扩散用得较多的 一种杂质源 无色透明液体，具有刺激性气味。 比重为1.67，熔点2℃，沸点 107℃，在潮湿空气中发烟。 POCl3很容易发生水解，POCl3 极易挥发。
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扩散装置
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POCl3在高温下（>600℃）分解生成五氯化磷（PCl5）
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(3)方块电阻某一部分高
可能的原因：1.个别温区温度设定低.2.个别温区温度升不上
去.3.炉口抽风大4.电阻率过高.5.员工调整温度时误操作，调 错温度.6.PB值异常. 解决方法：1.根据测试的方块电阻及时调整扩散温度.2.让设 备维修.3.让设施人员调整.4.回炉后往下做.5.要求员工调整时 认真一些.6.调整PB值. (4)方块电阻某一部分低. 可能的原因：1.个别温区温度设定高.2.PB值异常.3. 电阻率 过低.4.员工调整温度时误操作.5.N型片. 解决方法：1. 及时调整扩散温度.2.把PB值恢复正常.3.正常 做.4. 要求员工调整时认真一些. 5 .N型片的方阻在实际生产 中一般不超过30，发现后可取一些去原材料库测试非扩散面 的PN型.
可能的原因：1.进舟时间设定短.2.限位开关故障.3. 丝杠故障. 处理措施： 1.设定合适的进舟时间.2.3.通知设备人 员维修.

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6.有关三氯氧磷方面的异常：
(1).有三氯氧磷的气味.(冒烟)
可能的原因：1.炉门密封不严. 2.气路部分连接不紧密.3.抽风小. 4.当有扩散管运行 到通扩散小氮时，其他管出舟，造成抽风相对小.5.石英炉门有缺口.6.源瓶的阀门装反 并且没有检查出来.导致三氯氧磷以液态进入石英管内. 处理措施： 1.通知设备人员调整.2.安装源瓶及四通等气路时要确保连接紧密.3.通知设 施人员处理.4.合理安排进出舟时间.5.通知设备人员更换后运行清洗工艺.6.换源时按要 求认真操作.
和五氧化二磷（P2O5），其反应式如下：
600C
3 5 2
5POCl 3PCl P O
SiO2）和磷原子，其反应式如下：
2 5
5
生成的P2O5在扩散温度下与硅反应，生成二氧化硅（
2P O 5Si 5SiO 4P
2
5
由上面反应式可以看出，POCl3热分解时，如果没有外来
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3.偏磷酸. 原因及解决的方法: (1).人员的操作,比如进出舟交叉,下舟不及时等.这些 需要员工按要求规范操作.
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(
2).抽风不畅,比如抽风小或尾气管被偏磷酸膏体堵塞. 需要加大抽风或定期清洗尾气管.
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5.报警 (1).扩散小氮报警.（压力或流量） 可能的原因：1.传感器的连接或传感器（或流量计）本身有问
按照每立方米（或每升）空气中，大于等于0.5μm的尘粒数量来划分
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人员方面 1.扩散间员工出扩散间必须穿鞋套.其他岗位、部门员工
进入扩散间必须按要求穿洁净服、戴鞋套 2.进入扩散间时要风淋30s 3.严禁同时打开传递窗及风淋门;传递窗的两边不能同时 打开 4.员工工作服穿着整洁,头发严禁露在衣服外面 5.清洗间小车禁止推入扩散间使用 6.袖子不能高挽
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该区域为炉体侧盖,保证 无明显污迹
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扩散管炉口
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三.异常的处理
1.恒温箱温度的异常.
恒温箱温度异常可以造成方块电阻不受控制,造成的返工片数量
很多.经过现场的检查,发现恒温箱温度不受控可能由以下原因引 起: (1).恒温箱内水太少.预防措施:定期检查,发现水量少时及时添加. (2).恒温箱本身的原因,例如循环出现故障，表现现恒温箱的水上 下层温度不一样,判定为恒温箱的循环有异常,随后让设备人员进 行了更换.