光学元件合格检验

问题：当对一个光学元件进行合格检验时，你需要重点关注的测试对象都有哪些？

答：首先可以将光学元件分为平面元件、球面元件和非球面元件，下面将分类来讨论。

一、平面元件

角偏差测量：分为棱镜角度的角偏差测量、楔形平板测量、数字波面干涉仪测量元件角偏差。

面形偏差测量：主要包括半径偏差、像散偏差和局部偏差。此三个指标统称为光圈公差，光圈公差的作用是度量表面与其检验样板的偏离，它保证了一批产品的一致性。通常采用干涉仪对面形偏差进行检测，为提高检测精度，可用多通道或多光束干涉法。

光学平行度测量：可采用双像法或干涉法测量光学平行度。

二、球面元件

曲率半径测量：实质上属于面形偏差的检测范畴，因为在检测面形偏差时，往往也可测出曲率半径。

测量球面曲率半径的方法：有球径仪法、自准直法、牛顿环法和干涉法。

面形偏差检测：通常采用球面干涉仪检测球面光学元件的面形偏差，球面干涉仪一般有正置、倒置和水平放置三种。

三、非球面元件

面形测试：常用方法有几何光线检测法、探针式轮廓法、干涉法。

参考文献：

苏俊宏, 田爱玲, 杨利红. 现代光学测试技术[M]. 科学出版社, 2013.